JPH0261552A - パターン検査装置 - Google Patents
パターン検査装置Info
- Publication number
- JPH0261552A JPH0261552A JP63214015A JP21401588A JPH0261552A JP H0261552 A JPH0261552 A JP H0261552A JP 63214015 A JP63214015 A JP 63214015A JP 21401588 A JP21401588 A JP 21401588A JP H0261552 A JPH0261552 A JP H0261552A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- printed circuit
- circuit board
- detected
- magnetic field
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はプリント基板上に超電導材料で形成されたパタ
ーンの検査装置に関するものである。
ーンの検査装置に関するものである。
従来の技術
従来プリント基板上に形成されたパターンの欠陥を検出
する検査装置としては、例えば第４図に示すように任意
のポイント間にプローブ対４０２を接触させ、ポイント
間の電気的導通の有無により欠陥を検出する構成のもの
がある。
する検査装置としては、例えば第４図に示すように任意
のポイント間にプローブ対４０２を接触させ、ポイント
間の電気的導通の有無により欠陥を検出する構成のもの
がある。
発明が解決しようとする課題
しかしながら前記のような検査装置では、１、形成した
パターンに対してプローブを接触させる必要がある。
パターンに対してプローブを接触させる必要がある。
２、複数のポイントで検査を同時に行う場合には検査し
たいポイントの数だけプローブ対カ必要となる。
たいポイントの数だけプローブ対カ必要となる。
３、複雑なパターンに対して全パターンの導通状態を検
査することは実用上不可能である。
査することは実用上不可能である。
４、プリント基板のファインパターン化にともないプロ
ーブの使用が物理的に不可能となる。
ーブの使用が物理的に不可能となる。
５．パターンの異なるプリント基板を検査する場合には
、検査装置のプローブの位置、数等を物理的に変更する
必要がある。
、検査装置のプローブの位置、数等を物理的に変更する
必要がある。
等の課題を有していた。
本発明はかかる点に鑑み、超電導材料が有するマイスナ
ー効果を利用して、プリント基板上に超電導材料で形成
されたパターンの欠陥を簡易な装置構成で非接触に行う
ことを可能にし、異なるパターンに対しても装置を物理
的に変更することなくパターンの欠陥を検査することが
できるパターン検査装置を提供することを目的とする。
ー効果を利用して、プリント基板上に超電導材料で形成
されたパターンの欠陥を簡易な装置構成で非接触に行う
ことを可能にし、異なるパターンに対しても装置を物理
的に変更することなくパターンの欠陥を検査することが
できるパターン検査装置を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
本発明のパターン検査装置は、平行磁力線発生手段と、
磁力線検出手段と、比較手段とを備え、比較手段により
、原パターンと検出パターンとを比較する構成を存して
いる。
磁力線検出手段と、比較手段とを備え、比較手段により
、原パターンと検出パターンとを比較する構成を存して
いる。
作用
上述した構成の本発明によるパターン検査装置では、パ
ターンの欠陥を検出するに際して、平行磁力線発生手段
により作られた磁界の中にプリント基板を配置し、プリ
ント基板を通過した磁力線の有無を磁力線検出手段によ
り検出し、プリント基板上に形成されたパターンを検出
するとともに、比較手段は、磁力線検出手段において検
出されたパターンと原パターンとを比較しプリント基板
上に形成されたパターンの欠陥を検出する。
ターンの欠陥を検出するに際して、平行磁力線発生手段
により作られた磁界の中にプリント基板を配置し、プリ
ント基板を通過した磁力線の有無を磁力線検出手段によ
り検出し、プリント基板上に形成されたパターンを検出
するとともに、比較手段は、磁力線検出手段において検
出されたパターンと原パターンとを比較しプリント基板
上に形成されたパターンの欠陥を検出する。
実施例
第１図は本発明の実施例におけるパターン検査装置の構
成図を示す斜視図である。
成図を示す斜視図である。
第１図において、１は垂直平行磁力線を発生する磁力線
発生装置、２はプリント基板を通過した磁力線の有無を
磁気センサにより検出する磁力線検出装置、３は検出さ
れたパターンと原パターンとを比較するパターン比較装
置、４はプリント基板である。
発生装置、２はプリント基板を通過した磁力線の有無を
磁気センサにより検出する磁力線検出装置、３は検出さ
れたパターンと原パターンとを比較するパターン比較装
置、４はプリント基板である。
以上のように構成されたこの実施例のパターン検査装置
において、以下その動作を説明する。
において、以下その動作を説明する。
超電導材料でパターンが形成されたプリント基板４を第
２図に示すようにパターン面を下にして磁力線検出装置
２の上に配置し、第１図に示すように、磁力線発生装置
１によりプリント基板４全体に対して−様な垂直平行磁
界をかけたとき、磁力線検出装置２は、プリント基板４
を通過した磁力線の有無を磁気センサにより検出しプリ
ント基板４上に形成されたパターンを検出する。
２図に示すようにパターン面を下にして磁力線検出装置
２の上に配置し、第１図に示すように、磁力線発生装置
１によりプリント基板４全体に対して−様な垂直平行磁
