JPH0517874Y2

JPH0517874Y2 -

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Publication number: JPH0517874Y2
Application number: JP5816188U
Authority: JP
Priority date: 1988-04-28
Filing date: 1988-04-28
Publication date: 1993-05-13
Anticipated expiration: 2003-04-28
Also published as: JPH01161325U

Description

【考案の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この考案は、ウエハ、シヤドウマスク等の被露
光部材の露光面に所定パターンを露光する露光装
置の被露光部材保持装置、特に被露光部材の吸着
高さを変更可能な被露光部材保持装置に関する。

〔従来の技術〕

半導体集積回路、シヤドウマスクの製造工程に
おいては、フオトレジストを塗布したウエハ等の
被露光部材に所定のパターンを露光して焼付ける
露光装置が用いられている。この露光装置は、半
導体集積回路、シヤドウマスクの高密度化に伴
い、0.1ミクロンオーダの高精度位置決めが要求
されるようになつてきている。

このような高精度の位置決めを行うには、単に
載置台を送りねじで移動させる従来から公知の移
動テーブル装置では困難である。このため、送り
ねじによつて移動されるテーブルを粗動テーブル
として用い、この粗動テーブル上に微小移動可能
に支持された微動台を設け、この微動台の絶対位
置をレーザ測長機によつて測定し、粗動テーブル
の動きの誤差を微動台を微小変位させて補正し、
精密な位置決めを行うようにすることが提案され
ている。

そして、露光装置としては、縮小投影式の露光
装置が一般に採用されている。この縮小投影式の
露光装置は、ウエハ等の被露光部材に小さなパタ
ーンを１つづつ順に焼付けて行く所謂ステツプア
ンドリピート式となつているので、ウエハ等の被
露光部材の受光面の平行度を高精度に維持する必
要があり、従つてウエハ等の被露光部材を載置す
る載置テーブルの上面の平行度も高精度に維持す
る必要がある。

しかも、ウエハ、シヤドウマスク等の被露光部
材は表面を損傷することなく吸着保持する必要が
あることから、これらの保持装置として真空吸着
チヤツクが採用されている。

ところで、一般に縮小投影露光装置は、ウエ
ハ、シヤドウマスク等の生産ラインに組み込まれ
ており、通常は１種類のサイズのウエハ、シヤド
ウマスク等を連続的に生産するため、従来の縮小
投影露光装置の被露光部材保持装置としては、そ
の真空吸着領域を可変する必要性がないことから
真空吸着領域が固定されているのが実情である。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上記従来の被露光部材保持装置
にあつては、１種類のサイズの被露光部材を吸着
保持する専用の被露光部材保持装置としては、何
ら問題がないが、縮小投影露光装置を試作実験用
の多用途機として使用する場合には、種々のサイ
ズ（例えばウエハでは２〜８インチ、シヤドウマ
スクでは17×17インチ、20×18インチ）で厚みが
異なる被露光部材に露光を行う関係で、これらの
異なるサイズ及び厚みの被露光部材に応じた吸着
領域を有する複数の真空吸着チヤツクを用意し、
これらを被露光部材のサイズに応じて適宜選択し
て縮小投影露光装置の載置テーブルに載置する必
要があり、真空吸着チヤツクの脱着に手間が掛か
ると共に、真空吸着チヤツクの保管スペースも必
要となるうえ、その管理が面倒である等の問題点
があつた。

そこで、この考案は、上記従来例の問題点に着
目してなされたものであり、異なる厚みの被露光
部材であつても同一露光面を維持することができ
ると共に、真空吸着領域を任意に変化させること
が可能な露光装置における被露光部材保持装置を
提供することを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、この考案は、載置
テーブルに、気体吸引手段に接続されてウエハ等
の被露光部材を吸着保持するチヤツクを配設し、
前記被露光部材の露光面に所定パターンを露光す
る露光装置において、前記載置テーブルの載置面
側に、前記気体吸引手段に連通する吸引孔が所定
間隔を保つて複数穿設され、前記チヤツクは、前
記吸引孔に連通する案内凹部と、該案内凹部を嵌
合する外周縁の上下位置に異なる高さの段部を形
成し、且つ上下面に互いに連通する吸着部を形成
したチヤツク本体とを備えていることを特徴とし
ている。ここで、案内凹部及びこれに嵌合するチ
ヤツク本体の外周面は、円形、方形等の任意の形
状とすることができる。また、被露光部材を吸着
しない吸着範囲外の吸引孔に対しては、閉塞具で
閉塞する。この閉塞具としては、吸引孔を直接閉
塞するものの外、ガイドプレートの開口を閉塞し
て間接的吸引孔を閉塞するものも含まれる。

