JPH03143629A - 金属化フィルムおよびそれを用いたコンデンサの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は金属化フィルムおよびそれを用いたコンデンサ
の製造方法に関する。

［従来の技術］ ポリフェニレンスルフィドフィルムを誘電体に用いて耐
熱性、周波数特性、温度特性等に優れたコンデンサを得
ることが、特開昭５７−１８７３２７等によって提案さ
れている。

また、アルミニウム薄膜を電極としたポリフェニレンス
ルフィドフィルムコンデンサも知られており、このコン
デンサの耐湿ライフに対し、特開昭６２−２０３３１５
に於いて誘電体フィルムの表面粗度を選ぶ、或いは特開
昭６２−２２６６１２に於いて誘電体フィルムの濡れ張
力を選ぶことによって誘電体フィルムと電極薄膜との密
着力を確保し、耐湿ライフを改善することが提案されて
いる。

［発明が解決しようとする課題］ しかし、アルミニウム薄膜を電極としたポリフェニレン
スルフィドフィルムコンデンサは、耐湿ライフが短いと
いう欠点、すなわち高温高湿環境下では電極の消失が早
々に起こり、静電容量の低下、および誘電損失の大幅な
上昇を招くという欠点を有していた。

我々はこの点に関し、特開平１−２１１９０８において
電極となるアルミニウム薄膜表面の含硫黄成分および／
または含塩素成分の付着量が特定の範囲内とすることに
よって耐湿ライフに優れたポリフェニレンスルフィドフ
ィルムコンデンサとすることを提案した。

しかし、従来の金属化ポリフェニレンスルフィドフィル
ムは、本発明者らの検討によると、ポリフェニレンスル
フィドフィルムの耐熱性を生かした表面実装型のコンデ
ンサ（いわゆるチップコンデンサ）を得るためにはコン
デンサの耐熱安定性を向上させることが好ましいが、こ
のためにコンデンサ素子を高温で長時間の熱処理を行な
うと、十分な耐湿ライフが得られないという欠点を有し
ており実用化を困難なものにしていた。さらに、外装な
どによって外部からの湿気の侵入を防ごうとしでも、特
にコンデンサ素子を高温で長時間の熱処理を行った場合
には全く耐湿性を向上させる効果が見られないというポ
リフェニレンスルフィドフィルムコンデンサ特有の欠点
があった。すなわち、高い耐熱安定性と優れた耐湿性を
持ち合わせたコンデンサを得る方法は得られていない。

本発明の目的は、従来の金属化ポリフェニレンスルフィ
ドフィルムの上記の欠点を解消し、コンデンサ素子を高
温で長時間の熱処理を行なっても十分な耐湿ライフを持
つコンデンサが得られる金属化フィルムを提供すること
と、それを用いて簡単な操作で極めて優れた耐熱安定性
と耐湿性を両立させたコンデンサが得られるコンデンサ
の製造方法を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、上記の目的を達成するため、以下の構成とし
たものである。すなわち、（１）二軸延伸ポリフェニレ
ンスルフィドフィルムにアルミニウムを蒸着した金属化
フィルムに於いて、該金属化フィルムを２４０’Ｃの空
気中での１０分間の熱処理を施した時、熱処理前および
熱処理後の蒸着膜側の表面の水の接触角がいずれも６０
°以上であり、かつ熱処理前および熱処理後の蒸着膜側
の表面抵抗がいずれも１０Ω以下であることを特徴とす
る金属化フィルム、および、（２）前項（１）に記載の
金属化フィルムを巻回あるいは積層してコンデンサ素子
を製造した後、該コンデンサ素子を軟Ｘ線光電子分光法
によって測定される蒸着膜表面のアルミニウム酸化指数
０／Ａ　Ｉがｔ、６５以下になるまで熱部、理を施す工
程を含むことを特徴とするコンデンサの製造方法、とし
たものである。

本発明に於いて、ポリフェニレンスルフィドフィルム（
以下ＰＰＳフィルムと略称することがある）とは、ポリ
−ｐ−フェニレンスルフィドを主成分とする樹脂組成物
の二軸配向フィルムである。

該フィルムの厚さは、０．２μｍ〜２５μｍの範囲が好
ましい。該フィルムの平均表面粗さＲａは、フィルムの
取り扱い作業性、コンデンサ素子の成形性、及びアルミ
ニウム薄膜との密着性の点から０．０２μｍ〜０．■５
μｍであることが好ましい。また本発明で使用するポリ
フェニレンスルフィドフィルムはキシレン抽出量が０．
　４％以上１゜５％以下、好ましくは０．　４％以上１
．２％以下であることが好ましい。

