JPH0263715A - 非干渉制御型ｔダイギャップ制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は押出成形機に用いられるＴダイのギャップを制
御するための非干渉制御型Ｔダイギャップ制御装置に関
する。

［従来の技術］ 一般に、紙、アルミ箔、及びプラスチック等の基材に樹
脂フィルムをコーティングするためのラミネーター等と
して使用されるＴダイリップを有する押出成形機では、
品質向上及び省樹脂化等のためのフィルム膜圧を高精度
に制御する必要がある。ラミネートプロセスにおいて、
Ｔダイリップのギャップ量を調整してＴダイリップから
の溶融樹脂の流量を調整してフィルム膜圧を制御してい
る。

従来、Ｔダイからお溶融樹脂の流量調整を行う際には、
リップ部に設けられた複数の調整用ボルトを駆動して、
リップ部のギャップ量を調整することによって、流量調
整を行っている。

このようなＴダイリップのギャップ量調整の方式として
、調整用ボルトを加熱・冷却して、調整用ボルトの熱膨
張によりリップ部のギャップ量を２Ｊ整するいわゆる「
ヒートボルト方式」及び１台乃至複数台のサーボモータ
を用いて調整用ボルトを順次駆動して、リップ部のギャ
ップ量を調整するいわゆる「サーボモータ方式」が知ら
れている。

［発明が解決しようとする課題］ ところで、Ｔダイの樹脂流動部は、ノズル構造となって
いるため、フィルム膜圧の計測結果からリップ部のギャ
ップ量を決定する際には、樹脂流動特性及び各調整用ボ
ルト間の駆動量の相互干渉を考慮しなければ、高精度に
リップ部のギャップ量を制御することができず、従来の
「ヒートボルト方式」の場合、加熱或は冷却量を高精度
に調整することができず、しかも応答性が極めて低いか
ら、高精度にリップ部を制御できないという問題点があ
る。

また、「サーボモータ方式」では、サーボモタを用いて
順次：Ａ繁用ボルトを駆動しているため、複数の調整用
ボルトの構造的な相互干渉を受け、リップ部のギャップ
量を高精度に制御できず、その結果、樹脂流量制御に支
障を来たすという問題点がある。

さらに、通常、リップ部は１ｍ以上の巾を有しているた
め、そのリップ部の平面度等の加工精度により、必然的
に加工誤差が生じる。このため、その加工誤差或は、加
熱時におけるリップ部の熱膨脹二等により、固有必然的
なギャップ量のアンバランスを禁じ得ず、単なる非干渉
制御下では、均一なフィルム膜厚を実現することが、困
難であるという問題もあった。

そこで、本発明の技術的課題は、上記欠点に鑑み、高精
度にＴダイリップのギャップ量を制御することのできる
非干渉制御型Ｔダイギャップ制御装置を提供することで
ある。

［課題を解決するための手段］ 本発明によれば、膜材料を被膜材に流出させるリップ部
を有するリップ構造体に圧力を与えて、前記リップ部の
ギャップ量を増減するｎ　（ｎ≧２）個の駆動手段と、 該ｎ個の駆動手段に各々対応するｎ箇所の前記膜材料の
膜厚値を実測する膜厚実測手段と、該膜厚実測手段より
検出された膜厚実測値と予め定められた目標膜厚値とか
ら膜厚偏差を求め、該膜厚偏差に基づいて、前記リップ
部のギャップ量における目標変位ベクトル（Δｙ）を演
算するリップ開度量演算手段と、 該目標変位ベクトル（Δｙ）を基準入力値として、該基
準入力値（Δｙ）に対応する前記ｎ個の駆動手段への操
作量　（Ｕ）を、前記リップ構造体の剛性マトリクス（
Ｇ）に基づいた非干渉制御アルゴリズムにより演算する
操作量演算手段とを有する非干渉制御型Ｔダイギャップ
制御装置において、 前記操作量演算手段は、 前記リップ構造体に加えられる圧力ベクトル（ΔＰ）を
前記目標変位ベクトル（Δｙ）に変換する圧力／変位変
換マトリックス（Ｋａ）を演算すると共に。