〔作用〕

この考案においては、ウエハ、シヤドウマスク
等の被露光部材を載置する載置テーブルの載置面
側に形成した空気吸引手段に連通する複数の吸引
孔に連通する案内凹部を形成し、この案内凹部
に、チヤツク本体を嵌合させる。チヤツク本体の
外周面の上下位置には、高さの異なる段部が形成
されているので、チヤツク本体の上下を反転する
ことにより、被露光部材を吸着保持する高さを２
段階に調節することができ、厚さの異なる被露光
部材を吸着保持したときに、その被露光部材の露
光面を同一面に保持することができる。また、被
露光部材を吸着する吸着領域にのみ案内凹部にチ
ヤツク本体を嵌合させ、他の領域の案内凹部又は
吸引孔を閉塞具で閉塞することにより、吸着領域
を任意に変更することができる。

〔実施例〕

以下、この考案の実施例を図面に基づいて説明
する。

まず、この考案を適用し得る縮小投影露光装置
の概要を第１８図について説明する。

図中、１０１は縮小投影露光装置であつて、ウ
エハ、シヤドウマスク等の被露光部材１０２を載
置するステージ１０３と、その上面に対向して固
定配置された縮小レンズ１０４と、その上方位置
に配置されたレチクル１０５を載置するレチクル
載置台１０６と、その上方位置に配置された光源
部１０７とを有しており、光源部１０７からの露
光光線がレチクル１０５及び縮小レンズ１０４を
介して移動テーブル装置としてのXYZステージ
１０３上の被露光部材１０２に照射され、レチク
ル１０５に形成された回路パターンを被露光部材
１０２上に縮小投影露光する。

XYZステージ１０３は、XYZ軸の３軸方向に
移動可能に構成され、Ｚ軸方向に移動されること
により焦点調整を行う。

縮小レンズ１０４を保持する筒体１０８の被露
光部材１０２に対向する下端部には、露光光線を
透過する透孔１０９と、その周囲に等角間隔で４
つの空気吹き出しノズル１１０が形成されてい
る。各ノズル１１０は、共通の空気供給源１１１
に絞り１１２を介して接続されていると共に、共
通の差圧変換器１１３の一方の入力側に接続され
ている。差圧変換変換器１１３の他方の入力側
は、絞り１１４を介して前記空気供給源１１１に
接続されていると共に、大気に連通されている。
これらノズル１１０、空気供給源１１１、絞り１
１２，１１４及び差圧変換器１１３で空気マイク
ロメータ１１５が構成されている。

そして、差圧変換器１１３の検出信号が焦点調
整制御装置１１６に供給され、この制御装置１１
６で目標値設定器１１６ａで予め設定した所定の
目標値と比較してその差値である偏差信号が増幅
器等で構成される駆動回路１１６ｂに供給され、
これにより、モータ等のアクチユエータ１１７を
作動させる駆動出力を形成し、これをXYZステ
ージ１０３のＺ軸駆動機構に供給してこれを駆動
し、ノズル１１０と被露光部材１０２との間の間
隔を適正値に調節する。

前記XYZステージ１０３の具体例は、第１図
〜第８図に示すように構成されている。

すなわち、１は方形の基台であつて、送りねじ
等の送り機構によつてXY方向に高速移動される
粗動テーブル２に固着されている。

基台１の中央部には、第４図、第５図及び第７
図に示すように、上端面を閉塞した円筒体３が固
着され、この円筒体３の上面が平坦な制振面３ａ
とされている。

また、基台１の円筒体３を挟む左右両側に傾斜
案内部としての傾斜案内レール４Ｌ，４Ｒが平行
に固着されている。これら傾斜案内レール４Ｌ、
４Ｒの夫々は、前端部から後端部に向かうに従つ
て順次高さが高くなるように後ろ上がりに傾斜さ
れている。

各傾斜案内レール４Ｌ，４Ｒには、方形枠状の
斜面スライダ５が前後方向に摺動自在に係合され
ている。斜面スライダ５は、第５図及び第６図に
示すように、４隅とそれらの前後方向の中間部と
の下面に夫々傾斜案内レール４Ｌ，４Ｒと平行な
傾斜取付面６が形成され、これら傾斜取付面６に
傾斜案内レール４Ｌ，４Ｒと係合するリニアボー
ルベアリング７ａ〜７ｆが上面側に形成されたボ
ルト穴８内にボルト９を挿入して締結することに
より、固着されている。ここで、リニアボールベ
アリング７ａ〜７ｆは、詳細説明はこれを省略す
るが、第９図に拡大図示するように、上面板部１
０とその両側部から下方に延長する袖部１１と、
これら袖部１１の傾斜案内レール４Ｌ，４Ｒの左
右側壁に軸方向に延長して形成された転動溝１２
と対向する位置に形成された転動溝１３と、これ
ら転動溝１３に連通して袖部１１内に形成された
循環路１４とを備え、転動溝１２及び１３で形成
される転動路及び循環路１４内に多数のボール、
ローラ等の転動体が１５が保持器１６で保持され
て転動自在に挿入されている。

