JPH0268970A - チタン酸ジルコン酸鉛の扇形柱体−ウレタンゴム星型複合圧電素子材料の製作方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、交流電圧を印加したときに、端面の扇形の面
と平行な方向の振動をすることなく、端面の扇形の面と
垂直の方向だけの振動をするチタン酸ジルコン酸鉛の扇
形柱体−ウレタンゴム星型複合圧電素子材料に関し、詳
しくは、交流電圧を印加したときに、端面の円形の面と
平行な方向の振動をすることなく、垂直の方向だけの振
動をするが、チタン酸ジルコン酸鉛の円柱体の電気特性
を保持しているチタン酸ジルコン酸鉛の扇形柱体−ウレ
タンゴム星型複合圧電素子材Ｓの製作方法に関する。

本発明のチタン酸ジルコン酸鉛の扇形柱体−ウレタンゴ
ム星型複合圧電素子材料は、感度の高い感圧センサー、
または一定の振動方向の超音波を検出し、あるいは発振
する超音波検出素子あるいは超音波発振素子として利用
することができる。

〔技術の背景および従来技術の説明〕

本明細書における「扇形柱体」は、その上下の端面が、
円形をその中心を通って円周に達する２本の直線で区切
った扇形の面であって、その側面が上下の端面に対して
垂直の２つの平面および１つの円周面である柱状体であ
る。

これまでに、チタン酸バリウムやチタン酸ジルコン酸鉛
（ＰＺＴ　）などの無機圧電体材料を高分子有機材料と
複合化して、電気機械結合係数および圧電電圧定数の大
きい圧電材料を製作することが試みられている。

米国のニューハムらは、細いＰＺＴのファイバーをつく
り、これを有機物と複合化して、分極処理を行ない〔ジ
ャーナル・オブ・ジ・アメリカン・セラミック・ソサイ
エテイ　（Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　ＴｈｅＡ＊ｅｒｊｃ
ａｎ　Ｃｅｒａｍｉｃ　５ｏｃｉｅｔｙ）　第６４巻第
１号男５〜８画〕、また性向らは、分極処理を厖したＰ
ＺＴの薄板を切断加工し、これを有機物と複合化するこ
とを提案している（特開昭５８−２１８８３号公報）。

さらに所定の幅の切込みを入れた無機圧電体のクシの歯
状の板状物を基板上に、一定の間隔を闇いて、クシの歯
が並んで立つように平行に並べて接着し、その空所に硬
化性の合成ｍ脂を充填し、その硬化後に基板およびこれ
に接着する無機圧電体の連続部分を切落して、焦機圧を
体材料の切断加工に伴なう損失を軽減する方法が提案さ
れ（特願昭６１−２５６９７０号）、さらにまた１〜５
０に９・９７ｍの弾性率を有する合成樹脂マトリックス
に、６００（ｌＫ＋９・ｆ／ｍ以上の弾性率を有する無
機圧電体を複合化して、交流電圧を印加したときに一定
の方向（厚さ方向）だけの振動をすることができる複合
圧電体材料が提案されている（特開昭６２−９７号）。

本発明者らはさらに研究を続け、予めその端面の円形の
面と垂直の方向に分極処理を施したチタン酸ジルコン酸
鉛の円柱体を、その端面の中心を結ぶ線において交差す
る２つ以上の面で切断して１チタン酸ジルコン酸鉛の円
柱体を扇形柱体に分割し、その分割した面の空所にウレ
タンゴムを充填してチタン酸ジルコン酸鉛の扇形柱体−
ウレタンゴム星型複合圧電素子材料とすると、その星型
複合圧電素子材料は、交流電圧を印加したときに、その
扇形の面と平行な面方向の振動をすることなく、その扇
形の面と垂直の方向だけの振動をするが、チタン酸ジル
コン酸鉛の分割前の円柱体の電気特性を保持することが
できることを見出し、この知見に基づいて本発明に到達
した。

〔発明の目的および発明の要約〕

本発明の目的は、交流電圧を印加したときに、扇形柱体
の端面と平行な方向の振動をすることなく、扇形柱体の
端面と垂直の方向だけの振動をすることができる星型複
合圧電素子材料を提供することにあり、詳しくは交流電
圧を印加したときに、扁形柱体の端面と平行な方向の振
動をすることなく、扇形柱体の端面と垂直の方向だけの
振動をするが、チタン酸ジルコン酸鉛の円柱体の電気特
性を保持しているチタン酸ジルコン酸鉛の扇形柱体−ウ
レタンゴム星型複合圧電素子材料を、材料の切削による
損失を少なくして製作することができる製作方法を提供
することにある。

