JPH0255906A - 物体計測装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 Ｅｌ）発明の目的 ［産業上の利用分野］ 本発明は、物体計測装置に関し、特に投光装置によって
発生されたのち被計測物体で反射された光の収束によっ
てその光の反射点の像が光センサ装置の光センサ上に結
像される時刻を計測し計測結果からその光の反射点の位
置を算出してなる物体計測装置に関するものである。

［従来の技術］ 従来この種の物体計測装置としては、投光装置によって
発生されたのち被計測物体で反射された光の収束に伴な
って動作せしめられる光センサ装置の各光センサに対し
て共通の計数回路を配設しておき、被計測物体で反射さ
れた光が結像装置により各光センサ上に結像されたとき
に各光センサによって発生された受光信号に応じて計数
回路の計数内容を各光センサにそれぞれ付設された記憶
装置に記憶せしめ、記憶装置の記憶内容から被計測物体
における光の反射点の位置を算出するものが提案されて
いた（山中等　「高速３次元物体計測装置の試作」　電
子情報通信学会技術研究報告　社団法人電子情報通信学
会　ＰＲＯ−８７−４１）９８７年１０月１日）。

［解決すべき問題点］ しかしながら従来の物体計測装置においては、（ｉｌ結
像装置を使用していたので、各光センサ上の像が場所に
よりピントズレを生じたとき分解能を十分に維持できな
い欠点があり、また（ｉｉｌ各光センサなどの部材の感
度がバラツキをもつので、その受光信号のパルス幅が変
化する欠点があり、ひいてはｆｉｉｉｌ　ピントズレあ
るいは部材感度のバラツキにより物体計測の精度が左右
される欠点があった。

そこで本発明は、これらの欠点を除去するために、光セ
ンサと記憶装置との間にパルス中心検出回路を配設する
ことによりピントズレあるいは部材感度のバラツキによ
る物体計測の精度低下を抑制してなる物体計測装置を提
供せんとするものである。

（２）発明の構成 ［問題点の解決手段］ 本発明により提供される問題点の解決手段は、「（ａ）
被計測領域を走査するための光を発生する投光装置と、 （ｂｌ投光装置によって発生された光が被計測領域に配
置された被計測物体によって反射されることにより得ら
れた反射光を収束して被計測物体における光の反射点の
像を結像せしめる結像装置と、 （ｃ）結像装置によって結像された反射点の像によって
動作せしめられる複数の光センサからなる第１の光セン
サ装置と、 ｆｄ）投光装置で被計測領域を走査するために発生され
た光によって動作せしめられる第２の光センサ装置と、 （ｅ）前記第２の光センサ装置に対してリセット端が接
続され第２の光センサ装置の光検知によって発生された
走査基準信号がリセット信号として与えられており、リ
セットののち入力端に与えられたクロックパルスの数を
計数する計数回路と、 （ｆｌ第１の光センサ装置に属する光センサに対して１
対１で付設されており、第１の光センサ装置に属する複
数の光センサが動作されたときにそれぞれ発生される受
光信号に応じて計数回路から入力されている計数内容を
記憶するための複数の記憶装置と。

（ｇ）第１の光センサ装置に属する複数の光センサと複
数の記憶装置との間にそれぞれ配設されており、第１の
光センサ装置に属する複数の光セン号がそれぞれ出力す
る受光信号のパルス中心を検出し検出結果に応じてトリ
ガ信号を記憶装置に与える複数のパルス中心検出回路と
、 ｆｈｌ記憶装置の記憶内容を受け取り、投光装置による
反射点の走査角を算出し、かつ算出された走査角から反
射点の位置を算出するデータ処理装置と を備えてなる物体計測装置」 である。

［作用］ 本発明にかかる物体計測装置は、（ａ）被計測領域を走
査するための光を発生する投光装置と、（ｂｌ投光装置
によって発生された光が被計測領域に配置された被計測
物体によって反射されることにより得られた反射光を収
束して被計測物体における光の反射点の像を結像せしめ
る結像装置と、（ｃ１結像装置によって結像された反射
点の像によって動作せしめられる複数の光センサからな
る第１の光センサ装置と、（ｄ）投光装置で被計測領域
を走査するために発生された光によって動作せしめられ
る第２の光センサ装置と、（ｅ）前記第２の光センサ装
置に対してリセット端が接続され第２の光センサ装置の
光検知によって発生された走査基準信号がリセット信号
として与えられており、リセットののち入力端に与えら
れたクロックパルスの数を計数する計数回路と、（ｆｌ
第１の光センサ装置に属する光センサに対してｌ対ｌで
付設されており、第１の光センサ装置に属する複数の光
センサが動作されたときにそれぞれ発生される受光信号
に応じて計数回路から入力されている計数内容を記憶す
るための複数の記憶装置と、（ｇｌ第１の光センサ装置
に属する複数の光センサと複数の記憶装置との間にそれ
ぞれ配設されており、第１の光センサ装置に属する複数
の光センサがそれぞれ出力する受光信号のパルス中心を
検出し検出結果に応じてトリガ信号を記憶装置に与える
複数のパルス中心検出回路と、（ｈ）記憶装置の記憶内
容を受け取り、投光装置による反射点の走査角を算出し
、かつ算出された走査角から反射点の位置を算出するデ
ータ処理装置とを備えてなるので、（ｉ）第１の光セン
サ装置に属する複数の光センサ上の結像がピントズレを
生じても高分解能を維持する作用をなし、また（ｉｉ）
第１の光センサ装置に属する複数の光センサなどの部材
感度にバラツキがあってもその受光信号のパルス幅が変
化することを修復する作用をなし、ひいては（ｉｉｉ）
ピントズレあるいは部材感度のバラツキに伴なう物体計
測の精度低下を回避する作用をなす。

〔実施例ｊ 次に本発明にかかる物体計測装置の実施例について、添
付図面を参照しつつ具体的に説明する。

しかしながら以下に説明する実施例は、本発明の理解を
容易化ないし促進化するために記載されるものであって
、本発明を限定するために記載されるものではない。

第１図は１本発明にかかる物体計測装置の一実施例を示
す斜視図である。

第２図は、第１図実施例の一部を拡大して示す拡大部分
斜視図である。

第３図は、第１図実施例の一部を拡大して示す拡大部回
路図である。

第４図は、第２図の一部を拡大して示すブロック回路図
である。

第５図は、第４図の動作を説明するためのタイムチャー
ト図である。

第６図は、第４図を具体化して示す詳細ブロック回路図
である。

第７図は、第６図の動作を説明するためのタイムチャー
ト図である。

第８図は、第４図を具体化して示す他の詳細ブロック回
路図である。

第９図は、第８図の動作を説明するためのタイムチャー
ト図である。

まず第１図ないし第３図を参照しつつ、本発明にかかる
物体計測装置の一実施例について、その構成を詳細に説
明する。

厘は、本発明にかかる物体計測装置の投光装置であって
、被計測領域を走査するための光を発生しており一次元
すなわち線状に拡張されたスリット光を発生するスリッ
ト光発生装置１２と、前記スリット光の進行方向をその
拡張方向に直交する方向に向けて時間的に一定割合（す
なわち一定角速度ω）で変化せしめつつ被計測領域を走
査する走査装置１４とを包有している。

スリット光発生装置１２は、たとえば気体レーザ光源、
半導体レーザ光源１発光ダイオード光源あるいはタング
ステンランプ光源などの適宜の光源１２１と、光源１２
１によって発生されたビーム光を一次元すなわち綿状の
スリット光とする円筒レンズ１２２とを包有している。

光源１２１が気体レーザ光源である場合には、その発生
するレーザ光がビーム光となっているので、円筒レンズ
１２２に対してそのまま与えればよい、これに対し光源
１２１が半導体レーザ光源である場合には、その発生す
るレーザ光が二次元すなわち面状に拡散されているので
、球面レンズ（図示せず）を用いてビーム光に収束せし
めたのち、円筒レンズ１２２に対して与えればよい。ま
た光源１２１が発光ダイオード光源あるいはタングステ
ンランプ光源などである場合には、その発生する光がビ
ーム光となっていないので、適宜の手段によりビーム光
に変えたのち、円筒レンズ１２２に対して与＾ればよい
。

走査装置１４は、たとえばスリット光を反射するための
ミラー１４１とスリット光の拡張方向に平行する回転軸
についてミラー１４１を一定角速度ωで回転せしめるた
めの回転駆動装置１４２とを包有する回転ミラー装置に
よって構成されている。走査装置１４は、また所望によ
り、スリット光発生装置１２を載置するためのテーブル
（図示せず）と、前記テーブルを一定角速度ωで回転せ
しめるための回転駆動装置（図示せず）とによって構成
されていてもよい。

２０は、本発明にかかる物体計測装置の被計測領域に配
置された被計測物体であって、投光装置用によって与え
られたスリット光が照射されている。

３０は、本発明にかかる物体計測装置の受光装置であっ
て、被計測物体裁によって反射されたスリット光すなわ
ち反射スリット光を収束し被計測物体裁の像すなわちス
リット光の反射点Ｐの像を結像せしめるための結像装置
３１と、結像装置３１によって結像された被計測物体２
０の像すなわちスリット光の反射点Ｐの像を撮像するた
めの撮像装置３２と、投光装置圧に含まれた走査装置１
４の近傍に配設されておりスリット光によって被計測領
域が走査されていることを検出するための走査構出装置
３３とを包有している。

