JPH0255902A - 薄鋼板の微小溝深さ測定方法 - Google Patents
薄鋼板の微小溝深さ測定方法Info
- Publication number
- JPH0255902A JPH0255902A JP20787488A JP20787488A JPH0255902A JP H0255902 A JPH0255902 A JP H0255902A JP 20787488 A JP20787488 A JP 20787488A JP 20787488 A JP20787488 A JP 20787488A JP H0255902 A JPH0255902 A JP H0255902A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- groove
- depth
- signal voltage
- measured
- groove width
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- Pending
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、薄鋼板の表面に存在する微小溝または薄鋼板
の表面に加工する微小溝の深さが薄鋼板の磁気特性や加
工性等に影響を及ぼす場合、その磁気特性や加工性等を
最適に保つ溝を加工するための制御値または操作量を決
定するために必要な正確な溝深さ情報を与えるための薄
鋼板の微小溝深さ測定方法に関する。
の表面に加工する微小溝の深さが薄鋼板の磁気特性や加
工性等に影響を及ぼす場合、その磁気特性や加工性等を
最適に保つ溝を加工するための制御値または操作量を決
定するために必要な正確な溝深さ情報を与えるための薄
鋼板の微小溝深さ測定方法に関する。
（従来の技術）
微小溝深さ測定技術としては触針式粗度計やレーザーを
利用した距離計等が良（知られているが、これらの技術
の精度保証は被測定物が静止状態か微速移動の場合に限
られる。
利用した距離計等が良（知られているが、これらの技術
の精度保証は被測定物が静止状態か微速移動の場合に限
られる。
（発明が解決しようとする課題）
薄鋼板に加工する微小溝の深さを製造ラインで制御する
場合、常時溝深さを把握し、加工圧下刃にフィードバッ
クする必要がある。従来の触針式粗度計やレーザー距離
計は、第一に被測定材の通板に伴）鋼板の上下振動がそ
のまま誤差（ＩＩ定量５〜３０μ−に対して上下振動量
は±１００μ―以上）になること、第二に触針式粗度計
は検出端部分が機械的構造であり、通板速度に対応する
追従能力がないこと、第三にレーザー距離計は通板速度
での微小溝の分解能がないこと、すなわち通板速度が１
００ｍ／分のとき１００μ−幅の微小溝が通過する時間
は６０μｓｅｃだから最低３０μＳｅｅ以上の処理速度
を有する信号処理装置が必要となるが、このような機能
を持つ装置は現在存在しないこと等から、どちらの技術
も製造ラインでのオンライン深さ計測は不可能である。
場合、常時溝深さを把握し、加工圧下刃にフィードバッ
クする必要がある。従来の触針式粗度計やレーザー距離
計は、第一に被測定材の通板に伴）鋼板の上下振動がそ
のまま誤差（ＩＩ定量５〜３０μ−に対して上下振動量
は±１００μ―以上）になること、第二に触針式粗度計
は検出端部分が機械的構造であり、通板速度に対応する
追従能力がないこと、第三にレーザー距離計は通板速度
での微小溝の分解能がないこと、すなわち通板速度が１
００ｍ／分のとき１００μ−幅の微小溝が通過する時間
は６０μｓｅｃだから最低３０μＳｅｅ以上の処理速度
を有する信号処理装置が必要となるが、このような機能
を持つ装置は現在存在しないこと等から、どちらの技術
も製造ラインでのオンライン深さ計測は不可能である。
また、被測定材に存在する非金属介在物やブローホール
等の内部欠陥を検出する技術として、たとえば特開昭５
２−１６０２８２号公報に記載のものがあり、その装置
構成を＃Ｓ４図に示す、この１［は、被検材Ｓを幅方向
に磁化する直流電磁石８と、欠陥からの漏へ磁気を検出
する感磁性索子群９を内蔵した被検材Ｓに対面して被検
材Ｓとの間隙を一定に維持する気体噴射式７０−ター１
０により構成されζいる。この装置は、感磁性索子で検
出した信号電圧が一定レベル以上の場合に欠陥が存在す
ると判定することにより主として欠陥の有無を計測する
ものであり、溝深さを定量的に測定するのには問題があ
る。
等の内部欠陥を検出する技術として、たとえば特開昭５
２−１６０２８２号公報に記載のものがあり、その装置
構成を＃Ｓ４図に示す、この１［は、被検材Ｓを幅方向
