JPH0262481A - ゲートバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野〕 本発明は、ふたつの空間を遮蔽することのできるゲート
バルブに係り、特に、物品を真空状態に収納する真空容
器に適用するのに好適なゲートバルブに関する。

〔従来の技術〕

前述したゲートバルブは、仕切り弁とも称され、流れ方
向に直角の向きにバルブ板を進退して流体の流れを阻止
することによりふたつの空間を遮蔽するようになってお
り、ゲートバルブは、各種の水力機械、空気機械などに
適用され、流体圧の制御を行なうことなどに利用されて
いる。このゲートバルブはバルブ板を退避した状態にお
いては、大きな開口が形成されるので、前述した水力改
械や空気機械以外の特殊な装置にも適用が考えられてお
り、このようなものの−例として近年開発されている真
空容器がある。

この真空容器においては、物品を挿脱する開口が形成さ
れているため、この開口を開用するバルブを設ける必要
がある。ところが、このバルブとして従来のゲートバル
ブを使用すると、構造が複雑で重愚が重いという問題点
がある。このような点に鑑み、軽層化をはかるため、真
空容器の壁自体が弁座を構成するようにして、バルブ板
を壁面に沿って移動せしめて開口を開用することも考え
られている。

Ｃ発明が解決しようとする課題） しかしながら、真空容器のように内側が負圧になる位置
にこのようなバルブ板を配置すると、この負圧によりバ
ルブ板が弯曲して、完全に遮蔽を行なえないおそれがあ
る。

本発明は、このような点に鑑み、真空容器のような差圧
の大きな箇所に適用してもふたつの空間を簡単な操作に
より完全に遮蔽することのできるゲートバルブを提供す
ることを目的とする。

（課題を解決するための手段〕 前述した目的を達成するため本発明に係るゲートバルブ
は、壁面に形成された開口と、この開口の延長方向に対
し直交する方向に往復動可能とされた押圧部材と、この
押圧部材を往復動させる駆動手段と、前記押圧部材に、
この押圧部材の移動方向および前記開口のｔ長方向にそ
れぞれ直交する方向のピンによりそれぞれ回動自在に枢
着された複数のリンクからなる平行リンク機構と、この
平行リンク機構に支持され前記開口を閉鎖しつる形状と
されたバルブ板と、前記押圧部材の一方向への移動に伴
ない前記バルブ板に当接されて同方向へのバルブ板の移
動を拘束しその復の押圧部材の同方向への移動によりバ
ルブ板を前記平行リンク機構の各リンクの回動を介して
押圧部材から離間せしめ前記開口の外周の壁面に圧接せ
しめるストッパとを設けたことを特徴としている。

〔作　用〕

前述した構成の本発明によれば、壁面に形成されている
開口が開放されている状態において押圧部材を移動する
と、この押圧部材に平行リンク機構により支持されてい
るバルブ板が押圧部材とともに、この押圧部材の移動方
向に移動する。そして、これらの押圧部材およびバルブ
板が一体にある程度の距離移動してバルブ板が開口の正
面に到達すると、このバルブ板がストッパに当接してこ
のバルブ板は同方向への移動を拘束される。すると、そ
の後の押圧部材の移動に伴ない、ストッパに当接してそ
の位置に停止しているバルブ板を支持している平行リン
ク機構の各リンクが回動し、バルブ板を押圧部材との直
線距離が大きくなるように押圧部材から離間せしめるこ
とになり、この結果、バルブ板が開口の外周の壁面に圧
接して開口を完全に遮蔽することができる。

なお、開口を開放するには、バルブ板が開口を遮蔽して
いる状態において押圧部材を前述したと逆方向に移動す
る。すると、押圧部材の移動にかかわらず、ストッパに
当接しているバルブ板はストッパに当接している状態を
継続し、この間に平行リンク機構の各リンクが前述した
と逆方向に回動し、バルブ板を押圧部材との直線距離が
小さくなるように押圧部材に近接してバルブ板を開口の
外周の壁面から離間せしめ、その後、バルブ板は押圧部
材の移動に追従して一体に移動して開口を開放する。

〔実施例〕

以下、本発明を図面に示す実施例により説明する。

第１図ないし第４図は本発明に係るゲートバルブを適用
した真空容器の実施例を示すものであり、特に第１図お
よび第２図において、真空容器１は、はぼ直方体形状の
容器本体２を有しており、この容器本体２の主要部は、
それぞれアルミニウム合金製の板体４Ａ、　４Ｅ３Ｉ？
ｉｌに同じアルミニウム合金製のハニカム構造体（図示
せず）が真空ろう付けにより介装されてなる軽量でかつ
強度が強いハニカムサンドイッチパネル３により形成さ
れている。

