JPH0263197A - Electronic component mounting equipment - Google Patents
Electronic component mounting equipmentInfo
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- JPH0263197A JPH0263197A JP63214040A JP21404088A JPH0263197A JP H0263197 A JPH0263197 A JP H0263197A JP 63214040 A JP63214040 A JP 63214040A JP 21404088 A JP21404088 A JP 21404088A JP H0263197 A JPH0263197 A JP H0263197A
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- electronic component
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- head
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は電子部品実装装置に係り、ウェハーやトレイの
ような電子部品の供給ユニットを、サブステージの下方
に出入自在とすることにより、ヘッドの横方向ストロー
クを短くし、実装速度をアップするようにしたものであ
る。Detailed Description of the Invention (Industrial Application Field) The present invention relates to an electronic component mounting apparatus, in which a supply unit for electronic components such as wafers and trays can be freely moved in and out from below the substage. This shortens the lateral stroke and increases the mounting speed.
(従来の技術)
第6図は、従来の電子部品実装装置を示すものであって
、この装置は、サブ移送ヘッド101と、マウントヘッ
ド102を備えており、サブ移送へラド101を電子部
品Pの供給部103とサブステージ104の間を、また
マウントへラド102をサブステージ104と位置決め
部105に配設された基板6の間を往復移動させること
により、基板106に実装される電子部品Pの位置ずれ
補正と、電子部品Pの基板106への実装を一連の作業
として行うようになっている。101aは電子部品Pを
吸着するノズル、107,108は、ノズル101aに
より所望の電子部品Pをピックアップできるように、ウ
ェハー109をXY力方向移動させるためのXY方向移
動装置、110はウェハー109上の電子部品Pを突き
上げるダイエジェクタである。またサブステージ104
は、電子部品PのXYθ方向の位置ずれ補正や外観認識
を行うステージである。(Prior Art) FIG. 6 shows a conventional electronic component mounting apparatus, which is equipped with a sub-transfer head 101 and a mount head 102, and mounts electronic components onto the sub-transfer rad 101. By reciprocating between the supply section 103 and the substage 104 and between the substage 104 and the substrate 6 disposed on the positioning section 105, the electronic component P is mounted on the substrate 106. Correction of the positional shift and mounting of the electronic component P onto the board 106 are performed as a series of operations. 101a is a nozzle that sucks the electronic component P; 107 and 108 are XY direction moving devices for moving the wafer 109 in the XY force directions so that the nozzle 101a can pick up the desired electronic component P; 110 is a nozzle on the wafer 109; This is a die ejector that pushes up the electronic component P. Also substage 104
is a stage for correcting the positional deviation of the electronic component P in the XYθ directions and for recognizing the appearance.
(発明が解決しようとする課題)
上記のように、ウェハー109はXY方向移動装置10
7,108によりXY力方向搬送されて、ピンクアップ
されるべき電子部品Pを、ノズルl01aの直下に移動
させるものであり、したがってウェハー109がサブス
テージ104に最接近したときに、ウェハー109がサ
ブステージ104に衝突しないように、両者104.1
09の間隔Tを設定しなければならない。(Problem to be Solved by the Invention) As described above, the wafer 109 is
7, 108 in the XY force direction to move the electronic component P to be pinked up directly below the nozzle l01a. Therefore, when the wafer 109 approaches the sub-stage 104, the wafer 109 104.1 to avoid collision with the stage 104.
09 interval T must be set.
ところが近年、ウェハーやトレイのような電子部品の供
給ユニットは大型化する傾向にあり、このため、両者1
04,109の間隔も大きくなっており、したがってサ
ブ移送ヘッド101の横方向ストロークDも長くなり、
それだけヘッド101,102が横方向移動に要する時
間が長くなって、実装速度が次第に低下する傾向にあっ
た。However, in recent years, supply units for electronic components such as wafers and trays have tended to become larger.
04, 109 is also larger, and therefore the lateral stroke D of the sub-transfer head 101 is also longer,
The time required for the heads 101 and 102 to move in the lateral direction increases accordingly, and the mounting speed tends to gradually decrease.
そこで本発明は、サブ移送へ・7ドやマウントヘッドの
横方向ストロークを短くして、実装能率をあげることが
できる手段を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to provide a means for increasing mounting efficiency by shortening the lateral stroke of the sub-transfer and mounting heads.