該圧力／変位変換マトリックス（Ｋａ）と、前記駆動手
段に人力される操作量ベクトル（Δｕ）を前記リップ構
造体に加えられる圧力ベクトル（ΔＰ）に変換するため
の操作量／圧力変換マトリクス（ｋ　ｐ）との積（Ｋａ
・ｋｐ）の逆マトリクス（Ｋａ・ｋｐ）−１を演算する
初期マトリクス演算部と、 該初期マトリクス演算部より出力される逆マトリクス（
Ｋａ・ｋｐ）−１を受け、該逆マトリクス（Ｋａ・ｋｐ
）−’に基づいて、前記基準入力値（Δｙ）に対応する
初期操作量（Δｕ）を、非干渉制御アルゴリズムにより
演算する操作量演算部と を仔することを特徴とする非干渉制御型Ｔダイギャップ
制御装置が得られる。

また、本発明によれば、前記量制御型Ｔダイギヤツブ制
御装置において、 前記操作量演算手段は、 前記目標変位ベクトル（Δｙ）と、前記初期操作量（Δ
ｕ）に基づいて駆動された前記リップ部を実測して得ら
れる実Δｌｌｊ変位ベクトル（Δｙｍ）との偏差から、
該偏差を補償するように、前記逆マトリクス（Ｋａ・ｋ
ｐ）−１を繰返し修正した修正逆マトリクス（Ｋａ′　
・ｋｐ’）−’Φに、−１を演算する修正マトリクス演
算部を有し、 前記操作量演算部は、前記修正マトリクス演算部より出
力される修正逆マトリクス　（Ｋａｋｐ’）−’・Ｋ１
−１を受け、該修正逆マトリクス（Ｋａ　・ｋｐ’）利
・Ｋ１−１に基づいて、前記目標変位ベクトル（Δｙ）
に対応する修正操作量（Δｕ＋）を非干渉制御アルゴリ
ズムにより演算することを特徴とする非干渉制御型Ｔダ
イギャップ制御装置が得られる。

また、本発明によれば、前記非干渉制御型Ｔダイギャッ
プ制御装置において、 前記リップ部の固有形状誤差における予め定められた許
容ギャップ量誤差と、実測された当該リップ部の実測ギ
ャップ量誤差との偏差から、ギャップ量固有誤差ベクト
ル（Δｅ）を求め、該ギャップ量固有誤差ベクトル（Δ
ｅ）を前記目標変位ベクトル（Δｙ）に加算した補正基
準入力値（Δｙ＋Δｅ）を、前記操作量演算手段に基準
入力値として与える固有形状誤差補正手段 を設けたことを特徴とする非干渉制御型Ｔダイギャップ
制御装置が得られる。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。

−Ｔダイの構造説明− まず、第１図を参照してＴダイの構造について説明する
。

Ｔダイはリップ構造体２及び駆動構造体３を備えている
。リップ構造体２は長手方向（Ｘ方向）に延びるリップ
部４を備えており、このリップ部４で形成されるギャッ
プから樹脂フィルム膜５が流出される。

リップ構造体２の一面（前面）には、図示のように、複
数のベローズ６ａ〜６ｐが配設されており、これら、ベ
ローズ６ａ〜６ｐはそれぞれリップ構造体２に形成され
た給気孔７ａ〜７ｈに連通している。即ち、ベローズ６
ａ及び６ｂが給気孔に、ベローズ６Ｃ及び６ｄが給気孔
７ｂに連通され、以下同様にしてベローズ６０及び６ｐ
が給気孔７ｈに連通している。これら給気孔７ａ〜７ｈ
には、コンプレッサ等の空圧制御系（図示しない）のよ
り、加圧空気が供給される。