前記容器本体２の上壁２Ａおよび側壁２Ｂにはそれぞれ
ポンプ取付口５Ａ、５Ｂが形成されており、これらのポ
ンプ取付口５Ａ、５Ｂには、前記容器本体２内を例えば
最高１０　”　Ｔｏｒｒの超高真空状態に保持するため
のネグボンブ６およびイオンボンブ７が、ネグボンブ６
はばぼ容器本体２内に位置し、イオンポンプ７は容器本
体２外に突出するように気密に取付けられている。これ
らのネグボンブ６およびイオンポンプ７は°、容器本体
２内を超高真空状態に維持する際には常時駆動されるよ
うになっている。

前記容器本体２内に、物品の一例としての図示しない半
導体チップのサンプルを挿脱するための開口８が、前記
容器本体２の他の側壁２Ｂに形成されているベース取付
口９内に気密に取付けられたベース１０内に形成されて
いる。このベース１０の内側面１０Ａには、前記開口８
の外周を囲繞するよう環状溝１１が形成されており、こ
の環状溝１１内には金Ｒ製のシール部材１２がその断面
の一部が外方へ突出するように嵌合されている。

前記開口８を開開するためのゲートバルブ１３が前記容
器本体２内に配設されており、このゲートバルブ１３の
後述する押圧部材１４が容器本体２の上壁２Ａに形成さ
れた直線導入機取付口１５内に取付けられた直線導入機
１６に支持されている。前記直線導入機１６は、直線導
入溌取付口１５内に装着された円環状の固定部材１７を
有しており、この固定部材１７の内側には、容器本体２
内に臨むガイドスリーブ１８がその上端のフランジ１８
Ａを複数本の浪ルト１９．１９・・・により取付けられ
ている。このガイドスリーブ１８のフランジ１８Ａ上に
は、前記ガイドスリーブ１８と同軸的な軸受保持体２０
がその下端のフランジ２ＯＡを複数本のボルト２１．２
１・・・により取付けられている。この軸受保持体２０
内には、複数の軸受２２．２２が保持されており、この
軸受２２の内側には、上下方向に延在し、容器本体２の
内外に臨むねじ軸２３の上端部の大径部２３Ａが回転自
在に支持されている。このねじ軸２３の上端の小径部２
３Ｂには回転ハンドル２４が取付けられており、この回
転ハンドル２４を回転することによりねじ軸２３が一体
に回転されるようになっている。このねじ軸２３は、そ
の下端から全長の約２／３を雄ねじ部２３Ｇとされてお
り、この雄ねじ部２３Ｃには、可動スリーブ２５の上端
部の内周に形成されている雌ねじ部２５Ａが螺合してい
る。また、この可動スリーブ２５の外周面には、軸方向
に延在するキー溝２６が形成されており、このキー溝２
６には、前記ガイドスリーブ１８に取付けられているキ
ー２７が嵌合され、可動スリーブ２５の回動を拘束する
ようになっている。したがって、前記ねじ軸２３の回転
により可動スリーブ２５はその軸方向に直進運動を行な
うようになっている。なお、前記ねじ軸２３をモータに
より回転させるようにしてもよい。

前記可動スリーブ２５の下端には、７ランジ２５Ｂが形
成されており、このフランジ２５Ｂには、このフランジ
２５Ｂより大径の円板からなる固定板２８が図示しない
複数本のボルトにより取付けられている。この固定板２
８は前記固定部材１７とほぼ同径に形成されており、こ
れらの固定部材１７および固定板２８間には、円筒状の
ベロー構造体２９がその内外を気密に区画するように介
装されている。このベロー構造体２９は、前記固定部材
１７の下面に上端を連結されている第１ベロー３０Ａと
、前記固定板２８の上面に下端を連結されている第２ベ
ロー３０Ｂと、第１へロー３０Ａの下端および第２へロ
ー３０８の上端がそれぞれ連結されている補強スリーブ
３１とにより構成されている。この補強スリーブ３１は
、前記ガイドスリーブ１８の外周面に内側面が冶接し得
るスリーブ本体３１Ａと、このスリーブ本体３１Ａの外
周面に一体に周設されているフランジ３１Ｂとにより構
成されており、この７ランジ３１Ｂの上面および下面に
前記第１ベロー３０Ａおよび第２ベロー３０Ｂがそれぞ
れ連結されている。