結像装置３１は、被計測領域すなわちスリット光による
走査領域を見込んでおり、反射スリット光を収束せしめ
る収束レンズによって形成されている。

撮像装置３２は、結像装置３１によって反射スリット光
を収束せしめることにより結像された被計測物体社の像
すなわちスリット光の反射点Ｐの像を撮像するために適
宜（たとえば複数の列）に分割して配設（たとえばマト
リックス状に配列）されており反射スリット光が結像さ
れたときその光量に応じてそれぞれ受光信号すなわちパ
ルス状の受光電流Ｔ　ｌｌ＋Ｌ！、・”、Ｉｌｎ；　Ｉ
！ｌ＋Ｌ２＋”・、Ｉｉｎ：・・：Ｉｓ＋、　Ｌ（ｆｉ
＋・・・＋Ｌ１）を発生し出力する複数の光センサたと
えば光トランジスタ　（以下この場合について主として
説明する］　３２Ｌ、、　３２１□、・・３２１＋ｌｌ
：　３２１ｉ＋、３２１＊ｇ、”’、３２１ｉｎ　：＋
＋＋　；　３２１−＋。

３２１、ｔ、・・・、３２１□からなる第１の光センサ
装置と、第１の光センサ装置に属する複数の光トランジ
スタ３２１□、３２１＋□、・・・、３２１）ｎ：　３
２１□、３２１゜。

・・・、３２１．。：・・・：　３２１．、．３２１゜
、・・・、３２Ｉ□の出力端に対してそれぞれ１対１に
接続されておりそれぞれ受光信号すなわちパルス状の受
光電流Ｉｌ。

＋１）！＋”・＋Ｉｌｎ：　Ｉ２１＋Ｉ２１．”’、Ｉ
ｌｎ；　”’　：Ｌ＋、Ｌｚ。

・・・＋Ｉａｌｌを所望に応じて増幅し基準値と比較し
てパルス状の増幅電圧ＳＩ＋＋、ＳＩ＋ｓ、・・・、Ｓ
Ｉ＋、、：５Ｉｚ１゜Ｓｌ、、、−・−、Ｓｌ、、、：
　−・−；Ｓｌ、、、Ｓｌ、、、−・・、Ｓｌ、、を出
力する複数の比較増幅回路３２２．、．３２２□、・・
・、　３２２　、　、、：３２２□、、３２２゜、・・
・、３２２．ｎ：　・・・；　３２２−＋、３２２−□
。

−＝、３２２．ｎと、複数の比較増幅回路３２２．、．
３２２□、。

・、−，３２２，ｌｌ：　３２２．、．３２２．、、・
・・、３２２．ｎ、・・・：３２２．１．３２２゜２．
・・・、３２２□の出力端に対してそれぞれ１対ｌに接
続されており増幅電圧５Ｉ１）．Ｓｌ、□・・・、５Ｉ
ｌｌｌ：Ｓｌ、、、Ｓｌ、□、・・・、Ｓｌ、、：　　
・・・　：Ｓｌ、、、Ｓｌ、！・・・、　ＳＩ＝。のパ
ルス中心時間位置に応じてそれぞれパルス中心検出信号
を発生しトリガ信号Ｔ１．、。

ＴＬ＊、・＝、ＴＬｌｌ：Ｔｌ−１，ＴＴａｇ、”’、
ＴＩｔｎ：　”’　汀■１ＴＩ−ｚ、・・・汀■□とし
て出力する複数のパルス中心検出回路３２３．、．３２
３□、・・・、３２３．、ｌ；　３２３□、３２３２□
。

・・・、３２３□：・・・；３２３．、．３２３．１．
　・・・、３２３□と、複数のパルス中心検出回路３２
３□、３２３＋ｉ、・・・３２３、、　：　３２３□、
３２３゜７・・・、３２３□７；・・・：３２３□。

３２３、、、・・・、３２３□の出力端に対してトリガ
端がそれぞれ１対１に接続されておりトリガ端に対して
パルス中心検出回路３２３．、．３２３□、・・・、　
３２３　＋。

３２３□、３２３゜、・・・、３２３□１）１・・・：
３２３１．３２３１）ｖ、・・・３２３□からパルス中
心検出信号がトリガ信号丁Ｉ＋＋、Ｔ１）ｇ、　”’汀
り、、：Ｔ１．、、Ｔ１．、、　・−汀Ｉ２１）：・・
・：Ｔｌ、汀工、２．・・・汀■□として与えられたと
きその入力端に与えられている入力信号の内容を記憶し
て保持するための複数の記憶装置３２４＋＋、３２’Ｌ
□・・・、３２４１ｎ：３２４□、３２４゜、・・・、
３２４□ｌｌ：・・・：３２４□、３２４．！、・・・
、　３２４．、、と、複数の記憶装置３２４□。

３２４＋ｚ、・・・、　３２４．。：　３２４２１．３
２４゜、・・・、３２４２ｎ：・・・：３２４．１．３
２４□、・・・、３２４□の入力端に対して出力端が接
続された計数回路３２５と、計数回路３２５の入力端に
対して出力端が接続されており一定周期のクロックパル
スを発生するクロックパルス発生回路３２６と、複数の
記憶装置３２Ｌ＋、３２４＋ｔ、・・・３２４３、；　
３２４．、．３２４□、・・・、３２４＊−：・・・、
　３２４（ｆｉ、。

３２４−ｚ、・・・、３２４□の制御端に対して複数の
出力端がそれぞれｌ対ｌに接続（便宜上、単一の線で図
示されている）されたデコーダ回路３２７とを包有して
いる。

走査検出装置３３は、投光装置ｌＯのミラー１４１に対
して対向されておりミラー１４１によって反射されたス
リット光を検出するための光センサたとえば光トランジ
スタ（以下この場合について説明する）３３１からなる
第２の光センサ装置と、光トランジスタ３３１の出力端
と撮像装置３２の計数回路３２５の入力端との間に配置
された比較増幅回路３３２とを包有している。

４０は、本発明にかかる物体計測装置のデータ処理装置
であって、受光装置並中の複数の記憶装置３２４１．．
３２４□、・・・、３２４＋ｌ、；　３２４２１．３２
４□２．・・・３２’ｂＩＩ：　”・：３２４□、３２
４．、、・・・、　３２４．ｎのうちから記憶装置を１
つずつ選択して指定するための読込信号ＳＥＬを発生し
て受光装置３０中のデコーダ回路３２７に与えるための
読込信号発生回路４１と、読込信号発生回路４１の出力
端および受光装置並中の記憶装置３２４１．．３２４．
、、−・・、３２４１．　：　３２４□１，３２４ｘａ
。

・・・、３２４□、：・・・；３２４□、３２４．、、
・・、３２４．Ｉｌの出力端に対して接続されており記
憶装置３２４３２４．２．・・・、３２４，１）：　３
２４□１．３２４゜、・・・、３２４□。

・・・；　３２４−＋、３２４−ｘ、・・・、　３２４
．。からそこに保持された記憶内容すなわち結像データ
ＩＭＧを読込信号ＳＥＬの内容に応じて受け取り記憶す
るための記憶装置４２と、記憶装置４２に記憶された結
像データＩＭＧの内容から被測定物体践におけるスリッ
ト光の反射点Ｐの位置を算出する演算回路４３とを包有
している。データ処理装置並は、更に所望により、演算
回路４３に接続されておりその演算結果すなわち被測定
物体裁におけるスリット光の反射点Ｐの位置を記憶する
ための他の記憶装Ｒ４４と、他の記憶装置４４に接続さ
れておりその記憶内容を視認可能に表示するためのブラ
ウン管などの表示装置４５と、他の記憶装置４４に接続
されておりその記憶内容を記録するためのフロッピーデ
ィスクなどの記録装置４６とを包有している。

次に第１図ないし第３図を参照しつつ、本発明にかかる
物体計測装置の一実施例について、その作用を詳細に説
明する。

以下の説明を簡潔とし、かつ十分な理解をなすために、
最初に三次元座標系を導入する。

すなわち結像装置３１の中心を原点ｏ　（ｏ、ｏ、ｏ）
とし、結像装置３１すなわち原点０　［０，０，０１を
通りかつミラー１４１の回転軸に平行するようにＺ軸を
とり、結像装置３１すなわち原点ｏ　（ｏ、　ｏ、　ｏ
）とミラー１４１の回転軸Ｍとを結ぶ線分ＯＭすなわち
基線（その長さをａとする）上にのりかつＺ軸に直交す
るようにＸ軸をとり、かつ結像装置３１すなわち原点０
　（０，０，０１を通りかっＸ軸およびＺ軸に直交する
ようにＹ軸をとる。更にスリット光とＸ軸とのなす角す
なわち走査角をαとし、スリット光を反射した被計測物
体並上の点すなわち反射点Ｐを座標（Ｘ、　Ｙ、　Ｚ）
とする、加エテ原点０　（０，０，０１を通る反射スリ
ット光が、ＸＹ平面においてＹ軸となす角をβ８とし、
かっＹＺ平面においてＹ軸となす角をβ２とする６反射
点Ｐ　（Ｘ、Ｙ、Ｚｌにおいて反射され結像装置３１の
中心すなわち原点０　（０，０，，０１通過した反射ス
リット光が、結像装置３１から距１ｉ１ｆだけ離間され
た撮像面すなわち光トランジスタ３２１ｔ＋、３２１＋
＊、＝・、３２１＋ｎ　：３２１□、３２１ａｓ、・・
・、３２１ａｌ、：　・・・：　３２１＝、、３２１．
＊。

・・・、３２１．、上に結像された点（すなわち反射点
Ｐの像）Ｑの座標を（ｘ、ｙ、ｚｌ　とする６反射点Ｐ
（Ｘ、　Ｙ、　Ｚ）のｘ、ｙ、ｚ軸上における投影点を
そｆｉ（’ｈＲ（Ｘ、０．０）、Ｓ　（０、Ｙ、　０１
　、　Ｔ　（０，０，２１とし、かつＸ軸上におけるミ
ラー１４１の回転軸の位置をＭ　（ａ、　０．　ｏｌ　
　とする。

