JPH0262085A - セラミックアクチュエータ - Google Patents
セラミックアクチュエータInfo
- Publication number
- JPH0262085A JPH0262085A JP63213972A JP21397288A JPH0262085A JP H0262085 A JPH0262085 A JP H0262085A JP 63213972 A JP63213972 A JP 63213972A JP 21397288 A JP21397288 A JP 21397288A JP H0262085 A JPH0262085 A JP H0262085A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shim
- ceramic actuator
- view
- piezoelectric element
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は各種機器部品の微小変位化の要望を満たすセラ
ミックアクチュエータに関するものである。
ミックアクチュエータに関するものである。
従来の技術
従来、この種のセラミックアクチュエータは第４図、第
６図、第６図に示すように構成されている。
６図、第６図に示すように構成されている。
第４図は斜視図、第６図は要部拡大断面図、第６図は使
用時の構成例を示す断面図である。
用時の構成例を示す断面図である。
第４図〜第６図において、長方形状の薄金属板よりなる
シム１の片面側に薄板長方形状の圧電素子２が貼り合さ
れている。この長方形状の一端部は固定台３．３乙に接
着またはバネ加圧力による挾み込み固定の片持梁状に構
成され、片持梁の先端部には被微小変位物（図示せず）
が取付けられる。
シム１の片面側に薄板長方形状の圧電素子２が貼り合さ
れている。この長方形状の一端部は固定台３．３乙に接
着またはバネ加圧力による挾み込み固定の片持梁状に構
成され、片持梁の先端部には被微小変位物（図示せず）
が取付けられる。
そして、固定台３，３乙間に電圧４が入力されると、圧
電素子２は電圧の極性に応じ伸縮し、貼り合わせのシム
１の無伸縮との関係より撓みが生じるものである。
電素子２は電圧の極性に応じ伸縮し、貼り合わせのシム
１の無伸縮との関係より撓みが生じるものである。
発明が解決しようとする課題
このような従来の構成では、シム１が一枚の平板状であ
り、変位量を多く得るには総厚寸法を薄くする必要とな
るが、その場合には機械共振周波数の低下、駆動力の低
下となり、実使用上で制約を受は易いという課題があっ
た。
り、変位量を多く得るには総厚寸法を薄くする必要とな
るが、その場合には機械共振周波数の低下、駆動力の低
下となり、実使用上で制約を受は易いという課題があっ
た。
本発明はこのような課題を解決するもので、シムの形状
を変更し、変位、駆動力を多く確保して使用形態に制約
全党は難い汎用性のある製品を供給することを目的とす
るものである。
を変更し、変位、駆動力を多く確保して使用形態に制約
全党は難い汎用性のある製品を供給することを目的とす
るものである。
課題を解決するための手段
この課題を解決するために本発明は、シムの片面側の長
尺方向に複数の厚み寸法変化に持たせた構成としたもの
である。
尺方向に複数の厚み寸法変化に持たせた構成としたもの
である。
作用
この構成により、シムの片面側の長尺方向に複数の厚み
寸法変化をもたせ、固定部側は厚く、駆動部先端側にな
るに従って薄くしたために、変位。
寸法変化をもたせ、固定部側は厚く、駆動部先端側にな
るに従って薄くしたために、変位。
駆動力を多く確保することができ、実使用上における各
種の制約が受は難くなるものである。
種の制約が受は難くなるものである。
実施例
第１図は本発明の一実施例によるセラミックアクチュエ
ータの斜視図、第２図はその要部拡大断面図であり、第
３図は使用時の構成例を示す断面図である。
ータの斜視図、第２図はその要部拡大断面図であり、第
３図は使用時の構成例を示す断面図である。
尚、従来例と同一箇所には同一番号を付している。
第１図、第２図において、長方形状の薄板よりなる金属
もしくは電気的導通を有する樹脂体から構成されたシム
５の表面に薄板長方形状の圧電素子２が貼り合わされて
いる。
もしくは電気的導通を有する樹脂体から構成されたシム
５の表面に薄板長方形状の圧電素子２が貼り合わされて
いる。
上記シム６の長尺方向には、複数の厚み寸法変化部６ａ
、６１）、５０が設けられ、固定部側６２Ｌが厚く、駆
動先端側６ｂ 、６Ｃになるに従って薄くなるように設
定されているものである。
、６１）、５０が設けられ、固定部側６２Ｌが厚く、駆
動先端側６ｂ 、６Ｃになるに従って薄くなるように設
定されているものである。
このように形成されたセラミックアクチュエータは、第
３図に示すように固定部側らａを固定台３．３ａへ固定
の片持梁状に構成し、他端部へ被変位物等を取付け、固
定台３．３ａ間に電圧４が入力、使用されるものである
が、電圧４が入力されると電圧４の極性に応じ圧電素子
２は伸縮し、貼り合わせのシム６の無伸縮との関係によ
り、撓みが生じるものである。
３図に示すように固定部側らａを固定台３．３ａへ固定
の片持梁状に構成し、他端部へ被変位物等を取付け、固
定台３．３ａ間に電圧４が入力、使用されるものである