駆動構造体３は複数の分割板体３ａ〜３ｈに分割されて
おり、各分割板体３ａ〜３ｈには、それぞれベローズ６
ａ〜６ｐの一端が取付けられている。即ち、分割板体３
ａにはベローズ６ａ及び６ｂの一端が、分割板体３ｂに
はベローズ６Ｃ及び６ｄの一端が取付けられ、以下同様
にして分割板体３ｈにはベローズ６０〜６ｐの一端が取
付けられている。

駆動構造体３の一端（下端）、即ち、各分割板体３ａ〜
３ｈの下端は、図示のように、リップ構造体２のリップ
部４に取付けられており、駆動構造体３を駆動させるこ
とにより、弾性変形部４ａによりリップ部４のギャップ
量が増減する。

つまり、各給気孔７ａ〜７ｈを介して、空圧制御系から
の空気等をベローズ６ａ〜６ｐに送り（即ち、ベローズ
６ａ〜６ｐに与える空力を変え）、ベローズ６ａ〜６ｐ
を伸張或は収縮する。これにより、各分割板体３ａ〜３
ｈを駆動し、リップ部４のギャップ量を増減している。

このように、このＴダイ１をリップ部４の長手方向（Ｘ
方向）にリップ部４を複数（ｍ個）のゾーン（第１図で
は８ゾーン）に分け、このゾーン毎にリップ部４のギャ
ップ量が増減している。

−制御装置の構造− 次に、第２図を参照して、駆動構造体３を制御する制御
装置２０について説明する。

制御装置２０は、記憶域２１と演算域２２及び電圧指令
値出力域２３とから主に構成され、更に、実際のフィル
ム膜厚を計測するフィルム膜厚プロファイルセンサ２４
が設けられている。記憶域２１は、目標プロファイル記
憶部２５．樹脂流量特性記憶部２６．非干渉制御マトリ
クス記憶部２７゜圧力／変位変換マトリクス記憶部２８
．操作量／圧力変換マトリクス記憶部２つ、実Ｉｇ１プ
ロファイル記憶部３０．及びギャップ量誤差ベクトル記
憶部３１とからなり、また、演算域２２は、膜厚誤差演
算部３２．リップ開度量演算部３３．マトリクス演算部
３４．及び操作量演算部３５から構成されている。さら
に、電圧指令値出力域２３には、空圧制御系に接続され
る電圧指令値出力部３６が設けられている。

次に、制御装置２０の動作説明をする。

まず、プロファイルセンサ２４により、リップ部４のゾ
ーン毎に実際のフィルム膜厚を実ＡＰＩ　Ｌ、実ａｌｌ
ｌプロファイル記憶部３０に出力する。目標プロファイ
ル記憶部２５には、リップ部４の各ゾーンに対応したフ
ィルム膜厚目標値が予め格納されている。実７１−１プ
ロフアイル記憶部３０に格納されたフィルム膜厚実測値
は、目標プロファイル記憶部２５に格納されたフィルム
膜厚目標値と、リップ部４のゾーン毎にタイミングを合
せて、偏差演算部３２に出力される。偏差演算部３２は
、フィルム膜厚実測値とフィルム膜厚目標値とから膜厚
偏差を求め、リップ開度量演算部３３に出力する。

同時に、樹脂流量特性記憶部２６からは、樹脂流量、樹
脂の流体圧力により定まる物性定数　及びＴダイの巾等
を考慮した粘度を示す樹脂流量特性値が、リップ開度演
算部３３に出力される。リップ開度演算部３３は、膜厚
偏差及び樹脂流量特性に基づいて、リップ部のギャップ
量におけるゾ−ン毎の目標変位ベクトル（Δｙ）を演算
する５電圧指令値演算部３５は、目標変位ベクトル（Δ
ｙ）を基準入力値として受けると共に、非干渉制御マト
リクス記憶部２７に格納された逆マトリクス（Ｋａ・Ｋ
ｐ）−１を、リップ部４のゾーン毎にタイミングを合せ
て人力し、空圧制御系への初期電圧ベクトル（Δｕ）を
非干渉人力演算して、電圧指令値出力部３６に出力する
。或は、逆マトリクス（Ｋａ・Ｋｐ）−１を繰返し修正
した修正逆マトリクス（Ｋａ・Ｋｐ）−’・Ｋｌ−１を
用いて非干渉人力演算してもよい。

