JPH0273306A - カラーフィルタ及びその製造方法 - Google Patents
カラーフィルタ及びその製造方法Info
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- JPH0273306A JPH0273306A JP63226238A JP22623888A JPH0273306A JP H0273306 A JPH0273306 A JP H0273306A JP 63226238 A JP63226238 A JP 63226238A JP 22623888 A JP22623888 A JP 22623888A JP H0273306 A JPH0273306 A JP H0273306A
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- transparent conductive
- conductive film
- film
- layer
- transparent
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、カラーフィルタ及びその製造方法の改良に関
する。
する。
［従来の技術］
従来、透明基板上の透明導電膜パターン上に、電気泳動
を利用した電着塗装法により色分解用の着色層を形成す
ることが行われている（特開昭８２−１８０４２１号公
報）。以下、この技術について説明する。
を利用した電着塗装法により色分解用の着色層を形成す
ることが行われている（特開昭８２−１８０４２１号公
報）。以下、この技術について説明する。
即ち、微細な導電性回路パターンの間に機能性塗膜を形
成させるに際し、まず電着コーティングで導電性回路パ
ターン上にのみ遮光性と薬剤可溶性をもつプレコート塗
膜を形成させる。次に、上記プレコート塗膜を含み、透
明基板全体に光硬化性を有する機能性塗膜を形成しうる
機能性材料を適当な方法でコーティングする。つづいて
、場合により適当な方法と条件でこの被膜をプリベーク
した後、透明基板の背面、すなわち基板の導電性回路パ
ターンを有しない側より、光を照射し上記の光硬化性材
料を硬化させる。この際、電着によりプレコート塗膜を
形成されている部分はその遮光性のために光が遮られて
その上にコートされている光硬化性材料は硬化しない。
成させるに際し、まず電着コーティングで導電性回路パ
ターン上にのみ遮光性と薬剤可溶性をもつプレコート塗
膜を形成させる。次に、上記プレコート塗膜を含み、透
明基板全体に光硬化性を有する機能性塗膜を形成しうる
機能性材料を適当な方法でコーティングする。つづいて
、場合により適当な方法と条件でこの被膜をプリベーク
した後、透明基板の背面、すなわち基板の導電性回路パ
ターンを有しない側より、光を照射し上記の光硬化性材
料を硬化させる。この際、電着によりプレコート塗膜を
形成されている部分はその遮光性のために光が遮られて
その上にコートされている光硬化性材料は硬化しない。
即ち、電着によりプレコート被膜が形成されていない導
電性回路パターンの間隙のみの光硬化性材料の光硬化が
進行する。この後、適当な薬剤を用いて上記非硬化性材
料の非硬化および電着によりコートした遮光性プレコー
ト塗膜を溶出せしめると、導電性回路パターン間の間隙
にのみ光硬化性を育する機能性材料（遮光膜）が残存す
る。
電性回路パターンの間隙のみの光硬化性材料の光硬化が
進行する。この後、適当な薬剤を用いて上記非硬化性材
料の非硬化および電着によりコートした遮光性プレコー
ト塗膜を溶出せしめると、導電性回路パターン間の間隙
にのみ光硬化性を育する機能性材料（遮光膜）が残存す
