JPH0258061B2 - - Google Patents
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- JPH0258061B2 JPH0258061B2 JP57110082A JP11008282A JPH0258061B2 JP H0258061 B2 JPH0258061 B2 JP H0258061B2 JP 57110082 A JP57110082 A JP 57110082A JP 11008282 A JP11008282 A JP 11008282A JP H0258061 B2 JPH0258061 B2 JP H0258061B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- abrasive
- honing
- cleaning
- tank
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ホーニング後の砥粒液の浄化回収を
改善してなる液体ホーニング装置に関するもので
ある。
改善してなる液体ホーニング装置に関するもので
ある。
従来、ホーニング作業には、特公昭47―7320号
公報に記載されているように、砥粒液を貯溜する
ための砥粒液槽と、砥粒液を液体サイクロンで浄
化した浄化液を貯溜する浄化液槽と、砥粒液をホ
ーニングガンに送るポンプと、浄化液を洗浄ノズ
ルに送るポンプを備えた液体ホーニング装置使用
されている。
公報に記載されているように、砥粒液を貯溜する
ための砥粒液槽と、砥粒液を液体サイクロンで浄
化した浄化液を貯溜する浄化液槽と、砥粒液をホ
ーニングガンに送るポンプと、浄化液を洗浄ノズ
ルに送るポンプを備えた液体ホーニング装置使用
されている。
該公報には、具体的実施例として、ホーニング
後の砥粒液を直接分級サイクロンにより回収し、
洗浄液を浄化液槽で沈澱させ、その上澄み液を洗
浄ポンプへ送るようにした装置と、ホーニング後
の砥粒液を小さな透孔を有する隔壁によつて、大
きな砥粒を含んだ液と小さな砥粒を含んだ液とに
分離した後、小さな砥粒を含んだ液を分級サイク
ロンに送り、洗浄液を分離回収する装置が記載さ
れている。
後の砥粒液を直接分級サイクロンにより回収し、
洗浄液を浄化液槽で沈澱させ、その上澄み液を洗
浄ポンプへ送るようにした装置と、ホーニング後
の砥粒液を小さな透孔を有する隔壁によつて、大
きな砥粒を含んだ液と小さな砥粒を含んだ液とに
分離した後、小さな砥粒を含んだ液を分級サイク
ロンに送り、洗浄液を分離回収する装置が記載さ
れている。
この前者の装置では、粗細粒の砥粒や研削さい
の混在したホーニング後の砥粒液をいきなり分級
サイクロンにより分級するため、その分離が不充
分となつて、回収された液中に微細な砥粒等が含
まれ、これを除去するために過器を必要とし、
この器の目詰りを防止するために、その掃除や
交換が必要となり、浄化回収の効率が悪いばかり
でなく、作業の煩雑なものであつた。この作業の
煩雑さを解消するために、浄化槽に前記のサイク
ロンにより分級した液を溜め、それを放置して微
細な砥粒等を沈殿除去することも行なわれている
が、この沈殿除去のために、長時間当該液を静置
しなければならず、その為の作業効率の悪いもの
であつた。
の混在したホーニング後の砥粒液をいきなり分級
サイクロンにより分級するため、その分離が不充
分となつて、回収された液中に微細な砥粒等が含
まれ、これを除去するために過器を必要とし、
この器の目詰りを防止するために、その掃除や
交換が必要となり、浄化回収の効率が悪いばかり
でなく、作業の煩雑なものであつた。この作業の
煩雑さを解消するために、浄化槽に前記のサイク
ロンにより分級した液を溜め、それを放置して微
細な砥粒等を沈殿除去することも行なわれている
が、この沈殿除去のために、長時間当該液を静置
しなければならず、その為の作業効率の悪いもの
であつた。
また後者の装置では、小さな透孔を有する隔壁
によつて大きい砥粒を含んだ液と、小さい砥粒を
含んだ液とを分離した後、この後者の液を分級サ