このとき第１図から明らかなように ＯＭ＝ＯＲ＋ＲＭ の関係が成立するので、 ａ＝Ｙ　ｔａｎｆｌ　ｘ　＋ｙ　ｃｏｔａが成立し、こ
れを整理して Ｙ＝　ａ　［ｔａｎｊ３　ｘ　＋　ｃｏｔａｌ　−’の
関係を求め得る。ここでｔａｎＢｘ＝ｘｆ−’であるの
で、 Ｙ＝ａｆ　　［ｘ＋ｆ　　ｃｏｔａｌ　−’　−−−−
１））と表現できる。

また ０Ｒ＝ＯＳｔａｎβＸ の関係が成立するので、 Ｘ　＝　Ｙ　ｔａｎＢＸ の関係を求め得る。ここでｔａｎβｘ＝ｘｆ−１である
ので、 Ｘ＝ａｘ　［ｘ＋ｆ　　ｃｏｔａｌ−’　−−−−（２
）と表現できる。

同様に ０Ｔ＝Ｏ５ｔａｎβ２ の関係が成立するので、 Ｚ　＝　Ｙ　ｔａｎ　Ｂ　ｚ の関係を求め得る。ここでｔａｎβｚ　＝　ｚ　ｆ〜１
であるので、 Ｚ＝ａｚ　　［ｘ＋ｆ　　ｃｏｔａｌ　−’　−−−−
（３１と表現できる。

加えて走査角αが、ＸＹ平面における走査検出装置３３
とミラー１４１とを結ぶ線分とＸ軸とのなす角度すなわ
ち基準走査角α。とミラー１４１の一定角速度ωと時間
ｔ、ｔ”とによって α＝ω（ｔ−ｔ’ｌ＋α。−−−−−、−−−−＋４１
と表現できる。

ここで時間ｔは、ミラー１４１によって反射されたスリ
ット光が走査検出装置３３によって検出された時刻すな
わち基準時刻（たとえば“０”）から、光トランジスタ
３２１ｚ、３２１＋＊、・・・、３２１＋ｎ；３２１ｇ
＋、３２１ｔ＊、・・・、３２１□ｌｌ：・・・：　３
２１．１．３２１−１゜・・・、３２１．ｌｌの各列に
対して反射スリット光が結像装置３１により結像される
時刻までに所要の時間に対しパルス中心検出回路３２３
．、．３２３□、・・・、　３２３　、。

：　３２３□、、３２３゜、・・・、３２３＊ｆｉ　；
　　・・・　：　　３２３−＋、３２３−ｘ、・・・、
３２３□における遅延時間ｔ０を加算した時間である。

したがってｔ−ｔ”は、ミラー１４１によって反射され
たスリット光が走査検出装置３３によって検出された時
刻すなわち基準時刻（たとえば“０“）から、光トラン
ジスタ３２１）．．３２１．□。

・・・、３２１．Ｉｌ：　３２１！、、３２１．、、・
・・、３２１ａ１）；　・・・：３２１．１．３２１．
ｌ、・・・、３２１□の各列に対して反射スリット光が
結像装置３１により結像される時刻までに所要の時間で
ある。

被計測物体践の計測に際して、まず受光装置其に含まれ
た複数の記憶装置３２４．１．３２４＋ａ。

３２４、ｌｌ　：　　３２４２．．３２４゜、・・・、
３２４．、、　　・・・　：　　３２４．、。

３２４、、、・・・、３２４．、、の記憶内容が除去さ
れる。

リット光に変えている。スリット光は、走査装置１４の
ミラー１４１に照射されている。このとき、ミラー１４
１が回転駆動装置１４２により一定角速度ωで回転され
ているので、スリット光は、ミラー１４１によって反射
されたのち、被計測領域に向けそこを一定の回転速度す
なわち一定の回転角速度ωで走査するように送出される
。

スリット光は、被計測領域にある被計測物体２０を綿状
に照射している。このときスリット光の進行方向が走査
装置１４によって一定角速度ωで変化せしめられている
ので、スリット光の照射されている被計測物体紐の領域
は、それに応じて移動している。したがって被計測物体
２０によるスリット光の反射点Ｐ　（Ｘ、Ｙ、２１の位
置が、変化している。

投光装置比のスリット光発生装置１２によってスリット
光が作成されている。すなわち光源１２１の発生したビ
ーム光を円筒レンズ１２２によってス被計測物体践によ
って反射されたスリット光すなわち反射スリット光は、
受光装置共の結像装置３１によって収束され、擾像装置
３２の擾像面すなわち複数の光トランジスタ３２１）１
．３２１＋ｔ、・・・、３２１．、。

；　３２１ｍ１．３２１！、、−−−，３２１２１）：
　・−：　３２１．、．３２１．ｉ。

・・・、３２１．、、上で結像されている０反射スリッ
ト光の結像位置Ｑ（ｘ、ｙ、ｚ）は、スリット光による
被計測領域の走査に応じて複数の光トランジスタ３２１
，１．３２１＋、、・・・、３２Ｌｌｌ；　３２１ｇ＋
、３２１゜、・・３２１ｉｎ：　”’　；　３２１−＋
、３２１−ｉ、＝・、３２１−　　のたとえば列方向に
序々に移動している０反射スリット光が結像されると、
光トランジスタ３２１）．．３２１．□。

・・・、３２１＋ｎ；　３２１ｇ＋、３２１ａ＊、”・
、３２１’ｔｌｌ：　”’　：３２Ｌ１．３２１．□、
・・・、３２１□は、それぞれ導通し、その結像された
反射スリット光の光量に応じた受光信号すなわちパルス
状の受光電流１）１．Ｌｎ、・・・Ｌｎ：Ｌ＋、Ｉｔｔ
、・・・、１．Ｉ、；・・・：Ｉｓ＋＋Ｌｔ、・・・、
■□を発生する。パルス状の受光電流１）１＋Ｉ＋！＋
・・・、Ｌｎ；Ｉｔｔ、Ｉｚｔ、　”・＋Ｉｚｎ：”・
：Ｌ＋＋Ｌｚ。”’＋Ｌｌ’ｌは、それぞれ光トランジ
スタ３２１．、．３２１．□、・・・、３２１．、、；
３２１□、３２１＊＊−・・・、３２１ｔｎ；・・・：
　３２Ｌ、、３２Ｌ、、・・・３２１、、ｌに対して１
対１に付設された比較増幅回路３２２＋＋、３２２＋ａ
、・・・、３２２＋＋＋：３２２□、３２２゜、・・・
、３２２□。

：・・・；３２２．、．３２２□、・・・、３２２□に
よって所望に応じて増幅されかつ基準値と比較されたの
ち、パルス状の増幅電圧Ｓ１．１．Ｓｌ、□、・・・、
Ｓｌ、、１：Ｓｌ、、、Ｓｌ、、、・・、ＳＩ＊ｌｌ：
・・・：ＳＩ−、、Ｓｌ、、、・・・、５Ｉ−ｌｌとし
てそれぞれパルス中心検出回路３２：Ｌ＋、３２３＋□
、・・・、３２３□：３２３□１゜３２３゜、・・・、
３２３□；・・・；３２３．、．３２３□、・・・、３
２３□に与えられる。パルス中心検出回路３２３．、．
３２３．、。

・・・、３２３１）１；３２３□、３２３！ｇ、・・・
、３２３□０：・・・；３２３−＋。

３２３□、・・・、３２３．、は、それぞれパルス状の
増幅電圧ＳＩ＋＋、ＳＩ＋＊、　”・、ＳＩ＋ｎ；ＳＩ
＊＋、ＳＩｚ＊、　・・・、５１２ｎ：・＝：Ｓ１）．
ＳＩ−＊、・・・、ＳＩ□のパルス中心時間位置を検出
し、そのパルス中心時間位置から遅延時間ｔ°だけ遅延
して立ち上がる（もしくは立ち下がる）パルス中心検出
信号を発生し、パルス状のトリガ信号Ｔ１）．Ｔｌ１２
．・・・、Ｔ１）１）：Ｔｌ２８．ＴＩｏ、・・・、Ｔ
ｌ２．ｌ；・・・；Ｔｌ−＋、ＴＩ−ａ、・・・、Ｔ１
．６としてそれぞれ記憶装置３２４１＋、３２４１□、
・・・、３２４．ｌ、：　３２４□、３２４＊ｘ、・・
・３２４ｉｎ：・・・：３２４ｍ＋、３２４−ｖ、・・
・、３２４□に与える。

ここで走査検出装置３３の光トランジスタ３３１は、走
査装置１４のミラー１４１によって反射されたスリット
光が照射されたとき、導通されてそのスリット光の光量
に応じた電流工を発生する。電流Ｉは、光トランジスタ
３３１に付設された比較増幅回路３３２によって所望に
応じて増幅されかつ基準値と比較されたのち、走査基準
信号ＳＩとして撮像装置３２の計数回路３２５に与えら
れる。

計数回路３２５は、走査基準信号ＳＩが与えられると、
そのときの計数内容がリセットされ計数開始時刻が調節
されたのち、再びクロック°パルス発生回路３２６から
与えられたクロックパルス信号ＣＬＰのパルス数を計数
し始める。計数回路３２５の計数内容は、走査基準信号
Ｓ■によってリセットされたときに、たとえば最小値（
たとえば“０”）とされており、クロックパルス信号Ｃ
ＬＰが到来するごとに１ずつ増加せしめられ、最大値（
たとえば“２５５”）となるまで増加せしめられる。

計数回路３２５の計数内容は、それぞれ記憶装置３２４
□、３２４□、・・・−３２４＋ｎ：３２４□、、３２
４゜、・・・、３２４＊ｎ：・・・：３２ｔ、、、３２
４．２．・・・、　３２４．ｌｌに与えられている。

