JPH0256875U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0256875U JPH0256875U JP13524588U JP13524588U JPH0256875U JP H0256875 U JPH0256875 U JP H0256875U JP 13524588 U JP13524588 U JP 13524588U JP 13524588 U JP13524588 U JP 13524588U JP H0256875 U JPH0256875 U JP H0256875U
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- JP
- Japan
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- valve
- line
- auxiliary exhaust
- solenoid valve
- energized
- Prior art date
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- Granted
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- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Details Of Valves (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Magnetically Actuated Valves (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例の真空排気用遅延リー
クバルブの電気的遅延回路の図、第２図は遅延リ
ークバルブを接続する排気系の図である。 １……遅延リークバルブ、２……ロータリーポ
ンプ、３……補助排気ライン、４……フオアライ
ンバルブ、５……ターボ分子ポンプ、６……通電
時閉の小型電磁弁（リークバルブ）、７……コン
デンサー、８……抵抗、９……ダイオード、１０
……電源、１１……補助接点１１ａ付きの電磁開
閉器。
クバルブの電気的遅延回路の図、第２図は遅延リ
ークバルブを接続する排気系の図である。 １……遅延リークバルブ、２……ロータリーポ
ンプ、３……補助排気ライン、４……フオアライ
ンバルブ、５……ターボ分子ポンプ、６……通電
時閉の小型電磁弁（リークバルブ）、７……コン
デンサー、８……抵抗、９……ダイオード、１０
……電源、１１……補助接点１１ａ付きの電磁開
閉器。
Claims (1)
- 真空容器に対して、主排気ポンプ、フオアライ
ンバルブ、補助排気ライン、補助排気ポンペのこ
の順の接続で構成される排気系の、該補助排気ラ
インに接続される遅延リークバルベにおいて、該
遅延リークバルブを、電源と、通電時閉の電磁弁
と、該電源および該電磁弁の間に介在して、電源
スイツチをＯＦＦした後も暫くの間は該電磁弁へ
の通電を続けるようにした電気的遅延回路と、の
三者の組合わせで構成したことを特徴とする真空
排気系の遅延リークバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988135245U JPH0435583Y2 (ja) | 1988-10-17 | 1988-10-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988135245U JPH0435583Y2 (ja) | 1988-10-17 | 1988-10-17 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0256875U true JPH0256875U (ja) | 1990-04-24 |
| JPH0435583Y2 JPH0435583Y2 (ja) | 1992-08-24 |
Family
ID=31394704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988135245U Expired JPH0435583Y2 (ja) | 1988-10-17 | 1988-10-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0435583Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62160785U (ja) * | 1986-03-31 | 1987-10-13 |
-
1988
- 1988-10-17 JP JP1988135245U patent/JPH0435583Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62160785U (ja) * | 1986-03-31 | 1987-10-13 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0435583Y2 (ja) | 1992-08-24 |