イクロンに送つて液を浄化回収するため、この回
収された液の浄化度は前装置よりも向上するが軽
量な微細砥粒や研削さいは、前装置と同様沈殿除
去する必要があり、そのため作業効率の悪いもの
であり、また、油脂分等の分離除去が不充分なも
のであつた。
によつて大きい砥粒を含んだ液と、小さい砥粒を
含んだ液とを分離した後、この後者の液を分級サ
イクロンに送つて液を浄化回収するため、この回
収された液の浄化度は前装置よりも向上するが軽
量な微細砥粒や研削さいは、前装置と同様沈殿除
去する必要があり、そのため作業効率の悪いもの
であり、また、油脂分等の分離除去が不充分なも
のであつた。
そこで本発明者は、これら従来装置の欠点に鑑
み、ホーニング後の砥粒液から清浄な液を回収す
ることについて種々検討した結果、上澄み回収装
置を通過した液を液体サイクロンに送つて浄化す
ることによつて効率よく浄化できることを見出し
本発明をなすに至つた。
み、ホーニング後の砥粒液から清浄な液を回収す
ることについて種々検討した結果、上澄み回収装
置を通過した液を液体サイクロンに送つて浄化す
ることによつて効率よく浄化できることを見出し
本発明をなすに至つた。
すなわち、本発明の構成の要旨は、砥粒液を貯
溜する砥粒液槽と浄化した液を貯溜する浄化液槽
との間に、浄化装置としてオイルスキマー、スラ
ツジコンベヤ及び上澄み回収装置を有する溢液処
理装置と液体サイクロンとを連結してなる液体ホ
ーニング装置である。
溜する砥粒液槽と浄化した液を貯溜する浄化液槽
との間に、浄化装置としてオイルスキマー、スラ
ツジコンベヤ及び上澄み回収装置を有する溢液処
理装置と液体サイクロンとを連結してなる液体ホ
ーニング装置である。
本発明の構成を一実施例に基づいて説明する
と、第1図及び第2図に示すように、ホーニング
後の製品を洗浄するための洗浄室8を横に連設し
てなるホーニング室1の下方に、砥粒と液体とを
混和した砥粒液を貯溜する砥粒液槽2を設け、洗
浄に使用した砥粒液及び砥粒液槽2の溢液を排送
するための排送樋4を洗浄室3とホーニング室1
との洗浄室下方に設けるとともに、別体に設置し
た溢液処理装置5内の第1処理室6と連結する。
と、第1図及び第2図に示すように、ホーニング
後の製品を洗浄するための洗浄室8を横に連設し
てなるホーニング室1の下方に、砥粒と液体とを
混和した砥粒液を貯溜する砥粒液槽2を設け、洗
浄に使用した砥粒液及び砥粒液槽2の溢液を排送
するための排送樋4を洗浄室3とホーニング室1
との洗浄室下方に設けるとともに、別体に設置し
た溢液処理装置5内の第1処理室6と連結する。
この砥粒液槽2には、その下方にホーニング用
ポンプ34と連結してなる吸入管33を配設し、
このポンプ34に連結してなる吐出管35の一端
をホーニングガン36に連結するとともに、この
吐出管35の中間に排出管32を連結し、この排
出管32の他端を砥粒液槽2の上方に配設し、該
砥粒液槽2の砥粒と液とを撹拌し、前記ホーニン
グガン36に圧縮空気用配管37を連結し、この
圧縮空気により砥粒液を加速してホーニングを行
なう。
ポンプ34と連結してなる吸入管33を配設し、
このポンプ34に連結してなる吐出管35の一端
をホーニングガン36に連結するとともに、この
吐出管35の中間に排出管32を連結し、この排
出管32の他端を砥粒液槽2の上方に配設し、該
砥粒液槽2の砥粒と液とを撹拌し、前記ホーニン
グガン36に圧縮空気用配管37を連結し、この
圧縮空気により砥粒液を加速してホーニングを行
なう。
この砥粒液槽2と第一処理室6に向つて傾斜し
た排送樋4により連結された溢液処理装置5は、
横長の長方形状の本体を横方向に設けた潜り堰9
と隔壁10とに区分けし、左方から第1処理室
6、第2処理室7及び貯液槽8を形成してなるも
ので、第1処理室6は、前記排送樋4からの液を
受け入れ、油脂等の浮遊物を回収除去するための
オイルスキマー11を配設してなるもので、第二
処理室7は、潜り堰9によつて隔てられて第1処
理室に隣接して設けられ、潜り堰9の下部開口1
2より流入する液から再使用可能な砥粒を沈殿さ
せて回収し、かつ、溜つた液の上澄み液を隔壁1