記憶装置３２４＋＋、３２４＋＊、・・・、３２４＋ｌ
ｌ；３２４ｇ＋、３２’ｂｘ。

・・・、３２４．、ｌ：・・・；３２４．１，３２４□
、・・・、３２４□は、トリガ信号ＴＩ＋＋、ＴＩ＋＊
、・・・、Ｔ１．ｌｌ：ＴＩ＊ｔ、ＴＩ□、・・・、Ｔ
１．、。

；・・・、Ｔ１．、、Ｔ１．、、・・・、ＴＩ□が与え
られたときにその立ち上がり（もしくは立ち下がり）に
応じて計数回路３２５から与えられているその計数内容
を記憶し保持する。このときの記憶装置３２４＋＋、３
２４＋ｘ。

・・・、３２４＋ｎ；３２４ｔ＋、３２４ｓ＊、・・・
、　３２４ｔｌｌ；・・・：３２４−、。

３２４□、・・・、３２４．、の記憶内容を、ｉ　ｌ　
ｌ　＋　ｊ　ｌ　＊　＊・・・ｔＩＲ；を黛１＋ｊｌ富
、・・・、ｔ口：・・・；ｔ＋ａ＋、ｔ＋＋＋＊＋・・
・、ｔ□とする。

データ処理装置並は、読込信号発生回路４１から読込信
号ＳＥＬを発生し、受光装置並中のデコーダ回路３２７
に与えている。デコーダ回路３２７は、読込信号ＳＥＬ
をデコードすなわち解読したのち、読込選択信号として
複数の記憶装置３２４□、３２４□。

・・・、３２４１ｎ；３２４ｇ＋、３２４ｔ＊、　”・
、３２４２ｎ：・・・：３２４−＋。

３２４□、・・・、３２４□に与えている。これに応じ
て複数の記憶装置３２４□、３２４．□、・・・、３２
Ｌｎ；３２’ｂ１゜３２４□、・・・、３２４＊ａ；・
・・：３２４−１．３２４□、・・・、３２４□は、そ
の記憶内容ｔｌ　Ｉ　＋　ｊ　ｌ　ｍ　＋・・・＋　ｔ
ｌ　ｎ　：　ｊ　Ｎ　ｌ　＊　ｔｌ２−・・・ｊｉｎ：
・・・：ｉ＋１）１．ｉ＠ｌ＋・・・、ｔｍｌｌを結（
象データエＭＧとして順次、データ処理装置並の記憶装
置４２に向けて出力する。

記憶装置４２は、受光装置並から与えられた結像データ
ＩＭＧすなわち記憶内容ｊ　ｌ　Ｉ　＋　ｉ　Ｉ　Ｍ　
＋・・・＋ｊｌ、ｌ＋ｔ！１ｌ（ｆｉｌ＋・・・、ｔｘ
ｎ：　・・・＊　ｔｍ＋１ｍｇ＋・・・、ｔ□を記憶し
保持する。記憶装置４２に記憶された結像データｌ１４
Ｇは、演算回路４３に与えられており、そこで被測定物
体裁におけるスリット光の反射点Ｐの位置（ｘ、　ｙ、
　ｚ）を算出するために供される。

すなわち演算回路４３は、光トランジスタ３２１）＋。

３２１＋＊、　”・、３２Ｌｆｉ；３２１＊＋、３２１
ｘｉ、　・・・、３２１ｉ−：・・・；３２１、、．３
２１□、・・・、３２１□について、それぞれ上記（４
）式により α目＝ω（ｔ＋＋−ｔ”）＋α。

α直重＝ω　（１−１）−ｔ　”ｌ＋α。

ａｌ１）＝ω　（ｔｌｌｌ−ｔｌ）＋α。

αＩＩ”ω　（ｔ□−ｔａ）十〇。

α■＝ω　（ｔ２諺−ｔ”ｌ＋α。

α！１）Ｆω　（ｔａ、−ｔ＠ｌ＋α。

α１＝ω（ｔ−１−ｔ”）＋α。

α、＝ω（ｔ−ｘ−ｔ”）＋α。

α□＝ω（ｔ□−ｔ”）＋α。

の如く、走査角αを算出する。この走査角αすなわちα
目、α１！、・・・、αｌｎ：　　α２１．α２３．・
・・α□：・・・：　α１．α□、・・・、α、を上記
（１）〜（３）式に代入することにより、光トランジス
タ３２Ｌｔ、３２Ｌ＊、・・・、３２Ｌｎ：　３２１＊
＋、３２１ｉ雪、”’３２１□；・・・：　３２１．、
．３２１．！、・・・、３２１．．１に対応する反射点
Ｐの位置（Ｘ、Ｙ、Ｚｌすなわち反射点ｐＨ＋Ｐ＋ｉ＋
・・・＋　Ｐ　Ｉｎ　：　　Ｐ　（ｆ１ｊ＋　Ｐ　１）
＋・・・、Ｐ、１）：・・・；　Ｐｌ、　Ｐ−ｓ、・・
・、　Ｐ−（７）位置（Ｘ１）．Ｙｌｌ、２１））。

（Ｘ＋ｉ、Ｙｔｘ、Ｚ＋＊）、・・・、（Ｘ＋ｆｉ、Ｙ
＋、１．ＺｔＩｌ）　；　（Ｘｘｒ、Ｙ＊＋。

Ｚｌｌ）、（Ｘｘｒ、Ｙｔｘ、Ｚｍｓｌ、・・・、（Ｘ
ｓ−、Ｙｔｌｌ、Ｚａｎｌ　：　・・・：　　（Ｘ−＋
、Ｙ−＋、Ｚ−＋）、（Ｘ−ｔ、Ｙ、＊、Ｚ−＊１．・
・・、（Ｘ−−、Ｙ−ｆｉ。

２．ｌｌ）を算出する。

演算回路４３の演算結果すなわち被測定物体裁における
スリット光の反射点Ｐの位置（Ｘ、Ｙ、２）の算出結果
は、他の記憶装置４４に与えられて記憶され保持される
。記憶装置４４の記憶内容は、所望により、表示装置４
５により視認可能に表示され、また記録装置４６により
記録される。

ここで上述した受光装置並中のパルス中心検出回路３２
３．、．３２３□、・・・、３２：Ｌｎ：３２３□、３
２３＊＊、・・・３２３□。：・・・：３２３＋＋ｔ＋
、３２３ａｉ、・・・、３２３□について、その構成お
よび作用を詳細に説明する。パルス中心検出回路３２３
□、３２３□、・・・、３２３＋−；３２３＊＋、３２
３゜。

・・・、３２３．、：・・・；３２３．、．３２３□、
・・・、３２３工は、全て同一の構成を有しているので
５便宜上ここでは、パルス中心検出回路３２３１　Ｊに
ついてのみ説明する（ｉ＝１−ｍ、ｊ＝１〜ｎ）。

パルス中心検出回路３２３１　Ｊは、たとえば第４図お
よび第５図に図示したごとく構成すればよい。

以下に、これを詳述する。

第４図および第５図を参照しつつ、パルス中心検出回路
３２３１　Ｊの構成について説明する。

パルス中心検出回路３２３１　Ｊは、比較増幅回路３２
２１　Ｊの出力端に対して入力端が接続されており入力
パルスすなわちパルス状の増幅電圧Ｓ１．、　（ここで
は矩形パルスとして図示する。以下同様、）が入力され
たときそのパルス幅Ｔを計測しパルス幅信号Ｓｏとして
出力するパルス幅計測回路Δと、パルス幅計測回路Δの
出力端に対して入力端が接続されておりパルス幅信号８
．２の内容（すなわちパルス幅Ｔ）を入力パルスすなわ
ちパルス状の増幅電圧Ｓ１．、のパルス中心時間位置に
対応した除数すなわち２で除算し除算信号Ｓａｇとして
出力する除算回路旦と、除算回路旦の出力端に対して入
力端が接続されており除算信号Ｓ０の内容（すなわち時
間幅Ｔ／２）を所望の設定遅延時間Ｔｍｚｒ　　（＝ｔ
”；以下同様）から減算し遅延指令信号Ｓ２として出力
する減算回路Ωと、減算回路Ωの出力端に対して入力端
が接続されかつ出力端が記憶装置３２４　、　、のトリ
ガ端に接続されており遅延指令信号ＳＦに応じてパルス
中心検出信号を発生しトリガ信号ＴＩ、Ｊとして出力す
ることにより記憶装置３２４１　Ｊのトリガ端に与える
出力回路旦とを包有している。

しかして第４図および第５図を参照しつつ、パルス中心
検出回路３２３１　Ｊの作用について説明する。

パルス中心検出回路３２３１　Ｊのパルス幅計測回路Δ
は、比較増幅回路３２２１　Ｊから入力端に入力パルス
すなわちパルス状の増幅電圧Ｓ１．Ｊが与えられたとき
、その時間幅すなわちパルス幅Ｔを計測し、パルス幅信
号Ｓ、とじて出力する。

除算回路旦は、パルス幅計測回路Δの出力すなわちパル
ス幅信号Ｓ１．ｌの内容（すなわちパルス幅Ｔ）を入力
パルスすなわちパルス状の増幅電圧Ｓ１．、のパルス中
心時間位置に対応した除数すなわち２で除算してＴ／２
を算出し、除算信号Ｓ３゜とじて出力する。

減算回路Ωは、除算回路旦の出力すなわち除算信号Ｓｓ
。の内容Ｔ／２を所定の設定遅延時間ＴＩＥＴから減算
することにより、所要の遅延時間Ｔ　ＳＥＴ　−Ｔ　／
　２を算出し、遅延指令信号Ｓｒとして出力する。

出力回路旦は、減算回路二の出力すなわち遅延指令信号
Ｓｒの内容（すなわちＴ　ｓｔｒ　−Ｔ　／　２　）に
応じた時間だけ入力パルスすなわちパルス状の増幅電圧
ＳＩＩ、の後端時間位置（すなわちＴｏ＋Ｔ／２）から
遅延した時間位置（すなわちＴｏ＋Ｔ＠ｔｔ）でパルス
中心検出信号を発生し、パルス状のトリガ信号ＴＩ、、
（ここでは矩形パルスとして図示する。以下同様、）と
して記憶装置３２４　、　Ｊのトリガ端に向け出力する
。