(課題を解決するための手段)
このために本発明は、電子部品を装着するノズルを備え
たサブ移送ヘッドとマウントヘッドを、横方向移動装置
により横方向に往復移動させて、サブ移送へノドをXY
方向移動装置に配設された電子部品の供給ユニットとサ
ブステージの間を、またマウントへ・7ドをサブステー
ジとXY方向移動装置に配設された基板の間を往復移動
させることにより、基板に実装される電子部品の位置ず
れ補正と、電子部品の基板への実装を一連の作業として
行う電子部品実装装置において、上記サブステージを上
記供給ユニットよりも上方に配設し、かつ供給ユニット
を上記xY方向移動装置に搬送されてサブステージの下
方に出入自在とするとともに、上記サブ移送ヘッドのノ
ズルの昇降ストロークの調整装置を設けたものである。(Means for Solving the Problems) For this purpose, the present invention reciprocates a sub-transfer head and a mount head, which are equipped with nozzles for mounting electronic components, in the lateral direction by a lateral movement device, and then XY
By reciprocating between the electronic component supply unit disposed on the directional movement device and the substage, and between the substage and the substrate disposed on the XY direction movement device, the substrate In an electronic component mounting apparatus that performs misalignment correction of electronic components mounted on a board and mounting of electronic components on a board as a series of operations, the substage is disposed above the supply unit, and the supply unit is It is conveyed by the xY direction moving device so that it can move in and out below the sub-stage, and is also provided with an adjustment device for the vertical stroke of the nozzle of the sub-transfer head.
(作用)
上記構成によれば、供給ユニットはサブステージの下方
に自由に進入できるので、サブ移送ヘッドの横方向スト
ロークは短くなり、したがってマウントヘッドの横方向
ストロークも短くなり、サブ移送ヘッドは短時間で供給
ユニー/ トとサブステージの間を、またマウントヘッ
ドはサブステージと基板の間を往復移動しながら、能率
よく実装作業が行われる。(Function) According to the above configuration, since the supply unit can freely enter below the sub-stage, the lateral stroke of the sub-transfer head is shortened, and therefore the lateral stroke of the mount head is also shortened, and the sub-transfer head is shortened. Mounting work is carried out efficiently as the mounting head moves back and forth between the supply unit and the substage and between the substage and the substrate.
(実施例) 次に、図面を参照しながら本発明の詳細な説明を行う。(Example) Next, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
第1図は電子部品実装装置を示すものであって、この装
置は、サブ移送ヘッドAと、マウントヘッドBと、転写
ヘッドCの3つのヘッドを有している。これらの3つの
ヘッドA、B、Cは基本的に同一構造であるが、サブ移
送ヘッドAとマウントヘッドBは電子部品を吸着するノ
ズル1を装備しているのに対し、転写ヘッドCは、ボン
ドを塗布する転写ビン2を装備している点において構造
上の差異を有している。なおノズルとしては、箱型の吸
着部を備えたグイコレット式ノズルでもよい。また後に
詳述するように、これらの3つのヘッドA、B、Cは、
電子部品の位置ずれ補正、基板への電子部品の実装、基
板へのボンド塗布等の一連の作業を、横方向に往復移動
しながら同時に行う。FIG. 1 shows an electronic component mounting apparatus, which has three heads: a sub-transfer head A, a mounting head B, and a transfer head C. These three heads A, B, and C basically have the same structure, but while the sub-transfer head A and the mount head B are equipped with a nozzle 1 that sucks electronic components, the transfer head C is It has a structural difference in that it is equipped with a transfer bottle 2 for applying bond. Note that the nozzle may be a guicolet type nozzle equipped with a box-shaped suction part. Also, as will be explained in detail later, these three heads A, B, and C are
A series of tasks such as correcting the misalignment of electronic components, mounting electronic components on the board, and applying bond to the board are performed simultaneously while reciprocating in the horizontal direction.
