JPH0256342U - - Google Patents

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JPH0256342U
JPH0256342U JP13559088U JP13559088U JPH0256342U JP H0256342 U JPH0256342 U JP H0256342U JP 13559088 U JP13559088 U JP 13559088U JP 13559088 U JP13559088 U JP 13559088U JP H0256342 U JPH0256342 U JP H0256342U
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  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、この考案の一実施例に係るイオン処
理装置を示す図である。第２図は、並進速度信号
の波形の一例を示す図である。第３図は、デイス
クとイオンビームとの関係の一例を示す平面図で
ある。第４図は、この実施例の装置によつて測定
したビーム電流密度分布の一例を示す図である。
第５図は、従来のイオン処理装置の一例を示す図
である。第６図は、従来の装置によつて測定した
ビーム電流密度分布の一例を示す図である。 ２……イオンビーム、４……基板、６……デイ
スク、８……デイスク駆動装置、１６……並進速
度制御装置、３８……ビーム電流測定抵抗、４２
……サンプルホールド回路、４８……差動増幅器
、５０……表示装置、５６……絶対値増幅器、５
８……電圧／周波数変換器、６０……カウンタ、
６２……Ｄ／Ａ変換器、６４……極性判別器、Ｓ
１……並進速度信号。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空容器内に収納されていて複数枚の基板が装
    着されるデイスクと、このデイスクを回転および
    並進させるデイスク駆動装置と、このデイスク駆
    動装置に並進速度信号を与えてその並進速度を制
    御する並進速度制御装置とを備え、デイスク上の
    各基板にイオンビームを照射してそれらを処理す
    る装置において、前記並進速度制御装置から出力
    される並進速度信号の絶対値を求める絶対値増幅
    器と、この絶対値増幅器から出力される信号を周
    波数に変換する電圧／周波数変換器と、前記並進
    速度信号の極性を判別する極性判別器と、この極
    性判別器から出力される信号に応答して、前記電
    圧／周波数変換器から出力される周波数を前記並
    進速度信号が正のときは所定方向に、負のときは
    その逆方向にカウントするカウンタと、このカウ
    ンタから出力される信号をアナログに変換するＤ
    ／Ａ変換器と、前記デイスクに流れるビーム電流
    を測定するビーム電流測定器と、このビーム電流
    測定器から出力される信号を前記電圧／周波数変
    換器から出力される信号に応答してサンプルホー
    ルドするサンプルホールド回路と、このサンプル
    ホールド回路の入力信号と出力信号の差を求める
    差動増幅器と、この差動増幅器から出力される信
    号の大きさを前記Ｄ／Ａ変換器から出力される信
    号に応じた位置に表示する表示装置とを備えるこ
    とを特徴とするイオン処理装置。
JP13559088U 1988-10-18 1988-10-18 イオン処理装置 Expired - Lifetime JPH0648737Y2 (ja)

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JP13559088U JPH0648737Y2 (ja) 1988-10-18 1988-10-18 イオン処理装置

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JPH0256342U true JPH0256342U (ja) 1990-04-24
JPH0648737Y2 JPH0648737Y2 (ja) 1994-12-12

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