に磁化する直流電磁石８と、欠陥からの漏へ磁気を検出
する感磁性索子群９を内蔵した被検材Ｓに対面して被検
材Ｓとの間隙を一定に維持する気体噴射式７０−ター１
０により構成されζいる。この装置は、感磁性索子で検
出した信号電圧が一定レベル以上の場合に欠陥が存在す
ると判定することにより主として欠陥の有無を計測する
ものであり、溝深さを定量的に測定するのには問題があ
る。
（課題を解決するための手段）
本発明は、被測定材に対向して磁化器と一体型をなした
感磁性索子とギャップセンサーとを内蔵し、流体浮上式
追従機構を持つ検出ヘッドを設け、感磁性索子で検出し
た漏洩磁気を増幅・雑音除去して得た信号電圧と、ギャ
ップセンサーで計測した感磁性索子と被測定材とのギャ
ップ量と、予め把握した溝幅をパラメーターとする溝深
さ対信号電圧の特性値と、予め把握したギャップ量に対
する溝幅・溝深さから得た信号電圧の特性値と、これら
４種類の情報とは別に与えられる溝幅の値とから被測定
材に存在する微小溝の深さを算出する薄鋼板の微小溝深
さ測定方法である。
感磁性索子とギャップセンサーとを内蔵し、流体浮上式
追従機構を持つ検出ヘッドを設け、感磁性索子で検出し
た漏洩磁気を増幅・雑音除去して得た信号電圧と、ギャ
ップセンサーで計測した感磁性索子と被測定材とのギャ
ップ量と、予め把握した溝幅をパラメーターとする溝深
さ対信号電圧の特性値と、予め把握したギャップ量に対
する溝幅・溝深さから得た信号電圧の特性値と、これら
４種類の情報とは別に与えられる溝幅の値とから被測定
材に存在する微小溝の深さを算出する薄鋼板の微小溝深
さ測定方法である。
（作用、実施例）
以下、本発明の作用を図示の実施例に基づいて説明する
。
。
第１図は本発明の実施例を示すブロック図である。被測
定材の上面側に流体浮上式追従機構を設けた検出へラド
１を設置する。検出へラド１には被測定材を磁化する磁
化器２、磁化器２と一体型をなす感磁性素子３、および
感磁性索子３と被測定材とのギャップを計測するギャッ
プセンサー４が内蔵されている。信号演算処理！！置５
では、感磁性索子３と信号処理回路６とで得た信号電圧
と、ギャップセンサー４で計測した感磁性索子３と被測
定材とのギャップ量と、データテーブル７に収納した溝
幅をパラメーターとする溝深さ対信号電圧の特性値と、
イヤツブ量に対する溝幅・溝深さから得たイホ号電圧特
性値と、これら４Ｍｌ［の情報とは別に与えられる溝幅
の値とがら被測定材に存在する微小溝の深さを定量的シ
ニ算出するものである。
定材の上面側に流体浮上式追従機構を設けた検出へラド
１を設置する。検出へラド１には被測定材を磁化する磁
化器２、磁化器２と一体型をなす感磁性素子３、および
感磁性索子３と被測定材とのギャップを計測するギャッ
プセンサー４が内蔵されている。信号演算処理！！置５
では、感磁性索子３と信号処理回路６とで得た信号電圧
と、ギャップセンサー４で計測した感磁性索子３と被測
定材とのギャップ量と、データテーブル７に収納した溝
幅をパラメーターとする溝深さ対信号電圧の特性値と、
イヤツブ量に対する溝幅・溝深さから得たイホ号電圧特
性値と、これら４Ｍｌ［の情報とは別に与えられる溝幅
の値とがら被測定材に存在する微小溝の深さを定量的シ
ニ算出するものである。
磁化器２によって被測定材を磁化すると、磁束を妨げる
不連続部分、たとえば微小溝等があるとその箇所から磁
気が漏洩する。この漏洩磁気を感磁性索子３で検出する
。検出された漏洩磁気を電気信号に貴換し、信号処理回
路６で増幅し、さらに雑音除去のための周波数フィルタ
ーを通過させた後その電圧が一定レベル以上であるか判
定し、一定レベル以上であれば当該信号電圧を信号演算
処理装置５に送り込み、同時に信号演算処理装置５では
一定レベル以上の信号が発゛生した時点の感磁性素子３
と被測定材とのギャップ量を読み込む。
不連続部分、たとえば微小溝等があるとその箇所から磁
気が漏洩する。この漏洩磁気を感磁性索子３で検出する
。検出された漏洩磁気を電気信号に貴換し、信号処理回
路６で増幅し、さらに雑音除去のための周波数フィルタ
ーを通過させた後その電圧が一定レベル以上であるか判
定し、一定レベル以上であれば当該信号電圧を信号演算
処理装置５に送り込み、同時に信号演算処理装置５では
一定レベル以上の信号が発゛生した時点の感磁性素子３
と被測定材とのギャップ量を読み込む。
信号演算処理装置１５に入力された信号電圧には溝深さ
、溝幅おより感磁性素子３と被測定材とのギャップ量な
どの情報が含まれており、この信号電圧だけでは溝深さ
を定量化することは不可能である。このため、本発明で
