JPH0272543U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0272543U JPH0272543U JP1988151005U JP15100588U JPH0272543U JP H0272543 U JPH0272543 U JP H0272543U JP 1988151005 U JP1988151005 U JP 1988151005U JP 15100588 U JP15100588 U JP 15100588U JP H0272543 U JPH0272543 U JP H0272543U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fixed side
- photocoupler
- support plate
- elevating device
- guided
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第1図は本考案による停止位置微調整装置をも
つ昇降装置の実施例を示す側面図である。第2図
は前記実施例で使用される案内機構を示す第1図
のA―A視図である。第3図は前記実施例で使用
される光学位置検出部を示す第1図のB―B視図
である。第4図はウエーハバスケツトにウエーハ
を挿入してある状態を示す斜視図である。第5図
は従来用いられていた停止位置微調整装置をもつ
昇降装置の実施例を示す側面図である。 1…ウエーハバスケツト、2…昇降台、3…遮
光板支持板、4…遮光板、5…ホトカプラ、6…
ホトカプラ支持板、7…基台板、8…案内板、9
…調整ねじ、11…ばね。
つ昇降装置の実施例を示す側面図である。第2図
は前記実施例で使用される案内機構を示す第1図
のA―A視図である。第3図は前記実施例で使用
される光学位置検出部を示す第1図のB―B視図
である。第4図はウエーハバスケツトにウエーハ
を挿入してある状態を示す斜視図である。第5図
は従来用いられていた停止位置微調整装置をもつ
昇降装置の実施例を示す側面図である。 1…ウエーハバスケツト、2…昇降台、3…遮
光板支持板、4…遮光板、5…ホトカプラ、6…
ホトカプラ支持板、7…基台板、8…案内板、9
…調整ねじ、11…ばね。
Claims (1)
- 加工または処理の対象物を支持して固定側に対
して上下移動可能に案内駆動される昇降装置にお
いて、前記昇降装置に遮光板を設け、前記固定側
にホトカプラ支持板を上下移動可能に直進案内し
て支持し、ばね手段により前記ホトカプラ支持板
を前記固定側に対して離間する方向に付勢し、前
記固定側に対して下方向に移動を制約されて回転
可能に支持され前記支持板にねじ結合して回転に
より前記ホトカプラと固定部の相対位置を調整す
るねじ調整手段を設けて構成したことを特徴とす
る停止位置微調整装置をもつ昇降装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988151005U JPH0272543U (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 | |
| US07/423,043 US5003188A (en) | 1988-11-18 | 1989-10-18 | Semiconductor waxer detection system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988151005U JPH0272543U (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0272543U true JPH0272543U (ja) | 1990-06-01 |
Family
ID=31424662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988151005U Pending JPH0272543U (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0272543U (ja) |
-
1988
- 1988-11-18 JP JP1988151005U patent/JPH0272543U/ja active Pending
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