一方、斜面スライダ５の４隅の上面には、上面
が同一水平面内となるように載置板１７ａ〜１７
ｄがボルト締め等の固着手段によつて固着され、
これら載置板１７ａ〜１７ｄの上面に前後方向に
延長する長円形の平坦面１８が形成され、これら
平坦面１８に保持器１９によつて整列保持された
転動体としての多数のボール２０が載置されてい
る。保持器１９は、第１０図に拡大図示するよう
に、ボール２０を挿通する多数の透孔１９ａを穿
設した平板部１９ｂと、その下面外周面に形成さ
れた周鍔１９ｃとで断面コ字状が形成され、周鍔
１９ｃの下面に４つのボール１９ｄが等間隔で配
置され、これによつて保持器１９と平坦面１８と
の間の摩擦抵抗をより小さくすると共に、周鍔１
９ｃと平坦面１８との間の齧りを防止している。

そして、斜面スライダ５が直線駆動機構２０に
よつて案内レール４Ｌ，４Ｒに沿つて斜動され
る。この直線駆動機構２０は、第７図に示すよう
に、回転軸２１ａを案内レール４Ｌ，４Ｒと平行
となるように傾斜させて基台１に固着されたステ
ツピングモータ２１と、その回転軸２１ａにカツ
プリング２２を介して連結されたボールねじ２３
と、このボールねじ２３に螺合し、且つ斜面スラ
イダ５の後端側の中央下面に取付けられたボール
ナツト２４とによつて構成されている。

一方、斜面スライダ５のボール２０の上面側
に、被露光部材１０２を吸着保持する載置台２６
が載置されている。この載置台２６は、第２図〜
第４図に示すように、上面に被露光部材１０２を
吸着保持する被露光部材保持装置２７が形成され
ていると共に、下面の斜面スライダ５のボール２
０に対向する４個所に突出部２８ａ〜２８ｄが形
成され、これら突出部２８ａ〜２８ｄに、第６図
及び第８図に示す下面が平坦面に形成された間座
２９ａ〜２９ｄがボルト等の固着手段で固着さ
れ、これら間座２９ａ〜２９ｄが斜面スライダ５
にボール２０を介して載置されている。

被露光部材保持装置２７は、第１図に示すよう
に、載置台２６の上面に載置中心Ｏに吸引孔２７
a₀が穿設されていると共に、載置中心Ｏを中心と
し、載置する被露光部材１０２の大きさに応じた
方形枠線l₁〜l₃及び方形枠線l₃の左右両側に平行
な線l₄上に所要数の吸引孔２７a₁〜２７a₃及び２
７a₄が穿設され、各吸引孔２７a₀、２７a₁〜２７
a₄が載置台２６の端部側から穿設された吸引通路
２７ｂを介して互いに連通され、吸引通路２７ｂ
の一部が３方電磁切換弁２７ｃを介して真空ポン
プ等の空気吸引手段２７ｄに接続されている。

また、載置台２６の上面には、吸引孔２７a₀に
対応する位置に案内凹部としての比較的大径の円
形透孔２７e₀を、吸引孔２７a₁〜２７a₄に対応す
る位置に案内凹部としての比較的小径の円形透孔
２７e₁〜２７e₄を夫々穿設したガイドプレート２
７ｅが止めねじによつて固着されている。

そして、ガイドプレート２７ｅの円形透孔２７
e₀及び２７e₁〜２７e₄内に夫々平面からみて円形
のチヤツク本体２７f₀及び２７f₁が係合されてい
る。

これらチヤツク本体２７f₀及び２７f₁は、外径
が異なることを除いては同一形状を有し、第１１
図ａ及びｂに示すように、上面側及び下面側にガ
イドプレート２７ｅの円形透孔２７e₀及び２７e₁
〜２７e₄の内径と略等しい外径を有する小径部２
７g₁及び２７g₂が形成され、これら小径部２７g₁
及び２７g₂間にこれらより大径の大径部２７ｈが
形成されて２つの段部２７ｉが形成され、大径部
２７ｈの小径部２７g₁側の外周面に円環状の溝で
なる目印２７ｊが形成されている。ここで、小径
部２７g₁及び２７g₂の高さh₁及びh₂は、ガイドプ
レート２７ｅの厚みをH₁とすると、h₁＜h₂≦H₁
に選定されている。また、小径部２７g₁の上面及
び小径部２７g₂の下面には、それぞれ外周縁より
内側に吸引凹部２７k₁及び２７k₂が形成され、こ
れら吸引凹部２７k₁及び２７k₂が貫通孔２７ｌに
よつて連通されている。

