JPH0260329B2 - - Google Patents
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- JPH0260329B2 JPH0260329B2 JP57015619A JP1561982A JPH0260329B2 JP H0260329 B2 JPH0260329 B2 JP H0260329B2 JP 57015619 A JP57015619 A JP 57015619A JP 1561982 A JP1561982 A JP 1561982A JP H0260329 B2 JPH0260329 B2 JP H0260329B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- radiation
- aperture
- ray inspection
- displacement
- detection device
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-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—HANDLING OF PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
- G21K1/02—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators
- G21K1/025—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators using multiple collimators, e.g. Bucky screens; other devices for eliminating undesired or dispersed radiation
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B6/00—Apparatus or devices for radiation diagnosis; Apparatus or devices for radiation diagnosis combined with radiation therapy equipment
- A61B6/06—Diaphragms
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B6/00—Apparatus or devices for radiation diagnosis; Apparatus or devices for radiation diagnosis combined with radiation therapy equipment
- A61B6/42—Arrangements for detecting radiation specially adapted for radiation diagnosis
- A61B6/4291—Arrangements for detecting radiation specially adapted for radiation diagnosis the detector being combined with a grid or grating
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- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Medical Informatics (AREA)
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- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
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- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、検査すべき物体を照射するＸ線源
と、少なくとも１個の放射線検出器を有する検出
装置と、検査すべき物体に対し変位できる絞り装
置とを備え、絞り装置には走査放射線ビームを透
過する開口を各放射線検出器に対して設け、変位
方向において測定される走査放射線ビームの開き
角が関連する放射線検出器およびＸ線源によつて
規定される開き角より小さいＸ線検査装置に関す
