JPH0272909U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第４図は本考案の第１実施例を示す
ものであつて、第１図は角度センサの要部拡大断
面図、第２図は角度センサの断面図、第３図は角
度センサの制御系を示すブロツク構成図、第４図
は内球の振動数を求めるための模式図、第５図乃
至第７図は本考案の第２実施例を示すものであつ
て、第５図は動きセンサを模式的に示す平面図、
第６図ａは内球がＸ―Ｘ軸方向に振動する場合の
Ｘ―Ｘ上の受光素子による測定波形を示すグラフ
、第６図ｂは内球がＸ―Ｘ軸方向に振動する場合
のＹ―Ｙ上の受光素子による測定波形を示すグラ
フ、第７図は制御系のブロツク構成図、第８図ａ
は第３実施例の縦断面図、第８図ｂ及びｃはそれ
ぞれ第８図ａのＥ―Ｅ線及びＦ―Ｆ線に沿う断面
図、第９図はａ〜ｃは内球の位置の測定原理を示
す模式図、第１０図ａ及びｂは内球がＸ―Ｘ軸方
向のみに動く場合を示す模式図、第１１図ａ及び
ｂは内球がＺ―Ｚ軸方向のみに動く場合を示す模
式図、第１２図ａ及びｂは内球がＹ―Ｙ軸方向の
みに動く場合を示す模式図、第１３図は好ましい
外球殻と内球の径の比を求めるための模式図であ
る。 １４は外球殻、１５は凹部、１６は内球、１７
，１８は発光ダイオード（発光素子）、２０はホ
トトランジスタ（受光素子）、２６は測定対象物
、２７は発光素子、２８，３０は受光素子である
。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 測定対象物に対し所定姿勢で支持されるととも
   に内部に球面状の凹部が設けられた外球殻と、こ
   の外球殻の凹部内に移動自在に配置される内球と
   を備え、外球殻の傾斜角度の変化又は外球殻の動
   きに伴う上記凹部内での内球の動きを光学的に検
   出して測定対象物の傾斜角度又は動きを求めるよ
   うにした角度又は動き検出センサにおいて、 上記外球殻には、内球に対し光を照射する発光
   素子と内球からの反射光を受光する受光素子がそ
   れぞれ１個以上、かつ、合計３個以上設けられる
   とともに、外球殻における凹部の内径と内球の外
   径との比が３：２の近傍に設定されていることを
   特徴とする角度又は動き検出センサ。