さらに、シヤドウマスクSMのサイズに応じて
不使用となる吸引孔２７a₁〜２７a₄は閉塞する必
要があり、このために、閉塞具２７ｍが用意され
ている。この閉塞具２７ｍは、第１２図に示すよ
うに、ガイドプレート２７ｅの円形透孔２７e₁〜
２７e₄の内径と等しいか僅かに小径の外径を有す
る円筒部２７ｎと、この円筒部２７ｎの上面を閉
塞すると共に、外方に突出するフランジ部２７ｏ
を有する薄肉の上面板部２７ｐとを有する盲蓋で
構成されている。

また、第５図及び第８図に示すように、基台１
の４隅に支持台３１ａ〜３１ｄが固着され、支持
台３１ａ及び３１ｂ間に板ばね３２ａ及び３２ｂ
を介して凸状のＸ方向微動体３３Ｌが、支持台３
１ｃ及び３１ｄ間に板ばね３２ｃ及び３２ｄを介
して凸状のＸ方向可動体３３Ｒが夫々Ｘ方向に微
動自在に橋架され、これらＸ方向微動体３３Ｌ及
び３３Ｒ間に板ばね３４ａ〜３４ｄを介してXY
方向微動体３５がＹ方向に微動自在に橋架されて
いる。ここで、XY方向微動体３５は、第７図及
び第８図に示すように、中心部に前記円筒体３を
挿通する透孔３６が穿設されており、この透孔３
６が第７図に示すように上面円板３７によつて閉
塞され、この上面円板３７の下面に、下面に平坦
な制振面３８ａを形成した円筒体３８がその制振
面３８を円筒体３の制振面３ａと近接対向するよ
うに固着され、両制振面３ａ及び３８ａ間にシリ
コンオイル等の高粘度を有する制振面３９が介在
されて制振面４０が形成されている。

そして、Ｘ方向微動体３３Ｌ及び３３Ｒの外側
に、これらと近接対向して電磁石４１Ｌ及び４１
Ｒが、XY方向微動体３５の前後端部の外側に、
これらと近接対向して電磁石４２Ｆ及び４２Ｒが
夫々基板１上に固定配置され、これら電磁石４１
Ｌ及び４１Ｒ，４２Ｆ及び４２Ｒに対する通電量
を制御することにより、Ｘ方向微動体３３Ｌ，３
３Ｒ及びXY方向微動体３５をＸ方向及びＹ方向
にサブミクロン単位で微動させる。

これら電磁石４１Ｌ，４１Ｒ及び４２Ｆ，４２
ＲによるＸ方向微動体３３Ｌ，３３Ｒ及びXY方
向微動体３５の微動調整は、載置台２６の上面の
第２図に示すＹ軸の正方向側端部及びＸ軸の正方
向側端部に夫々取付けた測長ミラー４４及び４５
に、これらと対向する位置に配設されたレーザ測
長機（図示せず）からのレーザ光を投射して、そ
の反射光をレーザ測長機に入射させることによ
り、レーザ光の干渉によつて載置台２６の絶対距
離を測長し、その測長結果に基づき電磁石４１
Ｌ，４１Ｒ及び４２Ｆ，４２Ｒの制御回路で、励
磁電流量を制御することにより、高精度の位置決
めを行う。

そして、XY方向微動体３５と載置台２６の間
座２９ａ〜２９ｄとの間に弾性結合体としての板
ばね４７ａ〜４７ｄが介挿されている。これら板
ばね４７ａ〜４７ｄの夫々は、第８図に示すよう
に、略Ｅ字状に形成され、その両側部４８が間座
２９ａ〜２９ｄに、中央部４９がXY方向微動体
３５に夫々ビスによつて固定されている。したが
つて、板ばね４７ａ〜４７ｄによつてXY方向微
動体３５のXY方向の変位が載置台２６に伝達さ
れると共に、載置台２６を下方に付勢している。