は予め被測定材と同材質のサンプルに構深さ、溝幅な種
々変えて溝を加工し、感磁性索子とサンプルの基準ギャ
ップ量を定め、その基準ギャップ量で検出試験を行ない
、その試験の結果から溝幅をパラメーターとする溝深さ
対信号電圧の特性値を把握し、その情報をデータテーブ
ル７に収納しておく。
、溝幅おより感磁性素子３と被測定材とのギャップ量な
どの情報が含まれており、この信号電圧だけでは溝深さ
を定量化することは不可能である。このため、本発明で
は予め被測定材と同材質のサンプルに構深さ、溝幅な種
々変えて溝を加工し、感磁性索子とサンプルの基準ギャ
ップ量を定め、その基準ギャップ量で検出試験を行ない
、その試験の結果から溝幅をパラメーターとする溝深さ
対信号電圧の特性値を把握し、その情報をデータテーブ
ル７に収納しておく。
また、製造フィンでは通板に伴う板の振動があるため、
感磁性素子３と被測定材とのギャップ量に変化が生じる
０本発明では流体浮上式追従機構を設け、感磁性素子３
と被測定材とのギャップ量の変動をできるだけ小さ（す
るが、若干の倣い誤差は生じる。そのため、本発明では
溝幅・溝深さから得た信号電圧が感磁性素子３と被測定
材とのギャップ量の変化でどの様に変わるかを種々ギャ
ップ量を変えて試験を釘ない、ギャップ量に対する溝幅
・溝深さから得た信号電圧の特性値を得、この情報もデ
ータテーブル７に収納しておく。
感磁性素子３と被測定材とのギャップ量に変化が生じる
０本発明では流体浮上式追従機構を設け、感磁性素子３
と被測定材とのギャップ量の変動をできるだけ小さ（す
るが、若干の倣い誤差は生じる。そのため、本発明では
溝幅・溝深さから得た信号電圧が感磁性素子３と被測定
材とのギャップ量の変化でどの様に変わるかを種々ギャ
ップ量を変えて試験を釘ない、ギャップ量に対する溝幅
・溝深さから得た信号電圧の特性値を得、この情報もデ
ータテーブル７に収納しておく。
溝幅をパラメーターとする溝深さ対信号電圧の特性値の
例を第２図に、ギャップ量に対する溝幅・ｍ深さから得
た信号電圧の特性値の例をｆｊＳ３図に示す。
例を第２図に、ギャップ量に対する溝幅・ｍ深さから得
た信号電圧の特性値の例をｆｊＳ３図に示す。
信号演算処理装置５では、信号電圧と、ギャップ量と、
第３図のギャップ量に対する溝幅・溝深さから得た信号
電圧の特性値と、別に測定した溝幅の値とから基準ギャ
ップ量での信号電圧を算出する。たとえば第３図の電圧
特性値のグラフ上で信号検出電圧がｖｌ イヤツブ
量がｇｌ、溝幅が１の場合、基準ギャップｊ１ｇｏのと
きの信号電圧はｖｌであることがわかる０次に、この処
理で得た信号電圧ｖ１と第２図の溝幅をパラメーターと
した溝深さ対信号電圧の特性値から溝の深さを算出する
。
第３図のギャップ量に対する溝幅・溝深さから得た信号
電圧の特性値と、別に測定した溝幅の値とから基準ギャ
ップ量での信号電圧を算出する。たとえば第３図の電圧
特性値のグラフ上で信号検出電圧がｖｌ イヤツブ
量がｇｌ、溝幅が１の場合、基準ギャップｊ１ｇｏのと
きの信号電圧はｖｌであることがわかる０次に、この処
理で得た信号電圧ｖ１と第２図の溝幅をパラメーターと
した溝深さ対信号電圧の特性値から溝の深さを算出する
。
前記処理で得た信号電圧がｖｌで溝幅が智、であるから
、ｔＪ＆２図から直ちに溝深さｄ、が求まる。これらの
演算処理で求めた値は溝幅、ギャップ量を補正した正確
な溝深さを表わしている。
、ｔＪ＆２図から直ちに溝深さｄ、が求まる。これらの
演算処理で求めた値は溝幅、ギャップ量を補正した正確
な溝深さを表わしている。
（発明の効果）
以上述べたように、本発明によれば被測定材に存在する
微小溝の深さを、感磁性素子と被測定材とのギャップ量
の変動の影響や溝幅の大小の影響を補正して正確な溝深
さ測定が可能になり、薄鋼板に加工された微小溝の深さ
が薄鋼板の磁気特性や加工性等に影響を及ぼす場合、製
造フィンで溝深さを制御するために必要な正確な溝深さ
を提供することができ、製品の歩留向上や品質保証に寄
与するところ大である。
微小溝の深さを、感磁性素子と被測定材とのギャップ量
の変動の影響や溝幅の大小の影響を補正して正確な溝深
さ測定が可能になり、薄鋼板に加工された微小溝の深さ
が薄鋼板の磁気特性や加工性等に影響を及ぼす場合、製
造フィンで溝深さを制御するために必要な正確な溝深さ
を提供することができ、製品の歩留向上や品質保証に寄
与するところ大である。
第１図は本発明の実施例を示すブロック図、第２図は溝
幅をパラメーターとする溝深さ対信号電圧の特性値を示
す図、 第３図はギャップ量に対する溝幅・溝深さから得た信号