0を隔てて隣接する貯液槽8に排送する働きを有
するもので、この第2処理室7の下部にスラツジ
コンベヤ13を配設して沈殿した砥粒を砥粒液槽
2に還元し、一方、上部に配設した上澄み回収装
置14により、澄み液を回収するものである。
た排送樋4により連結された溢液処理装置5は、
横長の長方形状の本体を横方向に設けた潜り堰9
と隔壁10とに区分けし、左方から第1処理室
6、第2処理室7及び貯液槽8を形成してなるも
ので、第1処理室6は、前記排送樋4からの液を
受け入れ、油脂等の浮遊物を回収除去するための
オイルスキマー11を配設してなるもので、第二
処理室7は、潜り堰9によつて隔てられて第1処
理室に隣接して設けられ、潜り堰9の下部開口1
2より流入する液から再使用可能な砥粒を沈殿さ
せて回収し、かつ、溜つた液の上澄み液を隔壁1
0を隔てて隣接する貯液槽8に排送する働きを有
するもので、この第2処理室7の下部にスラツジ
コンベヤ13を配設して沈殿した砥粒を砥粒液槽
2に還元し、一方、上部に配設した上澄み回収装
置14により、澄み液を回収するものである。
この上澄み回収装置14は、第3図に示すよう
に、横断面コ字状の長尺の樋状体15を同じ方向
に一定間隔に多数本並列して、その開放端の一端
はL字形の支持金具16に一連に固定して閉塞す
ると共に、他端は扁平な漏斗状回収ケース17の
巾広な前壁18に開設して開口19…に一致させ
て固定してブロツク化し、各樋状体15,15…
内に溜つた溢水を、回収ケース17に回収する。
に、横断面コ字状の長尺の樋状体15を同じ方向
に一定間隔に多数本並列して、その開放端の一端
はL字形の支持金具16に一連に固定して閉塞す
ると共に、他端は扁平な漏斗状回収ケース17の
巾広な前壁18に開設して開口19…に一致させ
て固定してブロツク化し、各樋状体15,15…
内に溜つた溢水を、回収ケース17に回収する。
該樋状体15は第4図に示す如く、底壁40の
両側から垂直に立上つた両側壁41,41の上縁
を、夫々内向きの尖鋭エツジ縁42,42が第2
処理室7の汚水水面43より僅かに下位に位置す
るように配置し、汚水中に含まれた塵埃等の微粒
物をエツジ縁42の堰作用で、矢印で示す如く、
両側壁41,41に沿つて下方へ追いやるように
回遊させる一方、微粒物を含まない汚水の上澄み
を、エツジ縁42,42から樋状体15内に溢れ
込ませて回収する様に装備する。この各樋状体1
5,15…に溜つた上澄み液を回収ケース17に
回収し、さらにこの液を隣室の貯液槽8に流入さ
せるために連通パイプ38で回収ケース17と貯
液槽8とを連結している。
両側から垂直に立上つた両側壁41,41の上縁
を、夫々内向きの尖鋭エツジ縁42,42が第2
処理室7の汚水水面43より僅かに下位に位置す
るように配置し、汚水中に含まれた塵埃等の微粒
物をエツジ縁42の堰作用で、矢印で示す如く、
両側壁41,41に沿つて下方へ追いやるように
回遊させる一方、微粒物を含まない汚水の上澄み
を、エツジ縁42,42から樋状体15内に溢れ
込ませて回収する様に装備する。この各樋状体1
5,15…に溜つた上澄み液を回収ケース17に
回収し、さらにこの液を隣室の貯液槽8に流入さ
せるために連通パイプ38で回収ケース17と貯
液槽8とを連結している。
この貯液槽8には、貯溜した液を圧送するため
のポンプ21と連結した導管20が配設され、こ
のポンプ21には導管22を介して液体サイクロ
ン23に連結する。
のポンプ21と連結した導管20が配設され、こ
のポンプ21には導管22を介して液体サイクロ
ン23に連結する。
この液体サイクロン23は、ポンプ21により
圧送された液がサイクロン23内で回転し、その
遠心力により使用不能な微細砥粒が研削さいは、
その外壁に沿つて沈下し排出管24より機外に排
出し、回転した液の中心部に集まつた前記溢液処
理装置5で分離除去できなかつた軽量な異物、油
脂分等をその上部の導管25より再度第1処理室
6に回送し、これら研削さいや油脂分等を分離さ
れ浄化された液を導管26により浄化液槽27に
送り込む。
圧送された液がサイクロン23内で回転し、その