る。
と、少なくとも１個の放射線検出器を有する検出
装置と、検査すべき物体に対し変位できる絞り装
置とを備え、絞り装置には走査放射線ビームを透
過する開口を各放射線検出器に対して設け、変位
方向において測定される走査放射線ビームの開き
角が関連する放射線検出器およびＸ線源によつて
規定される開き角より小さいＸ線検査装置に関す
る。
この種装置はヨーロツパ特許第0001523号から
既知である。このヨーロツパ特許には、検査すべ
き物体を扇形状放射線ビームによつて照射するコ
ンピユータ・トモグラフイ装置が記載されてい
る。この既知の装置においては、検査すべき物体
の照射を一層高い分解能と共に行い得るようにす
るため、その開口を所望の分解能に従つて配設さ
れかつ検出器に対し並進運動を介して配設できる
絞り装置をビーム通路に設ける。しかしこの既知
の装置では検査すべき物体はこの物体に対し放射
線源および検出装置の一連の位置において直接に
は隣接しないビーム通路に沿つて照射されるの
で、これらビーム通路相互間には検査すべき物体
において照射されない区域が存在するという欠点
がある。
既知である。このヨーロツパ特許には、検査すべ
き物体を扇形状放射線ビームによつて照射するコ
ンピユータ・トモグラフイ装置が記載されてい
る。この既知の装置においては、検査すべき物体
の照射を一層高い分解能と共に行い得るようにす
るため、その開口を所望の分解能に従つて配設さ
れかつ検出器に対し並進運動を介して配設できる
絞り装置をビーム通路に設ける。しかしこの既知
の装置では検査すべき物体はこの物体に対し放射
線源および検出装置の一連の位置において直接に
は隣接しないビーム通路に沿つて照射されるの
で、これらビーム通路相互間には検査すべき物体
において照射されない区域が存在するという欠点
がある。
本発明の目的は、検査すべき物体のほぼ連続照
射映像を高い局部分解能と共に得ることができる
Ｘ線検査装置を提供するにある。
射映像を高い局部分解能と共に得ることができる
Ｘ線検査装置を提供するにある。
この目的のため本発明Ｘ線検査装置は、測定に
当り変位装置によつて、検査すべき物体および絞
り装置を、放射線ビームを横切る方向で測定して
少なくとも放射線源および放射線検出器によつて
規定される開き角にわたる距離だけ相対的に変位
できるよう構成したことを特徴とする。
当り変位装置によつて、検査すべき物体および絞
り装置を、放射線ビームを横切る方向で測定して
少なくとも放射線源および放射線検出器によつて
規定される開き角にわたる距離だけ相対的に変位
できるよう構成したことを特徴とする。
従つて、検査すべき物体を、ほぼ一方向に延在
する扇形状（１次）放射線ビームから成る円錐状
照射区域を介して照射した場合、検査すべき物体
は実際上未照射区域を生ずることなく走査ビーム
によつて走査され、即ち開口を介して延在するビ
ーム通路に沿つた放射線の吸収を測定できるの
で、検査すべき物体のすべての影像を得ることが
できる。
する扇形状（１次）放射線ビームから成る円錐状
照射区域を介して照射した場合、検査すべき物体
は実際上未照射区域を生ずることなく走査ビーム
によつて走査され、即ち開口を介して延在するビ
ーム通路に沿つた放射線の吸収を測定できるの
で、検査すべき物体のすべての影像を得ることが
できる。
検査すべき物体を高い局部分解能と共に走査す
る必要がある場合には、開口を小さくして開口に
よつて規定される走査放射線ビームの開き角を検
出器入口面によつて規定される角よりかなり小さ
くする。
る必要がある場合には、開口を小さくして開口に
よつて規定される走査放射線ビームの開き角を検
出器入口面によつて規定される角よりかなり小さ
くする。
検査すべき物体につき絞り装置の各位置に対応
して各検出器によつて測定した吸収値は電子メモ
リに蓄積する。次いで吸収値を、検査すべき物体
につき絞り装置の位置を考慮してコンピユータを
介して表示装置に供給して、検査すべき物体の投
影像を表示させることができる。
して各検出器によつて測定した吸収値は電子メモ
リに蓄積する。次いで吸収値を、検査すべき物体
につき絞り装置の位置を考慮してコンピユータを
介して表示装置に供給して、検査すべき物体の投
影像を表示させることができる。
本発明の好適な実施例では、検出装置が２次元
形態に配列した放射線検出器から成り、検査すべ
き物体を変位装置により互に交さする２方向で並
進運動させることを特徴とする。この場合検査す
べき物体および絞り装置の間の相対変位は互に交
さする２方向において例えば屈曲経路を辿る態様
で行われる。このように構成したＸ線検査装置に
