JPH02717U - - Google Patents

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JPH02717U
JPH02717U JP7715688U JP7715688U JPH02717U JP H02717 U JPH02717 U JP H02717U JP 7715688 U JP7715688 U JP 7715688U JP 7715688 U JP7715688 U JP 7715688U JP H02717 U JPH02717 U JP H02717U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例を示す平面図、第
２図は第１図の−線における断面図、第３図
は第１図の−線における断面図、第４図はＸ
ＹＺステージの一部を省略した斜視図、第５図は
治具チヤツクの一例を示す平面図、第６図はこの
考案を適用した縮小投影露光装置の一例を示す概
略構成図である。 図中、１は基台、２はＸＹ駆動機構、２ａはＸ
軸駆動機構、２ｂはＹ軸駆動機構、３は粗動テー
ブル、７は斜面スライダ、１４は移動テーブルブ
ロツク、１７は移動テーブル、２６ａ，２６ｂ，
２８ａ，２８ｂは電磁石、３１は治具チヤツク（
チヤツク保持部材）、３２はガイド枠、３３ａ，
３３ｂは通孔、３４ａ，３４ｂは３方切換弁、３
４ｃは気体吸引手段、３５は圧力調整弁、３６は
ウエハチヤツク、３７は凹所、４１は係合片、４
２はマイクロメータ、４４は引張ばね、１０１は
縮小投影露光装置、１０２はウエハ、１０３はＸ
ＹＺステージ、１０４は縮小レンズ、１０７は露
光光源部である。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 気体吸引手段に接続され所定パターンが露
    光されるウエハ等の被露光部材を吸着保持するチ
    ヤツクを有する被露光部材保持装置において、前
    記チヤツクが、移動テーブル上に設けたチヤツク
    保持部材上に回動自在に載置され、前記チヤツク
    と前記チヤツク保持部材との当接部に密閉された
    空間を形成する凹所が設けられ、該凹所が前記気
    体吸引手段に連通され、且つ前記チヤツク及びチ
    ヤツク保持部材の何れか一方に係合片が、他方に
    係合片に係合する作動子を有する微動送り装置が
    それぞれ配設され、前記チヤツク及びチヤツク保
    持部材との間に当該チヤツクを前記係合片及び作
    動子が当接する方向に付勢する付勢手段が配設さ
    れていることを特徴とする露光装置における被露
    光部材保持装置。 (2) 前記チヤツク保持部材は、気体吸引手段の
    圧力を調整する圧力調整手段を備えている請求項
    (1)記載の被露光部材保持装置の回動装置。
JP7715688U 1988-06-10 1988-06-10 Expired - Lifetime JPH0519948Y2 (ja)

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JPH02717U true JPH02717U (ja) 1990-01-05
JPH0519948Y2 JPH0519948Y2 (ja) 1993-05-25

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