ここで、ポリ−ｐ−フェニレンスルフィドを主成分とす
る樹脂組成物（以下ＰＰＳ樹脂組戊物と略称することが
ある）とは、ポリ−ｐ−フェニレンスルフィドを７０重
量％以上含む組成物をいう。

ポリ−ｐ−フェニレンスルフィドの含有量が７０重量％
未満では、該組成物からなるフィルムの特長である耐熱
性、周波数特性、温度特性等を損なう。ＰＰＳ樹脂組成
物中に含まれる金属成分としては、金属の標準電極電位
ＥＯの重量平均値が、−１，５Ｖ以下であり、かつ該金
属の含有量の合計ｆｆ１Ｙ　（単位：ｐｐｍ）が８０≦
Ｙ≦７００で、かつクロロホルム抽出可能な金属の重ｆ
ｆ１Ｘ　（単位：ｐｐｍ）が、該ポリ−ｐ−フェニレン
スルフィドを主成分とする樹脂組成物の重量に対して、
下記■式を満足することが好ましい。

０≦Ｘ≦（０，５Ｙ−４０）　　　・・・・・・・・・
■さらにここで、ポリ−ルーフユニしンスルフィド（以
下ＰＰＳと略称することがある）とは、繰り返し単位の
７０モル％以上（好ましくは８５モル％以上）が構造式
台□Ｓ÷で示される構成単位からなる重合体をいう。係
る成分が７０モル％未満ではポリマの結晶性、熱転移温
度等が低くなりＰＰＳを主成分とする樹脂組成物からな
るフィルムの特長である耐熱性、寸法安定性、機械的特
性等を損なう。ＰＰＳの溶融粘度は、３００°Ｃ１せん
断速度２００ｓｅｃ−’のもとで５００−１５０００ポ
イズの範囲が好ましい。この値はフィルム、あるいは蒸
着フィルムとなった後でも変わらない。

本発明の二軸延伸ポリフェニレンスルフィドフィルムは
上記ポリフェニレンスルフィドを公知の方法、すなわち
例えば溶融押出機に供給しＴダイより押し出し、冷却さ
れたドラム上にキャストして実質的に非晶状態のポリフ
ェニレンスルフィドシートを得、ロール群によって予熱
、縦延伸し、後続するテンターによって予熱、横延伸、
熱処理を施して得る方法などによって得ることができる
。

本発明の金属化フィルムは上記二軸延伸ポリフェニレン
スルフィドフィルムにアルミニウムを蒸着したものであ
るが、蒸着するに先立ち該ポリフェニレンスルフィドフ
ィルムの蒸着する側の表面にコロナ処理、プラズマ処理
等の放電処理を施しておくこともできるが、本発明の金
属化フィルムは、このような放電処理を施しておかなく
ても無外装で十分な耐湿性をもつコンデンサを容易に得
ることができる。また、該表面にコーティングなどの表
面処理を施しておくこともできる。

アルミニウム蒸着膜の膜厚は、表面抵抗にして０、　５
Ω以上１０Ω未満であることがコンデンサとしたときの
電気特性とセルフヒール性の点から好ましい。

本発明の金属化フィルムはアルミニウムが真空蒸着され
ていることが必要であるが、ここでアルミニウムとは金
属アルミニウムを主成分とする金属組成物のことであり
、薄膜支持体との密着性や耐湿性を改善する目的でＮｉ
、Ｃｒなどの池の金属などが含まれることは差し支えな
い。

金属化フィルムの形態は、金属化フィルムを使用する形
態、すなわちコンデンサの場合なら得ようとするコンデ
ンサのタイプにより適宜選ばれることができる。すなわ
ち、フィルムの片面のみに蒸着されたものでも両面に蒸
着されたものでも良いし、また通常マージンと呼ばれる
フィルムの長平方向に走る非金属化帯が蒸着時に設けら
れているものでも全面に蒸着膜が形成されているもので
も良い。

