JPH0262236A - コンデンサ用蒸着フィルム及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、コンデンサ用蒸着フィルム及びその製造方法
に関するものである。

［従来の技術］ 従来、フィルムコンデンサ用の蒸着フィルムのＩｎ’／
Ｎ方法として、エンドレスのテープを用いたり、オイル
マスクを使用したりして、マージン部（非蒸着部）を設
けながら蒸着することが知られている。

また、フィルム全面に金属蒸着を施し、レーザー光線を
当ててマージン部を設けることや、特開昭６２−２７９
６２０号公報に記載されているように、片刃に電圧を印
加してマージン部をつくることが知られている。

また、アルミニウム蒸着フィルムの蒸着膜の断面の層構
成は、表層（１００人位まで）が酸化アルミニウムであ
り、内部がアルミニウム、フィルム表面近傍が酸化アル
ミニウムの３層構成になっている。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、このような従来の方法でつくった蒸着フ
ィルムは、蒸着膜の付着力が弱い、コンデンサ素子にし
た時に耐湿下での静電容量変化率が大きいという課題が
ある。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、 （１）プラスチックフィルム及び蒸着膜からなる蒸着フ
ィルムであって、該蒸着膜の断面が、少なくともＭ化ア
ルミニウム／アルミニウム／酸化アルミニウム／アルミ
ニウムで構成されていることを特徴とするコンデンサ用
蒸着フィルム、及び（２）　　プラスチックフィルムを
真空蒸着する方法において、１０−２〜１０　’　Ｔｏ
ｒｒで真空蒸着した俊、真空度を１〜１０００１Ｏｒｒ
にし、その後１０″′〜１０　’　Ｔｏｒｒで再度真空
蒸着することを特徴とするコンデンサ用蒸着フィルムの
製造方法、に関するものである。

本発明にあ（ブるプラスチックフィルムとは、ポリエチ
レンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリ
イミド、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリフェ
ニレン４ノルフアイトなどのフィルムのいずれでもよい
が、特に好ましいのは、ポリエチレンテレタレートフイ
ルムでおる。

真空蒸着とは、通常の巻取式真空蒸着機を使用して、蒸
着金属を真空下で蒸発させて、プラスチックフィルム−
の片面あるいは両面に付着させるもので必る。蒸着金属
としては、アルミニウム、亜鉛、銅、錫などの低融点金
属のいずれも用いることができるが、特に好ましいのは
アルミニウムである。また、初めの蒸着と百度の蒸着で
異なる金属を用いてもよいが、好ましくは同じ金属を用
いる。

本発明は、プラスチックフィルムをまず１０−２〜１０
　’　Ｔｏｒｒの圧力でフィルム全面に、或いはテープ
などでマージンをとりながら真空蒸着する。

その後、真空度を１〜１０００Ｔｏｒｒに戻し、その後
再度真空度を１０−２〜１０−６Ｔｏｒｒにして、フィ
ルム全面おるいはマージンをセンサーでコントロールし
ながら、蒸着することが必要でおる。

蒸着厚みは、０．０２〜０．２μｍ程度の範囲が好まし
い。

上記説明は、２回蒸着の場合についてのものであるが、
３回以上行なってもよいことはもちろんで必る。

本発明の蒸着フィルムは、アルミニウム蒸着の場合、蒸
着膜の断面が少なくとも酸化アルミニウム／アルミニウ
ム／酸化アルミニウム／アルミニウムの＠構造になって
いることが好ましい。特に好ましくは、蒸着膜の断面が
表面から酸化アルミニウム／アルミニウム／酸化アルミ
ニウム／アルミニウム／駿化アルミニウムの少なくとも
５層構造になっていることが望ましい。

こうしてできた蒸着フィルムは、仝面蒸着されたものは
、レーザー光線などでマージン部を作り、マイクロスリ
ットされる。マイクロスリットされたフィルムは、巻回
あるいは積層され、コンデンサ素子にし、公知の方法で
熱プレス、メタリコン、切断、電圧処理され、コンデン
サとして使用される。

［発明の効果］ 本発明は、−度蒸着した後、−旦圧力を上げ、再度蒸着
を行なうため、蒸着膜の付着、蒸着膜の配向、蒸着膜の
成長状態、蒸着膜の層構成が通常の蒸着のものと異なり
、緻密になったものと推定される。このため、蒸着膜の
付着力が向上し、コンデンサにした時の耐湿下の静電容
量変化率が減少したものと思われる。