界をかけたとき、磁力線検出装置２は、プリント基板４
を通過した磁力線の有無を磁気センサにより検出しプリ
ント基板４上に形成されたパターンを検出する。
第２図に示すように、超電導材料で形成されたパターン
部分はマイスナー効果により磁力線が通過せずパターン
部分では磁力線は検出されない。
部分はマイスナー効果により磁力線が通過せずパターン
部分では磁力線は検出されない。
一方パターン以外の部分は磁力線がそのまま通過するの
で磁力線が検出される。したがって、プリント基板を通
過した磁力線を検出することによりプリント基板上に形
成されたパターンを検出することができる。
で磁力線が検出される。したがって、プリント基板を通
過した磁力線を検出することによりプリント基板上に形
成されたパターンを検出することができる。
パターン比較装置３は、磁力線検出装置２により検出さ
れたパターンと予め登録された原パターンとを比較する
。
れたパターンと予め登録された原パターンとを比較する
。
パターンに欠陥がない部分は、磁力線検出装置２により
検出されたパターンと原パターンとの一致がパターン比
較装置３により比較され、一方パターンに欠陥がある部
分は磁力線検出装置２により検出されたパターンと原パ
ターンとの不一致がパターン比較装置３により検出され
る。
検出されたパターンと原パターンとの一致がパターン比
較装置３により比較され、一方パターンに欠陥がある部
分は磁力線検出装置２により検出されたパターンと原パ
ターンとの不一致がパターン比較装置３により検出され
る。
以上のようにこの実施例によれば、プリント基板４を通
過する磁力線を検出する磁力線検出装置２と、検出され
たパターンと予め登録された原パターンとを比較するパ
ターン比較装置３とを設けることにより、プリント基板
４上に形成されたパターンの欠陥を簡易な構成で非接触
に検出することができ、異なるパターンの検査に対して
も検査装置を物理的に変更することなく、登録するパタ
ーンを変更するのみで検査することができる。
過する磁力線を検出する磁力線検出装置２と、検出され
たパターンと予め登録された原パターンとを比較するパ
ターン比較装置３とを設けることにより、プリント基板
４上に形成されたパターンの欠陥を簡易な構成で非接触
に検出することができ、異なるパターンの検査に対して
も検査装置を物理的に変更することなく、登録するパタ
ーンを変更するのみで検査することができる。
本実施例における超電導材料としては、薄膜化できる超
電導材料であればその臨界温度に関係なく使用できる。
電導材料であればその臨界温度に関係なく使用できる。
例えば、常温超電導材料の場合にはそのままの構成でよ
く、低温超電導材料の場合にもプリント基板を低温にす
る手段を上述の構成に付加するだけでよい。
く、低温超電導材料の場合にもプリント基板を低温にす
る手段を上述の構成に付加するだけでよい。
なお、本実施例において磁力線検出装置２として第３図
に示すようにアレイ状に配置した磁気センサ２０１とプ
リント基板４を相対的に移動することにより磁力線を検
出してもよい。
に示すようにアレイ状に配置した磁気センサ２０１とプ
リント基板４を相対的に移動することにより磁力線を検
出してもよい。
さらに、本実施例において磁力線検出装置２として磁力
線の強度を検出できる磁気センサを用いれば、形成され
たパターン部分の超電導状態のばらつきを検出すること
ができ、形成されたパターンの内部杖態を知ることがで
き、プリント基板の品質を判定可能となる。
線の強度を検出できる磁気センサを用いれば、形成され
たパターン部分の超電導状態のばらつきを検出すること
ができ、形成されたパターンの内部杖態を知ることがで
き、プリント基板の品質を判定可能となる。
発明の詳細
な説明したように、本発明によれば、超電導材料で形成
されたパターンの欠陥を簡易な構成で非接触に検出でき
るため、検査時間の短縮ならびに検査精度の向上の点か
らその実用的効果は太きい。
されたパターンの欠陥を簡易な構成で非接触に検出でき
るため、検査時間の短縮ならびに検査精度の向上の点か
らその実用的効果は太きい。
また、異なるパターンの検査に対しても検査装置の物理
的変更を行うことなく検査することができ、その実用的
効果は大きい。
的変更を行うことなく検査することができ、その実用的
効果は大きい。
第１図は本発明の実施例におけるパターン検査装置の構
成を示す斜視図、第２図は本実施例のパターン検査装置
の断面図、第３図は他の実施例におけるプリント基板４
と磁気センサ２０１の斜視図、第４図はプリント基板の
斜視図である。 １・・・平行磁力線発生装置、２・・・磁力線検出装置
、３・・・パターン比較装置。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ばか１名第２図 ４− プリンに基教 １ 図 ｖ１１３図 ｚＯｌ慮沃仁ンナ
成を示す斜視図、第２図は本実施例のパターン検査装置
の断面図、第３図は他の実施例におけるプリント基板４
と磁気センサ２０１の斜視図、第４図はプリント基板の
斜視図である。 １・・・平行磁力線発生装置、２・・・磁力線検出装置
、３・・・パターン比較装置。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ばか１名第２図 ４− プリンに基教 １ 図 ｖ１１３図 ｚＯｌ慮沃仁ンナ
Claims (3)
- （１）平行磁力線発生手段と、この平行磁力線発生手段
に対し検査されるプリント基板と反対側に配置された磁
力線検出手段と、比較手段とを備え、前記比較手段は磁
力線検出手段により検出されたパターンと原パターンと
を比較しプリント基板に形成されたパターンの欠陥を検
出することを特徴とするパターン検査装置。 - （２）磁力線検出手段が、アレイ状に配置された磁気セ
ンサを備え、磁気センサとプリント基板とを何れか一方