本発明の金属化フィルムを得る方法としては次の方法を
挙げることができる。

ポリフェニレンスルフィドフィルムにアルミニウムを通
常の連続巻取式真空蒸着機によって蒸着し中間体を得る
。得られた中間体の蒸着面上にシリコンオイル等の連続
使用可能温度が２００’Ｃ以上の疎水性の有機物をコー
ティング、真空蒸着等の方法によって薄膜を形成させ、
本発明の金属化フィルムとすることができる。該薄膜を
形成する物質としては薄膜の作り易さ、金属化フィルム
の取り扱い易さからジメチルシリコン、メチルエチルシ
リコン、メチルフェニルシリコン等を主成分とするいわ
ゆるシリコンオイルが好ましい。真空蒸着によって該薄
膜を形成する場合は、アルミニウムを真空蒸着した後、
連続して該薄膜を形成することが生産性の点で好ましい
。さらにこの場合、該薄膜を形成する物質は１５０℃に
於ける蒸気圧が０．ｌｍｍＨｇ未満であり、かつ２５０
℃に於ける蒸気圧が０．Ｏ５ｍｍＨｇ以上であるものが
アルミニウム蒸着と同一の雰囲気下で蒸着できる点で好
ましい。この時、塗布する物質の連続使用可能温度が２
００℃未満であると、本発明の必須要件の一つである金
属化フィルムを２４０’Ｃの空気中で１０分間、熱処理
を施した時の熱処理前後の水の接触角特性を満たし得な
い。該特性を満たさないとコンデンサの製造工程中にコ
ンデンサの耐熱性を向上せしめる等の目的で２３０℃以
上といった高温での長時間にわたる熱処理工程があると
コンデンサの耐湿性が悪くなる。

また該薄膜の厚さは耐湿性向上効果とコンデンサとした
時の電気特性の点から１０Å以上２００Å以下が好まし
い。該薄膜形成前の表面抵抗と該薄膜の厚さを適宜選ぶ
ことによって本発明の金属化フィルムの必須要件の一つ
である金属化フィルムに２４０’Ｃの空気中で１０分間
、熱処理を施した時の熱処理前後の蒸着膜側の表面抵抗
が↓ＯΩ以下の金属化フィルムとすることができる。熱
処理前後のいずれかの蒸着膜側の表面抵抗が１０Ωより
大きいとコンデンサとした時の誘電損失が大きくなりす
ぎ実用的でない。ここで該薄膜を形成する前後での蒸着
フィルムの蒸着面側の表面抵抗の変化率は５０％以下、
より好ましくは２０％以下であることが好ましい。該薄
膜の作製条件を極め細かくコントロールして薄膜の厚み
を調整し、本発明の金属化フィルムを得ることができる
。

次に本発明のコンデンサの製造方法について述べる。

本発明者らはポリフェニレンスルフィドフィルムの耐熱
性を活かし、耐熱安定性に優れたコンデンサの製造方法
を検討した結果、上記に示した金属化フィルムを用いる
こと、蒸着膜表面のアルミニウム酸化指数を特定の範囲
に入るまで熱処理を施すことによって従来得られていな
かった耐湿性、耐熱安定性等に極めて優れたコンデンサ
が得られることを見出し本発明を完成した。

得ようとするコンデンサのタイプは周知の金属化フィル
ムコンデンサのいずれのものであっても良い。すなわち
、コンデンサ素子の形成方法は巻回あるいは積層等の周
知のいずれの方法によっても良いし、新規の方法でも良
い。例示するなら片面蒸着フィルムの場合は２枚重ねて
、両面蒸着フィルムの場合は非蒸着フィルムと、さらに
両面蒸着後コーティング等によりフィルム上に誘電体層
を設けた場合は単膜で巻回あるいは積層してコンデンサ
素子を得る等の方法があるが、ポリフェニレンスルフィ
ドフィルムの非蒸着面がポリフェニレンスルフィドフィ
ルムあるいは他のフィルム、シート等上に形成された電
極となるアルミニウム蒸着膜の表面と重ね合わされるタ
イプのコンデンサである時に本発明の効果が大きい。

得られたコンデンサ素子は通常、プレス工程、外部電極
の取り付は工程（金属溶射、導電性樹脂等による）、リ
ード付タイプのコンデンサとするときはリード線の取り
付は工程、外装工程を経てコンデンサとなるが、本発明
ではコンデンサ素子がコンデンサとなるまでのいずれか
の段階で軟Ｘ線光電子分光法（ＥＳＣＡあるいはＸＰＳ
とも呼ばれる。）によって測定される蒸着膜表面のアル
ミニウム酸化指数０／Ａ　１が１．６５以下になるまで
熱処理を施す必要がある。このアルミニウム酸化指数が
１．６５以下にするための熱処理条件は温度、時間等複
雑に相関しているので一概には言えないが、概ね温度は
２００°Ｃ以上２５０℃以下、時間は１時間以上１０時
間以下の範囲が適当である。また雰囲気は常圧ないし加
圧された空気中が適当である。このアルミニウム酸化指
数が（。