尚、非干渉制御マトリクス記憶部２７に格納される逆マ
トリクス（Ｋａ・Ｋｐ）−’或いは、修正逆マトリクス
（Ｋａ・Ｋ　ｐ　）１・Ｋ１−１は、圧力／変位変換マ
トリクス記憶部２８及び操作量／圧力変換マトリクス記
憶部２９から、それぞれ呼び出された圧力／変位変換マ
トリクスにαと操作量／圧力変換マトリクスＫｐとを、
マトリクス演算部３４にて予め演算される。

また、電圧指令値演算部３５は、ギャップ量誤差ベクト
ル記憶部３１から出力されるリップ構造体２６体の持つ
ギャップ量固有誤差ベクトル（Δｅ）を受け、これによ
、す、目標変位ベクトル（Δｙ）に代えて、ギャップ量
固有誤差ベクトル（Δｅ）を補償した補正目標変位ベク
トル（Δｙ＋Δｅ）を用いて、初期電圧ベクトル（Δｕ
）を修正した修正電圧ベクトル（Δｕ＋Δｕｅ）を電圧
指令値出力部３６に出力する。

電圧指令値出力部３６は、修正電圧ベクトル（Δυ十Δ
ｕｅ）を、空圧制御系に出力し、これにより、空圧制御
系から送られる空気等を制御され、ベローズ６ａ〜６ｐ
に与える空力が変わり、ベローズ６ａ〜６ｐを伸張或は
収縮し、各分割板体３ａ〜３ｈが駆動して、リップ部４
のギャップ量が、Ｍ整される。

非干渉マトリクスの演算方法− 次に、非干渉制御マトリクス記憶部２７に格納される非
干渉マトリクスの演算方法の一例を説明する。

まず、各分割板体３ａ〜３ｈに加わるそれぞれのベロー
ズ６ａ〜６ｐの駆動トルクベクトルをΔＴ、リップ部４
のギャップ量の目標変位ベクトルをΔｙと置く。

ΔＴ−（ΔＴｌ、　　ΔＴ２．・・・、ΔＴｌｌ　・・
・ΔＴ、）” Δｙ−＜ΔＹ＋＋　　ΔＹ２．　・・・、Δｙ＋、　・
・・Δｙ　ｎ　）　” このとき、リップ部全体の変形は、次式■で表される。

Δｙ　−Ｇ−１ΔＴ　　　　　　　　　・・・■ここで
、Ｇ−１は、次式で表されるリップ部４を含むリップ構
造体２全体の剛性マトリクスＧの逆行列である。

以下余白 次に、各ベローズ６ａ〜６ｐに空圧として加えられる空
圧制御系からの圧力ベクトルΔＰを、Δｐ−（ΔＰｌ　
＋　　ΔＰ２＋　・・・、ΔＰ、　　・・・ΔＰ、、）
Ｔ と置く。

圧力ベクトルΔＰと駆動トルクベクトルΔＴとは、はぼ
比例関係を有していることから、その関係を次式■とし
て表すことができる。

ΔＴ−ｍＫＰＴ・ΔＰ　　　　　　　　・・・■Ｋ　Ｐ
Ｔ−ｄｉｔｇ　（ΔＰＴｌ＋　　ΔＰ↑２．・・・、Δ
Ｐ　Ｔｌ。

・・・　ΔＰ　Ｔ、） 従って、圧力ベクトル（ΔＰ）を目標変位ベクトル（Δ
ｙ）に変換する圧力／変位変換マトリックスをにαとお
けば、リップ部４のギャップ量の目標変位ベクトルをΔ
ｙは、第０式及び第■式より、 Δ　ｙ−Ｋ　α　・　Δ　Ｐ、　　　（Ｋ　　α　−Ｇ
−’ＫＰＴン　・・・■と表される。