さらに、載置台２６の下面には、第１図及び第
２図に示すように、下方に垂下された支持片５１
が固着され、この支持片５１の先端部に永久磁石
５２が固着されている。一方、基台１上には、支
持片５１と対向する支持片５３が植立され、この
支持片５３の上端部に永久磁石５２と対向するホ
ール素子等の近接スイツチ５４が取付けられ、こ
の近接スイツチ５４及び永久磁石５２によつて載
置台２６のＺ軸方向の原点位置が検出され、この
原点検出信号に基づき直線駆動機構２０のステツ
ピングモータ２１に対する制御回路（図示せず）
でステツピングモータ２１の回転を制御すること
により、Ｚ軸方向の位置決めを高精度で行うこと
ができる。

次に、上記実施例の動作について説明する。ま
ず、載置台２６上の被露光部材保持装置２７の吸
着領域を載置するウエハ、CRTシヤドウマスク、
液晶マスク等の被露光部材１０２のサイズに合わ
せて設定する。この吸着領域の設定は、例えば第
１図で実線図示の22インチ×28インチのシヤドウ
マスクSMを吸引保持する場合には、３方電磁切
換弁２７ｃを大気側に切換えた状態で、ガイドプ
レート２７ｅの円形透孔２７e₀にチヤツク本体２
７f₀を嵌合させると共に、シヤドウマスクSMで
覆われる円形透孔２７e₁及び２７e₂にチヤツク本
体２７f₁を嵌合させる。このとき、シヤドウマス
クSMの厚みが薄い場合には、高さが小さい小径
部２７g₂を、円形透孔２７e₀，２７e₁及び２７e₂
に嵌合させ、被露光部材１０２を載置したときに
その露光面が露光基準面近傍となるようにセツト
する。そして、他の円形透孔２７e₃及び２７e₄に
ついては、吸着保持の必要がないので、閉塞具２
７ｎの円筒部２７ｏを嵌合させて閉塞する。

この状態で、22インチ×28インチのシヤドウマ
スクSMをチヤツク本体２７f₀及び２７f₁上に例
えば図示しないローデイング装置によつて位置決
めしてローデイングし、ローデイングが完了した
時点で３方電磁切換弁２７ｃを気体吸引手段２７
ｄ側に切換える。これにより、各チヤツク本体２
７f₀及び２７f₁の上面側の吸着凹部２７k₁が、貫
通孔２７ｌ、下面の吸着凹部２７k₁吸引孔２７
a₀，２７a₁及び２７a₂、吸着通路２７ｂ、３方電
磁切換弁２７ｃを介して空気吸引手段２７ｄに連
通とれることになり、各チヤツク本体２７f₀及び
２７f₁が載置台２６の載置面に真空吸着されて保
持され、これと同時に各チヤツク本体２７f₀及び
２７f₁のシヤドウマスクSMによつて完全に覆わ
れる吸着溝２７k₁から空気が吸引されることにな
り、シヤドウマスクSMが真空吸着されてチヤツ
ク本体２７f₀及び２７f₁上に保持される。

このようにしてシヤドウマスクSMが被露光部
材保持装置２７に保持されると、シヤドウマスク
SMに対する焦点調整が実行される。この焦点調
整は、空気供給源１１１から圧力空気を絞り１１
２を介してノズル１１０に供給して空気マイクロ
メータ１１５を作動状態とし、この状態で焦点調
整制御装置１１６を作動状態とする。

このように焦点調整制御装置１１６が作動状態
となると、目標値設定機１１６ａで予め設定され
た焦点張設目標値と、差圧変換器１１３から出力
される差圧検出信号との差値でなる偏差信号が駆
動回路１１６ｂに供給、この駆動回路１１６ｂか
ら出力されるパルス信号が直接駆動機構２０のス
テツピングモータ２１に供給される。このため、
第４図〜第７図に示すように、斜面スライダ５が
前方側に摺動している状態では、差圧検出信号が
目標値に対して小さく、ノズル１１０とシヤドウ
マスクSMとの間隔が基準値より広いので、例え
ばステツピングモータ２１を正転させる。このよ
うにステツピングモータ２１が正転すると、この
回転力がボールねじ２３及びボールナツト２４を
介して斜面スライダ５に伝達されるので、この斜
面スライダ５からリニアガイドを構成する案内レ
ール４Ｌ，４Ｒに沿つて後退する。この斜面スラ
イダ５の後退によつて、斜面スライダ５の載置板
１７ａ〜１７ｄが上昇し、これらにボール２０を
介して載置されている載置台２６が上方に板ばね
４７ａ〜２７ｄに抗して移動する。このとき、斜
面スライダ５の後退は、案内レール４Ｌ，４Ｒに
対してはこれに係合するリニアボールベアンリン
グ７ａ〜７ｆによつて円滑な移動が補償され、載
置台２６に対して保持器１９によつて保持された
多数のボール２０によつて円滑な移動が補償され
るので、斜面スライダ５の載置板１７ａ〜１７ｄ
の平坦面１８の平行度が狂うことがなく、このた
め、載置台２６の平行度も狂うことなく、載置台
２６が上昇される。しかも、斜面スライダ５の摩
擦抵抗が少ないと共に、斜面スライダ５は、載置
台２６の荷重のみを負担し、Ｘ方向微動体３３
Ｌ，３３Ｒ及びXY方向微動体３５の荷重を負担
することはないので、これを駆動するステツピン
グモータ２１の回転トルクは小さいもので済み、
さらに斜面スライダ５自体が方形枠状に形成され
て慣性質量が極めて少ないので、ステツピングモ
ータ２１によつて載置台２６をＺ軸方向に高速移
動させる際の慣性力を小さくすることができ、高
精度の位置決めを行うことができる。