3は支持部、4はこの支持部3に設けられたガイド部で
あり、ヘッドA−Cの背面に設けられた嵌合部22はこ
のガイド部4に摺動自在に嵌合している。40は支持部
3の側方に設けられた横方向移動装置であって、駆動ボ
ックス41、駆動用モータ42、昇降シャフト43、揺
動アーム44;45、上記ヘッドCに結合されたロフト
46から成っており、モータ42が駆動すると、3つの
ヘッドA、B、Cはガイド部4に沿って一体的に横方向
に往復摺動する。Reference numeral 3 denotes a support portion, 4 a guide portion provided on the support portion 3, and a fitting portion 22 provided on the back surface of the head AC is slidably fitted into the guide portion 4. Reference numeral 40 denotes a lateral movement device provided on the side of the support section 3, which includes a drive box 41, a drive motor 42, a lifting shaft 43, a swing arm 44; 45, and a loft 46 connected to the head C. When the motor 42 is driven, the three heads A, B, and C integrally slide back and forth in the lateral direction along the guide portion 4.
10.11,12.13は、各ヘッドA、B。10.11 and 12.13 are each head A and B.
Cの下方に配設された電子部品の供給部、サブステージ
、基板14の位置決め部、ボンド皿9が置かれたボンド
供給部である。基板としては、通常の基板の他、リード
フレームでもよい。電子部品の供給部10には電子部品
Pの供給ユニットとしてのウェハー15が置かれている
。16はウェハー15の載置テーブル、17はグイエジ
ェクタであり、テーブル16が回転することにより、所
望のウェハー15がグイエジェクタ17の上方に移動す
る。18.19はXY方向移動装置であって、ウェハー
15をXY力方向搬送して、所望の電子部品Pをグイエ
ジェクタ17直上のピックアップ位置に移動させる。This is a bond supply section in which an electronic component supply section, a substage, a positioning section for the substrate 14, and a bond plate 9 are placed below C. The substrate may be a lead frame as well as a normal substrate. A wafer 15 serving as a supply unit for electronic components P is placed in the electronic component supply section 10 . 16 is a mounting table for the wafer 15, and 17 is a gouer ejector. As the table 16 rotates, a desired wafer 15 is moved above the gouer ejector 17. Reference numeral 18 and 19 denote an XY direction moving device, which transports the wafer 15 in the XY direction and moves a desired electronic component P to a pickup position directly above the gouer ejector 17.
なお供給ユニットとしては、トレイ等でもよい。Note that the supply unit may be a tray or the like.
サブステージ11は、電子部品Pのxyθ方向の位置ず
れの補正や外観認識などを行うためのステージである。The substage 11 is a stage for correcting the positional deviation of the electronic component P in the xyθ directions, recognizing the appearance, and the like.
図示するように、サブステージ11はウェハー15の上
方に配設されており、したがってウェハー15は、XY
方向移動装置18.19に搬送されてサブステージ11
の下方に出入自在であり、かくすることにより、ピック
アップ位置とサブステージ11の間の間隔Tを短くし、
短い横方向ストロークDで、サブ移送ヘッドAがピック
アップ位置とサブステージ11の間を移動できるように
なっている。As shown, the substage 11 is disposed above the wafer 15, so that the wafer 15 is
The sub-stage 11 is conveyed to the direction moving device 18 and 19.
can be freely moved in and out from below, thereby shortening the interval T between the pickup position and the sub-stage 11,
A short lateral stroke D allows the sub-transfer head A to move between the pick-up position and the sub-stage 11.
位置決め部12は、xy方向移動装置112a。The positioning unit 12 is an xy direction moving device 112a.
12bから成り、その上部にセットされた基板14をX
Y力方向移動させることにより、基板14の所定位置に
電子部品Pを着地させる。次に、第2図と第3図を併゛
せて参照しながら、マウントへラドBの詳細な構造を説
明する。なお上述のように、他のヘッドA、Cもマウン
トヘッドBと同様の構造を有している。12b, and the board 14 set on top of it is
By moving in the Y force direction, the electronic component P is landed at a predetermined position on the board 14. Next, the detailed structure of the mount head B will be explained with reference to FIGS. 2 and 3. Note that, as described above, the other heads A and C also have the same structure as the mount head B.
21はマウントへラドBの主体となるフレームであって
、上述したように、その背面には上記ガイド部4に摺動
自在に嵌合する嵌合体22が装着されている。25はス
ライダ、26はモータM1により駆動される第1のカム
、27はカムフォロア、28.29は第1の伝動部材と
してのリンクであり、カム26が回転すると、スライダ
25は前後方向Nに往復摺動する。31.32はスライ
ダ25のガイド部材である。Reference numeral 21 denotes a frame which is the main body of the mount head B, and as described above, the fitting body 22 which is slidably fitted into the guide portion 4 is attached to the back side of the frame. 25 is a slider, 26 is a first cam driven by the motor M1, 27 is a cam follower, and 28.29 is a link as a first transmission member. When the cam 26 rotates, the slider 25 reciprocates in the front-rear direction N. Sliding. 31 and 32 are guide members of the slider 25.