本発明は、その端面の円形の面と垂直の方向の分極処理
を施したチタン酸ジルコン酸鉛の円柱体の端面の円形の
面に、補助基体を接着して、チタン酸ジルコン酸鉛の円
柱体−補助基体複合体をつくり、このチタン酸ジルコン
酸鉛の円柱体−補助基体複合体のチタン酸ジルコン酸鉛
の円柱体に、その円形の面の中、ｂを結ぶ線において同
一の角度で交差し、その円周に達する２以上の切断溝を
形成して、そのチタン酸ジルコン酸鉛の円柱体を補助基
体に固定されたチタン酸ジルコン酸鉛の扇形柱体に分割
し、それによってチタン酸ジルコン酸鉛の扇形柱体−補
助基体複合体をつくり、さらにこのチタン酸ジルコン酸
鉛の扇形柱体−補助基体複合体のチタン酸ジルコン酸鉛
の扇形柱体に分割する切断溝にウレタンゴムを充填し、
硬化して、チタン酸ジルコン酸鉛の扇形柱体をウレタン
ゴム相により一体化した後、そのチタン酸ジルコン酸鉛
の扇形柱体−ウレタンゴム−補助基体複合体から補助基
体を取り除いて、チタン酸ジルコン酸鉛の扇形柱体−ウ
レタンゴム星型複合圧電素子材料をつくることからなる
チタン酸ジルコン酸鉛の扇形柱体−ウレタンゴム星型複
合圧電素子材料の製作方法である。

本発明により製作したチタン酸ジルコン酸鉛の扇形柱体
−ウレタンゴム星型複合圧Ｓ素子材料は、その全体の形
状が原のチタン酸ジルコン酸鉛の円柱体の形状と同じで
あり、比誘電率、を気機械結合係数、ｄ　の圧電定数お
よび周波数定数などの電気特性は原のチタン酸ジルコン
酸鉛の円柱体のこれらの電気特性と大差のない数値であ
るが、交流電圧を印加したときに、その円形の面と平行
な方向の振動をすることなく、垂直の方向だけの振動を
する特性、およびその円形の面と平行な方向の振動を与
えられたときに、交流電圧を生じないが、垂直の方向の
振動を与えられたときに、交流電圧を生じる特性を有す
る。

〔発明の詳細な説明〕

本発明によるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ　）の扇形
柱体−ウレタンゴム星型複合圧電素子材料の製作におい
て、チタン酸ジルコン酸鉛の円柱体を用意し、このチタ
ン酸ジルコン酸鉛の円柱体に対して、その円形の面に対
して垂直の方向（円柱体の高さの方向）の分極処理を施
す。その分極処理は、チタン酸ジルコン酸鉛の円柱体の
上下の端面の円形の面の間に、直流電圧を印加するこれ
までに知られた手段によって行なうことができる。

分極処理を施したチタン酸ジルコン酸鉛の円柱体ｌはｓ
　第１ｒｙ！Ｊの（Ａ）に示すとおり、その円形の面の
一方に補助基体２を接着剤層３により接着して、チタン
酸ジルコン酸鉛の円柱体−補助基体複合体を形成する。

補助基体２は、これに接着するチタン酸ジルコン酸鉛の
円柱体１を加工する間、チタン酸ジルコン酸鉛の円柱体
１を所定の場所に固定し、その加工を容易にするととも
に、チタン酸ジルコン酸鉛の円柱体ｌに後述の切断＠４
を形成してチタン酸ジルコン酸鉛の扇形柱体に分割した
ときにその切断面の空所にウレタンゴムを充填し、硬化
した後、この補助基体２を取り除くまでの間、チタン酸
ジルコン酸鉛の扇形柱体を所定の位置に固定しておく基
体であって、表面が平滑な金属板またはセラミックス板
を使用することができ、通常の場合、ジルコニア板を使
用する。