上述したパルス中心検出回路３２３　、　Ｊは、具体的
には、たとえば第６図および第７図に示したごとく構成
すればよい。以下に、これを詳述する。

第６図および第７図を参照しつつ、パルス中心検出回路
３２３　、　、の構成について説明する。

パルス幅計測回路Δは、一方の入力端に対して制御回路
旦に包有されたクロックパルス発生回路ＣＬＫからクロ
ックパルス信号Ｓ　Ｃ１＋が与えられかつ他方の入力端
に対して比較増幅回路３２２　、　Ｊから入力パルスす
なわちパルス状の増幅電圧Ｓ１．、が与えられており入
力パルスすなわちパルス状の増幅電圧Ｓ１．、の到来し
ている時間（すなわちそのパルス幅Ｔに対応した時間）
内にクロックパルス信号Ｓ０を通過せしめ出力端からク
ロックパルス信号Ｓ　ｅｌｌ”として出力するゲート回
路としてのアンド回路ＡＮＤと、クロックパルス入力端
ＧＫに対しアンド回路ＡＮＤの出力端が接続されており
入力パルスすなわちパルス状の増幅電圧５ＩＩＪの到来
している時間内にクロックパルス信号Ｓ　ＣＫ”が与え
られるカウンタＣＮＴとを包有している。

除算回路旦は、パルス幅計測回路Δに包有されたカウン
タＣＮＴの出力端Ｑに対しデータ入力端Ａが接続されて
おりカウンタＣＮＴの計数内容（すなわちパルス状の増
幅電圧ＳＩ、、のパルス幅Ｔ）がパルス幅信号Ｓ、とし
て入力されたのちそれを入力パルスすなわちパルス状の
増幅電圧５ＩＩＪの中心時間位置に対応した除数すなわ
ち２によって除算した結果Ｔ／２を出力するシフトレジ
スタＳＨＴを包有している。

減算回路Ωは、除算回路旦に包有されたシフトレジスタ
ＳＨＴの出力端Ｑに対して入力端が接続されたノット回
路ＮＯＴと、ノット回路ＮＯＴの出力端に対しデータ入
力端Ｂが接続された全加算器ＡＤＤと、全加算器ＡＤＤ
の他のデータ入力端Ａに対し出力端が接続されており所
望の遅延時間Ｔｓｔｒの設定（設定された遅延時間ＴＩ
Ｅアを“設定遅延時間“という）を行なう設定回路ＳＥ
Ｔとを包有している。

出力回路旦は、データ入力端Ａが減算回路旦に含まれた
全加算器ＡＤＤの出力端Ｆに対して接続されており全加
算器ＡＤＤの出力する遅延指令信号Ｓｒに応じてパルス
中心検出信号を発生しトリガ信号ＴＩ、、として出力端
Ｑから記憶装置３２４　、　、に対するトリガ信号ＴＩ
＋＝とじて出力するダウンカウンタＤＣＮＴを包有して
いる。

制御回路旦は、パルス幅計測回路Δ、除算回路旦および
出力回路旦の一部を構成する制御回路であるが、ここで
は説明の都合上、パルス幅計測回路Δ、除算回路旦およ
び出力回路旦から独立して図示されている。すなわち制
御回路旦は、上述したクロックパルス発生回路ＣＩＪと
、クロックパルス入力端ＣＫがクロックパルス発生回路
ＣＬにの出力端に対して接続されクリア入力端ＣＬがダ
ウンカウンタＤＣＮＴの出力端に接続されており制御入
力端ＣＴが入力パルスすなわちパルス状の増幅電圧Ｓ１
．、の供給源たる比較増幅回路３２２１　Ｊに対して接
続された制御パルス発生回路ＣＴＲを包有している。ま
た制御パルス発生回路ＣＴＲは、第１の出力端（すなわ
ちクリア出力端）Ｑｌがパルス幅計測回路Δに包有され
たカウンタＣＮＴのクリア入力端ＣＬに対して接続され
ており、第２．第３の出力端（すなわちロード出力端お
よびシフト出力端）Ｑａ、Ｑ−がそれぞれ除算回路旦に
包有されたシフトレジスタＳＨＴのロード入力端ＬＤお
よびシフト入力端ＳＴに接続されており、第４．第５の
出力端（すなわち他のロード出力端およびクロックパル
ス出力端）Ｑ、、Ｑ、がそれぞれ出力回路旦に包有され
たダウンカウンタＤＣＮＴのロード入力端ＬＤおよびク
ロックパルス入力端ＧＫに接続されている。

しかして第６図および第７図を参照しつつ、パルス中心
検出回路３２３　、　、の作用について説明する。

制御回路旦において、クロックパルス発生回路ＣＬＫか
らクロックパルス信号５ｅ１）が出力されており、パル
ス幅計測回路Δに包有されたアンド回路ＡＮＤの一方の
入力端と、制御パルス発生回路ＣＴＲのクロックパルス
入力端ＧＫとに対して与えられている。

この状態でパルス幅計測回路Δに包有されたアンド回路
ＡＮＤの他の入力端に対して入力パルスすなわちパルス
状の増幅電圧５ＩＩＪが比較増幅回路３２２１　Ｊから
到来すると、そのＨレベル（以下この場合を例示的に説
明する）の期間すなわち入力パルスすなわちパルス状の
増幅電圧５ＩＩＪのパルス幅Ｔに対応してアンド回路Ａ
ＮＤの出力端からクロックパルス信号ＳｃＸが出力され
る。クロックパルス信号Ｓｅｘ”は、カウンタＣＮＴの
クロックパルス入力端ＣＫに与えられているので、カウ
ンタＣＮＴがクロックパルス信号Ｓｃ＋＋”に含まれた
パルスの数を計数する。カウンタＣＮＴの計数内容は、
入力パルスすなわちパルス状の増幅電圧５ＩＩＪのパル
ス幅Ｔに対応しており、その出力端Ｑからパルス幅信号
Ｓ、として除算回路旦に包有されたシフトレジスタＳＨ
Ｔのデータ入力端Ａに与えられる。

入力パルスすなわちパルス状の増幅電圧Ｓ１．、が比較
増幅回路３２２　、　、かう到来すると、そのＨレベル
が終了したのち制御回路旦に包有された制御パルス発生
回路ＣＴＲの出力端Ｑ２からロード信号Ｓ　ｗｈｏが出
力され、除算回路旦に包有されたシフトレジスタＳＨＴ
のロード入力端ＬＤに与えられる。

これによりシフトレジスタＳＨＴは、データ入力端Ａに
与えられているパルス幅信号Ｓｏの内容を読み込む。

そののち制御パルス発生回路ＣＴＨの出力端Ｑ。

からシフト信号Ｓ。Ｔが発生され、シフトレジスタＳＨ
Ｔのシフト入力端ＳＴに与えられる。これによりシフト
レジスタＳＨＴは、カウンタＣＮＴから入力されたパル
ス幅信号Ｓ、の内容を１ビツトだけ下位ビット方向にシ
フトし、かつ空白となった最上位ビットに対しＯを設定
する。結果的にカウンタＣＮＴから入力されたパルス幅
信号Ｓｏの内容が、入力パルスすなわちパルス状の増幅
電圧ＳＩ、Ｊの中心時間位置に対応した除数すなわち２
によって除算される。これにより、入力パルスすなわち
パルス状の増幅電圧Ｓ１．、のうち所望の中心時間位置
■。からその後端時間位置までの時間幅Ｔ／２が算出さ
れる。

シフトレジスタＳＨＴ　ｉこおける除算結果は、その出
力端Ｑから除算信号Ｓｓｏとして減算回路Ωに包有され
たノット回路ＮＯＴに与えられている。ノット回路ＮＯ
Ｔは、除算信号ＳｓＱを反転し、反転除算信号Ｓｓｏと
して全加算器ＡＤＤのデータ入力端Ｂに与えている。減
算回路立では、設定回路ＳＥＴに対し所望の設定遅延時
間Ｔ、ｔアが設定されており、出力端からその内容が設
定遅延信号Ｓ、とじて全加算器ＡＤＤのデータ入力端Ａ
に与えられている。

全加算器ＡＤＤでは、データ入力端Ａに対し入力された
設定遅延信号Ｓ、とデータ入力端Ｂに対し入力された反
転除算信号Ｓ０とがキャリー入力端Ｃに入力されている
キャリー信号”１”に対して加算され、結果的に設定回
路ＳＥＴに対して設定された設定遅延時間Ｔｓｉｔから
除算回路旦における除算結果Ｔ／２を減算することによ
り実際の遅延時間（すなわちパルス状の増幅電圧ＳＬＪ
の後端時間位置からパルス中心検出信号すなわちトリガ
信号ＴＩ、Ｊが発生されるまでの時間幅）　Ｔ　ｓｔｒ
　−Ｔ　／　２が算出される。

その結果は、全加算器ＡＤＤの出力端Ｆから遅延指令信
号Ｓ、として出力回路旦に包有されたダウンカウンタ［
１ＣＮＴのデータ人力ｍＡに与えられる。

このとき制御パルス発生回路ＣＴＲの出力端Ｑ４からロ
ード信号Ｓ　ＬＤが発生され、ダウンカウンタＤＣＮＴ
のロード入力端ＬＤに対して与えられているので、デー
タ入力端Ａに与えられている遅延指令信号Ｓ、の内容が
読み込まれ、その遅延指令信号ＳＦの内容がダウンカウ
ンタＤＣＮＴの中に保持される。