M2はスライダ25上に設けられたパルスモータ、33
はこのモータM2に駆動される第2のカム、34はカム
フォロア、35はこのカムフォロア34を支持する第2
の伝動部材、30はその支持材である。50は、パルス
モータM2を制御するコンピュータである。36は上記
フレーム21にピン37に軸支された駆動部材であって
、その上部背面には、上記伝動部材35の下端部に軸着
されたロール38が当接している。39は、駆動部材3
6の先端部に軸着されたローラ、51はこのローラ39
が接地するプレート、52はこのプレート51に垂設さ
れたノズル1の昇降シャフト、53は付勢用ばね材、5
4はガイドシャフトである。M2 is a pulse motor provided on the slider 25, 33
is a second cam driven by this motor M2, 34 is a cam follower, and 35 is a second cam that supports this cam follower 34.
The transmission member 30 is a supporting member thereof. 50 is a computer that controls the pulse motor M2. Reference numeral 36 denotes a drive member that is pivotally supported by a pin 37 on the frame 21, and a roll 38 that is pivotally attached to the lower end of the transmission member 35 is in contact with the upper back surface of the drive member. 39 is the driving member 3
A roller 39 is pivotally attached to the tip of 6, and 51 is this roller 39.
is a plate that is grounded, 52 is a lifting shaft for the nozzle 1 that is vertically installed on this plate 51, 53 is a biasing spring material, 5
4 is a guide shaft.
第4図は第3図の昇降手段を理解しやすいように簡略に
示すものであり、次にこれを参照しながら、ノズル1の
昇降動作を説明する。第1のカム26が回転するとスラ
イダ25は前後方向Nに往復摺動する。Llはその摺動
ストロークである。また第2のカム33が回転すること
により、伝動部材35も前後方向に移動する。FIG. 4 shows the elevating means shown in FIG. 3 in a simplified manner for easy understanding, and the elevating and lowering operation of the nozzle 1 will be explained next with reference to this figure. When the first cam 26 rotates, the slider 25 reciprocates in the front-rear direction N. Ll is its sliding stroke. Further, as the second cam 33 rotates, the transmission member 35 also moves in the front-rear direction.
L2はカム33の回転による摺動ストロークであり、し
たがって伝動部材35は、合算ストロークL1+L2で
前後方向に往復動する。駆動部材36は、伝動部材35
に押されてピン37を中心に揺動するので、第5図(a
)に示すようにカム33の大径側かローラ34に当接し
た状態では、駆動部材36の揺動量は大きく、したがっ
てノズルlの昇降ストロークは大きい。L2 is a sliding stroke due to the rotation of the cam 33, and therefore the transmission member 35 reciprocates in the front-rear direction with a total stroke of L1+L2. The driving member 36 is the transmission member 35
5 (a) and swings around the pin 37.
), when the large diameter side of the cam 33 is in contact with the roller 34, the amount of swing of the drive member 36 is large, and therefore the vertical stroke of the nozzle l is large.
また同図(b)に示すように、カム33の小径側かロー
ラ34に当接した状態では、ノズル1の昇降ストローク
は小さい。したがってカム33の回転角度を調整するこ
とにより、ノズル1の昇降ストロークを調整することが
できる。このように、第1のカム26と第1の伝動部材
28,29は、駆動部材36の第1の駆動装置55を構
成しており、ノズル1はこの駆動装置55に駆動されて
、一定のストロークで昇降する。Further, as shown in FIG. 2B, when the small diameter side of the cam 33 is in contact with the roller 34, the vertical stroke of the nozzle 1 is small. Therefore, by adjusting the rotation angle of the cam 33, the vertical stroke of the nozzle 1 can be adjusted. In this way, the first cam 26 and the first transmission members 28 and 29 constitute the first drive device 55 of the drive member 36, and the nozzle 1 is driven by this drive device 55 to maintain a constant Go up and down with a stroke.
また第2のカム33や第2の伝動部材35は、第2の駆
動装置56を構成しており、しかもこの第2の駆動装置
56は、カム33の回転角度を変えることにより、ノズ
ル1のストロークを調整できる昇降ストロークの調整装
置となっている。Further, the second cam 33 and the second transmission member 35 constitute a second drive device 56, and this second drive device 56 controls the nozzle 1 by changing the rotation angle of the cam 33. It is a lifting stroke adjustment device that can adjust the stroke.