よれば、影像による検査すべき物体の一連の検査
を自動化するために充分に高速で電子データが得
られる。
形態に配列した放射線検出器から成り、検査すべ
き物体を変位装置により互に交さする２方向で並
進運動させることを特徴とする。この場合検査す
べき物体および絞り装置の間の相対変位は互に交
さする２方向において例えば屈曲経路を辿る態様
で行われる。このように構成したＸ線検査装置に
よれば、影像による検査すべき物体の一連の検査
を自動化するために充分に高速で電子データが得
られる。
図面につき本発明を説明する。
図面は本発明のＸ線検査装置の実施例を示す。
放射線源１としては空間的に発散する（１次）放
射線ビーム２を放射するＸ線管を使用する。放射
線ビーム２は変位装置４上に配置した検査すべき
物体３、例えば材料欠陥を検査すべき加工片を透
過する。物体３の直後に絞り装置５を配置し、こ
の絞り装置は絞り板として構成しかつ極めて多数
の大きさ等しい開口６を備える。
放射線源１としては空間的に発散する（１次）放
射線ビーム２を放射するＸ線管を使用する。放射
線ビーム２は変位装置４上に配置した検査すべき
物体３、例えば材料欠陥を検査すべき加工片を透
過する。物体３の直後に絞り装置５を配置し、こ
の絞り装置は絞り板として構成しかつ極めて多数
の大きさ等しい開口６を備える。
いわゆる走査放射線ビーム７は開口６を通過し
て絞り装置５の後に配置した２次元検出装置８に
より検出され、２次元検出装置８は絞り板に平行
な平面に配設した個々の放射線検出器９で構成す
る。放射線検出器９は各開口６と関連するように
する。開口６および放射線検出器９はそれぞれの
平面においてマトリツクスの列および行の形態に
配列する。開口６の寸法を適切に選定して、開口
６を通過した走査放射線ビーム７の放射線源１に
対する開き角ａがこの走査放射線ビーム７に関連
する放射線検出器９の放射線源１に対する開き角
即ち測定角ｂの1/2より小さくなるようにする。
従つて測定角ｂは放射線源１の焦点を頂点とし、
かつ変位方向における放射線検出器９の寸法を底
辺とする三角形の２辺ｃおよびｄの間の角度であ
る。
て絞り装置５の後に配置した２次元検出装置８に
より検出され、２次元検出装置８は絞り板に平行
な平面に配設した個々の放射線検出器９で構成す
る。放射線検出器９は各開口６と関連するように
する。開口６および放射線検出器９はそれぞれの
平面においてマトリツクスの列および行の形態に
配列する。開口６の寸法を適切に選定して、開口
６を通過した走査放射線ビーム７の放射線源１に
対する開き角ａがこの走査放射線ビーム７に関連
する放射線検出器９の放射線源１に対する開き角
即ち測定角ｂの1/2より小さくなるようにする。
従つて測定角ｂは放射線源１の焦点を頂点とし、
かつ変位方向における放射線検出器９の寸法を底
辺とする三角形の２辺ｃおよびｄの間の角度であ
る。
絞り装置５は例えば、開口を備えかつ放射線透
過支持板上に配置した鉛箔で構成する。支持板お
よび鉛箔は薄いアルミニウム層によつて密封す
る。開口６は、例えば方形形状とし、寸法を0.1
×0.1mm2とし、２つの開口６の間の距離をこの寸
法の倍数の距離とする。しかし代案として開口の
形状は他の形状例えば長方形または円形とするこ
とができる。
過支持板上に配置した鉛箔で構成する。支持板お
よび鉛箔は薄いアルミニウム層によつて密封す
る。開口６は、例えば方形形状とし、寸法を0.1
×0.1mm2とし、２つの開口６の間の距離をこの寸
法の倍数の距離とする。しかし代案として開口の
形状は他の形状例えば長方形または円形とするこ
とができる。
絞り装置５から１ｍの距離に、開口６のパター
ンに従つて、１×１cm2の方形放射線感知入口面９
ａを有する検出器９を配設する。その際これら検
出器９を適切に配置して、開口６を通過した放射
線ビーム７が検出器９の中央に入射するようにす
る。被検査物体３および絞り装置５において発生
する散乱放射線に対する遮蔽のため検出装置８の
前方の極く近くに散乱放射線グリツドの如き散乱
遮蔽部材１０を配設する。
ンに従つて、１×１cm2の方形放射線感知入口面９
ａを有する検出器９を配設する。その際これら検
出器９を適切に配置して、開口６を通過した放射
線ビーム７が検出器９の中央に入射するようにす
る。被検査物体３および絞り装置５において発生
する散乱放射線に対する遮蔽のため検出装置８の
前方の極く近くに散乱放射線グリツドの如き散乱
遮蔽部材１０を配設する。
物体３の連続または隣接投影映像（影像）を形
成できるようにするため物体３を放射線ビーム２
内で絞り装置５に平行に変位するようにし、これ