前記固定板２８の下面の中心部には、固定ロッド３２を
介して前記ゲートバルブ１３の押圧部材１４が垂設され
ている。この押圧部材１４は、縦長の長方形板状に形成
されており、この押圧部材１４は、その表面１４Ａが前
記開口８に対向するように向きを規制されている。また
、この押圧部材１４の上部の幅方向における中央部には
、前記開口８と同形の開口３３が形成されている。第４
図に示すように、前記押圧部材１４の両側面１４８．１
４Ｂの上下方向の中央部と下端部には、相互に等長のリ
ンク３４．３４・・・の各一端部が、それぞれピン３５
により枢着されており、各ピン３５は、３次元方向にお
いて前記開口８の延長方向および押圧部材１４の移動方
向たる上下方向にそれぞれ直交する方向たる押圧部材１
４の幅方向に延在しており、したがって各リンク３４は
、鉛直方向において回動自在となるように枢着されてい
ることになる。

４本の前記リンク３４の各先端部には、前記押圧部材１
４と同幅で押圧部材１４より開口８に近接する方向に位
置する長方形状のバルブ板３６がそれぞれピン３７によ
り回動自在に枢着されている。バルブ板３６の一側にお
ける１対のピン３７゜３７の間隔は、押圧部材１４の一
側における１対のピン３５．３５の間隔と等しくされて
おり、したがって、この４本のリンク３４は相互に平行
に配置された平行リンク機構を構成することになり、バ
ルブ板３６は、各リンク３４の回動により押圧部材１４
と平行状態を維持するとともに、バルブ板３６の各点が
円弧を描くようにして押圧部材１４との直線距離を変化
させつつ押圧部材１４に対し相対移動しうるようになっ
ている。

前記押圧部材１４およびバルブ板３６間には、このバル
ブ板３６を押圧部材１４に近接する方向に付勢するコイ
ルばね３８が介装されており、バルブ板３６は、その自
由状態において、第１図に示すように、押圧部材１４お
よびバルブ板３６間に介装されている各リンク３４の両
端部を支持しているピン３５．３７のうちバルブ板３６
側のピン３７が鉛直方向において上方に位置するように
して押圧部材１４の上端と上端がほぼ同一水平面内に位
置するようになっている。そして、前記バルブ板３６に
は、この自由状態において、前記開口８および開口３３
と同形の開口３６Ａが両開口８．３３と同軸的に形成さ
れている。また、前記バルブ板３６の開口３６Ａの下方
には、前記開口８の外周に配置されているシール部材１
２の全周に接合し得る面積の遮蔽部３６Ｂが形成されて
おり、この遮蔽部３６Ｂの開口８に対する側の表面３６
Ｃは、シール性を良好にするため鏡面加工されている。

前記バルブ板３６の直上の容器本体２内には、押圧部材
１４の上昇に伴なってバルブ板３６の遮蔽部３６Ｂが容
器本体２の開口８に完全に対向した状態においてバルブ
板３６の上端に当接し、その後のバルブ板３６の上昇を
拘束するストッパ３つが突設されている。したがって、
バルブ板３６がストッパ３９に当接した後は押圧部材１
４のみが上昇されることになる。

萌記押圧部材１４の表面１４Ｃの下部には、長方形状の
支持板４０が押圧部材１４に接合するように取付けられ
ており、この支持板４０の両側面４０Ａには、上下方向
に間隔を隔てて各１対のガイドローラ４１．４１が回転
自在に取付けられている。一方、前記支持板４０の近傍
の容４本体２内には、支持板４０と平行なガイド板４２
が立設されており、このガイド板４２の上端は、前記ベ
ース１０の上端とほぼ同一水平面上に位置している。こ
のガイド板４２には、前記開口８の延長位置を含む大き
な中央開口４３が形成されており、このガイド板４２の
表面４２Ａの両側部に前記各ガイドローラ４１が転勤可
能に接触されている。

