JPH0261002B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0261002B2 JPH0261002B2 JP60176609A JP17660985A JPH0261002B2 JP H0261002 B2 JPH0261002 B2 JP H0261002B2 JP 60176609 A JP60176609 A JP 60176609A JP 17660985 A JP17660985 A JP 17660985A JP H0261002 B2 JPH0261002 B2 JP H0261002B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- refractive index
- range
- wavelength range
- layers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Description
産業上の利用分野
本発明は、光学レンズなどの光学要素の表面に
設けられその透過率を向上させるための反射防止
膜に関するものである。 従来の技術 近年、スチルカメラ、ビデオカメラの分野にお
いて、撮影レンズの自動焦点検出装置が各種提案
されている。特に、ビデオカメラに応用される自
動焦点検出装置として有力な方式のひとつに、撮
影すべき被写体（以下、被写体と略称する）に測
距用信号として近赤外光を投射し、前記被写体に
より反射した前記測距用信号を受光し、受光した
前記測距用信号に基づき撮影レンズを適切なフオ
ーカシング位置に駆動する方式がある。前記近赤
外光は撮影レンズを介して投射または受光される
ことが多いが、近赤外光の光量は測距距離および
測距精度に大きく影響するため、撮影レンズには
近赤外光に対する反射防止膜を形成する必要があ
る。一方、従来の撮影レンズには単層から４層程
度の層数の反射防止膜が使われており、単一波長
近傍あるいは可視波長域（および400〜600nm、
広帯域化を図つたものでおよそ400nm〜700nm）
において反射防止の効果をもたせたものが多い。
また、構成の詳細は明らかではないが、可視波長
域から近赤外波長域（およそ400〜1000nm）にわ
たつて反射防止の効果をもたせるため、さらに多
くの多層膜化（10層以上）が図られている例もあ
る。（例えば、藤原史朗編；「光学薄膜」（1985）
第98頁〜第110頁、「オプトロニクス」（1984）No.
６第44頁〜第45頁） 発明が解決しようとする問題点 しかしながら上記のような構成、すなわち単層
から４層程度の反射防止膜では前記自動焦点検出
方式に使用される撮影レンズに対しての反射防止
膜としては有効な波長域が不充分であり、特に多
層反射防止膜のものは、有効波長域の両側で反射
率が急激に増加しており、前記の測距用近赤外光
に対する反射防止膜として適当でない。また、可
視波長域から近赤外波長域にわたつて反射防止の
効果をもたせるためにさらに多くの多層膜化（10
層以上）を図つたものは、コストも高く製造上の
歩留りも悪くなると予想されこれも生産的にはあ
まり適当ではないという問題点を有していた。 本発明は上記問題点を鑑み、可視光及び測距用
近赤外光に対しての反射防止として有効で生産性
にも優れた反射防止膜を提供するものである。 問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するために、ｄ線に対する屈
折率（nd）が1.63〜1.65のガラス基板に対して本
発明の反射防止膜は６層構成からなり空気側から
基板側へ順に第１層、第３層及び第５層は屈折率
1.35〜1.40の範囲にある低屈折率物質からなり、
また第２層、第４層及び第６層は屈折率1.90〜
2.40の範囲にある高屈折率物質からなり、かつ各
層の光学的膜厚は以下の条件を満足したものであ
る。 n1d1＝（0.2771±0.0139）λ0 n2d2＝（0.1066±0.0107）λ0 n3d3＝（0.0460±0.0046）λ0 n4d4＝（0.4871±0.0244）λ0 n5d5＝（0.0424±0.0042）λ0 n6d6＝（0.0949±0.0095）λ0 但し、λ0；可視波長域における設計波長 作 用 本発明は上記した構成によつて、可視波長域
（400〜600nm）及び近赤外波長域（840〜900nm）
の光に対して有効な反射防止を行ない、波長
880nm近傍の近赤外光を用いる焦点検出方式に適
した反射防止膜を提供するものである。 実施例 以下本発明の一実施例の反射防止膜について、
図面を参照しながら説明する。 第１図は本発明の反射防止膜の構成を示すもの
である。第１図において１はガラス基板であり、
反射防止膜は空気側から基板１側へ順に、第１層
１１，第２層１２，第３層１３，第４層１４，第
５層１５，及び第６層１６の６層構成からなり各
層の構成材料及び光学的膜厚を第１表に示す。
設けられその透過率を向上させるための反射防止
膜に関するものである。 従来の技術 近年、スチルカメラ、ビデオカメラの分野にお
いて、撮影レンズの自動焦点検出装置が各種提案
されている。特に、ビデオカメラに応用される自
動焦点検出装置として有力な方式のひとつに、撮
影すべき被写体（以下、被写体と略称する）に測
距用信号として近赤外光を投射し、前記被写体に
より反射した前記測距用信号を受光し、受光した
前記測距用信号に基づき撮影レンズを適切なフオ
ーカシング位置に駆動する方式がある。前記近赤
外光は撮影レンズを介して投射または受光される
ことが多いが、近赤外光の光量は測距距離および
測距精度に大きく影響するため、撮影レンズには
近赤外光に対する反射防止膜を形成する必要があ
る。一方、従来の撮影レンズには単層から４層程
度の層数の反射防止膜が使われており、単一波長
近傍あるいは可視波長域（および400〜600nm、
広帯域化を図つたものでおよそ400nm〜700nm）
において反射防止の効果をもたせたものが多い。
また、構成の詳細は明らかではないが、可視波長
域から近赤外波長域（およそ400〜1000nm）にわ
たつて反射防止の効果をもたせるため、さらに多
くの多層膜化（10層以上）が図られている例もあ
る。（例えば、藤原史朗編；「光学薄膜」（1985）
第98頁〜第110頁、「オプトロニクス」（1984）No.