次に、空圧制御系へ入力される初期電圧ベクトルΔｕを
、 Δｕ−（ΔＰ１．Δｕ　２　＋　・・’＋　Δｕ　ｌ　
＋　”・Δｕｎ）”　　と置き、初期電圧ベク トル（Δｕ）を圧力ベクトル（Δｙ）に変換する電圧／
圧力変位変換マトリックスをに、とすれば、上述の第０
式を用いて、 Δｙ−にα・ΔＰ ΔＰ−Ｋｐ・Δｕ Ｋ　ｐ−ｄｉａｇ　（ΔＰ２．ΔＰ　２　＋　”・＋　
　ΔＰ・・・　ΔＰ、） と表される。これを変形して、目標変位ベクトル（Δｙ
）を達成する初期電圧ベクトル（Δｕ）を求めれば、下
記第０式として表される。

Δｙ−にα・Ｋｐ・Δｕ 、°、Δｕ−（ＫａφＫｐ）−’拳Δｙ　　・・・■従
って、この第０式により、非干渉入力演算を行うことが
できる。

ここで、Ｋａ・Ｋｐの求めるためには、第０式を変形し
て、 ・・・■ 上記の第０式として表されることから、各チャンネル単
独で人力した場合の各ゾーンの変位特性値を実４＃１シ
、これによりにα・Ｋｐを求める方法がある。

なお、設計値を用いて、ＦＥＭ解析等から第■式で表さ
れる剛性マトリッスＧを導出して、求める方法もある。

一非干渉マトリクスの繰返し修正方法 次に、マトリクス（Ｋａ−Ｋｐ）は、その真値に対する
誤差を有することから、精度を更に高めるために繰返し
修正する場合を説明する。

まず、先に求めたマトリクス（Ｋａ・Ｋｐ）に基づき非
干渉入力演算して得られた初期電圧ベクトル（Δｕ）に
より、実際に得られた実Ｍ１変位ベクトルをΔｙｍとす
れば、その非干ン′へ補償された系の挙動は、（Ｋａ′
　・Ｋｐ・）をモデルとすれば、Δｙ、−（Ｋａ・Ｋｐ
）・（Ｋａ′・Ｋ、・）Δｙ　　　　　　　　　　・・
・■ として表される。

ここで、第０式により制御された系について、各チャネ
ル単独での目標値入力により、新たに干渉マトリクス（
Ｋ、’　）を１１定すると、下記の第■式として表、さ
れる。

よって、実測されたに１′を用いて、第０式に代入すれ
ば、下記の第■式が得られる。

Δｕｗ　（Ｋａ’　　串Ｋｐ’　）−’・Ｋ＋　’　−
’・Δｙ・・・■ 即ち、（Ｋａ′　・Ｋｐ′）−’・Ｋ、’−’が新たに
修正マトリクスとして得られる。

これにより、経年的特性変化等にも、上述の方式を用い
てることにより、常に精度の高い非干渉制御を実現する
ことができる。

一固有誤差補正演算方式一 次に、目標変位ベクトル（Δｙ）に代えて、ギャップ量
固有誤差ベクトル（Δｅ）を補償した補正目標変位ベク
トル（Δｙ＋Δｅ）を、固有誤差補正演算方式を用いて
演算する場合を説明する。

まず、リップ部４の固有形状誤差における所望の許容ギ
ャップｍ　Ｚ４差（最大ギャップ）と、実７１ｐ１され
たリップ構造体２の機械的な組立・調整後の実Ａ１１ｌ
ギヤツプ量誤差との偏差から得られるギャップ量固有誤
差ベクトルを、Δｅとすれば、Δｅ−（Δｅｌ、Δｅ２
．・・・、Δｅｌ、・・・、Δｅｎ）と表すことができ
る。