このようにして、載置台２６が上昇することに
より、シヤドウマスクSMとノズル１１０との間
の間隔が狭まり、これが基準値と一致した時点で
載置台２６の上昇が停止されて焦点調整を終了す
る。

逆に差圧検出信号の値が目標値より大きいとき
には、制御装置１１６からステツピングモータ２
１を逆転駆動するパスル信号が出力され、ステツ
ピングモータ２１が逆転して、斜面スライダ５を
前進させて、載置台２６を降下させ、シヤドウマ
スクSMとノズル１１０との間隔に広げ、これが
基準位置に達したときに、その下降が停止されて
焦点調整を終了する。

この焦点調整を終了した状態で、シヤドウマス
クSMのYX方向の位置調整を行うには、シヤド
ウマスクSMのXY方向の移動距離が大きい場合
には、粗動テーブル２を駆動機構によつて高速移
動させて目標位置近傍に移動させ、次いで電磁石
４１Ｌ，４１Ｒ及び４２Ｆ，４２Ｒの励磁コイル
に通電してXY方向微動体３５をXY方向に微動
させ、このXY方向微動体３５の変位を板ばね４
７ａ〜４７ｄを介して載置台２６に伝達すること
により、載置台２６がXY方向に微動させる。こ
の載置台２６の微動の絶対値をレーザ測長機（図
示せず）で正確に測長し、その測長結果に基づき
電磁石４１Ｌ，４１Ｒ及び４２Ｆ，４２Ｒの励磁
コイルへの通電量を制御することにより、サブミ
クロンオーダの位置決めを行うことができる。

このように、XY方向の微動を行う駆動機構と
して、電磁石を採用することにより、モータを使
用する場合のように振動を発生することがなく、
載置台２６のXY方向の移動の際にＺ軸方向への
位置ずれを防止することができる。

また、粗動テーブル２を駆動機構によつて高速
移動させたときに、載置台２６、XY方向微動体
３３Ｌ，３３Ｒ及びXY方向微動体３５等の慣性
により、これらがXY平面内で振動することにな
るが、XY方向微動体３５と基台１に固定された
円筒体３との間に高粘度の制振材３９が介在され
ているので、大きな制振効果を発揮することがで
きる。この場合、制振部４０が複合移動テーブル
の中心部に形成され、XY方向微動体３５と円筒
体３との対向面積を広くとることができるので、
移動テーブル全体の構成を大型化することなく、
大きな制振効果を発揮させることができる。

そして、シヤドウマスクSMに対する露光処理
が終了して新たなシヤドウマスクSMに交換する
場合には、３方電磁切換弁２７ｃを大気側に切換
することにより、被露光部材保持装置２７による
シヤドウマスクSMの真空吸着状態を解除してか
ら露光済みのシヤドウマスクSMを例えば図示し
ないアンローデイング装置でチヤツク本体２７ｆ
上から取り出し、新たなシヤドウマスクSMをチ
ヤツク本体２７ｆ上に載置する。このとき、シヤ
ドウマスクSMのサイズを第１図で２点鎖線で示
す例えば16インチ×20インチに変更する場合に
は、ガイドプレート２７ｅの円形透孔２７e₂に嵌
合するチヤツク本体２７f₁が不要となるので、こ
れらチヤツク本体２７f₁を取り外し、代わりに閉
塞具27mを、その円筒部２７ｎをガイドプレート
２７ｅの円形透孔２７e₂に嵌合させて閉塞するこ
とにより、円形透孔２７e₁に嵌合するチヤツク本
体２７f₁が16インチ×20インチのシヤドウマスク
SMの外周縁部に対向することになる。このよう
にして吸着領域を変更してからシヤドウマスク
SMをチヤツク本体２７f₀及び２７f₁上に載置し、
３方電磁切換弁２７ｃに上記と同様に空気吸引手
段２７ｄ側に切り換えることにより、シヤドウマ
スクSMを真空吸着することができる。