は変位装置４によつて実現する。従つて開口６を
介して物体３の異なる区域が走査放射線ビーム７
により対応する検出器９上に結像され、走査放射
線ビーム７を介し吸収が測定される。放射線ビー
ム２内において物体３を移動させるので、検査装
置自体の幾何学的構成配置は変更を要しないとい
うこと、および例えば、時間に対し一定であり、
かつ例えば、放射線検出器９の出力信号による投
影映像の形成に当り考慮すべき放射線の不均一状
態が唯一回で決定されるという利点が得られる。
成できるようにするため物体３を放射線ビーム２
内で絞り装置５に平行に変位するようにし、これ
は変位装置４によつて実現する。従つて開口６を
介して物体３の異なる区域が走査放射線ビーム７
により対応する検出器９上に結像され、走査放射
線ビーム７を介し吸収が測定される。放射線ビー
ム２内において物体３を移動させるので、検査装
置自体の幾何学的構成配置は変更を要しないとい
うこと、および例えば、時間に対し一定であり、
かつ例えば、放射線検出器９の出力信号による投
影映像の形成に当り考慮すべき放射線の不均一状
態が唯一回で決定されるという利点が得られる。
物体３は開口６の寸法に対応する量だけ変位方
向に移動するようにする。方形開口６をマトリツ
クスの形態に配置した場合例えば方形開口６の側
部が行または列方向に平行また垂直に延在してい
るときには、毎回一つの方形開口６の長さにわた
り行および列方向に変位を行うようにすることが
できる。その場合この変位は階段状の如き屈曲進
路を介して行なうようにすることができる。
向に移動するようにする。方形開口６をマトリツ
クスの形態に配置した場合例えば方形開口６の側
部が行または列方向に平行また垂直に延在してい
るときには、毎回一つの方形開口６の長さにわた
り行および列方向に変位を行うようにすることが
できる。その場合この変位は階段状の如き屈曲進
路を介して行なうようにすることができる。
変位装置４は、物体３を所定量だけ変位させる
よう変位装置４を適切に付勢する制御ユニツト１
１によつて制御する。それと同時に制御ユニツト
１１は制御信号を演算ユニツト１２へ供給し、演
算ユニツト１２は各変位後に走査すべき物体の区
域または走査放射線ビームの座標を算出し、対応
する測定データ（吸収値）を座標へ割り当てる動
作を継続する。次いで測定データおよび座標をメ
モリ１３に蓄積する。その前に測定データは修正
ユニツト１４において修正することができる。こ
の修正は、時間につき一定である放射線の不均一
状態（例えば円錐状放射線の縁部における放射線
密度の減少）について行うことができ、かつ放射
線密度の時間に対する変動を補正するために行う
ことができる。後者の場合には放射線ビーム２内
に基準検出器１５を配置し、その出力信号を修正
ユニツト１４に供給する。小さい欠陥をコントラ
ストとして呈示しない無コントラスト物体を検査
する際には基準検出器１５は省略することができ
る。映像中に数個の欠陥しか生じないと仮定する
と、検出器９の個数が充分多い場合には、すべて
の測定値の和は放射線密度の時間に対する変動だ
けに実際上依存する量を示し、これを修正に使用
することができる。
よう変位装置４を適切に付勢する制御ユニツト１
１によつて制御する。それと同時に制御ユニツト
１１は制御信号を演算ユニツト１２へ供給し、演
算ユニツト１２は各変位後に走査すべき物体の区
域または走査放射線ビームの座標を算出し、対応
する測定データ（吸収値）を座標へ割り当てる動
作を継続する。次いで測定データおよび座標をメ
モリ１３に蓄積する。その前に測定データは修正
ユニツト１４において修正することができる。こ
の修正は、時間につき一定である放射線の不均一
状態（例えば円錐状放射線の縁部における放射線
密度の減少）について行うことができ、かつ放射
線密度の時間に対する変動を補正するために行う
ことができる。後者の場合には放射線ビーム２内
に基準検出器１５を配置し、その出力信号を修正
ユニツト１４に供給する。小さい欠陥をコントラ
ストとして呈示しない無コントラスト物体を検査
する際には基準検出器１５は省略することができ
る。映像中に数個の欠陥しか生じないと仮定する
と、検出器９の個数が充分多い場合には、すべて
の測定値の和は放射線密度の時間に対する変動だ
けに実際上依存する量を示し、これを修正に使用
することができる。
物体３の投影映像を実物大で形成するために
は、メモリ１３に蓄積した測定データを演算ユニ
ツト１２を介して表示装置１６（例えばモニタま
たはハードコピー装置）へ供給し、表示装置にお
いて関連する放射線ビームの位置座標を考慮して
測定データを合成するようにする。しかし測定デ