る。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、従来技術によれば、次に述べる問題点を
有する。
有する。
即ち、遮光膜（黒）は金属クロムやカーボンを用いるた
め導電率が高く、パターニングされた透明導電膜の間隙
に遮光膜を介在させ、た場合、透明導電膜間に短絡が起
き、電着塗装法によっては各々の透明導電膜上に所定の
青色層を形成することができない。
め導電率が高く、パターニングされた透明導電膜の間隙
に遮光膜を介在させ、た場合、透明導電膜間に短絡が起
き、電着塗装法によっては各々の透明導電膜上に所定の
青色層を形成することができない。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、複数の着色
層をパターニングされた透明導電膜上に選択的に形成し
得るカラーフィルタ及びその製造方法を提供することを
目的とする。
層をパターニングされた透明導電膜上に選択的に形成し
得るカラーフィルタ及びその製造方法を提供することを
目的とする。
［課題を解決するための手段］
本願第１の発明は、透明基板と、この透明基板上に設け
られた第１の透明導電膜と、この第１の透明導電膜上に
設けられ該透明導電膜と比べ抵抗値が１７５以下のパタ
ーニングされた第２の透明導電膜と、この第２の透明導
電膜上に設けられた青色層と、前記第２の透明導電膜間
の前記第１の透明導電膜上に設けられた遮光膜とを具備
することを特徴とするカラーフィルタである。
られた第１の透明導電膜と、この第１の透明導電膜上に
設けられ該透明導電膜と比べ抵抗値が１７５以下のパタ
ーニングされた第２の透明導電膜と、この第２の透明導
電膜上に設けられた青色層と、前記第２の透明導電膜間
の前記第１の透明導電膜上に設けられた遮光膜とを具備
することを特徴とするカラーフィルタである。
本願第２の発明は、絶縁性基板上に第１の透明’Ｈ１：
：：”Ｎを介して該透明導電膜と比べ抵抗値が〕１５
以下の第２透明導電膜を形成した後これをパターニング
する工程と、このパターニングされた第２の透明導電膜
上に着色層を形成する工程と、前記第２の透明導電膜間
の前記第１の透明導電膜上に遮光膜を形成する］１程と
を具備することを特徴とするカラーフィルタの製造方法
である。
：：”Ｎを介して該透明導電膜と比べ抵抗値が〕１５
以下の第２透明導電膜を形成した後これをパターニング
する工程と、このパターニングされた第２の透明導電膜
上に着色層を形成する工程と、前記第２の透明導電膜間
の前記第１の透明導電膜上に遮光膜を形成する］１程と
を具備することを特徴とするカラーフィルタの製造方法
である。
本発明に係る第１の透明導電膜としては、第２の透明導
電膜よりもシート抵抗値が５倍以上大きいものを用い、
具体的にはＳｎ ０２膜等が挙げられる。このＳｎ ０
２膜のシート抵抗値は１５０〜５００Ωである。
電膜よりもシート抵抗値が５倍以上大きいものを用い、
具体的にはＳｎ ０２膜等が挙げられる。このＳｎ ０
２膜のシート抵抗値は１５０〜５００Ωである。
また、本発明に係る第２の透明導電膜としては例えば９
５％Ｉｎ ０３−５％Ｓｎ ０２ （Ｉ Ｔｏ）等が
挙げられ、このＩＴＯのシート抵抗値は１０〜３０Ωで
ある。この透明導電膜のシート抵抗値は前記遮光膜のそ
れと比べて１１５以下とし、１１５を越えると各着色層
をパターニングされた透明導電膜上に選択的に形成にし
くくなる。
５％Ｉｎ ０３−５％Ｓｎ ０２ （Ｉ Ｔｏ）等が
挙げられ、このＩＴＯのシート抵抗値は１０〜３０Ωで
ある。この透明導電膜のシート抵抗値は前記遮光膜のそ
れと比べて１１５以下とし、１１５を越えると各着色層
をパターニングされた透明導電膜上に選択的に形成にし
くくなる。
［作用］