また、吸着保持する被露光部材１０２の厚みが
厚い場合には、第１３図に示すように、ガイドプ
レート２７ｅの円形透孔２７e₀及び２７e₁〜２７
e₄に対するチヤツク本体２７f₀及び２７f₁の嵌合
方向を逆側即ち小径部２７g₁側を円形透孔２７e₀
及び２７e₁〜２７e₄に嵌合させることにより、ガ
イドプレート２７ｅの上面とチヤツク本体２７f₀
及び２７f₁に載置された被露光部材１０２の上面
迄の距離ｔを厚みが薄い被露光部材１０２のそれ
と一致させることができ、露光基準面が変動する
ことがないので、焦点調整の際の移動量を小さく
して迅速な焦点調整を行うことができる。

なお、上記実施例においては、被露光部材１０
２が22インチ×28インチ及び16インチ×20インチ
の場合について述べたが、これらに限定されるも
のではなく被露光部材のサイズに応じ、ガイドプ
レートの円形透孔２７e₁〜２７e₄を適宜選択し
て、これらにチヤツク本体２７f₁又は閉塞具27m
を嵌合させることにより、前記２種のサイズの被
露光部材と同様に吸着保持することができる。

また、上記実施例においては、チヤツク本体２
７ｆが平面からみて円形に構成されている場合に
ついて説明したが、これに限定されるものではな
く、方形、長円形等に形成することもできる。

さらに、上記実施例においては、チヤツク本体
２７f₀及び２７f₁の小径部２７g₁及び２７g₂の外
径をガイドプレート２７ｅの円形透孔２７e₀及び
２７e₁〜２７e₄の内径と等しくする場合について
説明したが、これに限らず大径部２７ｈの下面と
ガイドプレート２７ｅの上面との間で気密性を確
保できる場合には、小径部２７g₁及び２７g₂の外
径を小さくすることができ、このように、小径部
２７g₁及び２７g₂の外径を小さくする場合には、
小径部２７g₁及び２７g₂の外径と透孔２７e₁〜２
７e₄の内径との差に応じて大径部２７ｈの外径を
大きく選定することにより、ガイドプレート２７
ｅの円形透孔２７e₁〜２７e₄に対してチヤツク本
体２７f₁を任意の方向に摺動させることが可能と
なり、吸着領域の調整をより細かく行うことがで
きる。

またさらに、上記実施例においては、チヤツク
本体２７f₀及び２７f₁の大径部２７ｈの下面がガ
イドプレート２７ｅの上面に当接する場合につい
て説明したが、これに限定されるものではなく、
第１４図に示すように、ガイドプレート２７ｅの
透孔２７e₀及び２７e₁〜２７e₄を小径部２７e_Sと
中径部２７e_Mと大径部２７e_Lとを有する段状に形
成し、且つ中径部２７e_Mの高さH₂をチヤツク本
体２７f₀及び２７f₁の小径部２７g₁及び２７g₂の
高さh₁及びh₂に対してh₂≦H₂＜h₁の関係に選定
するようにしても、上記実施例と同様の作用効果
を得ることができる。

なおさらに、上記実施例においては、チヤツク
本体２７f₀及び２７f₁の上面及び下面に吸着凹部
２７k₁及び２７k₂を形成した場合について説明し
たが、これに限らず、第１５図及び第１６図に示
すように、チヤツク本体２７f₀及び２７f₁を中空
に形成し、その上下面に中空部及び外部間を連通
する複数の吸着孔２７ｒとこれに連通する吸着溝
２７ｓとを形成するようにしてもよい。

さらに、上記実施例では、被露光部材１０２の
サイズに応じて不使用となるチヤツク本体２７ｆ
がある場合に、ガイドプレート２７ｅの透孔を閉
塞する閉塞具２７ｍを設ける場合について説明し
たが、これに限らず第１７図に示すように、吸引
孔２７a₁〜２７a₄内に嵌合される小径軸部２７ｔ
とこれより大径の大径軸部２７ｕとを有する止め
栓２７ｗによつて吸引孔２７a₁〜２７a₄を閉塞す
るようにしてもよい。

なおさらに、被露光部材１０２の形状としては
長方形である場合に限らず正方形、略円形等任意
の形状の被露光部材１０２を吸着保持することが
できる。

また、上記実施例においては、載置台２６にガ
イドプレート２７ｅを載置する場合について説明
したが、ガイドプレート２７ｅを載置台２６と一
体に形成するようにしてもよい。