が、電圧４が入力されると電圧４の極性に応じ圧電素子
２は伸縮し、貼り合わせのシム６の無伸縮との関係によ
り、撓みが生じるものである。
発明の効果
以上のように本発明によれば、シムの厚み寸法を部分的
に変えたためにアクチュエータの総厚寸法を部分的に変
えたのと同様となり、各厚みに応じた撓み量が得られ、
全体として変位を多く得ることができる。
に変えたためにアクチュエータの総厚寸法を部分的に変
えたのと同様となり、各厚みに応じた撓み量が得られ、
全体として変位を多く得ることができる。
また、固定部側から駆動部側へなるに従って薄く変化さ
せたために駆動先端側の体積が小となり、先端部負荷を
減らしたのと同様の効果が得られ、機械共振周波数は犬
となり、固定部側を厚くしているために駆動力も多く得
ることができ、実使用上において各種の制約を受は難い
、汎用性のある製品が供給できるものである。
せたために駆動先端側の体積が小となり、先端部負荷を
減らしたのと同様の効果が得られ、機械共振周波数は犬
となり、固定部側を厚くしているために駆動力も多く得
ることができ、実使用上において各種の制約を受は難い
、汎用性のある製品が供給できるものである。
第１図は本発明の一実施例によるセラミックアクチュエ
ータを示す斜視図、第２図はその要部拡大断面図、第３
図は使用時の構成例を示す断面図、第４図は従来のセラ
ミックアクチュエータを示す斜視図、第５図はその要部
拡大断面図、第６図は使用時の構成例を示す断面図であ
る。 ２・・・・・・圧電素子、３，３１１・・・・・・固定
台、６・・・・・・シム、６ａ、ｓｂ、ｅｓｃ・・・・
・・厚み寸法変化部。 第１図 ｚＥ：電卓子 ７／ ／″ ５ シム 第２図 ？ δ０ ｓｂ 第 第 図 図 ？ 第５図 ／ ３ユ ／ ？
ータを示す斜視図、第２図はその要部拡大断面図、第３
図は使用時の構成例を示す断面図、第４図は従来のセラ
ミックアクチュエータを示す斜視図、第５図はその要部
拡大断面図、第６図は使用時の構成例を示す断面図であ
る。 ２・・・・・・圧電素子、３，３１１・・・・・・固定
台、６・・・・・・シム、６ａ、ｓｂ、ｅｓｃ・・・・
・・厚み寸法変化部。 第１図 ｚＥ：電卓子 ７／ ／″ ５ シム 第２図 ？ δ０ ｓｂ 第 第 図 図 ？ 第５図 ／ ３ユ ／ ？
Claims (2)
- （１）薄板状のシムと、前記シムに貼り合わされる薄板
状の圧電素子とからなり、前記シムの片面側長尺方向に
固定部側が厚く、駆動先端部側になるに従って薄くなる
ように設定された複数の厚み寸法変化部を設けたセラミ
ックアクチュエータ。 - （２）シムを金属もしくは電気的導通を有する樹脂体と
した特許請求の範囲第１項に記載のセラミックアクチュ
エータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63213972A JPH0262085A (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 | セラミックアクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63213972A JPH0262085A (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 | セラミックアクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0262085A true JPH0262085A (ja) | 1990-03-01 |
Family
ID=16648115
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63213972A Pending JPH0262085A (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 | セラミックアクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0262085A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102013205626A1 (de) * | 2013-03-28 | 2014-10-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Biegewandler mit piezoelektrischem Biegeelement, Kühlvorrichtung und Elektronikmodul |
-
1988
- 1988-08-29 JP JP63213972A patent/JPH0262085A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102013205626A1 (de) * | 2013-03-28 | 2014-10-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Biegewandler mit piezoelektrischem Biegeelement, Kühlvorrichtung und Elektronikmodul |
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