そののち制御パルス発生回路ＣＴＲの出力端Ｑ６からク
ロックパルス信号Ｓ。ｅＫが発生され、ダウンカウンタ
ＤＣＮＴのクロックパルス入力端ＣＫに対して与えられ
ているので、ダウンカウンタＤＣＮＴでは、全加算器Ａ
ＤＤから遅延指令信号Ｓｒとして入力された内容（すな
わち実際の遅延時間Ｔ−７−Ｔ／２）からクロックパル
ス入力端（Ｊに与えられているクロックパルス信号５Ｉ
ｌｌｃＸが到来するごとに１つずつ減算される。遅延指
令信号ｓ１として入力された内容（すなわち実際の遅延
時間Ｔｓｔア−Ｔ／２）に対応する数だけのクロックパ
ルスがクロックパルス信号Ｓ０゜によってクロックパル
ス入力端ＧＫに与えられたとき、ダウンカウンタＤＣＮ
Ｔの計数内容は０となるので、パルス中心検出信号が発
生され、その出力端Ｑからパルス状のトリガ信号ＴＩＩ
Ｊとして出力され、記憶装置３２４１　Ｊのトリガ端に
与えられる。

パルス中心検出信号すなわちトリガ信号Ｔ■ｌＪは、制
御パルス発生回路ＣＴＲのクリア入力端ＣＬに与えられ
、制御パルス発生回路ＣＴＲ、の内容をクリアしており
、後続の入力パルスすなわちパルス状の増幅電圧５ＩＩ
Ｊの到来に備えられる。

それに先立って制御パルス発生回路ＣＴＲは、出力端Ｑ
１からクリア信号Ｓ　ｅＬを発生してカウンタＣＮＴの
クリア入力端ＣＬに与え、カウンタＣＮＴをクリアして
おり、後続の入力パルスすなわちパルス状の増幅電圧５
ＩＩＪの到来に備えられる。

またパルス中心検出回路３２３１Ｊは、たとえば第８図
および第９図に示したごとく構成してもよい、以下に、
これを詳述する。

第８図および第９図を参照しつつ、パルス中心検出回路
３２３　、　Ｊの構成について説明する。

パルス幅計測回路Ａは、一方の入力端に対して制御回路
旦に包有されたクロックパルス発生回路ＣＬＫからクロ
ックパルス信号Ｓ　ＣＫが与えられかつ他方の入力端に
対して比較増幅回路３２２１　Ｊから入力パルスすなわ
ちパルス状の増幅電圧Ｓ１．、が与えられており入力パ
ルスすなわちパルス状の増幅電圧ＳＩ、、の到来してい
る時間（すなわちそのパルス幅Ｔに対応した時間）内に
クロックパルス信号Ｓ　ｅｋを通過せしめ出力端からク
ロックパルス信号ＳＣＸ”として出力するゲート回路と
してのアンド回路ＡＮＤと、クロックパルス入力端ＧＫ
に対しアンド回路ＡＮＤの出力端が接続されており入力
パルスすなわちパルス状の増幅電圧５ＩＩＪの到来して
いる時間内にクロックパルス信号Ｓ　ＣＫ”が与えられ
るカウンタＡＣＮＴとを包有している。

除算回路旦は、パルス幅計測回路Δに包有されたカウン
タＡＣＮＴの出力端Ｑに対しデータ入力端Ａが接続され
ておりカウンタＡＣＮＴの計数内容（すなわち増幅電圧
Ｓ１．、のパルス幅Ｔ）がパルス幅信号ＳＡＱとして入
力されたのちそれを入力パルスすなわちパルス状の増幅
電圧５ＩＩＪの中心時間位置に対応した除数すなわち２
によって除算した結果Ｔ／２を出力するシフトレジスタ
ＳＩＴを包有している。

減算回路Ωは、除算回路旦に包有されたシフトレジスタ
ＳＨＴの出力端Ｑに対して入力端が接続されたノット回
路ＮＯＴと、ノット回路ＮＯＴの出力端に対しデータ入
力端Ｂが接続された全加算器ＡＤＤと、全加算器ＡＤＤ
の他のデータ入力端Ａに対し出力端が接続されており所
望の遅延時間Ｔ　ｍｔｒの設定（設定された遅延時間Ｔ
ｍｔｒを°゛設定遅延時間Ｔ　ｍｅｔ“という）を行な
う設定回路ＳＥＴとを包有している。

出力回路旦は、データ入力端Ａが減算回路Ωに含まれた
全加算器ＡＤＤの出力端Ｆに対して接続されており全加
算器ＡＤＤの出力する遅延指令信号ＳＦに応じてパルス
中心検出信号を発生しトリガ信号ＴＩ、、として出力端
Ｑから記憶装置３２４１　Ｊに対して出力する比較回路
ＣＭＰと、比較回路ＣＭＰのデータ入力端Ｂに対して出
力端Ｑが接続されかつクリア入力端が比較回路ＣＭＰの
出力端Ｑに接続されたカウンタＢＣＮＴを包有している
。

制御回路旦は、パルス幅計測回路Δ、除算回路旦および
出力回路旦の一部を構成する制御回路であるが、ここで
は説明の都合上、パルス幅計測回路Δ、除算回路旦およ
び出力回路旦から独立して図示されている。すなわち制
御回路旦は、上述したクロックパルス発生回路ＣＬにと
、クロックパルス入力端ＣＫがクロックパルス発生回路
ＣＬＫの出力端に対して接続されクリア入力端ＣＬが比
較回路ＣＭＰの出力端に接続されており制御入力端ＣＴ
が入力パルスすなわちパルス状の増幅電圧の５ＩＩＪの
供給源たる比較増幅回路３２２１　Ｊに対して接続され
た制御パルス発生回路ＣＴＲを包有している。また制御
パルス発生回路ＣＴＲは、第１の出力端（すなわちクリ
ア出力端ＩＱ、がパルス幅計測回路Δに包有されたカウ
ンタＡＣＮＴのクリア入力端ＣＬに対して接続されてお
り、第２．第３の出力端（すなわちロード出力端および
シフト出力端ＩＱ、、Ｑ、がそれぞれ除算回路旦に包有
されたシフトレジスタＳＩＴのロード入力端ＬＤおよび
シフト入力端ＳＴに接続されており、第４の出力端（す
なわちクロックパルス出力端ＩＱ、が出力回路旦に包有
されたカウンタＢＣＮＴのクロックパルス入力端ＣＫに
接続されている。

しかして第８図および第９図を参照しつつ、パルス中心
検出回路３２３　ｔ　Ｊの作用について説明する。

制御回路旦において、クロックパルス発生回路ＣＬＫか
らクロックパルス信号Ｓ　Ｃｋが出力されており、パル
ス幅計測回路Δに包有されたアンド回路ＡＮＤの一方の
入力端と、制御パルス発生回路ＣＴＲのクロックパルス
入力端ＣＫとに対して与えられている。

この状態でパルス幅計測回路Δに包有されたアンド回路
ＡＮＤの他の入力端に対して入力パルスすなわちパルス
状の増幅電圧Ｓｌ、、が比較増幅回路３２２゜から到来
すると、そのＨレベル（以下この場合を例示的に説明す
る）の期間すなわち入力パルスすなわちパルス状の増幅
電圧Ｓ１．、のパルス幅Ｔに対応してアンド回路ＡＮＤ
の出力端からクロックパルス信号Ｓ　ｅＫ”が出力され
る。クロックパルス信号５ｃＩｌ′は、カウンタＡＣＮ
Ｔのクロックパルス入力端ＣＫに与えられているので、
カウンタＡＣＮＴがクロックパルス信号Ｓ　ｃｘ”に含
まれたパルスの数を計数する。カウンタＡＣＮＴの計数
内容は、入力パルスすなわちパルス状の増幅電圧ＳＩ、
、のパルス幅Ｔに対応しており、その出力端Ｑからパル
ス幅信号Ｓ　ＡＱとして除算回路旦に包有されたシフト
レジスタＳＨＴのデータ入力端Ａに与えられる。

入力パルスすなわちパルス状の増幅電圧Ｓ１．、が比較
増幅回路３２２１　Ｊから到来すると、そのＨレベルが
終了したのち制御回路旦に包有された制御パルス発生回
路ＣＴＲの出力端Ｑ２からロード信号Ｓ　ＩＬＤが出力
され、除算回路旦に包有されたシフトレジスタＳＨＴの
ロード入力端ＬＤに与久られる。

これによりシフトレジスタＳＨＴは、データ入力端Ａに
与えられているパルス幅信号ＳＡ、の内容を読み込む。

そののち制御パルス発生回路ＣＴＲの出力端Ｑ３からシ
フト信号ＳＳＳアが発生され、シフトレジスタＳＨＴの
シフト入力端ＳＴに与えられる。これによりシフトレジ
スタＳＨＴは、カウンタＡＣＮＴから入力されたパルス
幅信号Ｓ　ＡＯの内容を１ビツトだけ下位ビット方向に
シフトし、かつ空白となった最上位ビットに対し０を設
定する。結果的にカウンタＡＣＮＴから入力されたパル
ス幅信号Ｓ　ＡＱの内容が、入力パルスすなわちパルス
状の増幅電圧Ｓ１．、の中心時間位置に対応した除数す
なわち２によって除算される。これにより、入力パルス
すなわちパルス状の増幅電圧５ＩＩＪのうち所望の中心
時間位置Ｔ０からその後端時間位置までの時間幅Ｔ／２
が算出される。

シフトレジスタＳＨＴにおける除算結果は、その出力端
Ｑから除算信号Ｓｓｏとして減算回路旦に包有されたノ
ット回路ＮＯＴに与えられている。ノット回路ＮＯＴは
、除算信号Ｓ０を反転し、反転除算信号Ｓ０として全加
算器ＡＤ［＋のデータ入力端Ｂに与えている。減算回路
Ωでは、設定回路ＳＥＴに対し所望の設定遅延時間ＴＩ
Ｅアが設定されており、出力端からその内容が設定遅延
信号Ｓ３として全加算器ＡＤＤのデータ入力端Ａに与え
られている。