６５より大きいとコンデンサの耐熱安定性、耐湿性とも
不十分になり易い。ここで、コンデンサ素子とは蒸着膜
電極とフィルムが交互に重ね合わされた状態の物を言い
、例えば巻回途中の中間体も含まれる。

該熱処理の行なわれる具体的な段階、方法は特に限定さ
れないが、プレスの際に加圧と同時に加熱する方法、外
部電極またはリード線の取り付は後に加熱オーブン中で
エージングする方法のいずれかが工程が簡素である点で
好ましい。

本発明によって得られるコンデンサの態様は全く問わな
い。すなわち上述したように巻回型、積層型、リード付
、リードなしくいわゆるチップコンデンサ）等の周知の
タイプのいずれでも良いし、またこれらに限定されない
。またその外装の方法も樹脂モールド、樹脂デイツプ、
ケースによるもの、樹脂フィルムによるもの等、周知の
方法のいずれもが採用できるが、本発明のコンデンサの
製造方法によれば表面を薄く樹脂コートしただけものや
実質的に無外装のものであっても十分な耐湿性を確保す
ることができるので、コンデンサの製造工程が簡素化で
きる点から本発明のコンデンサの外装は比較的簡素な外
装であることが好ましい。

ここで比較的簡素な外装とは誘電体体積比、すなわちコ
ンデンサ中の誘電体体積の全コンデンサ体積の占める割
合が６０％以上であるものをいう。

すなわち本発明の効果が最も発揮されるのは最も小型化
の要求が強く、さらに耐熱性の要求される実質的に無外
装、あるいは極めて簡易な外装のチップコンデンサであ
る。

［効果］ 本発明の金属化フィルムは、コンデンサとした時、コン
デンサの耐熱安定性を向上するために高温長時間にわた
るコンデンサ素子の熱処理を行なっても耐湿ライフの低
下を招くことが全くない。

また本発明のコンデンサの製造方法によれば、従来困難
であったコンデンサの耐熱安定性性と耐湿ライフの両立
を容易に達成することができるばかりでなく、従来耐湿
性を確保するために不可欠であった外装を省略あるいは
簡略化することができるのでコンデンサ製造工程の簡素
化によるコストダウンとコンデンサの小型化を同時に達
成し得るものである。さらにこの場合でも従来不可欠と
されたアルミニウム蒸着前のポリフェニレンスルフィド
フィルム表面の放電処理等は不必要であり金属化フィル
ム製造工程も簡素化され得る。

［特性の評価法］ （１）　　コンデンサの静電容量および誘電損失ＬＣＲ
メーターを用いて測定する。

（２）コンデンサの耐湿ライフ試験（耐湿性）コンデン
サを６０’Ｃ，９５％ＲＨの雰囲気下でエージングして
静電容量変化率（％）を測定した。

エージング時間は、１０００時間および３０００時間と
した。これを△Ｃ／Ｃで示し、耐湿ライフ試験結果とし
た。ここで、Ｃはエージング前の静電容量、△Ｃはエー
ジング前後の静電容量変化量である。この値の絶対値が
大きいほど耐湿ライフが短い。

（３）　　コンデンサのハンダ耐熱性試験コンデンサを
２６０℃の溶融状態にあるハンダに３０秒間浸漬した引
き上げた後、室温まで冷却し静電容量変化率（％）を測
定した。ハンダ耐熱性の判定は、１０個のコンデンサに
よる試験結果を平均した値が１０％未満であったものを
○、１０％以上２０％未満のものを△、２０％以上の容
量変化を示したものを×とした。

（４）蒸着フィルムの表面抵抗 厚手のゴムシートの上に、測定される蒸着フィルムを蒸
着面を上にして置き、この上に正方形の対向する２辺を
なすように該正方形の１辺の長さを持ち、長さの１７１
０の幅を持つ、底面が平滑に研磨された２つの長方形の
しんちゅう製の電極を置き、電極の上から０．　２ｋｇ
／ｃｎｆの圧力を加えつつ両電極間の電気抵抗を測定す
る。この時、電極の大きさは測定される蒸着フィルムの
大きさによって適宜選ばれる。

（５）薄膜形成による表面抵抗変化率 シリコンオイル等の薄膜を形成する前の表面抵抗をＲ（
Ω）とし、該薄膜を形成した前後の表面抵抗の差をΔＲ
（Ω）とした時ΔＲ／Ｒ（％）を表面抵抗変化率とする
。