６第44頁〜第45頁） 発明が解決しようとする問題点 しかしながら上記のような構成、すなわち単層
から４層程度の反射防止膜では前記自動焦点検出
方式に使用される撮影レンズに対しての反射防止
膜としては有効な波長域が不充分であり、特に多
層反射防止膜のものは、有効波長域の両側で反射
率が急激に増加しており、前記の測距用近赤外光
に対する反射防止膜として適当でない。また、可
視波長域から近赤外波長域にわたつて反射防止の
効果をもたせるためにさらに多くの多層膜化（10
層以上）を図つたものは、コストも高く製造上の
歩留りも悪くなると予想されこれも生産的にはあ
まり適当ではないという問題点を有していた。 本発明は上記問題点を鑑み、可視光及び測距用
近赤外光に対しての反射防止として有効で生産性
にも優れた反射防止膜を提供するものである。 問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するために、ｄ線に対する屈
折率（nd）が1.63〜1.65のガラス基板に対して本
発明の反射防止膜は６層構成からなり空気側から
基板側へ順に第１層、第３層及び第５層は屈折率
1.35〜1.40の範囲にある低屈折率物質からなり、
また第２層、第４層及び第６層は屈折率1.90〜
2.40の範囲にある高屈折率物質からなり、かつ各
層の光学的膜厚は以下の条件を満足したものであ
る。 n1d1＝（0.2771±0.0139）λ0 n2d2＝（0.1066±0.0107）λ0 n3d3＝（0.0460±0.0046）λ0 n4d4＝（0.4871±0.0244）λ0 n5d5＝（0.0424±0.0042）λ0 n6d6＝（0.0949±0.0095）λ0 但し、λ0；可視波長域における設計波長 作 用 本発明は上記した構成によつて、可視波長域
（400〜600nm）及び近赤外波長域（840〜900nm）
の光に対して有効な反射防止を行ない、波長
880nm近傍の近赤外光を用いる焦点検出方式に適
した反射防止膜を提供するものである。 実施例 以下本発明の一実施例の反射防止膜について、
図面を参照しながら説明する。 第１図は本発明の反射防止膜の構成を示すもの
である。第１図において１はガラス基板であり、
反射防止膜は空気側から基板１側へ順に、第１層
１１，第２層１２，第３層１３，第４層１４，第
５層１５，及び第６層１６の６層構成からなり各
層の構成材料及び光学的膜厚を第１表に示す。
【表】
また、第２図は分光反射率特性を示す図であ
り、曲線ａは光学的膜厚λ0／４（λ0＝520nm）の
MgF2単層膜をガラス基板１の表面に形成したも
の、曲線ｂは本実施例のものである。 第２図から本実施例の反射防止膜はおよそ400
〜600nmの可視波長域及びおよそ820〜920nmの
近赤外波長域において良好な反射防止効果をもつ
ことがわかる。特に、可視波長域での平均反射率
はMgF2単層膜のものよりも小さくなつており良
好な反射防止膜となつている。 なお、上記の実施例において第１層１１，第３
層１３，第５層１５を形成する高屈折率物質は
ZrTiO4としたが前記高屈折率物質はZrO2，
TiO2、あるいは前記物質の少なくとも２種類の
混合物でもよい。 発明の効果 以上のように本発明は、ｄ線に対する屈折率
（nd）が1.63〜1.65のガラス基板上に６層構成の
反射防止膜を設け空気側から基板側へ第１層、第
３層及び第５層は屈折率1.35〜1.40の範囲にある
低屈折率物質からなり、第２層、第４層及び第６
層は屈折率1.90〜2.40の範囲にある高屈折率物質
からなり、かつ各層の光学的膜厚は以下の条件を
満足させることにより、可視光及び近赤外光に対
して良好な反射防止を行なうことができる。 n1d1＝（0.2771±0.0139）λ0 n2d2＝（0.1066±0.0107）λ0 n3d3＝（0.0460±0.0046）λ0 n4d4＝（0.4871±0.0244）λ0 n5d5＝（0.0424±0.0042）λ0 n6d6＝（0.0949±0.0095）λ0 λ0；可視波長域における設計波長 また、本発明の反射防止膜は生産性にも優れた
ものであるのでその実用的価値はきわめて大であ
る。
り、曲線ａは光学的膜厚λ0／４（λ0＝520nm）の
MgF2単層膜をガラス基板１の表面に形成したも
の、曲線ｂは本実施例のものである。 第２図から本実施例の反射防止膜はおよそ400
〜600nmの可視波長域及びおよそ820〜920nmの
近赤外波長域において良好な反射防止効果をもつ
ことがわかる。特に、可視波長域での平均反射率
はMgF2単層膜のものよりも小さくなつており良
好な反射防止膜となつている。 なお、上記の実施例において第１層１１，第３
層１３，第５層１５を形成する高屈折率物質は
ZrTiO4としたが前記高屈折率物質はZrO2，
TiO2、あるいは前記物質の少なくとも２種類の
混合物でもよい。 発明の効果 以上のように本発明は、ｄ線に対する屈折率
（nd）が1.63〜1.65のガラス基板上に６層構成の