全加算器ＡＤＤでは、データ入力端Ａに対し入力された
設定遅延信号Ｓ、とデータ入力端Ｂに対し入力された反
転除算信号Ｓ３゜とがキャリー入力端Ｃに入力されてい
るキャリー信号゛１”に対して加算され、結果的に設定
回路ＳＥＴに対して設定された設定遅延時間Ｔｓｔｔか
ら除算回路旦における除算結果Ｔ／２を減算することに
より実際の遅延時間（すなわちパルス状の増幅電圧５Ｉ
ＩＪの後端時間位置からパルス中心検出信号すなわちト
リガ信号ＴＩ、Ｊが発生されるまでの時間幅）Ｔ、Ｅア
ーＴ／２が算出される。

その結果は、全加算器ＡＤＤの出力端Ｆから遅延指令信
号ＳＦとして出力回路旦に包有された比較回路ＣＭＰの
データ入力端Ａに与えられる。このとき入力パルスすな
わちパルス状の増幅電圧Ｓ１．、の後端時間位置に応じ
て制御パルス発生回路ＣＴＲの出力端Ｑ４からクロック
パルス信号Ｓ　ｍｃｘが発生され始め、カウンタＢＣＮ
Ｔのクロックパルス入力端Ｃにに対して与えられている
ので、カウンタＢＣＮＴはクロックパルス信号Ｓ　ｓｃ
ｇに含まれたパルスの数を計数し始める。カウンタＢＣ
ＮＴの計数値は、計数値信号Ｓｍｏとして比較回路ＣＭ
Ｐのデータ入力端Ｂに与えられているので、その計数値
が比較回路ＣＭＰのデータ入力端Ａに与えられている遅
延指令信号ＳＦの内容すなわち実際の遅延時間ＴｓｔＴ
−Ｔ／２に一致したとき、比較回路ＣＭＰにおいてパル
ス中心検出信号が発生され、その出力端Ｑからパルス状
のトリガ信号Ｔ１．Ｊとして出力され、記憶装置３２４
１　Ｊのトリガ端に与えられる。

パルス中心検出信号すなわちトリガ信号ＴＩＩＪは、制
御パルス発生回路ＣＴＨのクリア入力端ＣＬおよびカウ
ンタＢＣＮＴのクリア入力端ＣＬに与えられ、制御パル
ス発生回路ＣＴＲおよびカウンタＢＣＮＴの内容をクリ
アしており、後続の入力パルスすなわちパルス状の増幅
電圧ＳＩ、Ｊの到来に備えられる。

それに先立って制御パルス発生回路ＣＴＲは、出力端Ｑ
、からクリア信号Ｓ　ＣＬを発生してカウンタＡＣＮＴ
のクリア入力端ＣＬに与え、カウンタＡＣＮＴをクリア
しており、後続の入力パルスすなわち増幅電圧５ＩＩＪ
の到来に備えられる。

なお上述においては、パルス中心検出回路３２３□、３
２３□、・・・、３２３１．、；３２３．、．３２３゜
、・・・、３２３□。；・・・；３２３＋ａ＋、３２３
□、・・・、３２３□が比較増幅回路３２２．１．３２
２＋□、・・・、３２２１ｎ；３２２□、３２２ｇｇ、
・・・、３２２□：・・・：３２２−＋、３２２−＊、
・・・、３２２□と記憶装置３２４　＋　＋　。

３２４□、・・・、３２４＋ｌｌ；３２４＊＋、３２４
ｘｘ、・・・、３２４□１）：・・・：３２４１゜３２
４−ｉ、・・・、３２４□との間に配設されているが、
本発明は、これに限定されるものではなく、パルス中心
検出回路３２３．、．３２３．２．・・・、３２３．ｌ
ｌ；３２３□、３２３ｇｇ、・・・、３２３．、：・・
・；３２３□、３２３−ｘ、・・・３２３、、が第１の
光センサ装置の光トランジスタ３２１）１，３２１）＊
、・・・、３２１．．１：３２１□、３２１＊＊、・・
・、３２１ｚｎ：・・・；３２１）．３２１−ｘ、・・
・、３２１．ｌｌと比較増幅回路３２２□、３２２＋ｚ
、・・・、３２２．ｌｌ；３２２．、．３２２゜、・・
・。３２２□：・・・；３２２．、．３２２□、・・・
、３２２□との間に配設される場合を包有する。

また上述においては、比較増幅回路３２２．、。

３２２゜、・・・、３２２＋ｎ：３２２＊３，３２２禦
ｚ、・・・、３２２！ｆｉ＝・・・；３２２＝１．３２
２□、・・・、３２２．、が包有される場合について説
明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、
これらが除去された場合を包有する。したがってこの場
合は、パルス中心検出回路３２３、＋　、　３２３□、
　”　’、　３２３ｒＩ、：３２３ｘｒ、　３２３ｚｘ
、　”　’、　３２３ａｎ：・・・；３２３１）１）．
３２３□、・・・、３２３□の入力端が第１の光センサ
装置の光トランジスタ３２１＋８．３２１＋ａ、・・・
３２１）、ｌ；３２１ｃ＋、３２１＊＊、・・・、３２
１＊ｎ；・・・；３２１ｍ＋、３２１ｍｇ。

・・・、３２１□の出力端に対して直接に接続される。

加えて上述においては１ｗ４像装置３２がマトリックス
状に配列された複数の光センサによって形成される場合
について主として説明したが、本発明は、これに限定さ
れるものではなく、所望の形状（たとえば曲線状）に複
数の光センサを配列して撮像装置を形成する場合も包摂
している。

更に投光装置圧がスリット光を発生しているが、本発明
は、これに限定されるものではなく、たとえば投光装置
によって発生される光の強度を確保したい場合などのた
めに、投光装置がビーム光を発生する場合も包摂してい
る。この場合には、撮像装置の光センサを１行に配列し
てもよかろう。

（３）発明の効果 上述により明らかなように本発明にかかる物体計測装置
は、 （ａ）被計測領域を走査するための光を発生する投光装
置と、 （ｂｌ投光装置によって発生された光が被計測領域に配
置された被計測物体によって反射されることにより得ら
れた反射光を収束して被計測物体における光の反射点の
像を結像せしめる結像装置と、 （ｅ）結像装置によって結像された反射点の像によって
動作せしめられる複数の光センサからなる第１の光セン
サ装置と、 ｆｄｌ投光装置で被計測領域を走査するために発生され
た光によって動作せしめられる第２の光センサ装置と、 （ｅ＋前記第２の光センサ装置に対してリセット端が接
続され第２の光センサ装置の光検知によって発生された
走査基準信号がリセット信号として与えられており、リ
セットののち入力端に与えられたクロックパルスの数を
計数する計数回路と。

（ｆｌ第１の光センサ装置に属する光センサに対して１
対ｌで付設されており、第１の光センサ装置に属する複
数の光センサが動作されたときにそれぞれ発生される受
光信号に応じて計数回路から入力されている計数内容を
記憶するための複数の記憶装置と、 （ｇｌ第１の光センサ装置に属する複数の光センサと複
数の記憶装置との間にそれぞれ配設されており、第１の
光センサ装置に属する複数の光センサがそれぞれ出力す
る受光信号のパルス中心を検出し検出結果に応じてトリ
ガ信号を記憶装置に与＾る複数のパルス中心検出回路と
。

（ｈｌ記憶装置の記憶内８を受け取り、投光装置による
反射点の走査角を算出し、かつ算出された走査角から反
射点の位置を算出するデータ処理装置と を備えてなるので、 （ｉ） 第１の光センサ装置に属する 複数の光センサ上の結像がピ ントズレを生じても高分解能 を維持できる効果 を有し、また （ｉｉｌ第１の光センサ装置に属する 複数の光センサなどの部材感 度にバラツキがあってもその 受光信号のパルス幅が変化す ることを修復できる効果 を有し、ひいては （ｉｉｉ）ピントズレあるいは部材感度のバラツキに伴
なう物体計測 の精度低下を回避できる効果 を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明にかかる物体計測装置の一実施例を示す
斜視図、第２図は第１図実施例の一部を拡大して示す拡
大部分斜視図、第３図は第１図実施例の一部を拡大して
示す拡大部回路図、第４図は第２図の一部を拡大して示
すブロック回路図、第５図は第４図の動作を説明するた
めのタイムチャート図、第６図は第４図を具体化して示
す詳細ブロック回路図、第７図は第６図の動作を説明す
るためのタイムチャート図、第８図は第４図を具体化し
て示す他の詳細ブロック回路図、第９図は第８図の動作
を説明するためのタイムチャート図である。 ＩＯ・・・・・・・・・・・・・・・・・・投光装置１
２・・・・・・・・・・・・・・・・スリット光発生装
置１２１・・・・・・・・・・・・・光源１２２・・・
・・・・・・・・・・円筒レンズ１４・・・・・・・・
・・・・・・・・走査装置１４１・・・・・・・・・・
・・・くツー１４２・・・・・・・・・・・・・回転駆
動装置２０・・・・・・・・・・・・・・・・・・被計
測物体３０・・・・・・・・・・・・・・・・・・受光
装置３１・・・・・・・・・・・・・・・・結像装置３
２・・・・・・・・・・・・・・・・撮像装置３２Ｌ＋
〜３２１．・・・光トランジスタ３２２＋１〜３２２□
・・・比較増幅回路３２３、、〜３２３□・・・パルス
中心検出回路３２４、、〜３２４□・・・記憶装置 ３２５・・・・・・・・・・・・・計数回路３２６・・
・・・・・・・・・・・クロックパルス発生回路 ３２７・・・・・・・・・・・・・デコーダ回路３３・
・・・・・・・・・・・・・・・走査検出装置３３１・
・・・・・・・・・・・・光トランジスタ３３２・・・
・・・・・・・・・・比較増幅回路４０・・・・・・・
・・・・・・・・・・・データ処理装置４１・・・・・
・・・・・・・・・・・読込信号発生回路４２・・・・
・・・・・・・・・・・・記憶装置４３・・・・・・・
・・・・・・・・・演算回路４４・・・・・・・・・・
・・・・・・記憶装置４５・・・・・・・・・・・・・
・・・表示装置４６・・・・・・・・・・・・・・・・
記録装置Ａ・・・・・・・・・・・・・・・・・・パル
ス幅計測回路ＡＮＤ・・・・・・・・・・・・・・・ア
ンド回路ＣＮＴ・・・・・・・・・・・・・・・カウン
タＡＣＮＴ・・・・・・・・・・・・・・カウンタＢ・
・・・・・・・・・・・・・・・・・除算回路ＳＨＴ・
・・・・・・・・・・・・・・シフトレジスタＣ・・・
・・・・・・・・・・・・・・・減算回路ＡＤＤ・・・
・・・・・・・・・・・・全加算器ＮＯＴ・・・・・・
・・・・・・・・・ノット回路ＳＥＴ・・・・・・・・
・・・・・・・設定回路Ｄ・・・・・・・・・・・・・
・・・・・出力回路ＤＣＮＴ・・・・・・・・・・・・
・・ダウンカウンタＣＭＰ・・・・・・・・・・・・・
・・比較回路ＢＣＮＴ・・・・・・・・・・・・・・カ
ウンタＥ・・・・・・・・・・・・・・・・・・制御回
路ＣＬＫ・・・・・・・・・・・・・・・クロックパル
ス発生回路