ータは、基準メモリ１７に蓄積した基準物体の対
応するデータと比較するか、または他の態様で処
理することもできる。基準物体と実際に検査した
物体との相違は例えば表示装置１６上に再生する
ことができる。
は、メモリ１３に蓄積した測定データを演算ユニ
ツト１２を介して表示装置１６（例えばモニタま
たはハードコピー装置）へ供給し、表示装置にお
いて関連する放射線ビームの位置座標を考慮して
測定データを合成するようにする。しかし測定デ
ータは、基準メモリ１７に蓄積した基準物体の対
応するデータと比較するか、または他の態様で処
理することもできる。基準物体と実際に検査した
物体との相違は例えば表示装置１６上に再生する
ことができる。
物体の投影映像を形成するための代案として、
静止物体３に対し放射線源１並に絞り装置５およ
び検出装置８を変位するようにすることもでき
る。その場合には変位装置４を、放射線源１、絞
り装置５および検出装置８に対する共通支持部材
（図示せず）に機械的に結合する必要がある。同
様に、絞り装置５によつて形成される放射線ビー
ムを放射線検出器９の縁部上に入射させることが
できない場合には、静止している放射線源１およ
び検出装置８に対し絞り装置５を変位するように
することができる。
静止物体３に対し放射線源１並に絞り装置５およ
び検出装置８を変位するようにすることもでき
る。その場合には変位装置４を、放射線源１、絞
り装置５および検出装置８に対する共通支持部材
（図示せず）に機械的に結合する必要がある。同
様に、絞り装置５によつて形成される放射線ビー
ムを放射線検出器９の縁部上に入射させることが
できない場合には、静止している放射線源１およ
び検出装置８に対し絞り装置５を変位するように
することができる。
図面は本発明の実施例をブロツク図と共に示す
略線図である。 １……Ｘ線管、２……放射線ビーム、３……被
検査物体、４……変位装置、５……絞り装置、６
……開口、７……走査放射線ビーム、８……２次
元検出装置、９……放射線検出器、９ａ……放射
線感知入口面、１０……散乱遮蔽部材、１１……
制御ユニツト、１２……演算ユニツト、１３……
メモリ、１４……修正ユニツト、１５……基準検
出器、１６……表示装置、１７……基準メモリ。
略線図である。 １……Ｘ線管、２……放射線ビーム、３……被
検査物体、４……変位装置、５……絞り装置、６
……開口、７……走査放射線ビーム、８……２次
元検出装置、９……放射線検出器、９ａ……放射
線感知入口面、１０……散乱遮蔽部材、１１……
制御ユニツト、１２……演算ユニツト、１３……
メモリ、１４……修正ユニツト、１５……基準検
出器、１６……表示装置、１７……基準メモリ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 検査すべき物体を照射する放射線源１と、 前記物体を通過した前記放射線源からの放射線
を検出する複数個の放射線検出器９を有する検出
装置８と、 前記複数個の放射線検出器に対応して位置し、
前記物体からの走査放射線ビームを前記複数個の
放射線検出器に透過する複数個の開口６を有する
絞り装置であつて、これらの開口は前記放射線源
と１つの放射線検出器とによつて規定される開き
角ｂより小さい開き角ａを有する放射線ビーム７
を透過する大きさにしてある絞り装置５と、 前記物体と前記絞り装置とを前記放射線ビーム
を横切る方向に、少なくとも前記開き角ｂに相当
する距離だけ相対的に変位させる変位装置４と、 前記絞り装置と前記検出装置との間にあつて前
記放射線検出器を散乱放射線から遮蔽する散乱放
射線グリツド装置１０と、 前記変位装置と前記検出装置との間に接続され
前記変位装置を制御すると共に前記物体の投影像
を発生させる制御装置１１〜１７とを具えたこと
を特徴とするＸ線検査装置。 ２ 特許請求の範囲第１項記載のＸ線検査装置に
おいて、検出装置８が２次元形態に配列された放
射線検出器９から成り、検査すべき物体を変位装
置４により互に交さする２方向に並進運動させる
ように構成したことを特徴とするＸ線検査装置。 ３ 特許請求の範囲１又は２項記載のＸ線検査装
置において、絞り装置５が検出装置８および検査
すべき物体３の間でこの物体の極く近くに位置す
る絞り板であることを特徴とするＸ線検査装置。 ４ 特許請求の範囲１〜３項中のいずれか一項記
載のＸ線検査装置において、開口６が方形または
円形形状を有することを特徴とするＸ線検査装
置。 ５ 特許請求の範囲１〜４項中のいずれか一項記
載のＸ線検査装置において、放射線源１、絞り装
置５および検出装置８を互に他に対し静止配置