遠心力により使用不能な微細砥粒が研削さいは、
その外壁に沿つて沈下し排出管24より機外に排
出し、回転した液の中心部に集まつた前記溢液処
理装置5で分離除去できなかつた軽量な異物、油
脂分等をその上部の導管25より再度第1処理室
6に回送し、これら研削さいや油脂分等を分離さ
れ浄化された液を導管26により浄化液槽27に
送り込む。
このようにして浄化された液は浄化液槽27に
貯溜され、この浄化液槽27に連結されたポンプ
28により、導管29を通じて洗浄ノズル30に
圧送され、ホーニング後の製品を洗浄するととも
に、砥粒液槽2への液供給を兼ねて、ホーニング
室1に設けられた点検窓洗浄ノズル31へも圧送
される。
貯溜され、この浄化液槽27に連結されたポンプ
28により、導管29を通じて洗浄ノズル30に
圧送され、ホーニング後の製品を洗浄するととも
に、砥粒液槽2への液供給を兼ねて、ホーニング
室1に設けられた点検窓洗浄ノズル31へも圧送
される。
なお、第1処理室6に配設するオイルスキマー
11や、第2処理室7に配設するスラツジコンベ
ヤ13は、市販のものが使用できる。
11や、第2処理室7に配設するスラツジコンベ
ヤ13は、市販のものが使用できる。
次に本発明の装置におけるホーニング後の砥粒
液の浄化回収工程について説明すると、ホーニン
グ後の砥粒液は砥粒液槽2に一旦流入し、そして
溢れて排送樋4に流入し、一方ホーニング後の製
品を洗浄した後の洗浄液もこの排送樋4に流入
し、ホーニング室1の窓を洗浄した液とがこの排
送樋4によつて、これらの液が溢液処理装置5内
の第1処理室6に排送される。
液の浄化回収工程について説明すると、ホーニン
グ後の砥粒液は砥粒液槽2に一旦流入し、そして
溢れて排送樋4に流入し、一方ホーニング後の製
品を洗浄した後の洗浄液もこの排送樋4に流入
し、ホーニング室1の窓を洗浄した液とがこの排
送樋4によつて、これらの液が溢液処理装置5内
の第1処理室6に排送される。
この排送された液は、第1処理室6のオイルス
キマー11によつて油脂分等の浮遊物が除去され
た後、潜り堰9の下部開口12より第2処理室7
に流入する。
キマー11によつて油脂分等の浮遊物が除去され
た後、潜り堰9の下部開口12より第2処理室7
に流入する。
この第2処理室7に液入した液中の再使用可能
な砥粒は、該室7で沈殿し、スラツジコンベヤ1
3によつて掻出され、砥粒液槽2に還元され再使
用される。一方、該室7に溜つた液の上澄み液
は、上澄み回収装置14の樋状体15,15…に
流入し、漏斗状回収ケース17及び連通パイプ3
8を通過して該室7の隣に設けた貯液槽8に流入
し、貯溜される。
な砥粒は、該室7で沈殿し、スラツジコンベヤ1
3によつて掻出され、砥粒液槽2に還元され再使
用される。一方、該室7に溜つた液の上澄み液
は、上澄み回収装置14の樋状体15,15…に
流入し、漏斗状回収ケース17及び連通パイプ3
8を通過して該室7の隣に設けた貯液槽8に流入
し、貯溜される。
この貯液槽8に貯溜された液は、ポンプ21に
よつて導管20に吸入され、さらに導管22より
液体サイクロン23に圧送される。
よつて導管20に吸入され、さらに導管22より
液体サイクロン23に圧送される。
この液体サイクロン23に圧送された液は、そ
の圧力により該サイクロン23内を回転し、その
遠心力により使用不能な微細砥粒や研削さいがそ
の外壁に沿つて沈下し、排出管24より機外に排
出され、回転した液の中心部に集つた軽量異物、
油脂分等の浮遊物をその上部の導管25より再度
第1処理室6に回送され、一方サイクロン23で
浄化された液が導管26より浄化液槽27に送り
込まれ、貯溜される。
の圧力により該サイクロン23内を回転し、その
遠心力により使用不能な微細砥粒や研削さいがそ
の外壁に沿つて沈下し、排出管24より機外に排
出され、回転した液の中心部に集つた軽量異物、
油脂分等の浮遊物をその上部の導管25より再度
第1処理室6に回送され、一方サイクロン23で
浄化された液が導管26より浄化液槽27に送り
込まれ、貯溜される。
この浄化液槽27に貯溜された液は、ポンプ2