このΔｅを用いて、下記の第０式に示すように、５′「
容ギャップ量誤差（基準ギャップ状態）を実現するため
の基準入力、即ち、基準ギャップを実現するための初期
人力を、予め初期電圧ベクトル（Δｕ）に加えて補正す
る。

Δｕ、＝　（Ｋａ・Ｋ　Ｉ）　）　−１・Δｅ　　・・
・■なお、繰返しマトリクスを修正した第０式を用いた
場合は、下記の第［相］式により求める。

Δｕ、ｍ　（Ｋａ’　　拳Ｋｐ’　）−’・Ｋ１　’−
’・Δｅ・・・［株］ よって、以上の第０式及び第［相］式より、空圧制御系
への補正された電圧指令値（Δυ＋Δｕｅ）が次式によ
り表される。

Δｕ＋Δｕ、＝　　（Ｋａ　　・　Ｋｐ）−’＊　　（
Δｙ　＋Δ　ｅ）・・・■ 実証データ 第３図（１）、（２）に、３軸試作機の順次隣接したｃ
ｈｉ、ｃｈ２．ｃｈ３において、ｃｈ２に一定圧力入力
して静止させ、ｃｈｉ及びｃｈ３のみを、０．５４μｍ
の連続的ステップ駆動させた場合のデータを、縦軸にリ
ップ変位ｆｆ１ｙ、横軸に時間Ｓとして表した。

第３図（１）は、第０式より補正された電圧指令値（Δ
ｕ＋Δｕｓ）を用いて非干渉制御を行った場合を示し、
ｃｈ２は、０．２６μｍのみ変動するに過ぎず、一方、
第３図（２）は、非干渉制御しない場合を示し、ｃｈ２
が１．７３μｍも干渉されていることが分る。

第４図に示すとおり、リップ部４の駆動されるゾーン（
ｊ−２〜Ｊ＋２）における理想のギャップｆｆ１（□）
に対し、固有誤差補正＜−−−−−＞、非干渉マトリク
スの繰返し修正（−−−−）した場合のギャップ量の誤
差は１両者ともに僅かであることが分かる。

［発明の効果］ 以上の説明から分るとおり、本発明によれば、高精度に
Ｔダイリップのギャップ量を制御することのできる非干
渉制御型Ｔダイギャップ制御装置を提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係わるＴダイの斜視図、第２
図は第１図のＴダイの用いる制御装置のブロック図、第
３図（１）、（２）は第［相］式より補正された電圧指
令値（Δｕ＋Δｕｅ）を用いて非干渉制御を行った場合
と、非干渉制御を行わない場合の制御制度を比較した図
、第４図は理想のギャップｆｆ１（□）に対し、固有誤
差補正（−−−−−）、非干渉マトリクスの繰返し修正
＜−−−−”）した場合のギャップ量の誤差を示す図で
ある。 ２０・・・制御装置、２１・・・記憶域、２２・・・演
算域、２３・・・電圧指令値出力域２３．２４・・・フ
ィルム膜厚プロファイルセンサ２４．２５・・・目標プ
ロファイル記憶部、２６・・・樹脂流量特性記憶部、２
７・・非干渉制御マトリクス記憶部、２８・・・圧力／
変位変換マトリクス記憶部、２９・・・操作量／圧力変
換マトリクス記憶部、３０・・・実測プロファイル記憶
部、３１・・・ギャップｍ誤差ベクトル記憶部３１．３
２・・・膜厚誤差演算部、３３・・・リップ開度ｍ演算
部、３４・・・マトリクス演算部、３５・・・操作量演
算部、３６・・・電圧指令値出力部。 手続補正書（自発） 第４図 、駆す力　゛ノ゛−ン 平成１年９月１日