本装置は上記のような構成より成り、横方向移動装置4
0が駆動することにより、サブ移送ヘッドAは供給ユニ
ット15とサブステージ11の間を、またマウントヘッ
ドBはサブステージ11と基板14の間を、また転写ヘ
ッドCは基板14とボンド皿9の間を往復移動し、電子
部品Pの位置ずれ補正、基板14への実装、及び基板1
4へのボンド塗布等が、一連の作業として行われる。This device has the above-mentioned configuration, and includes a lateral movement device 4
0 is driven, the sub-transfer head A moves between the supply unit 15 and the sub-stage 11, the mount head B moves between the sub-stage 11 and the substrate 14, and the transfer head C moves between the substrate 14 and the bond plate 9. The electronic component P is moved back and forth between the two, corrects the positional deviation of the electronic component P, is mounted on the board 14, and is mounted on the board 1.
4 is performed as a series of operations.
ところで、サブ移送ヘッドAのノズル1により、ウェハ
ー15上の電子部品Pをピックアップするときは、XY
方向移動装置18.19が駆動して、ピ・ツクアップさ
れる電子部品Pがノズル1の直下に移動する。このよう
に、ウェハー15はXY力方向移動するものであるが、
上記のように、ウェハー15はサブステージ11の下方
に出入自在であるので、サブ移送ヘッドAの横方向スト
ロークDは短く、したがってサブ移送へソドAは短時間
で、ピックアップ位置とサブステージ11の間を往復し
て、高速度で実装作業を行うことができる。またサブ移
送ヘッドAのノズルの昇降ストロークは、ウェハー15
上の電子部品Pをピックアップするときは大きくし、ま
た電子部品Pをサブステージ11に着地させるときは小
さくしなければならないが、このような昇降ストローク
の調整は、昇降ストロークの調整装置56により行うこ
とができる。By the way, when picking up the electronic component P on the wafer 15 by the nozzle 1 of the sub-transfer head A,
The directional moving devices 18 and 19 are driven, and the electronic component P to be picked up is moved directly below the nozzle 1. In this way, the wafer 15 moves in the XY force directions, but
As mentioned above, since the wafer 15 can freely move in and out from below the sub-stage 11, the lateral stroke D of the sub-transfer head A is short, and therefore the sub-transfer head A is moved in a short period of time between the pick-up position and the sub-stage 11. You can perform mounting work at high speed by going back and forth between the two locations. In addition, the vertical stroke of the nozzle of sub transfer head A is
When picking up the electronic component P above, it must be made larger, and when landing the electronic component P on the substage 11, it must be made smaller. Such adjustment of the lifting stroke is performed by the lifting stroke adjusting device 56. be able to.
(発明の効果)
以上説明したように本発明は、電子部品を装着するノズ
ルを備えたサブ移送ヘッドとマウントヘッドを、横方向
移動装置により横方向に移動させて、サブ移送ヘッドを
XY方向移動装置に配設された電子部品の供給ユニット
とサブステージの間を、またマウントヘッドをサブステ
ージとXY方向移動装置に配設された基板の間を往復移
動させることにより、基板に実装される電子部品の位置
ずれ補正と、電子部品の基板への実装を一連の作業とし
て行う電子部品実装装置において、上記サブステージを
上記供給ユニットよりも上方に配設し、かつ供給ユニッ
トを上記XY方向移動装置に搬送されてサブステージの
下方に出入自在とするとともに、上記サブ移送ヘッドの
ノズルの昇降ストロークの調整装置を設けているので、
サブ移送ヘッドとマウントヘッドの横方向ストロークは
短くなり、したがって両ヘッドの横方向往復動のサイク
ルタイムをアップして、高速度で実装作業を行うことが
できる。またサブ移送ヘッドのノズルの昇降ストローク
を調整することができるので、供給ユニット上の電子部
品を確実にピックアンプし、またサブステージに着地さ
せることができる。(Effects of the Invention) As explained above, the present invention moves the sub-transfer head and the mount head, which are equipped with nozzles for mounting electronic components, in the lateral direction using a lateral movement device, and moves the sub-transfer head in the X and Y directions. By moving the mount head back and forth between the electronic component supply unit installed in the device and the substage, and between the substage and the substrate installed in the XY direction moving device, the electronic components mounted on the substrate are moved. In an electronic component mounting apparatus that performs a series of operations for correcting component positional deviation and mounting electronic components on a board, the substage is disposed above the supply unit, and the supply unit is moved by the XY direction moving device. The sub-stage is transported to the lower part of the sub-stage and can be moved in and out of the sub-stage, and is equipped with an adjustment device for the vertical stroke of the nozzle of the sub-transfer head.