反射防止膜を設け空気側から基板側へ第１層、第
３層及び第５層は屈折率1.35〜1.40の範囲にある
低屈折率物質からなり、第２層、第４層及び第６
層は屈折率1.90〜2.40の範囲にある高屈折率物質
からなり、かつ各層の光学的膜厚は以下の条件を
満足させることにより、可視光及び近赤外光に対
して良好な反射防止を行なうことができる。 n1d1＝（0.2771±0.0139）λ0 n2d2＝（0.1066±0.0107）λ0 n3d3＝（0.0460±0.0046）λ0 n4d4＝（0.4871±0.0244）λ0 n5d5＝（0.0424±0.0042）λ0 n6d6＝（0.0949±0.0095）λ0 λ0；可視波長域における設計波長 また、本発明の反射防止膜は生産性にも優れた
ものであるのでその実用的価値はきわめて大であ
る。
第１図は本発明の反射防止膜の構成図、第２図
は分光反射率の特性図である。 １……ガラス基板、１１……第１層、１２……
第２層、１３……第３層、１４……第４層、１５
……第５層、１６……第６層、ａ……MgF2単層
膜の分光反射率特性を示す曲線、ｂ……本発明の
実施例の分光反射率特性を示す曲線。
は分光反射率の特性図である。 １……ガラス基板、１１……第１層、１２……
第２層、１３……第３層、１４……第４層、１５
……第５層、１６……第６層、ａ……MgF2単層
膜の分光反射率特性を示す曲線、ｂ……本発明の
実施例の分光反射率特性を示す曲線。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ｄ線に対する屈折率（nd）が1.63〜1.65の範
囲にあるガラス基板の表面に形成された反射防止
膜であつて、前記反射防止膜は６層構成からなり
空気側から基板側へ第１層、第３層及び第５層は
屈折率1.35〜1.40の範囲にある低屈折率物質から
なり、第２層、第４層及び第６層は屈折率1.90〜
2.40の範囲にある高屈折率物質からなり、かつ各
層の光学的膜厚は以下の条件 n1d1＝（0.2771±0.0139）λ0 n2d2＝（0.1066±0.0107）λ0 n3d3＝（0.0460±0.0046）λ0 n4d4＝（0.4871±0.0244）λ0 n5d5＝（0.0424±0.0042）λ0 n6d6＝（0.0949±0.0095）λ0 但し、ここで、 ni；第ｉ層の構成物質の屈折率 （ｉ＝１，２，…，６） nidi；第ｉ層の構成物質の光学的膜厚 （ｉ＝１，２，…，６） λ0；可視波長域における設計波長 を満足することを特徴とする反射防止膜。 ２ 第１層、第３層及び第５層を構成する低屈折
率物質がMgF2であることを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の反射防止膜。 ３ 第２層、第４層及び第６層を構成する高屈折
率物質がZrTiO4，ZrO2，TiO2あるいは前記物質
の少なくとも２種類の混合物であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の反射防止膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60176609A JPS6236602A (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-09 | 反射防止膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60176609A JPS6236602A (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-09 | 反射防止膜 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6236602A JPS6236602A (ja) | 1987-02-17 |
| JPH0261002B2 true JPH0261002B2 (ja) | 1990-12-18 |
Family
ID=16016558
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60176609A Granted JPS6236602A (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-09 | 反射防止膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6236602A (ja) |
-
1985
- 1985-08-09 JP JP60176609A patent/JPS6236602A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6236602A (ja) | 1987-02-17 |
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