JPH0266501A - 中空導波路の製造方法 - Google Patents

中空導波路の製造方法

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JPH0266501A JP63216349A JP21634988A JPH0266501A JP H0266501 A JPH0266501 A JP H0266501A JP 63216349 A JP63216349 A JP 63216349A JP 21634988 A JP21634988 A JP 21634988A JP H0266501 A JPH0266501 A JP H0266501A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野Ｊ この発明は、内部が断面長方形状または楕円形状をなす
中空導波路の製造方法に関する。
［従来の技術１ 従来のこの種の製造方法としては、特開昭６０−１４０
２０２号公報に各種のものが記載されている。例えば、
第４図に示すものは、対向面が鏡面仕上げされた上下一
対の金属テープ１，１の間に一対のスペーサ２．２を配
置して接合し、それらの間に断面長方形状の伝送空間３
を形成するようにしたものである。また、第５図に示す
ものは、断面略し字状をなす一対の分割部材４，４を接
合し、その外側を弾性部材５によって被覆したものであ
る。さらに第６図に示すものは、断面略し字状をなす一
対の分割部材６，６の互いの接合面に凸部７と凹部８と
をそれぞれ形成し、こｈら凸部７と凹部８とを嵌合させ
た状態で分割部材６．６を接合したものである。
［発明が解決しようとする問題点１ 第４図、第５図にそれぞれ示す製造方法においては、ス
ペーサ２，２あるいは分割部材４，４をその全長に互っ
て互いに位置ずれすることなく接合することが非常に困
難であり、往々にして位置ずれが生る。このため、伝送
空間３の断面形状がその技手方向の各部において変化し
てしまうという問題がある。一方、第６図に示すものは
、凸部７と凹部８とを嵌合させているから、位置ずれの
おそれはないが、凸部７と四部８とを分割部材４の全長
に互って隙間なく嵌合させるのは、加工上の困難性が大
きく、このため製造費が嵩むという問題がある。
また、スペーサ２、あるいは分割部材４．６は、接合以
前においてはそれぞれの強度が低く、かつ、長さが長い
ため、それらの取り扱いが困難である。
そこで、幅あるいは厚さを大きくしてその強度を高め、
これによって容易に取り扱えるようにしている。ところ
が、各部材の強度を高めると、完成された中空導波路の
強度が必要以上に高くなり、その可撓性が低下するとい
う問題がある。
［発明の目的］ この発明は、上記問題を解決するためになされたもので
、製造費が嵩むことなく、伝送空間がその技手方向の各
部において変化するのを防止することができ、しかも可
撓性に富む中空導波路を製造することができる中空導波
路の製造方法を提供することを目的とする。
［発明の構成１ この発明は、上記の目的を達成するために、円筒状をな
すパイプ部材の外周面に金属の１膜からなる反射層を形
成し、この反射層の外側に樹脂からなる補強層を形成し
、次に前記パイプ部材を溶解除去して反射層と補強層と
を備えたパイプ材となし、その後補強層を加熱軟化させ
た状態でパイプ材を径方向に加圧成形して偏平な中空導
波路を製造するようにしたものである。
［実施例１ 以下、第１図ないし第３図を参照してこの発明の詳細な
説明する。
この発明の製造方法によって例えば断面長方形状の中空
導波路を形成する場合には、第１図（Ａ）に示すように
、まず円筒状をなすパイプ部材１１の外周面に金属の薄
膜からなる反射層１２を形成する。
この場合、パイプ部材１１としては、外周面を鏡面仕上
げしたアルミニウムパイプを用いてもよいが、ガラスパ
イプを用いるのが望ましい。これは、アルミニウムパイ
プを鏡面に仕上げようとすると、その加工に長時間を要
するのに対し、ガラスパイプの場合には、特別の加工を
施すことなく、その外周面の面粗度を鏡面仕上げしたア
ルミニウムパイプの外周面と同等もしくはそれ以上の面
粗度とすることができ、したがって加工費を低減するこ
とができるからである。しかも、ガラスパイプを用いた
場合には、その外周面の面粗度が鏡面仕上げしたアルミ
ニウムパイプと同等以上であるから、それに対応して反
射層１２の内周面の面粗度を高めることができる。
なお、パイプ部材１１は、後述するように、後工程にお