し、変位装置４によりこれら装置１，５，８と検
査すべき物体３との間の相対変位を行わせるよう
にしたことを特徴とするＸ線検査装置。 ６ 特許請求の範囲１〜４項中のいずれか一項記
載のＸ線検査装置において、絞り装置５だけ変位
できるようにしたことを特徴とするＸ線検査装
置。 ７ 検査すべき物体を照射する放射線源１と、 前記物体を通過した前記放射線源からの放射線
を検出する複数個の放射線検出器９を有する検出
装置８と、 前記複数個の放射線検出器に対応して位置し、
前記物体からの走査放射線ビームを前記複数個の
放射線検出器に透過する複数個の開口６を有する
絞り装置であつて、これらの開口は前記放射線源
と１つの放射線検出器とによつて規定される開き
角ｂより小さい開き角ａを有する放射線ビーム７
を透過する大きさにしてある絞り装置５と、 前記物体と前記絞り装置とを前記放射線ビーム
を横切る方向に、少なくとも前記開き角ｂに相当
する距離だけ相対的に変位させる変位装置４と、 前記絞り装置と前記検出装置との間にあつて前
記放射線検出器を散乱放射線から遮蔽する散乱放
射線グリツド装置１０と、 前記変位装置と前記検出装置との間に接続され
前記変位装置を制御すると共に前記物体の投影像
を発生させる制御装置１１〜１７と、 放射線源１および検査すべき物体３の間の放射
線ビーム通路に配置された基準放射線検出器１５
とを具えたことを特徴とするＸ線検査装置。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19813104052 DE3104052A1 (de) | 1981-02-06 | 1981-02-06 | "roentgenuntersuchungsanordnung mit hoher ortsaufloesung" |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57148934A JPS57148934A (en) | 1982-09-14 |
| JPH0260329B2 true JPH0260329B2 (ja) | 1990-12-17 |
Family
ID=6124161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57015619A Granted JPS57148934A (en) | 1981-02-06 | 1982-02-04 | X-ray inspecting apparatus |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4466113A (ja) |
| EP (1) | EP0057957B1 (ja) |
| JP (1) | JPS57148934A (ja) |
| AU (1) | AU548637B2 (ja) |
| CA (1) | CA1193763A (ja) |
| DE (2) | DE3104052A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4669105A (en) * | 1984-05-29 | 1987-05-26 | Aaron Fenster | System for quantitative arteriography |
| EP0166567A3 (en) * | 1984-06-21 | 1986-11-26 | Picker International, Inc. | Imaging system and method |
| JPS6152262U (ja) * | 1984-09-11 | 1986-04-08 | ||
| JPH071240B2 (ja) * | 1985-05-07 | 1995-01-11 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線像撮像装置 |
| JPH06102065B2 (ja) * | 1985-11-26 | 1994-12-14 | 株式会社島津製作所 | 放射線撮影装置 |
| US4760265A (en) * | 1986-01-18 | 1988-07-26 | Kabushiki Kaisha Toyoda Jidoshokki Seisakusho | Method and device for detecting defects of patterns in microelectronic devices |
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