電圧の特性値を示す図、 第４図は従来の検出装置の一例を示す図である。 １・・・検出ヘッド、２・・・磁化器、３・・・感磁性
素子４・・・ギャップセンサー ５・・・信号演算処理
装置、６・・・信号処理回路、７・・・データテーブル
、８・・・直流電磁石、９−・・感磁性素子群、１０・
・・気体噴射式％式％ ｄＩ 情況さ
幅をパラメーターとする溝深さ対信号電圧の特性値を示
す図、 第３図はギャップ量に対する溝幅・溝深さから得た信号
電圧の特性値を示す図、 第４図は従来の検出装置の一例を示す図である。 １・・・検出ヘッド、２・・・磁化器、３・・・感磁性
素子４・・・ギャップセンサー ５・・・信号演算処理
装置、６・・・信号処理回路、７・・・データテーブル
、８・・・直流電磁石、９−・・感磁性素子群、１０・
・・気体噴射式％式％ ｄＩ 情況さ
Claims (1)
- （１）被測定材に対向して磁化器と一体型をなした感磁
性素子とギャップセンサーとを内蔵し、流体浮上式追従
機構を持つ検出ヘッドを設け、 感磁性素子で検出した漏洩磁気を増幅・雑音除去して得
た信号電圧と、 ギャップセンサーで計測した感磁性素子と被測定材との
ギャップ量と、 予め把握した溝幅をパラメーターとする溝深さ対信号電
圧の特性値と、 予め把握したギャップ量に対する溝幅・溝深さから得た
信号電圧の特性値と、 これら４種類の情報とは別に与えられる溝幅の値と から被測定材に存在する微小溝の深さを算出する薄鋼板
の微小溝深さ測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20787488A JPH0255902A (ja) | 1988-08-22 | 1988-08-22 | 薄鋼板の微小溝深さ測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20787488A JPH0255902A (ja) | 1988-08-22 | 1988-08-22 | 薄鋼板の微小溝深さ測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0255902A true JPH0255902A (ja) | 1990-02-26 |
Family
ID=16546983
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20787488A Pending JPH0255902A (ja) | 1988-08-22 | 1988-08-22 | 薄鋼板の微小溝深さ測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0255902A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010012034A (ja) * | 2008-07-03 | 2010-01-21 | Olympus Medical Systems Corp | 医療器具運搬ユニット |
| WO2020217278A1 (ja) * | 2019-04-22 | 2020-10-29 | 三菱電機株式会社 | 磁性体探傷装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5924962U (ja) * | 1982-08-10 | 1984-02-16 | 日産自動車株式会社 | 内燃機関の吸気加熱装置 |
-
1988
- 1988-08-22 JP JP20787488A patent/JPH0255902A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5924962U (ja) * | 1982-08-10 | 1984-02-16 | 日産自動車株式会社 | 内燃機関の吸気加熱装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010012034A (ja) * | 2008-07-03 | 2010-01-21 | Olympus Medical Systems Corp | 医療器具運搬ユニット |
| WO2020217278A1 (ja) * | 2019-04-22 | 2020-10-29 | 三菱電機株式会社 | 磁性体探傷装置 |
| JPWO2020217278A1 (ja) * | 2019-04-22 | 2021-05-20 | 三菱電機株式会社 | 磁性体探傷装置 |
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