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、膜材料を被膜材に流出させるリップ部を有するリッ
   プ構造体に圧力を与えて、前記リップ部のギャップ量を
   増減するｎ（ｎ≧２）個の駆動手段と、 該ｎ個の駆動手段に各々対応するｎ箇所の前記膜材料の
   膜厚値を実測する膜厚実測手段と、該膜厚実測手段より
   検出された膜厚実測値と予め定められた目標膜厚値とか
   ら膜厚偏差を求め、該膜厚偏差に基づいて、前記リップ
   部のギャップ量における目標変位ベクトル（Δｙ）を演
   算するリップ開度量演算手段と、 該目標変位ベクトル（Δｙ）を基準入力値として、該基
   準入力値（Δｙ）に対応する前記ｎ個の駆動手段への操
   作量（Ｕ）を、前記リップ構造体の剛性マトリクス（Ｇ
   ）に基づいた非干渉制御アルゴリズムにより演算する操
   作量演算手段とを有する非干渉制御型Ｔダイギヤップ制
   御装置において、 前記操作量演算手段は、 前記リップ構造体に加えられる圧力ベクトル（ΔＰ）を
   前記目標変位ベクトル（Δｙ）に変換する圧力／変位変
   換マトリックス（Ｋａ）を演算すると共に、 該圧力／変位変換マトリックス（Ｋａ）と、前記駆動手
   段に入力される操作量ベクトル（Δｕ）を前記リップ構
   造体に加えられる圧力ベクトル（ΔＰ）に変換するため
   の操作量／圧力変換マトリクス（ｋｐ）との積（Ｋａ・
   ｋｐ）の逆マトリクス（Ｋａ・ｋｐ）＾−＾１を演算す
   る初期マトリクス演算部と、 該初期マトリクス演算部より出力される逆マトリクス（
   Ｋａ・ｋｐ）＾−＾１を受け、該逆マトリクス（Ｋａ・
   ｋｐ）＾−＾１に基づいて、前記基準入力値（Δｙ）に
   対応する初期操作量（Δｕ）を、非干渉制御アルゴリズ
   ムにより演算する操作量演算部と を有することを特徴とする非干渉制御型Ｔダイギャップ
   制御装置。 ２、第１請求項記載の非干渉制御型Ｔダイギャップ制御
   装置において、 前記操作量演算手段は、 前記目標変位ベクトル（Δｙ）と、前記初期操作量（Δ
   ｕ）に基づいて駆動された前記リップ部を実測して得ら
   れる実測変位ベクトル（Δｙｍ）との偏差から、該偏差
   を補償するように、前記逆マトリクス（Ｋα・ｋｐ）＾
   −＾１を繰返し修正した修正逆マトリクス（Ｋα′・ｋ
   ｐ′）＾−＾１・Ｋ＿１＾−＾１を演算する修正マトリ
   クス演算部を有し、 前記操作量演算部は、前記修正マトリクス演算部より出
   力される修正逆マトリクス（Ｋα′・ｋｐ′）＾−＾１
   ・Ｋ＿１＾−＾１を受け、該修正逆マトリクス（Ｋα′
   ・ｋｐ′）＾−＾１・Ｋ＿１＾−＾１に基づいて、前記
   目標変位ベクトル（Δｙ）に対応する修正操作量（Δｕ
   ＿１）を非干渉制御アルゴリズムにより演算することを
   特徴とする非干渉制御型Ｔダイギャップ制御装置。 ３、第１又は第２請求項記載の前記非干渉制御型Ｔダイ
   ギャップ制御装置において、 前記リップ部の固有形状誤差における予め定められた許
   容ギャップ量誤差と、実測された当該リップ部の実測ギ
   ャップ量誤差との偏差から、ギャップ量固有誤差ベクト
   ル（Δｅ）を求め、該ギャップ量固有誤差ベクトル（Δ
   ｅ）を前記目標変位ベクトル（Δｙ）に加算した補正基
   準入力値（Δｙ＋Δｅ）を、前記操作量演算手段に基準
   入力値として与える固有形状誤差補正手段 を設けたことを特徴とする非干渉制御型Ｔダイギャップ
   制御装置。