JPH0260831U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案になる赤外線温度検出プローブ
の構成例を示す断面図、第２図は従来の赤外線温
度検出プローブの構成例を示す断面図、である。
図において、 １は隔壁、３はベローズユニツト、３ａはベロ
ーズ、３ｂは装着具、４はフランジ、５は光フア
イバ、５ａはコア、６は磁気デイスク基板、７は
載置台、８ａ〜８ｄはＯ―リング、１３は光フア
イバ保持具、１４は凸レンズ、１７は透過窓、１
８はプローブ移動杆、２０は赤外線温度検出プロ
ーブ、２１は筐体、２２はスリーブ、２３はレン
ズ保持具、２４はレンズ抑え環、２５は光学系、
をそれぞれ表わしている。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) チヤンバ内に配置した物体表面から放射す
   る赤外線を光学系で光フアイバ端面に結像させ、
   該光フアイバ内を伝送する赤外線によつて上記物
   体の表面温度を検出する赤外線温度検出プローブ
   であつて、 上記光学系２５を、所定長さの円筒状のレンズ
   保持具２３と凸レンズ１４および該レンズ保持具
   の外径部分で嵌合するレンズ抑え環２４とを中心
   軸を合わせて一体化構成し、 切断端面を持つ光フアイバ５を、光フアイバ保
   持具１３で保持した状態で筐体２１の所定部分２
   １ｃに突き当てて位着決めし、上記光学系２５の
   レンズ保持具２３が奥になるように上記光学系２
   ５を該光フアイバの切断端面側から挿入した状態
   で、透過窓１７およびＯ―リング８ｄを介して円
   筒状スリーブ２２を該筐体２１にねじ込み、上記
   光学系２５および透過窓１７を固定してなること
   を特徴とした赤外線温度検出プローブ。 (2) 前記赤外線温度検出プローブの光学系２５
   および透過窓１７の固定を、円筒状スリーブ２２
   をねじ込むことにより透過窓１７を介して押圧さ
   れるＯ―リング８ｄの内周部分をレンズ抑え環２
   ４の外周部で保持する如くに構成してなることを
   特徴とした請求項１記載の赤外線温度検出プロー
   ブ。