チタン酸ジルコン酸鉛の円柱体−補助基体複合体のチタ
ン酸ジルコン酸鉛の円柱体ｌに、第１図（Ｂ）では、２
本の切断溝４を形成して、補助基体２に接着されたチタ
ン酸ジルコン酸鉛の扇形柱体１１、＋２、＋３および１
４に分割し、第１図（Ｂ）に示すとおりのチタン酸ジル
コン酸鉛の扇形性体−補助基体複合体を形成する。切断
溝４は、チタン酸ジルコン酸鉛の円柱体ｌの円形の面の
中心を結ぶ線を通り、それぞれの延長は相対する円周面
に達するが、切断溝４の総べてはチタン酸ジルコン酸鉛
の円柱体１の円形の面の中心を結ぶ線において交差し、
隣り合う切断溝４は総べて同一の角度で交差しているか
ら、切断溝４により形成されたチタン酸ジルコン酸鉛の
扇形柱体１１．１２．１３および１４のそれぞれの全体
の形状は全く同一である。切断溝４は、第１図（Ｂ）に
示すとおりの２本だけでなく、３本、４本および５本以
上の切断溝４を形成することができ、これらの切断溝も
また隣接する切断溝とチタン酸ジルコン酸鉛の円柱体の
円形の面の中心を結ぶ線において、総べて同一の角度で
交差しているから、３本以上の数の切断溝により形成さ
れたチタン酸ジルコン酸鉛の扇形柱体のそれぐれの全体
の形状も全く同一である。

第１図（Ｂ）のチタン酸ジルコン酸鉛の扇形柱体−補助
基体複合体の切断溝４に、第１図（Ｃ）のウレタンゴム
５を充填し、硬化して、第１図（Ｃ）に示すとおりのチ
タン酸ジルコン酸鉛の扇形柱体−ウレタンゴム−補助基
体複合体を形成する。ウレタンゴム５は、これに接する
チタン酸ジルコン酸鉛の扇形柱体１１および＋２．１１
および１３．１３および＋４、または１２および１４と
強固に接着しており、これらのチタン酸ジルコン酸鉛の
扇形柱体１１、＋２、＋３および１４を一体化する。

ウレタンゴム５を第１図（Ｂ）の切断溝４に充填すると
きに、第＋［１Ｕ（Ｂ）のチタン酸ジルコン酸鉛の扇形
柱体−補助基体複合体のチタン酸ジルコン酸鉛の扇形柱
体１１．１２、＋３および１４の円周側面に型枠円筒（
図示なし〕をはめ込み、その中の空所にウレタンゴム５
の原料液を充填し、硬化することもできる。この型枠円
筒を使用するウレタンゴム５の充填において、チタン酸
ジルコン酸鉛の扇形柱体１１．１２．１３および１４の
円周側面と型枠円筒（図示なし）の間に間隙を残すこと
ができる大きさの型枠円筒を使用すると、チタン酸ジル
コン酸鉛の扇形柱体１１．１２．１３および１４の間の
切断溝４におけるウレタンゴム５の外に、チタン酸ジル
コン酸鉛の扇形柱体１１Ｓ＋２．１３および１４の円周
側壁面全体をウレタンゴム５で覆うことができ、それに
よってチタン酸ジルコン酸鉛の扇形柱体１１．１２．１
３および１４をウレタンゴム５によって、より完全に一
体化することができる。

第１図（Ｃ）のチタン酸ジルコン酸鉛の扇形柱体−ウレ
タンゴム−補助基体複合体は、ウレタンゴムの硬化後に
、補助基体２を取り除いて第１図ＦＤ）のチタン酸ジル
コン酸鉛−ウレタンゴム星型複合圧電素子材料の製作が
完了する。補助基体２を取り除くには、チタン酸ジルコ
ン酸鉛−ウレタンゴム星型複合圧電素子材料と補助基体
２の間の接着剤層３を溶解除去する方法、この接着剤層
３において切断する方法またはこの接着剤層３を他の方
法により破壊除去する方法のいずれであってもよい。

本発明により製作した第１図（Ｄ）のチタン酸ジルコン
酸鉛−ウレタンゴム星型複合圧電素子材料は、その上下
の端面の円形の面にＳ極（図示なし）を形成して使用す
る。この電極に交流電圧を印加すると、その周波数に応
じてチタン酸ジルコンｅ鉛−ウレタンゴム星型複合圧電
素子が振動し、その振動する面より交流電圧の周波数に
応じた超音波を発振し、またその振動する面に超音波を
受けたときに、その超音波の振動数に相応する周波数の
交流電圧をＳ極に生じて、その超音波を検出することが
できる。

また本発明により製作したチタン酸ジルコン酸鉛−ウレ
タンゴム星型複合圧電素子材料にヒズミを生じる衝撃を
与えると、その電極面にその衝撃に応じた電位差を生じ
、その電位差により衝赴の強さを検出することができる
ばかりでなく、また圧電素子として利用することもでき
る。