The lateral strokes of the sub-transfer head and the mounting head are shortened, and therefore the cycle time of the lateral reciprocating motion of both heads is increased, making it possible to perform mounting work at high speed. Furthermore, since the vertical stroke of the nozzle of the sub-transfer head can be adjusted, the electronic components on the supply unit can be reliably picked up and landed on the sub-stage.
図は本発明の実施例を示すものであって、第1図は電子
部品実装装置の要部正面図、第2図及び第3図はノズル
の昇降手段の斜視図及び側面図、第4図は面略図、第5
図は駆動部の平面図、第6図は従来装置の正面図である
。
l・・・ノズル
11・・・サブステージ
12a、12b・・・XY方向移動装置14・・・基板
15・・・供給ユニット
18.19・・・XY方向移動装置
40・・・横方向移動装置
56・・・昇降ストロークの調整装置
A・・・サブ移送ヘッド
B・・・マウントヘッド
P・・・電子部品
追
2勺
第
L〜1
第
図The drawings show an embodiment of the present invention, in which Fig. 1 is a front view of the main parts of an electronic component mounting apparatus, Figs. 2 and 3 are perspective views and side views of a nozzle lifting means, and Fig. 4 is a schematic diagram, 5th
The figure is a plan view of the drive section, and FIG. 6 is a front view of the conventional device. l... Nozzle 11... Sub-stage 12a, 12b... XY direction moving device 14... Substrate 15... Supply unit 18.19... XY direction moving device 40... Lateral direction moving device 56...Elevating stroke adjustment device A...Sub transfer head B...Mount head P...Electronic parts addition 2 lines L to 1 Fig.
Claims (1)
マウントヘッドを、横方向移動装置により横方向に往復
移動させて、サブ移送ヘッドをXY方向移動装置に配設
された電子部品の供給ユニットとサブステージの間を、
またマウントヘッドをサブステージとXY方向移動装置
に配設された基板の間を往復移動させることにより、基
板に実装される電子部品の位置ずれ補正と、電子部品の
基板への実装を一連の作業として行う電子部品実装装置
において、上記サブステージを上記供給ユニットよりも
上方に配設し、かつ供給ユニットを上記XY方向移動装
置に搬送されてサブステージの下方に出入自在とすると
ともに、上記サブ移送ヘッドのノズルの昇降ストローク
の調整装置を設けたことを特徴とする電子部品実装装置
。A sub-transfer head and a mount head equipped with nozzles for mounting electronic components are reciprocated in the lateral direction by a lateral movement device, and the sub-transfer head is moved between an electronic component supply unit and a mount head disposed on the XY-direction movement device. between the stages,
In addition, by reciprocating the mount head between the sub-stage and the substrate placed on the XY direction moving device, a series of operations are performed to correct the positional deviation of the electronic components mounted on the substrate and to mount the electronic components on the substrate. In the electronic component mounting apparatus, the substage is disposed above the supply unit, and the supply unit is transported by the XY direction moving device so that it can move in and out below the substage. An electronic component mounting apparatus characterized by being provided with a device for adjusting the vertical stroke of a nozzle of a head.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63214040A JP2591097B2 (en) | 1988-08-29 | 1988-08-29 | Electronic component mounting equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63214040A JP2591097B2 (en) | 1988-08-29 | 1988-08-29 | Electronic component mounting equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0263197A true JPH0263197A (en) | 1990-03-02 |
| JP2591097B2 JP2591097B2 (en) | 1997-03-19 |
Family
ID=16649282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63214040A Expired - Lifetime JP2591097B2 (en) | 1988-08-29 | 1988-08-29 | Electronic component mounting equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2591097B2 (en) |
-
1988
- 1988-08-29 JP JP63214040A patent/JP2591097B2/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Publication date |
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| JP2591097B2 (en) | 1997-03-19 |
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