また、前記支持板４０の表面４０Ｂの両側部には、第４
図に示すように、前記ガイド板４２の中央開口４３を挿
通する１対のブラケット４４．４４が突設されており、
各ブラケット４４には、前記支持板４０の一側における
１対のガイドローラ４１４１の上下方向中間位置におい
てガイド板４２の裏面４２Ｂに転動しうるガイドローラ
４５が突設されている。したがって、前記押圧部材１４
は、これらのガイドローラ４１．４５がガイド板４２を
挟持するようにしてガイド板４２を転動することにより
正確に上下方向に直進運動をすることになる。

前記ガイド板４２の上端には、容器本体２内を前記開口
８から離間する方向の水平方向に延在し、容器本体２の
側！！２Ｂに到達する仕切板４６が接続されており、容
お本体２、ガイド板４２および仕切板４６に囲繞された
物品保持部４７が形成されている。なお、前記仕切板４
６には開口４８が形成されている。

前記仕切板４６の開口４８の直上となる容器本体２の上
壁２Ａには、前述したと同様の直線導入機取付口１５が
形成されており、この直線導入機取付口１５内には、前
述した直線導入機１６と同様の形式とされ容器本体２内
に臨む直線導入機１６Ａが取付けられている。なお、こ
の直線導入機１６Ａについては、図面中に同様の符号を
付し、その説明は省略する。

前記直線導入機１６Ａの固定板２８には、前記仕切板４
６の開口４８を挿通して前記物品保持部４７内に臨む支
持ロッド４９が垂設されており、この支持ロッド９の一
側には、上下方向に相互に等しい間隔を隔てて複数（実
施例においては６個）の載置板５０．５０・・・が突設
されている。そして、各載置板５０は、直線導入機１６
Ａを操作して支持ロッド４９を昇降することにより前記
容器本体２の開口８の延長上に位置し得るようになって
いる。

一方、前記イオンポンプ７が取付けられている側壁２Ｂ
のイオンポンプ７の下方には、直線導入機取付口５１が
形成されており、このＭ線導入橢取付は目５１には、前
述した直線導入機１６゜１６Ａとほぼ同様の構皮により
固定板２８を直進移動させる直線導入機１６Ｂが水平方
向に延在し、かつ容器本体２内に臨むように取付けられ
ている。

なお、この直線導入Ｉｌｌ　６Ｂについては、図示され
ている構成に直ａｎ入機１６，１６Ａと同様の符号を付
し、その説明は省略する。

前記直線導入機１６Ｂの固定板２８には、前記物品保持
部４７内に臨む支持ロッド５２が突設されており、この
支持ロッド５２の先端には、上下方向に延在する支持板
５３が取付けられている。

そして、この支持板５３には、前記１［板５０゜５０の
間隔と等しい間隔を有し載置板５０と等しい数の板ばね
５４．５４・・・が前記容器本体２の開口８方向に突出
するように突設されており、各板ばね５４は、対応する
ａｉ板５０上に当接する位置を取りうるようになってい
る。また、各板ばね５４は、その先端部に下向きに円弧
状の突状とされた保持部５５を有している。

なお、前記容器本体２の両端壁２Ｃには、前記物品保持
部４７内のサンプルを外部から目視しうる覗き窓５６が
形成され、各覗き窓５６は、透明のガラス板５７により
遮蔽されている。また、前記イオンポンプ７を駆動する
モータ５８がイオンポンプ７に接続されるようになって
いる。

つぎに、前述した構成からなる本実施例の作用について
真空雰囲気中において製造した半導体チップのサンプル
を移送する例をとって説明する。

まず、バルブをｒｌｌｍされている図示しない半導体製
造装置に、図示しない中間密封通路を接続するとともに
、この中間密封通路を真空容器１の容器本体２の開口８
に接続する。そして、直線導入機１６Ａの回転ハンドル
２４を回転して、ねじ軸２３を回転することにより、こ
のねじ軸２３に螺合している可動スリーブ２５を固定板
２８、支持ロッド４９とともに下降し、最上位に位置す
る載置板５０＠開口８の延長上に位置決めする。一方、
直線導入１１１６の回転ハンドル２４を回転してねじ軸
２３を回転することにより、バルブ板３６を押圧部材１
４とともに下降してバルブ板３６のコイルばね３８を容
器本体２の開口８に連通ゼしめて開口８を開放したうえ
でネグボンブ６およびイオンポンプ７を駆動し、中間密
封通路および容器本体２内の空気を排気する。