以下において、実施例および試験例により本発明をさら
に詳しく説明する。

実施例１　　（４分割−ＰＺＴ−ウレタンゴム複合圧電
素子材料） ＰＺＴ　　（チタン酸ジルコン酸鉛）の円柱体〔１０１
ＩＩＩ（直径）ＸＩＯ＋ｍ（高さ）〕の厚み方向に分極
処理を施し、このＰＺＴの円柱体を、ジルコニア板（４
０＋＋ｓ＋Ｘ　４０　ｍＸ　５　ｍ　（厚さ）〕に、接
接着剤グリコールフタレート、九本工業社製品、７５℃
で熱に融する接着剤、アセトンに溶解する）により接着
して、ＰＺＴ−ジルコニア複合体を！ｌＩ製した。

ＰＺＴ−ジルコニア複合体のＰＺＴの円柱体に、厚さ５
００μのダイヤモンド刃を用いて、円の中心を通る直径
方向のｍｌの切込を入れ、深さＩＱＫＩＩ。

幅Ｑ、５５ｓｕｗの溝を形成した後、同じダイヤモンド
刃を用いてこの溝と９０°の角度で直交して円の中心を
通る第２の切込を入れ、深さ１（ｌｌｌＩＩ、幅０．６
５朋の溝を形成して、互に直交する２本の溝により分割
された４本のＰＺＴの扇形柱体（４，３＋ｕ＋　、（半
径）ＸＩＯ龍（高さ）〕がジルコニア板に接着する４分
割ＰＺＴ　　（扇形柱）−ジルコニア複合体を調製した
。

４分ｍＰＺＴ（扇形柱）−ジルコニア複合体の周囲に型
枠円筒をはめ込んで成形型を形成し、この成形型に電気
絶縁用ウレタンゴム（商品名：５Ｕ−２１５３−９、サ
ンニレジン製品、硬度：５２）を充填し、ウレタンゴム
を硬化した後、型枠円筒を取外して、４分割ＰＺＴ　　
（ＩＩ形柱）−ウレタンゴム−ジルコニア複合体を調製
した。

この４分割ＰＺＴ　　（ＩＩ形柱）−ウレタンゴム−ジ
ルコニア複合体をアセトンに浸漬し、接着剤を溶解して
ジルコニア板を切離し、ＰＺＴ　　（！形柱）４本がウ
レタンゴムに支持された４分割−ＰＺＴ−ウレタンゴム
星型複合圧電素子材料Ｃ寸法：ＩＯ＋＋ａ（直径）ｘｔ
ｏ龍ｒ高さ）〕を調製しＩこ。

この４分割−ＰＺＴ−ウレタンゴム星型複合圧電素子材
料の（ウレタンゴム）／（ＰＺＴ）の体積分率は約８０
％、そのＰＺＴの弾性率は６０００に９・ｆ／ｍｚ、ま
たそのウレタンゴムの弾性率は３２に９・ｆ／ｌｌｌＩ
２であった。

実施例２　（８分割−ＰＺＴ−ウレタンゴム複合圧電素
子材料） ＰＺＴ　　（チタン酸ジルコン酸鉛）の円柱体〔１１０
１ＩＩＩ（Ｔ径）Ｘ１０ｓ＋ｊ（高さ）〕の厚み方向に
分極処理を施し、このＰＺＴの円柱体をジルコニア板（
４０＊＊＊　４０　ｍ１１１Ｘ　５朋Ｃ厚さ）〕に接着
剤（グリコールフタレート、九本工業社製品、７５℃で
熱浴融する接着剤、アセトンに溶解する）により接着し
て、ＰＺＴ−ジルコニア複合体を調製した。

ＰＺＴ−ジルコニア複合体のＰＺＴの円柱体に、厚さ５
００μのダイヤモンド刃を用いて、円の中心を通る直径
方向の第１の切込みを入れ、深さＩＱ鴎、ｇｏ、６５＋
ＩＩＩＩの溝を形成した後、同じダイヤモンド刃を用い
て、この第１の切込の溝と４５°の角度で斜交して円の
中心を通る第２の切込を入れ、深さ１０　ｍｍ　、Ｋ　
Ｏ・６５＃ＩＩＩの溝を形成し、さらに同じダイヤモン
ド刃を用いて、第２の切込の溝と４５９の角度で斜交し
、第１の切込の溝と９０″の角度で直交して円の中心を
通る第３の切込みを入れ、深さ１０　”ｓ　ｍ　０−６
５　ｍの溝を形成し、さらにまた同じダイヤモンド刃を
用いて第３の切込の溝と４５°の角度で斜交し、第２の
切込の溝と９０°の角度で直交して円の中心を通る第４
の切込を入れ、深さ１ＯＩＬＩＩＩ１幅０−６５ｍの溝
を形成して、４５”ずつの角度で斜交して円の中心を通
るｔｔｄ本の溝で分割された８本のＰＺＴ　（７）扇形
柱体（３，７ｍ　（半径）　Ｘ１０謁（高さ）〕がジル
コニア板に接着されたＰＺＴ　　（５ｉＩ形柱）−ジル
コニア複合体を調製した。