もしくは両方を移動することによりプリント基板上に形
成されたパターンを検出することを特徴とする請求項１
記載のパターン検査装置。 - （３）磁力線検出手段が、磁力線強度を検出できる磁気
センサにより構成することを特徴とする請求項１または
２記載のパターン検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63214015A JPH0261552A (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 | パターン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63214015A JPH0261552A (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 | パターン検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0261552A true JPH0261552A (ja) | 1990-03-01 |
Family
ID=16648862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63214015A Pending JPH0261552A (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 | パターン検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0261552A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100478482B1 (ko) * | 2002-07-30 | 2005-03-28 | 동부아남반도체 주식회사 | 웨이퍼 검사장치 |
-
1988
- 1988-08-29 JP JP63214015A patent/JPH0261552A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100478482B1 (ko) * | 2002-07-30 | 2005-03-28 | 동부아남반도체 주식회사 | 웨이퍼 검사장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR870007561A (ko) | 피검사물의 표면 검사 장치 | |
| ATE180065T1 (de) | Fabrikationsfehleranalysator mit verbesserter fehlererfassung | |
| KR100630005B1 (ko) | 비파괴 검사 장치 및 검사 방법 | |
| JP2002156342A (ja) | 回路基板を試験する方法およびこの方法を実施する装置 | |
| KR19990076663A (ko) | 탐침의 위치 조정에 의한 인쇄 회로의 전기분석 장치 | |
| JPH1038854A (ja) | 導電性材料の非破壊検査方法および装置 | |
| Chomsuwan et al. | Bare PCB inspection system with SV-GMR sensor eddy-current testing probe | |
| JPH0261552A (ja) | パターン検査装置 | |
| JPH02224354A (ja) | 半導体装置のコンタクトホールの目ずれ検査方法 | |
| JPS62187258A (ja) | 回路板の検査方法 | |
| JP2767291B2 (ja) | 検査装置 | |
| JPH01156681A (ja) | 回路基板検査方法 | |
| Sun et al. | Enhanced flaw detection using an eddy current probe with a linear array of hall sensors | |
| JPH04355378A (ja) | コンタクトプローブ接触確認法 | |
| JPS626161A (ja) | 漏洩磁束測定による探傷方法 | |
| Ando et al. | Automatic opitcal through hole inspection method for printed wiring boards using leakage light detection | |
| JP4369002B2 (ja) | 回路基板検査装置 | |
| JPH01182745A (ja) | スルーホール欠陥検出装置 | |
| JPH04314400A (ja) | 連続検査装置 | |
| Koggalage et al. | Giant Magnetoresistance Based Eddy Current Sensor for High-speed PCB Defect Detection | |
| US7944204B2 (en) | Identification of points of interest in a region of the surface of a part and application to the optimization of the path and of the angular position of eddy current probes | |
| JPS63256872A (ja) | ２点間測定式導通試験器 | |
| JPH05259248A (ja) | 基板検査装置 | |
| JPH04208845A (ja) | プリント配線板検査装置 | |
| JPS59174771A (ja) | 回路基板絶縁抵抗試験装置 |