なおＲ（Ω）およびΔＲ（Ω）は該薄膜を形成した後で
も、適当な溶媒によって洗浄して該薄膜を除去して表面
抵抗を測定することにより測定することかできる。

（６）水の接触角 水平に調整されたスライドグラスの上に蒸着フィルムを
蒸着面を上にしてシワのないように広げて固定し、静か
に上方よりＱ、ｌｅｅの蒸留水を滴下し、蒸着フィルム
と水滴の界面の作る角度を、鏡筒の中心線と蒸着フィル
ム表面が一致するように設置された測角器のついた読み
取り顕微鏡で読み取る。ここで測定雰囲気は２５°Ｃ，
１００％ＲＨとし、接触角はフィルム表面と水の界面、
および空気と水の界面のなす角とする。

（７）軟Ｘ線光電子分光法による蒸着膜表面のアルミニ
ウム酸化指数０／Ａ　Ｉの測定 蒸着膜表面を軟Ｘ線光電子分光法で分析する。

試料がコンデンサとなっている時は解体して蒸着面を空
気中に暴露して試料とする。測定によって得られるピー
ク面積比を各原子の相対感度因子で補正して得られる原
子数比および各原子の結合状態によりシフトしたピーク
を分割して求められる成分割合より、アルミニウム酸化
指数０／Ａ　Ｉを■式によって求める。

０／Ａｌ＝［○（Ａｌ　ｏｘｉｄｅ）／Ａ　Ｉ　（Ｔｏ
ｔａｌ）］／　［Ａ　Ｉ　（１）　／Ａ　Ｉ　（Ｔｏｔ
ａｌ）　］・・・・・・・・・■ ここで、［Ａ　Ｉ　（ｆ）　／Ａ　Ｉ　（Ｔｏｔａｌ）
コはアルミニウム原子のピークを分割して得られるＡ　
Ｉ　（Ｉ）の存在比、また［０　（Ａｌ　ｏｘｉｄｅ）
／　Ａ　Ｉ　（Ｔｏｔａｌ）］はアルミニウムに対する
全酸素濃度から酸素単体およびアルミニウム以外の元素
と結合した酸素濃度を差し引いて求められる。すなわち
、例えば炭素と結合した酸素の濃度は、炭素のピークを
分割して求められる。この時、酸素を含む官能基がいく
つか考えられたり、あるいは結合エネルギーが接近して
いるため分離ができない等、酸素の量が特定できない場
合には最も多（の酸素が炭素と結合しているものと見積
もる。同様にして、他の元素に結合した酸素についても
結合酸素量を求め、合計した値を全酸素濃度から差し引
く。

測定条件を以下に示す。

装置　　　　　＝（ｍ島津製作所製 ＥＳＣＡ７５０ 励起Ｘ線　　　：ＭｇＫα１．２線 （１２５３，６ｅＶ） エネルギー補正：Ｃ１，メインピークの結合エネルギー
を２８４．６ｅＶ とする。

光電子脱出角度：９０度 ［実施例コ 以下、実施例を挙げて本発明を更に詳細に説明する。

実施例１ （１）金属化フィルムの製造 公称厚み２．５ミクロンの東しく株）製二軸配向ＰＰＳ
フィルム“トレリナ”を準備し、連続巻取式真空蒸着機
（日本真空技術■製）を用いて表面抵抗値が２Ωとなる
ようにアルミニウムを真空蒸着した。その際、長手方向
に走るマージン部を有するストライプ状に蒸着した（蒸
着部の幅８、Ｑｍｍ、マージン部の幅１．Ｏｍｍの繰り
返し）。

このフィルムの蒸着面側全面にジメチルシリコンオイル
を２．２．２４リクロロエタンに溶解した溶液を均一に
塗布乾燥して、理論値で３ＯＡの厚さにシリコンオイル
薄膜を形成し金属化フィルムを得た。この金属化フィル
ムをＭＦ−１とする。

ＭＦ−１の特性は表１に示した通り本発明の要件を満た
していた。

（２）　　コンデンサの製造 ＭＦ−１の各蒸着部の中央と各マージン部の中央に刃を
入れてスリットし、左もしくは右に０゜５ｍｍのマージ
ンを有する全幅４．５ｍｍのテプ状にして巻きとった。

得られたテープを左マージンおよび右マージンのもの各
１枚づつを重ね合わせて巻回し、巻回体を得た。その際
、幅方向に蒸着部分がマージン部より０．５ｍｍはみだ
すように２枚のフィルムをずらして８ｍ巻回した。