8により導管29を通して洗浄ノズル30及び点
検窓洗浄ノズル31にそれぞれ圧送される。
8により導管29を通して洗浄ノズル30及び点
検窓洗浄ノズル31にそれぞれ圧送される。
洗浄ノズル30に圧送された液は、該ノズル3
0より噴射されホーニング後の製品を洗浄した
後、排送樋4に流入し、再び前記のように浄化回
収され、点検窓洗浄ノズル31に圧送された液
は、ホーニング室に設けられた点検窓を洗浄後、
砥粒液槽2へ流入し、砥粒液と撹拌されホーニン
グ用の砥粒液として使用され、この砥粒液槽2か
ら溢れたホーニング後の砥粒液が排送樋4に流入
し、再び前記のような浄化回収される。
0より噴射されホーニング後の製品を洗浄した
後、排送樋4に流入し、再び前記のように浄化回
収され、点検窓洗浄ノズル31に圧送された液
は、ホーニング室に設けられた点検窓を洗浄後、
砥粒液槽2へ流入し、砥粒液と撹拌されホーニン
グ用の砥粒液として使用され、この砥粒液槽2か
ら溢れたホーニング後の砥粒液が排送樋4に流入
し、再び前記のような浄化回収される。
以上のように構成され作用する本発明に係る液
体ホーニング装置は、油脂分等の浮遊物を回収除
去するためのオイルスキーマー11、再使用可能
な砥粒を前記砥粒液槽2に還元するためのスラツ
ジコンベヤ13、汚水の上澄みを回収するための
上澄み回収装置14のそれぞれ配設した溢液処理
装置5を、前記砥粒液槽2と液体サイクロン23
の間に介在連結し、前記溢液処理装置5により回
収された上澄み液を、前記液体サイクロン23に
供給して、浄化液と、微細砥粒や研削さい分と、
軽量な異物油脂分とに分離し、浄化液をポンプ2
8により洗浄ノズルへ送り、微細砥粒や研削さい
分を装置外へ排出するとともに、異物油脂分を溢
液処理装置5に還元するから、油脂分等の浮遊物
が、液体サイクロン23とオイルスキーマー1に
よつて完全に回収除去されるとともに、再使用可
能な砥粒は、スラツジコンベヤ13によつて砥粒
液槽2へ効率良く回収され、また再使用不能な微
細砥粒や砥削さいは液体サイクロン23により分
離除去されるから、従来の装置に比して、微細砥
粒や研削さい分や軽量な異物油脂分を含まない清
浄な洗浄液を分離回収する精度能力が良好なもの
となる。又、分離回収工程においてほとんどメン
テナンスを不用として、自動的に液の浄化回収が
なし得る効率のよい優れた液体ホーニング装置を
提供することができる。
体ホーニング装置は、油脂分等の浮遊物を回収除
去するためのオイルスキーマー11、再使用可能
な砥粒を前記砥粒液槽2に還元するためのスラツ
ジコンベヤ13、汚水の上澄みを回収するための
上澄み回収装置14のそれぞれ配設した溢液処理
装置5を、前記砥粒液槽2と液体サイクロン23
の間に介在連結し、前記溢液処理装置5により回
収された上澄み液を、前記液体サイクロン23に
供給して、浄化液と、微細砥粒や研削さい分と、
軽量な異物油脂分とに分離し、浄化液をポンプ2
8により洗浄ノズルへ送り、微細砥粒や研削さい
分を装置外へ排出するとともに、異物油脂分を溢
液処理装置5に還元するから、油脂分等の浮遊物
が、液体サイクロン23とオイルスキーマー1に
よつて完全に回収除去されるとともに、再使用可
能な砥粒は、スラツジコンベヤ13によつて砥粒
液槽2へ効率良く回収され、また再使用不能な微
細砥粒や砥削さいは液体サイクロン23により分
離除去されるから、従来の装置に比して、微細砥
粒や研削さい分や軽量な異物油脂分を含まない清
浄な洗浄液を分離回収する精度能力が良好なもの
となる。又、分離回収工程においてほとんどメン
テナンスを不用として、自動的に液の浄化回収が
なし得る効率のよい優れた液体ホーニング装置を
提供することができる。
第1図は本発明に係る液体ホーニング装置の正
面図、第2図は同配置図、第3図は本発明に使用
する上澄み回収装置の斜視図、第4図は汚水水面
とエツジ縁との関係を示す断面図である。 2……砥粒液槽、5……溢液処理装置、11…
…オイルスキマー、13……スラツジコンベヤ、
14……上澄み回収装置、23……液体サイクロ
ン、27……浄化液槽、39……排風機。
面図、第2図は同配置図、第3図は本発明に使用