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）（ａ）被計測領域を走査するための光を発生する
   投光装置と、 （ｂ）投光装置によって発生された光が被計測領域に配
   置された被計測物体によって反射されることにより得ら
   れた反射光を収束して被計測物体における光の反射点の
   像を結像せしめる結像装置と、 （ｃ）結像装置によって結像された反射点の像によって
   動作せしめられる複数の光センサからなる第１の光セン
   サ装置と、 （ｄ）投光装置で被計測領域を走査するために発生され
   た光によって動作せしめられる第２の光センサ装置と、 （ｅ）前記第２の光センサ装置に対してリセット端が接
   続され第２の光センサ装置の光検知によって発生された
   走査基準信号がリセット信号として与えられており、リ
   セットののち入力端に与えられたクロックパルスの数を
   計数する計数回路と、 （ｆ）第１の光センサ装置に属する光センサに対して１
   対１で付設されており、第１の光センサ装置に属する複
   数の光センサが動作されたときにそれぞれ発生される受
   光信号に応じて計数回路から入力されている計数内容を
   記憶するための複数の記憶装置と、 （ｇ）第１の光センサ装置に属する複数の光センサと複
   数の記憶装置との間にそれぞれ配設されており、第１の
   光センサ装置に属する複数の光センサがそれぞれ出力す
   る受光信号のパルス中心を検出し検出結果に応じてトリ
   ガ信号を記憶装置に与える複数のパルス中心検出回路と
   、 （ｈ）記憶装置の記憶内容を受け取り、投光装置による
   反射点の走査角を算出し、かつ算出された走査角から反
   射点の位置を算出するデータ処理装置と を備えてなる物体計測装置。
2. （２）複数のパルス中心検出回路が、それぞれ （ａ）受光信号のパルス幅を計測し、パルス幅信号とし
   て出力するパルス幅計測回路と、（ｂ）パルス幅計測回
   路からパルス幅信号として入力された受光信号のパルス
   幅を２によって除算することにより、受光信号の中心時
   間位置から後端時間位置までの時間幅を算出し、除算信
   号として出力する除算回路と、 （ｃ）除算回路から除算信号として入力された時間幅を
   所望の遅延時間から減算することにより、受光信号の後
   端時間位置からパルス中心検出信号の出力されるべき時
   間位置までの時間幅を算出し、遅延指令信号として出力
   する減算回路と、 （ｄ）減算回路から遅延指令信号として入力された時間
   幅に応じた時間だけ受光信号の後端時間位置から遅延し
   た時間位置でパルス中心検出信号を発生し記憶装置に向
   けトリガ信号として出力する出力回路と を備えてなる特許請求の範囲第（１）項記載の物体計測
   装置。
3. （３）複数のパルス中心検出回路が、それぞれ （ａ）一方の入力端がクロックパルス発生回路の出力端
   に接続されかつ他方の入力端が第１の光センサ装置に属
   する光センサに接続されており、第１の光センサ装置の
   属する光センサから受光信号が到来している期間にクロ
   ックパルス発生回路から与えられたクロックパルス信号
   を通過せしめるゲート回路と、 （ｂ）ゲート回路の出力端に対しクロック入力端が接続
   されており、ゲート回路を通過せしめられたクロックパ
   ルス信号に含まれたパルス数を計数して受光信号のパル
   ス幅を計測し、パルス幅信号として出力するカウンタと
   、 （ｃ）第１の光センサ装置に属する光センサに対し制御
   端が接続されかつクロックパルス入力端がクロックパル
   ス発生回路の出力端に対して接続された制御パルス発生
   回路と、 （ｄ）カウンタの出力端に対しデータ入力端が接続され
   かつロード入力端およびシフト入力端がそれぞれ制御パ
   ルス発生回路のロード出力端およびシフト出力端に接続
   されており、カウンタからパルス幅信号として入力され
   た受光信号の時間幅を２によって除算し、受光信号の中
   心時間位置から後端時間位置までの時間幅を算出し、除
   算信号として出力するシフトレジスタと、 （ｅ）シフトレジスタの出力端に対して接続されており
   、シフトレジスタから除算信号として入力された時間幅
   を所望の遅延時間から減算することにより、受光信号の
   後端時間位置からパルス中心検出信号の出力されるべき
   時間位置までの時間幅を算出し、遅延指令信号として出
   力する減算回路と、 （ｆ）減算回路の出力端に対しデータ入力端が接続され
   かつロード入力端およびクロックパルス入力端がそれぞ
   れ制御パルス発生回路の他のロード出力端およびクロッ
   クパルス出力端に接続されており、減算回路から遅延指
   令信号として入力された時間幅に応じた数のパルスが制
   御パルス発生回路からクロックパルス信号として与えら
   れたとき、パルス中心検出信号を発生し、出力端から記
   憶装置に向けトリガ信号として出力するダウンカウンタ
   と を備えてなる特許請求の範囲第（１）項記載の物体計測
   装置。
4. （４）複数のパルス中心検出回路が、それぞれ （ａ）一方の入力端がクロックパルス発生回路の出力端
   に接続されかつ他方の入力端が第１の光センサ装置に属
   する光センサに接続されており、第１の光センサ装置に
   属する光センサから受光信号が到来している期間にクロ
   ックパルス発生回路から与えられたクロックパルス信号
   を通過せしめるゲート回路と、 （ｂ）ゲート回路の出力端に対しクロック入力端が接続
   されており、ゲート回路を通過せしめられたクロックパ
   ルス信号に含まれたパルス数を計数して受光信号のパル
   ス幅を計測し、パルス幅信号として出力するカウンタと
   、 （ｃ）第１の光センサ装置に属する光センサに対し制御
   端が接続されかつクロックパルス入力端がクロックパル
   ス発生回路の出力端に対して接続された制御パルス発生
   回路と、 （ｄ）カウンタの出力端に対しデータ入力端が接続され
   かつロード入力端およびシフト入力端がそれぞれ制御パ
   ルス発生回路のロード出力端およびシフト出力端に接続
   されており、カウンタからパルス幅信号として入力され
   た受光信号の時間幅を２によって除算し、受光信号の中
   心時間位置から後端時間位置までの時間幅を算出し、除
   算信号として出力するシフトレジスタと、 （ｅ）シフトレジスタの出力端に対して接続されており
   、シフトレジスタから除算信号として入力された時間幅
   を所望の遅延時間から減算することにより、受光信号の
   後端時間位置からパルス中心検出信号の出力されるべき
   時間位置までの時間幅を算出し、遅延指令信号として出
   力する減算回路と、 （ｆ）制御パルス発生回路のクロックパルス出力端に対
   しクロックパルス入力端が接続されており、入力パルス
   が除去されたのち制御パルス発生回路のクロックパルス
   出力端から出力されるクロックパルス信号に含まれたパ
   ルス数を計数し、計数値信号として出力する他のカウン
   タと、 （ｇ）減算回路の出力端に対しデータ入力端が接続され
   かつ他のカウンタの出力端に対して他のデータ入力端が
   接続されており、減算回路から遅延指令信号として入力
   された時間幅と他のカウンタから計数値信号として入力
   され計数値とが一致したとき、パルス中心検出信号を発
   生し、出力端から記憶装置に向けトリガ信号として出力
   する比較回路と を備えてなる特許請求の範囲第（１）項記載の物体計測
   装置。
5. （５）減算回路が、 （ａ）シフトレジスタの出力端に対し入力端が接続され
   ており、シフトレジスタから与えられた除算信号を反転
   せしめ反転除算信号として出力するノット回路と、 （ｂ）所望の遅延時間が設定されており、設定遅延信号
   として出力する設定回路と、 （ｃ）ノット回路の出力端に対し一方のデータ入力端が
   接続されかつ設定回路の出力端に対し他方のデータ入力
   端が接続されており、ノット回路から入力された反転除
   算信号と設定回路から入力された設定遅延信号と１とを
   互いに加算することにより、受光信号の後端時間位置か
   らパルス中心検出信号の出力されるべき時間位置までの
   時間幅を算出し、遅延指令信号として出力する全加算器
   と を備えてなる特許請求範囲第（３）項もしくは第（４）
   項記載の物体計測装置。