前記ネグボンブ６およびイオンポンプ７による容４本体
２内の排気が終了して容器本体２内が超高真空状態にな
ったら、同じくネグボンブ６およびイオンポンプ７の駆
動を連続して容器本体２内を１０”　Ｔｏｒｒに近い超
高真空状態に維持しておき、半導体製造装置のゲートを
開放して半導体製造装置内を中間密封通路を介して容器
本体２内と連通する。その後、半導体製造装置の真空雰
囲気中において製造された半導体チップのサンプルをマ
ニピュレータによりこの真空雰囲気中から直接真空容器
１の容器本体２内に中間密封通路、開口８、バルブ板３
６の開口３６Ａ、押圧部材１４の開口３３およびガイド
板４２の中央開口４３を介して導入し、物品保持部４７
の最上位の載置板５０上に載置する。サンプルをこの載
置板５０上に載置したらマニピュレータは後退して容器
本体２外に退避するので、直ａＳ人Ｒ１６Ａの回転ハン
ドル２１を逆方向に回転して可動スリーブ２５を固定板
２８とともに上昇することにより２番目のＩＩ板５０を
開口８の延長上に位置決めし、マニピュレータによりつ
ぎのサンプルを載置する。

このようにしてすべてのｔＩ板５０上にサンプルを載置
したら、直線導入機−１６の回転ハンドル２４を回転し
、押圧部材１４を上昇させる。すると、この押圧部材１
４に平行リンク機構により支持されるとともに、コイル
ばね３８により押圧部材１４に近接されているバルブ板
３６が押圧部材１４とともに、この押圧部材１４の移動
方向に上昇する。このとき、同一リンク３４のバルブ板
３６側の端部の方が押圧部材１４側の端部より上位に位
置している。そして、これらの押圧部材１４およびバル
ブ板３６が一体にある程度の距離移動してバルブ板３６
の遮蔽部３６Ｂが開口８の正面に到達すると、このバル
ブ板３６の上端がストッパ３つに当接してこのバルブ板
３６は同方向への移動を拘束される。

すると、その後の押圧部材１４の上昇に伴ない、ストッ
パ３９に当接して−その位置を停止しているバルブ板３
６を支持している平行リンク機構の各リンク３４がバル
ブ板３６側の端部を中心として反時計方向すなわち水平
方向をとるように回動する。しかるに、押圧部材１４は
、仕切板４６を挟持するように配置されている複数のガ
イドローラ４５により正確に上下方向にのみ移動しうる
ようになっているので、各リンク３４の回動によりバル
ブ板３６は、コイルばね３８の弾性に抗して押圧部材１
４との直線距離が大きくなるように開口８に近接する方
向に水平移動され、この結果、バルブ板３６の遮蔽部３
６Ｂは同口８の外周のベース１０に支持されているシー
ル部材１２に圧接して開口８を完全に遮蔽する。

一方、各載置板５０上にａｍされている各サンプルを保
持するためには、まず、直線導入機１６Ａの回転ハンド
ル２４を回転して支持ロッド４９を下降し、各載置板５
０上のサンプルを鉛直方向において直線導入１１１６Ｂ
の対応する板ばね５４より多少下方に位置決めし、つぎ
に、直！！導入機１６Ｂの回転ハンドル２４を回転して
支持ロッド５２を支持ロッド４９に近接する方向に移動
し、各板ばね５４が対応する載置板５０上のサンプルの
直上に臨んだら支持ロッド５２を停止する。さらに、直
線導入機１６Ａの回転ハンドル２４を逆方向に回転して
支持ロッド４９を多少上昇し、各載置板５０上のサンプ
ルに各板ばね５４の保持部５５が圧接する状態になった
ら支持ロッド４９を停止する。すると、各載置板５０上
のサンプルには支持ロッド５４が圧接することになるの
で、各載置板５０上に載置されたサンプルは、容器本体
２を傾斜しても落下しないように保持される。この状態
は覗き窓５６から容器本体２内を目視することにより確
認することができる。

このような状態においては、サンプルは容器本体２内に
おいて超ａ真空雰囲気中に収納されているので、真空容
器１を中央房封通路から切離した上でこの真空容器１自
体を携行するなどして移送することにより、サンプルを
大気に曝すことなく、分析機器まで移送することができ
る。

なお、バルブ板３６の遮蔽部３６Ｂを容器本体２の開口
８の外周のシール部材１２から離間して開口８を開放す
るには、バルブ板３６が開口８を遮蔽している状態にお
いて直線導入機１６の回転ハンドル２４を回転して押圧
部材１４を下降する。