いて溶解除去されるものである。したがって、パイプ部
材１１としてガラスパイプを用いる場合には、酸または
アルカリ等に溶解する可溶性のガラスパイプを用いる。
また、反射層１２は、導波路の内面を形成し、伝送すべ
ぎ光を反射するためのものである。したがって、反射層
１２を形成する金属としては、反射率の高い金属を用い
る。そのような金属としては、例えば金（Ａｕ＞、銅（
Ｃｕ）、銀（Ａｇ）等がある。
また、反射層１２の厚さは、５μから１００μにするの
が望ましい。これは、５μ以下にすると、反射層１２の
機械的強度が低すぎ、逆に１００μ以上にすると可撓性
が低下するためである。なお、反射層１２の形成法とし
ては、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンブレーテ
ィング法等がある。
次に、第１図（Ｂ）に示すように、反射層１２の外側に
補強層１３を形成する。
補強層１３は、反射層１２の保護および補強を図るため
のものである反面、製造された導波路が十分な可撓性を
備えるよう、それ自体適度の柔軟性を有するものである
ことが要望される。そのような観点から、この発明にお
いては、補強層１３を樹脂および金属によって形成して
いる。特にここでは、製造上の容易性を考慮して補強層
１３を熱収縮性チューブによって形成している。熱収縮
性チューブによれば、それを反射層１２の外側に挿通し
た状態で熱風を吹き付けて縮径させることにより、補強
層１３を容易に形成することができる。
次に、第１図（Ｃ）に示すように、バイブ部材１１を溶
解して除去し、反射層１２および補強層１３とからなる
パイプ材１４を得る。
パイプ部材１１の溶解除去に際しては、例えば酸または
アルカリ等の溶解液中にパイプ材１１、反射層１２およ
び補強層１３の全体を浸漬することにより、パイプ部材
１１をその内周面から溶解することができる。このよう
に全体を浸漬する場合には、溶解液として、パイプ部材
１１のみを溶解し、反射層１２および補強層１３を溶解
しない溶解液を用いるべきことは勿論である。
次に、パイプ材１４をその径方向に加圧して所望の形状
に成形する。
この場合、パイプ材１４を単に加圧すると、樹脂からな
る補強層１３のスプリングバックにより、所望の形状を
得るのが難しい。そこで、この発明においては、加圧す
る際に補強層１３を加熱し、補強層１３が塑性変形し得
る程度に軟化させておく。この状態で加熱成形すると、
補強層１３にスプリングバックが発生せず、成形状態で
固化する。
したがって、パイプ材１４を所望の形状に容易に成形す
ることができる。
この点から明らかなように、補強層１３を形成する樹脂
としては、熱可塑性、または熱可撓性を有する樹脂が用
いられる。
また、加圧成形は、製造すべきパイプ材１４の長さが比
較的短い場合には、例えば第１図（Ｄ）に示すように、
パイプ材１４より若干長い一対の成形型に、、に２によ
って行うことができる。この場合、一方の成形型に１は
その長手方向に延びる断面矩形状の凹部Ｒを有しており
、他方の型に２は凹部Ｒに対応して矩形状をなす凸部Ｐ
を有している。この凸部Ｐの先端面と凹部Ｒの底面とは
、凹部Ｒ内に凸部Ｐを嵌め込んだ状態で平行になる。
したがって、第３図（Ｅ）に示すように、凸部Ｐを凹部
Ｒに所定の深さまで嵌め込むと、凹部Ｒの底面と凸部Ｐ
の先端面とにより、それら各面に沿って延びる互いに平
行な２つの長辺１５ａ、１５ａを内周面に有する略矩形
状の中空導波路１５が得られる。
ここで、長辺１５ａ、１５ａの平面度および平行度をよ
り高い精度とすることが中空導波路１５の伝送損失の低
減を図ることから重要である。そのためには、加圧成形
時にパイプ材１４の内部の空気を加圧状態にしておけば
よい。そのようにすると、中空導波路１５の外周面が凹
部Ｒの底面と凸部Ｐの先端面とに密に捜触することにな
り、これによって長辺１５ａ、１５ａの平面度および平
行度を高精度にすることができる。加圧成形時にパイプ
材１４の内部の空気を加圧状態とするには、例えばパイ
プ材１４の両端部を密閉することによって行うことがで
きる６すなわち、パイプ材１４の両端部を密閉すると、
加圧成形によってパイプ材１４の断面形状が円形から矩
形状に変化するのに伴って、パイプ材１４の内部容積が
漸次減少し、その内部に密封された空気が加圧されるこ
とになる。したがって、内部の空気を容易に加圧するこ
とができる。
なお、この実施例においては、凹部Ｒの幅Ｗを製造すべ