さらに、載置台２６を載置するXYZステージ
としては、上記構成に限定されるものではなく、
他の任意の構成するXYZステージを適用し得る。

またさらに、上記実施例においては、基台１を
高速移動可能な粗動テーブル２に載置した場合に
ついて説明したが、これに限らず基台１を固定部
に固定配置する場合にもこの考案を適用し得るも
のである。

なおさらに、上記実施例においては、この考案
を縮小投影露光装置に適用した場合について説明
したが、これに限定されるものではなく、他の露
光装置にもこの考案を適用し得ることは勿論であ
る。

〔考案の効果〕

以上説明したように、この考案によれば、ウエ
ハ、シヤドウマスク等の被露光部材を吸着保持す
るチヤツクが、載置テーブルの載置面側に複数の
吸引孔が形成され、所望とする吸着領域内におけ
る吸引孔に上下両面に互いに連通する吸着部が形
成され、且つ外周面の上下位置に高さが異なる段
部が形成されたチヤツク本体を嵌合させ、吸着領
域外の吸引孔に閉塞具を嵌合するようにしている
ので、被露光部材に応じて任意の大きさの吸着領
域を選定することができ、被露光部材のサイズが
異なる場合であつても、これをチヤツク自体を交
換することなく、容易に吸着保持することがで
き、段取り替えの手間を格段に軽減することがで
きると共に、チヤツク本体の吸引孔に嵌合させる
面を反転させることにより、載置テーブルの上面
とチヤツク本体の上面との距離を２段階に変更す
ることができ、異なる厚みの被露光部材の露光面
を基準露光面に近似させることができ、露光装置
における焦点調整の際の移動距離を少なくして迅
速な焦点調整を行うことができる等の効果が得ら
れる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例を示す平面図、第
２図及び第３図は第１図の正面図及び右側面図、
第４図は第１図の−線断面図、第５図、第６
図及び第７図は夫々第４図の−線断面図、
−線断面図及び−線断面図、第８図は第１
図の−線断面図、第９図はリニアボールベア
ンリングと案内レールとの関係を示す拡大断面
図、第１０図はボール保持器の拡大断面図、第１
１図ａ及びｂは夫々被露光部材保持装置を構成す
るチヤツク本体の拡大断面図、第１２図は閉塞具
の拡大断面図、第１３図はチヤツク本体を逆転さ
せた状態の拡大断面図、第１４図はガイドプレー
トの他の例を示す断面図、第１５図及び第１６図
はチヤツク本体の他の実施例を示す拡大平面図及
び断面図、第１７図は閉塞具の他の実施例を示す
断面図、第１８図はこの考案を適用し得る縮小投
影露光装置の一例を示す概略構成図である。図中、１は基台、２は粗動テーブル、４Ｌ，４
Ｒは案内レール、５は斜面スライダ、７ａ〜７ｆ
はリニアボールベアリング、２１は直線駆動機
構、２２はステツピングモータ、２４はボールね
じ、２５はボールナツト、２６は載置台、２７は
被露光部材保持装置、２７a₀，２７a₁〜２７a₂は
吸引孔、２７ｂは連通路、２７ｃは３方電磁切換
弁、２７ｄは空気吸引手段、２７ｅはガイドプレ
ート、２７e₀，２７e₁〜２７e₄は円形透孔、２７
f₀，２７f₁はチヤツク本体、２７ｉは段部、２７
k₁，２７k₂は吸着凹部、２７ｌは貫通孔、２７ｍ
は閉塞具、２７ｗは止め栓、３５はXY方向微動
体、４１Ｌ，４１Ｒ，４２Ｆ，４２Ｒは電磁石、
４７ａ〜４７ｄは板ばねである。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】 (1) 載置テーブルに、気体吸引手段に接続されて
ウエハ等の被露光部材を吸着保持するチヤツク
を配設し、前記被露光部材の露光面に所定パタ
ーンを露光する露光装置において、前記載置テ
ーブルの載置面側に、前記気体吸引手段に連通
する吸引孔が所定間隔を保つて複数穿設され、
前記チヤツクは、前記吸引孔に連通する案内凹
部、該案内凹部に嵌合する外周縁と上下位置に
異なる高さの段部を形成し、且つ上下面に互い
に連通する吸着部を形成したチヤツク本体とを
備えていることを特徴とする露光装置における
被露光部材保持装置。 (2) 前記チヤツクは、吸引孔を閉塞する閉塞具を
備えている請求項(1)記載の露光装置における被
露光部材保持装置。