すると、押圧部材１４の下降にかかわらず、ストッパ３
９に上端が当接しているバルブ板３６は押圧部材１４と
の間に介装されているコイルばね３８の弾性によりある
程度の間はストッパ３９に当接している状態を継続し、
この間に平行リンク機構の各リンク３４がバルブ板３６
側の端部を中心として時計方向に回動し、バルブ板３６
を押圧部材１４との直線距離が小さくなるように押圧部
材１４に近接して、バルブ板３６を開口８の外周のシー
ル部材１２から離間せしめる。その後、バルブ板３６は
押圧部材１４とともに下降して押圧部材１４の開口３３
とバルブ板３６の開口３６′八が容器本体２の開口８に
対向する。

このように本実施例によれば、ネグボンプ６、イオンポ
ンプ７およびゲートバルブ１３などにより超高真空状態
を維持されている容器本体２内にサンプルを収納して移
送することができるので、サンプルを大気に曝すことな
く分析機器まで移送することができ、半導体チップの表
面に付着している物質を誤差なく分析することができる
。

また、バルブ板３６は、開口８の延長方向に対し直交す
る方向への押圧部材１４の昇降により、開口８に対し接
離する方向へ移動して、開口８を閉鎖・開放し、しかも
、閉鎖時、平行リンク鍬構の各リンク３４が水平方向に
位置して、押圧部材１４によりバルブ板３６をシール部
材１２に圧接する方向に押圧するので、ゲートバルブ１
３により容器本体２内の超高真空状態を維持することが
できる。

さらに、各直線導入ｔ１１１６．１６Ａ、１６Ｂ（以下
符号１６により総称する〉において直線導入機１６の内
外を区画しているベロー構造体２９は、第１へロー３０
Ａおよび第２ベロー３０Ｂ間に介装されている補強スリ
ーブ３１の内周部がガイドスリーブ１８の外周面に摺動
するようにしてベロー構造体２９を伸縮−させるので、
通常のベローの使用において内側より外側が高圧とされ
ているのに対し、これとは逆に本実施例のように外側よ
り内側が高圧でも各ベロー３０△、３０Ｂが外側に撓む
ことなく内外を安定的に区画することができる。

さらにまた、直線導入機１６Ａにより昇降される支持ロ
ッド４９に支持された各載置板５０上に載置されている
各サンプルは、両直線導入機１６Ａ、１６Ｂを操作する
ことにより各支持ロッド５４により押圧保持されるので
、真空容器１を傾斜するなどしても安定的に保持される
。

なお、本発明は、前述した実施例に限定されるものでは
なく、必要に応じて種々の変更が可能である。例えば、
本発明のゲートバルブは、真空容器に限定されるもので
はなく、種々の装置に適用可能である。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、簡単な操作により
ふたつの空間を完全に遮蔽することができ、したがって
、真空容器に本発明のゲートバルブを適用すれば、安定
的に超高真空状態を維持することができるという優れた
効果を秦する。

Ａ・・・第１ベロー、３０Ｂ・・・第２ベロー、３１・
・・補強スリーブ、３４・・・リンク、３６・・・バル
ブ板、３９・・・ストッパ、４１・・・ガイドローラ、
４７・・・物品保持部、４９．５２・・・支持ロッド、
５４・・・板ばね、５６・・・覗き窓。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るゲートバルブの実施例を示す縦断
面正面図、第２図は第１図の一部縦断左側面図、第３図
は第１図の右側面図、第４図は第１図の要部の横断面図
である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　壁面に形成された開口と、この開口の延長方向に対し
   直交する方向に往復動可能とされた押圧部材と、この押
   圧部材を往復動させる駆動手段と、前記押圧部材に、こ
   の押圧部材の移動方向および前記開口の延長方向にそれ
   ぞれ直交する方向のピンによりそれぞれ回動自在に枢着
   された複数のリンクからなる平行リンク機構と、この平
   行リンク機構に支持され前記開口を閉鎖しうる形状とさ
   れたバルブ板と、前記押圧部材の一方向への移動に伴な
   い前記バルブ板に当接されて同方向へのバルブ板の移動
   を拘束しその後の押圧部材の同方向への移動によりバル
   ブ板を前記平行リンク機構の各リンクの回動を介して押
   圧部材から離間せしめ前記開口の外周の壁面に圧接せし
   めるストッパとを設けたことを特徴とするゲートバルブ
   。