き中空導波路１５の幅Ｗ２よりも広くしているので中空
導波路１５の短辺１５ｂ、１５ｂは平面にならず、凹湾
曲面となるが、反射面として必要なのは長辺１５ａ、１
５ａである、したがって、何等問題はない。勿論、幅Ｗ
、とＷ２とをほぼ等しくすれば、短辺１５ｂ、１５ｂを
も平行は平面とすることができる。
また、パイプ材１４、つまり中空導波路１５の長さが比
較的長い場合には、第２図に示すように、各外周面にそ
れぞれ環状溝Ｇ、、Ｇ２を有する一対の成形ロールＲ，
，Ｒ２によって成形することができる。中空導波路１５
の長さが特に長い場合には、成形ロールを多段に設置し
、加工度を順次高めるようにすればよい。なお、第３図
に示すように、一対の成形ロールＲ，，Ｒ２のいずれか
一方にのみ環状溝を形成し、他方の外周面を単なる円筒
面としてもよいことは勿論である。この点は、第１図（
Ｄ）、（Ｅ）に示す成形型に、、に２を用いる場合も同
様である。
このように、この発明の中空導波路の製造方法において
は、分割部材を接合することなく、製造当初より一体に
形成された素材を加圧成形するようにしているから、接
合の手間が全く不必要であり、分割部材どうしの位置合
わせも不要である。
したがって、中空導波路を容易に製造することができ、
その製造費を大幅に低減することができる。
また、分割部材を用いていないから、分割部材の位置ず
れに起因して、内部空間の断面形状が中空導波路の長手
方向の各部において変化するのを防止することができる
。さらに、製造当初より全体が一体化されているから、
各部を必要最小限の厚さにすることができる。したがっ
て、可撓性に富んだ中空導波路を製造することができる
。
なお、上記の実施例においては、反射層１２の上に樹脂
からなる補強層１３を直接形成しているが、導波路の可
撓性を損なわない範囲であるならば、反射層１２の上に
ニッケル等のメツキ層を形成し、その上に樹脂からなる
反射層１３を形成してもよい。ま７な、上記の実施例に
おいては、断面矩形状をなす中空導波路を製造するよう
にしているが、断面楕円状をなす中空導波路を製造する
ことらできる。その場合、加圧成形時に用いる成形型ま
たは成形ロールの溝形状を中空導波路に対応した形状と
すべきことは勿論である。
［発明の効果１ 以上説明したように、この発明の中空導波路の製造方法
によれば、円筒状をなすパイプ部材の外周面に金属の薄
膜からなる反射層を形成し、この反射層の外側に樹脂か
らなる補強層を形成し、次にパイプ部材を溶解除去して
反射層と補強層とを備えたパイプ材となし、その後補強
層を加熱軟化させた状態でパイプ材を径方向に加圧成形
して゛部平な中空導波路を製造するようにしたものであ
るから、製造費の低減を図ることができるとともに、伝
送空間がその長手方向の各部において変化するのを防止
することができ、しかも可撓性に富む中空導波路を製造
することができる等の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の詳細な説明するための図であって、
第１図（Ａ）はパイプ部材に反射層を形成したものを示
す断面図、第１図（Ｂ）は反射層の上に補強層を形成し
たものを示す断面図、第１図（Ｃ）はパイプ材を示す断
面図、第１図（Ｄ）は成形型にパイプ材をセ□ットした
状態を示す断面図、第１図（Ｅ）は加圧成形状態を示す
断面図、第２図、第３図はそれぞれ加圧成形の他の例を
示す断面図、第４図、第５図および第６図はそれぞ技従
来の製造方法によって製造された中空導波路を示す断面
図である。 １１・・・パイプ部材、１２・・・反射層、１３・・・
補強層、１４・・・パイプ材、１５・・・中空導波路。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）円筒状をなすパイプ部材の外周面に金属の薄膜か
    らなる反射層を形成し、この反射層の外側に樹脂からな
    る補強層を形成し、次に前記パイプ部材を溶解除去して
    反射層と補強層とを備えたパイプ材となし、その後補強
    層を加熱軟化させた状態でパイプ材を径方向に加圧成形
    して偏平な中空導波路となすことを特徴とする中空導波
    路の製造方法。
  2. （２）前記パイプ材は、加圧成形時に、内部に気体が充
    満した状態で両端部が密閉されていることを特徴とする
    特許請求の範囲第１項記載の中空導波路の製造方法。
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