ＰＺＴ’　（扇形柱）−ジルコニア複合体の周囲に型枠
円筒をはめ込んで成形型を形成し、この成形型に電気絶
縁用ウレタンゴム（商品名：　ＳＯ−２１５３−９、サ
ンニレジン製品）を充填し、ウレタンゴムを硬化した後
、型枠円筒を取外して、８分割−ＰＺＴ　　（ＩＩ形柱
）−ウレタンゴム−ジルコニア複合体を調製した。

この８分ｇ−ＰＺＴ（扇形柱）−ウレタンゴム−ジルコ
ニア複合体をアセトンに浸漬し〜接着剤を溶解して、ジ
ルコニア板を切離し、ＰＺＴ　（ｊＢ形柱）８本がウレ
タンゴムに支持された８分割−ＰＺＴ　−ウレタンゴム
星型複合圧電素子材料〔寸法：１０龍（直径）Ｘ１０謁
（高さ）〕を調製した。

この８分割−ＰＺＴ−ウレタンゴム星型複合圧電素子材
料の（ウレタンゴム）／（ＰＺＴ）の体積分率は約６７
％、そのＰＺＴの弾性率は６０００に９・ｆ／順２、ま
たそのウレタンゴムの弾性率は３２に９・ｆ／ｌ１ｌＩ
であった。

比較例 ｐｚＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）の立方体（−辺：１０
朋）の上下方間に分極処理を施し、このＰＺＴの立方体
の下面を、ジルコニア板（１０ｍＸ　ＩＱ　ｍ。

×５龍（厚さ）〕に実施例１の接着剤により接着して、
ＰＺＴ−ジルコニア板複合体をｖｓ製した。

このＰＺＴ−ジルコニア板複合体のＰＺＴの立方体に、
厚さ５００μのダイヤモンド刃を用いて１．１ｊｌＪｌ
のピッチにおいて、第１の切込を入れ、深さｌＯ關、幅
０・６５鎮の平行な溝８本を形成した後、同じダイヤモ
ンド刃を用いて、この平行な溝と９０″の角度で直交す
る第２の切込を入れ、深さｌＱｗｎ、幅Ｑ、６５１１ｍ
１の平行な溝８本を形成して、６４本の角注体が規則正
しく配列してジルコニア板に接着するＰＺＴ　　（角柱
）−ジルコニア板複合体を調製した。

このＰＺＴ　　（角柱）−ジルコニア板複合体の周囲に
型枠板をはめ込んで、成形型を形成し、この成形型の空
所に実施例１と同じ電気絶縁用ウレタンゴムを充填し、
ウレタンゴムを硬化した後、型枠板を取外して、ＰＺＴ
　　（角柱）−ウレタンゴムーリルコニア複合体を調製
した。

このＰＺＴ　　（角柱）−ウレタンゴム−ジルコニア板
複合体をアセトンに浸清し、接着剤を溶解して、ジルコ
ニア板を切離してＰＺＴ　　（角柱）６４本がウレタン
ゴムのマトリックスに規則正しく配列したＰＺＴ−ウレ
タンゴム複合圧ｓ溺子材料〔寸法；１（ｌｓ＋ｓ＋Ｘ　
ＩＯｓ＋ｍＸ　１０ｍ　（立方体）〕を調製した。

このＰＺＴ−ウレタンゴム複合圧電素子材料の（ＰＺＴ
）　／　（ウレタンゴム）の体積分率は約１３％、その
ＰＺＴの弾性率は６０００　Ｋ９　’　ｆ　／　＋ｕｓ
　、またそのウレタンゴムの弾性率は３２Ｋｇ・ｆ／ｘ
＋ｍであった。

