JPH0256340U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0256340U JPH0256340U JP13506088U JP13506088U JPH0256340U JP H0256340 U JPH0256340 U JP H0256340U JP 13506088 U JP13506088 U JP 13506088U JP 13506088 U JP13506088 U JP 13506088U JP H0256340 U JPH0256340 U JP H0256340U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nut
- gear
- screw shaft
- fixed
- rolling bearing
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims 1
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案の一実施例平面図、第２図は第
１図の正断面図である。 １……ステツピングモータ、２……出力軸、３
……基台、４，５……水平方向の真空用軸受、６
……ウオームギヤー、７……ナツト、８，９……
縦方向の真空用軸受、８ａ，９ａ……内輪、１０
……ねじ軸、１１……平ギヤー。
１図の正断面図である。 １……ステツピングモータ、２……出力軸、３
……基台、４，５……水平方向の真空用軸受、６
……ウオームギヤー、７……ナツト、８，９……
縦方向の真空用軸受、８ａ，９ａ……内輪、１０
……ねじ軸、１１……平ギヤー。
Claims (1)
- 転がり軸受を介して基台に固定されたナツトと
、該ナツトが螺合されたねじ軸と、前記ナツトと
同軸一体に固定された平ギヤーと、前記ねじ軸と
直交する方向に転がり軸受を介して回転可能に配
置され、前記平ギヤーと噛合するウオームギヤー
を設けた出力軸と、該出力軸に連結されたステツ
ピングモータとを有し、前記転がり軸受の内、外
輪の軌道部および転動体、前記ナツトとねじ軸の
螺合部、そして前記平ギヤーとウオームギヤーの
噛合部の各々の表面部に潤滑性金属のイオン注入
もしくは軟質金属コーテイングを施した電子顕微
鏡用真空室に於ける微小送り位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13506088U JPH0256340U (ja) | 1988-10-18 | 1988-10-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13506088U JPH0256340U (ja) | 1988-10-18 | 1988-10-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0256340U true JPH0256340U (ja) | 1990-04-24 |
Family
ID=31394363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13506088U Pending JPH0256340U (ja) | 1988-10-18 | 1988-10-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0256340U (ja) |
-
1988
- 1988-10-18 JP JP13506088U patent/JPH0256340U/ja active Pending