これらの巻回体から芯材を抜いて、そのまま１８０℃、
１０ｋｇ／ｃｉの温度、圧力で５分間プレスした。、さ
らに、両端面にメタリコンを溶射して外部電極とし、メ
タリコンにリード線を溶接してコンデンサ素子を得た。

このコンデンサ素子を２４０℃に加熱した熱風オーブン
によって４時間熱処理し無外装のコンデンサを得た。こ
のコンデンサをＣ−１とする。コンデンサＣ−１は、評
価結果を表１に示した通り非常に優れた特性を示した。

実施例２ シリコンオイルの理論塗布厚みを１００Ａとしたこと以
外は実施例１と同様の方法で金属化フィルムを得た。こ
れをＭＦ−２とする。ＭＦ−２の特性は表１に示した通
り本発明の要件を満たしていた。

ＭＦ−２から実施例１と同様の方法でコンデンサを製造
した。これをＣ−２とする。コンデンサＣ−２は、評価
結果を表１に示した通り非常に優れた特性を示した。

比較例１ シリコンオイルを塗布しなかったこと以外は実施例１と
同様の方法で金属化フィルムを得た。これをＭＰ−３と
する。ＭＦ−３の特性は表１に示した通り本発明の要件
を満たしていない。

ＭＦ−３から実施例１と同様の方性でコンデンサを製造
した。これをＣ−３とする。コンデンサＣ−３は、評価
結果を表１に示した通り十分な耐湿ライフが得られなか
った。

比較例２ シリコンオイルを塗布せず、パラフィンを石油系溶剤に
溶解した溶液を均一に塗布乾燥して、理論値で３０　の
厚さにパラフィンの皮膜を形成して金属化フィルムを得
た。これをＭＦ−４とする。

ＭＦ−４の特性は表Ｉに示した通り本発明の要件を満た
していない。

ＭＦ−４から実施例■と同様の方法でコンデンサを製造
した。これをＣ−４とする。コンデンサＣ−４は、評価
結果を表１に示した通り十分な耐湿ライフが得られなか
った。

比較例３ シリコンオイルの理論塗布厚みを３００　　としたこと
以外は実施例１と同様の方法で金属化フィルムを得た。

これをＭＦ−５とする。ＭＦ−５の特性は表■に示した
通り本発明の要件を満たしていない。

ＭＦ−５から実施例１と同様の方法でコンデンサを製造
した。これをＣ−５とする。コンデンサＣ−５は、評価
結果を表１に示した通り初期特性の劣悪なものしか得ら
れなかった。

実施例３ 実施例■で用いたＭＦ−１から、コンデンサ素子の熱処
理をしなかったこと以外は実施例１と同様の方法でコン
デンサを製造した。これをＣ−６とする。コンデンサＣ
−６は、評価結果を表１に示した通り若干ハンダ耐熱性
に劣るものの使用可能レベルであった。

実施例４ 実施例上で用いたＭＦ−１，から、コンデンサ素子の熱
処理条件を２２０℃、２０分としたこと以外は実施例１
と同様の方法でコンデンサを製造した。これをＣ−７と
する。コンデンサＣ−７は、評価結果を表１に示した通
り若干ハンダ耐熱性に劣るものの使用可能レベルであっ
た。

以上のように、本発明の金属化フィルムはコンデンサと
した時に高温長時間の熱処理工程があった時でも優れた
耐湿ライフを確保できることが判る。また、本発明のコ
ンデンサの製造方法によれば無外装であっても耐湿性と
耐熱安定性に優れたコンデンサを得ることができる。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）二軸延伸ポリフェニレンスルフィドフィルムにア
   ルミニウムを蒸着した金属化フィルムに於いて、該金属
   化フィルムに２４０℃の空気中で１０分間、熱処理を施
   した時の熱処理前および熱処理後の蒸着膜側の表面の水
   の接触角がいずれも６０゜以上であり、かつ熱処理前お
   よび熱処理後の蒸着膜側の表面抵抗がいずれも１０Ω以
   下であることを特徴とする金属化フィルム。
2. （２）請求項（１）に記載の金属化フィルムを巻回ある
   いは積層してコンデンサ素子を製造した後、該コンデン
   サ素子を軟Ｘ線光電子分光法によって測定される蒸着膜
   表面のアルミニウム酸化指数Ｏ／Ａｌが１．６５以下に
   なるまで熱処理を施す工程を含むことを特徴とするコン
   デンサの製造方法。