JPH0262031A - サックバック弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体製造工程に関し、特にフォトリソグラフ
ィーにおいて半導体基板すなわち半導体ウェハー表面に
フォトレジストを滴下し、その後ウェハーを回転させ遠
心力の作用によりウェハー上にフォトレジスト塗布膜を
形成するフォトレジスト塗布処理装置のフォトレジスト
配管系に使用するサックバック弁（流体滴下防止弁）に
関する。

〔従来の技術〕

従来、この種のサックバック弁は第３図に示すように、
駆動用エアー圧力によりピストン１２を押し下げた状態
からフォトレジスト滴下停止のタイミングに同期させて
駆動用エアーの加圧を開放することにより、スプリング
６の力によりピストン１２が上昇し、ピストンロッド１
０に連結されているダイアフラム８を引き上げ、サック
バック弁内部のフォトレジスト保留部９の容積を増大さ
せることにより、フォトレジスト滴下ノズル先端部のフ
ォトレジストを引き戻してノズルからのボタ落ちを防止
する働きをしている。１はサックバック量調整ロッド、
４は弁本体、１１は電磁弁、１３はスピードコントロー
ラーである。

〔発明が解決しようとする課題〕

フォトレジスト配管系に使用されるサックバック弁の機
能はフォトレジスト滴下停止時にノズル配管先端部のフ
ォトレジストをある程度の距離を引き戻すことでノズル
先端からのボタ落ちを防ぐと共に、フォトレジストとノ
ズル周囲の雰囲気との接触を低減してフォトレジスト中
の溶剤の揮発による成分の変質を防ぐことである。しか
し、サックバック時の引き戻し速度が速いと配管内壁に
一部のフォトレジストを残留させ、これがノズル先端ま
で降下し、周囲の雰囲気に触れて成分の変質を起こして
しまったり、配管中に気泡が混入してしまい、これらの
変質したフォトレジストや気泡が次の滴下時にウェハー
表面に付着することが塗布不良の原因となる。

このため、サックバック弁に要求される性能としてはサ
ックバック時の引き量の微量調整ができること、引き量
が安定していること、サックバック速度のｌｉａ調整が
できることが重要である。

前述した従来のサックバック弁ではサックバック速度の
調整は駆動用エアー配管に設けられたスピードコントロ
ーラー１３のニ−ドルを調整することにより、ピストン
上昇時の排気エアーの流量を制御して行っているが、制
御流量が極めて微量であること、制御時間がかなり短時
間であることがらサックバック速度のｇ＆ｍｍが非常に
困難であり、安定性も低いという欠点がある。

本発明の目的は前記課題を解決したサックバック弁を提
供することにある。

〔発明の従来技術に対する相違点〕

上述した従来のサックバック弁に対し、本発明は排気エ
アー流量を制御するのでなく、ピストン上昇時に排出す
る油液をスピードコントローラーのニ−ドルにより制御
するため、制御流体である油液が空気と比べて粘性が高
いこと及び非圧１Ｉｒｉ′ｉ性流体であることからサッ
クバック速度の微調整が容易で安定性にも潰れていると
いう相違点を有する。

〔課題を解決するための手段〕

前記目的を達成するため、本発明はフォトレジスト塗布
処理装置のフォトレジスト滴下配管系に設けられ、滴下
ノズル先端からのフォトレジストのボタ落ちを防止する
サックバック弁において、駆動用エアー圧力を油圧力に
変換するための第１のピストンと、変換された油圧力に
て駆動される第２のピストンと、該第２のピストンにピ
ストンロッドを介して連結されたダイアフラムと、油圧
力により押し下げられたピストンを圧力開放時に元の位
置に押し戻すスプリングと、ピストンの原位置への復帰
時に油液のリターン流量を制御するニ−ドルとを有する
ものである。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

（実施例１） 第１図は本発明の実施例１を示す概略図である。

図において、本発明に係るサックバック弁は、弁本体４
のシリンタ４ａ内を駆動用エアーの圧力にて摺動するピ
ストン２と、ピストン２の駆動により弁本体４のシリン
ダ４ａ内にて圧力を受ける油液（斜線部分）５と、該油
液５により油圧駆動するピストン３と、油液５の流量を
制御するニ−ドル７と、ピストン３のピストンロッド１
０に直結しているダイアフラム８と、油圧により押し下
げられたダイアフラム８を元の位置に戻すスプリング６
により構成されている。１はサックバックｉ調整ロッド
である。

実施例において、電磁弁１１の動作によりピストン２の
上部にエアーの圧力を加えると、これによりピストン２
の下部に封入されている油液５にも同じ圧力が作用する
。こうして発生した油圧によりピストン３が押し下げら
れ、ピストンロッド１０を介してダイアフラム８を駆動
させ、フォトレジスト保留部９の容積が収縮した状態と
なる。この状態の後、電磁弁１１を切り換え、ピストン
２上部のエアー圧を開放することにより、スプリング６
の力によりピストン３を押し戻し、これによりフォトレ
ジスト保留部９の容積を増大させサックバック動作を行
うことになる。このときに油液５はピストン３の上部か
ら押し戻されてピストン２の下部へシリンダ４ａ内を移
動するが、その流量はニ−ドル７の調整により制御され
る。よって二一ドル７の調整によるサックバック速度の
微調整が可能となる。

（実施例２） 第２図は本発明の実施例２を示す概略図である。

実施例２ではエアー駆動による油圧発生機構部と流量制
御機構部とを独立して弁本体４とボディ１５とにそれぞ
れ組み込み、油圧用配管１４により接続されている点が
実施例１と異なっている。この実施例では油圧発生ｍ構
部と流量制御機構部が一体となったユニットを追加する
ことにより、従来のサックバック弁をそのまま使用でき
番という利点がある。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明はサックバック速度の調整を
油液流量の制御により行うため、サックバック速度の微
調整が容易にでき、安定性にも優れているという効果を
有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例１を示す概略図、第２図は本発
明の実施例２を示す概略図、第３図は従来のサックバッ
ク弁を示す概略図である。 １・・・サックバック量調整ロッド ２・・・ピストン　　　　　３・・・ピストン４・・・
弁本体　　　　　　５・・・油液６・・・スプリング　
　　　７・・・ニ−ドル８・・・ダイアフラム ９・・・フォトレジスト保留部 １０・・・ロッド　　　　　　１１・・・電磁弁１２・
・・ピストン １３・・・スピードコントローラー １４・・・油圧配管　　　　　１５・・・ボディ６：ス
プリング ７二二−ドンレ 第１　図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）フォトレジスト塗布処理装置のフォトレジスト滴
   下配管系に設けられ、滴下ノズル先端からのフォトレジ
   ストのボタ落ちを防止するサックバック弁において、駆
   動用エアー圧力を油圧力に変換するための第１のピスト
   ンと、変換された油圧力にて駆動される第２のピストン
   と、該第２のピストンにピストンロッドを介して連結さ
   れたダイアフラムと、油圧力により押し下げられたピス
   トンを圧力開放時に元の位置に押し戻すスプリングと、
   ピストンの原位置への復帰時に油液のリターン流量を制
   御するニ−ドルとを有することを特徴とするサックバッ
   ク弁。