JPH0256809B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は真空処理装置に係り、特に真空容器内
部に配置されかつターンテーブルにより回転する
静電チヤツクを構成する電極への給電手段を改良
した真空処理装置に関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

第２図は従来のリアクテイブイオンエツチング
装置を示したもので、真空容器１の下面を貫通す
る主軸２が回転自在に設けられ、この主軸２の真
空容器１の内部側には、円板状のターンテーブル
３が一体に設けられており、このターンテーブル
３の内部には、被処理を冷却するための冷却水管
４が上記主軸２の外部側端部から主軸２の内部を
通つて導通されている。上記ターンテーブル３の
上面側には、絶縁体５を介して静電チヤツクを構
成する電極６が取付けられ、この電極６の上面側
には上記主軸２と同軸上に固定されるとともに真
空容器１の上面を貫通する給電シヤフト７が設け
られており、かつ、この給電シヤフト７の固定部
分以外には、例えばポリイミド等からなる誘電体
膜８が貼着されている。上記給電シヤフト７の上
端部には、ばね９により付勢された給電ボール１
０が接触しており、この給電ボール１０に電圧を
印加する配線１１が接続されている。

ここで、上記電極６は、被処理物をターンテー
ブル３に固着するための静電チヤツクを構成する
ものである。

上記装置においては、電極６の上面側に被処理
物Ａを載置し、真空容器１に設けられた排気口１
２から真空排気するとともに、ガス導入口１３か
らエツチングガスを導入する。そして、給電シヤ
フト７を介して電極６に直流電圧を印加すること
により被処理物Ａを静電的に固着して冷却効果を
高めた後、主軸２を回転させながらターンテーブ
ルに図示しないRF電源からの高周波を印加し、
チヤンバー内にプラズマを発生させ被処理物Ａの
エチツングを行なうものである。

しかし、上記装置のような給電手段では、主軸
２と給電シヤフト７の回転中心を高い精度で一致
させる必要があり、回転中心が一致していない場
合は、真空容器１との密封部分から漏れが生じた
り、大きな回転トルクが必要となるという欠点を
有している。また、真空容器１内のメインテナン
スを行なうため上面を取はずす場合、給電シヤフ
ト７によりその作業が著しく困難であるという欠
点をも有している。

また、第３図は従来の他のエツチング装置を示
したもので電極６に給電するための給電シヤフト
７を主軸２の内部に設けており、その他の部分は
第２図に示すものと同様である。

上記装置においては回転軸が主軸２のみである
ため、回転中心を一致させる必要がなく、メイン
テナンス作業も容易であるが、主軸２の内部に給
電シヤフト７および冷却水管４が通つているた
め、構造が極めて複雑となり、組立作業が困難と
なるという欠点を有している。

〔発明の目的〕

本発明は上記欠点に鑑みてなされたもので、構
造が簡単で、回転中心を高精度で一致させる必要
のない真空処理装置を提供することを目的とする
ものである。

〔発明の概要〕

上記目的を達成するため本発明の真空処理装置
は、真空容器の内部に回転自在に設けられたター
ンテーブルの中心軸上に一端部がターンテーブル
の電極に接続されるとともに他端部が上記真空容
器の外部の給電部材に接触される給電シヤフトを
取付け、この給電シヤフトは上記真空容器の上面
側に該シヤフトの上記ターンテーブルに対する偏
心回転を吸収する蛇腹状部材を介して設けられた
軸受により、回転自在に密封支持されていること
をその特徴とするものである。

〔発明の実施例〕 以下、本発明の一実施例を第１図を参照して説
明し、第２図および第３図と同一部分には同一符
号を付してその説明を省略する。

本実施例においては、ターンテーブル３の上面
中心軸上に給電シヤフト７が取付けられており、
この給電シヤフト７の下端部は誘電体膜８を貫通
して電極６に接続され、上端部は真空容器１の外
部に設けられた給電ボール１０に当接するように
なされている。上記給電シヤフト７の周囲はセラ
ミツクあるいはテフロン製の絶縁シヤフト１４に
より被覆されており、この絶縁シヤフト１４は、
真空容器１の上面側にステンレス等からなる蛇腹
状部材１５を介して設けられた軸受１６により回
転自在にかつ密封して支持されている。軸受材料
としては、Ｏリングが簡便でよい。さらに、上記
軸受１６の上面側には、円板状を有し一部に外方
に突出する係合爪１７が形成された軸受板１８が
固着され、この軸受板１８はスラスト軸受１９に
より支持され、かつ、上記係合爪１７に係合する
ストツパ２０により回転しないようになされてい
る。その他の部分は第２図に示すものと同様であ
る。

本実施例においては、ターンテーブル３の回転
軸と絶縁シヤフト１４の回転軸とが一致せず、絶
縁シヤフト１４が偏心して回転した場合でも、蛇
腹状部材１５およびスラスト軸受１９により、上
記偏心回転を吸収することができるので、絶縁シ
ヤフト１４の取付寸法精度を厳密にする必要がな
く、また、軸受１６部分における密封を安定した
状態で行なうことができる。このとき、真空容器
１を真空排気した際における蛇腹状部材１５の縮
みによる軸受１６の下降は、スラスト軸受１９に
より防止され、ストツパ２０により軸受板１８が
絶縁シヤフト１４と一体に回転することを防止し
ている。

〔発明の効果〕

以上述べたように本発明に係る真空処理装置
は、ターンテーブルの上面に取付けられる給電シ
ヤフトを、真空容器の上面側に蛇腹状部材を介し
て設けられた軸受により、回転自在に密封支持さ
れており、上記蛇腹状部材により上記軸受が水平
方向に移動できるようにしたので、給電シヤフト
の回転軸とターンテーブルの回転軸とが完全に一
致せず給電シヤフトが偏心回転した場合でも、こ
の偏心回転を上記蛇腹状部材により、吸収するこ
とができ、したがつて、給電シヤフトの回転中心
を高精度に一致させる必要がない。

しかも、ターンテーブルの回転軸と給電シヤフ
トとを別体にしたので、構造が簡単で製作が容易
である等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第
２図および第３図はそれぞれ従来の真空処理装置
を示す縦断面図である。 １……真空容器、２……主軸、３……ターンテ
ーブル、４……冷却水管、５……絶縁物、６……
電極、７……給電シヤフト、８……誘電体膜、９
……ばね、１０……給電ボール、１１……配線、
１２……排気口、１３……ガス導入口、１４……
絶縁シヤフト、１５……蛇腹状部材、１６……軸
受、１７……係合爪、１８……軸受板、１９……
スラスト軸受、２０……ストツパ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 真空容器の内部に静電チヤツクを構成する電
   極を有するターンテーブルを該容器の下面を貫通
   する主軸により回転自在に設け、上記ターンテー
   ブル上に固定される被処理物の真空処理を上記タ
   ーンテーブルを回転させながら行なう真空処理装
   置において、上記ターンテーブルの中心軸上に一
   端部が上記電極に接続されているとともに他端部
   が上記真空容器外部の給電部材に接触される給電
   シヤフトを取付け、この給電シヤフトは上記真空
   容器の上面側に該シヤフトの上記ターンテーブル
   に対する偏心回転を吸収する蛇腹状部材を介して
   設けられた軸受により、回転自在に密封支持され
   ていることを特徴とする真空処理装置。