［特性の測定方法及び効果の評価方法］（１）　　蒸着
膜の付着力 恒温層に水を入れ、６５°Ｃの温水にし、これに１５分
間蒸着フィルムを浸漬し、蒸着膜の消失度合を観察した
。蒸着膜の変化がないものを○、少し変化したものを△
、蒸着膜がほとんど消失してしまったものを×とし、３
段階で付着力を評ｆＩｉした。

（２）　　静電容量変化率 蒸着したフィルムからコンデンサ素子を（１゜５μＦ）
をつくり、５０’Ｃ１９５％ＲＨで、３５Ｖの直流印加
の条件で２０００時間経過したときの静電容量変化率（
ΔＣ／Ｃ）（％）を測定した。

（３）アルミニウム蒸着膜の層構成の判定赤外分光装置
ＩＦ５−１１３Ｖ　（Ｂｒｕｋｅｒ型ＦＴ−ＩＲ１干渉
計ゲンツエル型）を用いて、中赤外領域透過スペクトル
、差スペクトルを求め、そのスペクトル（ＩＲと略す）
結果及びＥＳＣＡ（Ｘ線光電子分光）の測定結果から蒸
着膜の断面のＩＦＨｆｉ７成がアルミニウムでおるのか
酸化アルミニウムでおるのかの判定を行なった。

［実施例］ 以下、実施例に基づいて、本発明を説明する。

実施例１ ポリエチレンテレフタレートフィルム（１０μｍ）を、
巻取式真空蒸着機で、１０−’　Ｔｏｒｒの圧力でアル
ミニウムを真空蒸着した。−旦空気を吹きこみ、１０　
Ｔｏｒｒにした後、再び真空（１０−４Ｔｏｒｒ　）に
し、再度アルミニウムを蒸着した。蒸着膜の厚みは、０
．０６μｍでめった。この蒸着フィルムの付着力を測定
すると、第１表のとおりであった。また、コンデンサに
して静電容量変化率を測定すると０．０１％であり、は
とんど変化はなく、良好でめった。また、アルミニウム
蒸着膜の断面の層構成は、表面から酸化アルミニウム、
アルミニウム、酸化アルミニウム、アルミニウム、酸化
アルミニウムの５層＃１ｒＩｉ造であった。

比較例１ ポリエチレンテレフタレートフィルム（１０μｍ）を巻
取式真空蒸着機で、’ｌ　Ｑ−４ｒｏｒｒの圧力でアル
ミニウを蒸着した。蒸着膜の厚みは、０゜０６μｍであ
った。この蒸着フィルムの付着力を測定すると、第１表
のとおりであり、蒸着膜がほとんど消失してしまった。

また、コンデンサにして静電容量変化率を測定すると、
１％であり、よい結果は得られなかった。また、蒸着膜
の断面の層構成は、表面から酸化アルミニウム、アルミ
ニウム、酸化アルミニウムの３層構造であった。

比較例２ ポリエチレンテレフタレートフィルム（１０μｍ）を巻
取式真空蒸着機で、１０４Ｔｏｒｒでアルミニウムを真
空蒸着した。真空のまま（１０’Ｔｏｒｒ　）再度アル
ミニウムを蒸着した。蒸着膜の厚みはＯ；　０６μｍで
あった。この蒸着フィルムの付着力は、第１表のとおり
でおり、蒸着膜がほとんど消失してしまった。また、コ
ンデンサにして静電容量変化率を測定すると、０．５％
と良くなかった。蒸着膜の断面の層構成は、表面から酸
化アルミニウム、アルミニウム、酸化アルミニウムの３
層＠逍であった。

第１表

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）プラスチックフィルム及び蒸着膜からなる蒸着フ
   ィルムであつて、該蒸着膜の断面が、少なくとも酸化ア
   ルミニウム／アルミニウム／酸化アルミニウム／アルミ
   ニウムで構成されていることを特徴とするコンデンサ用
   蒸着フィルム。
2. （２）プラスチックフイルムを真空蒸着する方法におい
   て、１０＾−＾２〜１０＾−＾６Ｔｏｒｒで真空蒸着し
   た後、真空度を１〜１０００Ｔｏｒｒにし、その後１０
   ＾−＾２〜１０＾−＾６Ｔｏｒｒで再度真空蒸着するこ
   とを特徴とするコンデンサ用蒸着フィルムの製造方法。