試験例１　（ｓ気持性の測定） 実施例１の４分割−ＰＺＴ−ウレタンゴム星型複合圧電
素子材料、実施例２の８分割−ＰＺＴ−ウレタンゴム星
型複合圧＠素子材料および比較例のＰＺＴ−ウレタンゴ
ム複合圧電素子材料の両面に、導電性銀ラッカー（ＤＥ
ＭＥＴＲＯＮ社製、６２９０−０２７５　）を塗布して
電極を形成し、それぞれの複合圧電体の比ｍｑ率（ε／
ε）、電気機械結合係数（ｋｔ）、圧電定数（ｄｉｇ）
および周波数定数（Ｎｆ）を測定した。

比較のための対照として、その製作の材料のＰＺＴ　　
（チタン酸ジルコン酸鉛）の円柱体〔１ＯＩＩＩＩＣ直
径）ＸｌＯｘｍ（高さ）〕を使用し、その両面に前記と
同じ４電住銀ラツカー（ＤＥＭＥＴＲＯＮ社製、６２９
０−０２７５　）を塗布して電極を形成し、その圧電体
の比誘電率（ε／ε）、電気機械結合係数（ｋｔ）、圧
電定数（ａ　　Ｓｇ）および周波数定数（Ｎｆ）を測定
した。

結果は第１表に示すとおりであった。

Ｃ以下余白） 第１表によると、ＰＺＴの円柱体をその円の中心を通る
直径方向に分割し、その分割されたＰＺＴの扇形柱体を
ウレタンゴムで支持した複合圧電体の電気特性は、その
材料のＰＺＴの円柱体の電気特性と大差はない。

試験例２　（共振特性） 試験例１における比較の対照のＰＺＴ圧電体、実施例１
の星型複合圧電体および実施例２の星型複合圧電体の電
極に交流電圧を印加し、各周波数におけるインピーダン
スをインピーダンスアナライザーにより測定した。

結果は第２図に示すとおりであった。

第２図の（Ａ）は、試験例１の比較の対照のＰＺＴ圧電
体の結果であり、第２図（Ｂ）は、実施例１の星型複合
圧電体の結果であり、また第２図の（Ｃ）は、実施例２
の星型複合圧電体の結果である。

第２図におけるｌは、圧電体の面方向の振動の共振周波
数におけるピークであり、２は圧電体の厚み方向（ＰＺ
Ｔの分極処理を施した方向）の振動の共振周波数のピー
クである。

第２図によると、ＰｚＴｔｒＬ独の圧電体は、交流電圧
の印加によりその厚み方向の振動をするだけでなく、そ
の面方向の振動をするのに対してＰＺＴ　−ウレタンゴ
ムの複合圧電体は、その厚み方向（分極処理を施した方
向ンの振動をするが、その面方向（分極処理をされてい
ない方向）の振動をしないことがわかる。

〔発明の効果〕

交流１８圧を印加したときに、振動をする方向が一つの
方向だけである。これによって振動をする方向が一つの
方向だけの超音波を発振することができ、また振動をす
る方向が一つの方向だけの超音波を検出することができ
る。

複合圧電素子材料の加工における材料の損失が少ない。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の星型腹合圧電素子材Ｃの製作におけ
る中間製作物および製作物の斜視図であり、また第２図
は試験例２の結果を示す区表であ第 ■

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）ａ）チタン酸ジルコン酸鉛の円柱体に、その端面
   の円形の面と垂直の方向の分極処理を施すこと、 ｂ）そのチタン酸ジルコン酸鉛の円柱体の端面の円形の
   面に補助基体を接着して、チタン酸ジルコン酸鉛の円柱
   体−補助基体複合体をつくること、ｃ）そのチタン酸ジ
   ルコン酸鉛の円柱体−補助基体複合体のチタン酸ジルコ
   ン酸鉛の円柱体に、その円形の面の中心を結ぶ線におい
   て、同一の角度で交差し、その円周に達する２以上の切
   断溝を形成して、そのチタン酸ジルコン酸鉛の円柱体を
   、その扇形柱体に分割し、それによってチタン酸ジルコ
   ン酸鉛の扇形柱体−補助基体複合体をつくること、 ｄ）そのチタン酸ジルコン酸鉛の扇形柱体−補助基体複
   合体の切断溝に、ウレタンゴムを充填し、硬化した後、
   補助基体を取り除いて、チタン酸ジルコン酸鉛の扇形柱
   体−ウレタンゴム星型複合圧電素子材料をつくること、 を特徴とするチタン酸ジルコン酸鉛の扇形柱体−ウレタ
   ンゴム星型複合圧電素子材料の製作方法。