する上澄み回収装置の斜視図、第4図は汚水水面
とエツジ縁との関係を示す断面図である。 2……砥粒液槽、5……溢液処理装置、11…
…オイルスキマー、13……スラツジコンベヤ、
14……上澄み回収装置、23……液体サイクロ
ン、27……浄化液槽、39……排風機。
Claims (1)
- 1 砥粒液を貯溜するための砥粒液槽2と、砥粒
液を液体サイクロン23で浄化した浄化液を貯溜
する浄化液槽27と、砥粒液をホーニングガン3
6に送るポンプ34と、浄化液を洗浄ノズルに送
るポンプ28を備えた液体ホーニング装置におい
て、油脂分等の浮遊物を回収除去するためのオイ
ルスキーマー11、再使用可能な砥粒を前記砥粒
液槽2に還元するためのスラツジコンベヤ13、
汚水の上澄みを回収するための上澄み回収装置1
4のそれぞれを配設した溢液処理装置5を、前記
砥粒液槽2と液体サイクロン23の間に介在連結
し、前記溢液処理装置5により回収された上澄み
液を、前記液体サイクロン23に供給して、浄化
液と、微細砥粒や研削さい分と、軽量な異物油脂
分とに分離し、浄化液をポンプ28により洗浄ノ
ズルへ送り、微細砥粒や研削さい分を装置外へ排
出するとともに、異物油脂分を溢液処理装置5に
還元することを特徴とする液体ホーニング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57110082A JPS59394A (ja) | 1982-06-26 | 1982-06-26 | 液体ホ−ニング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57110082A JPS59394A (ja) | 1982-06-26 | 1982-06-26 | 液体ホ−ニング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59394A JPS59394A (ja) | 1984-01-05 |
| JPH0258061B2 true JPH0258061B2 (ja) | 1990-12-06 |
Family
ID=14526570
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57110082A Granted JPS59394A (ja) | 1982-06-26 | 1982-06-26 | 液体ホ−ニング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59394A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018216721A1 (ja) * | 2017-05-25 | 2018-11-29 | 株式会社三井E&Sホールディングス | 超音波加工装置における砥粒回収システム |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4823639B2 (ja) * | 2005-01-19 | 2011-11-24 | グランデックス株式会社 | デバリング装置 |
-
1982
- 1982-06-26 JP JP57110082A patent/JPS59394A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018216721A1 (ja) * | 2017-05-25 | 2018-11-29 | 株式会社三井E&Sホールディングス | 超音波加工装置における砥粒回収システム |
| JP2018199175A (ja) * | 2017-05-25 | 2018-12-20 | 株式会社三井E&Sマシナリー | 超音波加工装置における砥粒回収システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59394A (ja) | 1984-01-05 |
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