本発明においては、第２の透明導電膜と比べて抵抗値が
５倍以上の抵抗値を有する第１の透明導電膜をパターン
化された第２の透明導電膜の下層として用いることによ
り、従来のようにパターン化された透明導電膜間で短絡
が生じることなく、所定の色の着色層を電着塗装法によ
り第２の透明導電膜上に容易に選択的に形成することが
できる。
５倍以上の抵抗値を有する第１の透明導電膜をパターン
化された第２の透明導電膜の下層として用いることによ
り、従来のようにパターン化された透明導電膜間で短絡
が生じることなく、所定の色の着色層を電着塗装法によ
り第２の透明導電膜上に容易に選択的に形成することが
できる。
［実施例］
以下、本発明の一実施例に係るカラーフィルタの製造方
法を工程順に第１図（Ａ）〜（Ｅ）及び第２図を参照し
て説明する。
法を工程順に第１図（Ａ）〜（Ｅ）及び第２図を参照し
て説明する。
（１）、まず、透明基！！ｉ２１上に反応性スパッタ法
により第１の透明導電膜としての５ｎ０２膜２を蒸着法
により形成した。ここで、Ｓｎ ０２膜２の厚みは例え
ば０．１ｐであり、シート抵抗値は５００Ωであった。
により第１の透明導電膜としての５ｎ０２膜２を蒸着法
により形成した。ここで、Ｓｎ ０２膜２の厚みは例え
ば０．１ｐであり、シート抵抗値は５００Ωであった。
次に、前記５ｎ０２層２の上にマスク蒸着法によりパタ
ーニングされた第２の透明導電膜３を形成した（第１図
（Ａ）図示）。ここで、前記透明導電膜３の幅は１００
ＩＤｎ、間隔は１０ｐであり、シート抵抗値は１５Ωで
あった。つづいて、第２図に示す如く赤色層を形成すべ
き前記第２の透明導電膜３に例えば導電性ペーストによ
る接続層（−点鎖線）４を設け、赤色層を形成すべき透
明導電膜３のみを一方の電極として電着塗装法により所
定の透明Ｉ４ｔ、膜３上に赤色を着色し、１７０℃、１
時間加熱硬化処理を施して赤色層５を形成した（第１図
（Ｂ）図示）。なお、この時の本行塗装の印加電圧は８
．０Ｖとした。また、加熱硬化処理した赤色層５を上置
した第２の透明溝を膜３の表面は絶縁状態となる。
ーニングされた第２の透明導電膜３を形成した（第１図
（Ａ）図示）。ここで、前記透明導電膜３の幅は１００
ＩＤｎ、間隔は１０ｐであり、シート抵抗値は１５Ωで
あった。つづいて、第２図に示す如く赤色層を形成すべ
き前記第２の透明導電膜３に例えば導電性ペーストによ
る接続層（−点鎖線）４を設け、赤色層を形成すべき透
明導電膜３のみを一方の電極として電着塗装法により所
定の透明Ｉ４ｔ、膜３上に赤色を着色し、１７０℃、１
時間加熱硬化処理を施して赤色層５を形成した（第１図
（Ｂ）図示）。なお、この時の本行塗装の印加電圧は８
．０Ｖとした。また、加熱硬化処理した赤色層５を上置
した第２の透明溝を膜３の表面は絶縁状態となる。
（２）次に、緑色層を形成すべき前記第２の透明導電膜
３に赤色層５の場合と同様に導電性ペーストによる接続
層（二点鎖線）６を設け、緑色層を形成すべき第２の透
明導電膜３のみを一方の電極として本心塗装法により所
定の透明％を膜３上に緑色を着色し、１７［１℃、］時
間加熱硬化処理を施して緑色層７を形成した（第１図（
Ｃ）図示）。
３に赤色層５の場合と同様に導電性ペーストによる接続
層（二点鎖線）６を設け、緑色層を形成すべき第２の透
明導電膜３のみを一方の電極として本心塗装法により所
定の透明％を膜３上に緑色を着色し、１７［１℃、］時
間加熱硬化処理を施して緑色層７を形成した（第１図（
Ｃ）図示）。
なお、この時の電圧は６．５Ｖとした。つづいて、青色
層を形成すべき前記第２の透明導電膜３に赤色層５の場
合と同様に導電性ペーストによる接続層（図示せず）を
設け、青色層を形成すべき第２１７０９Ｃ，１時間加熱
硬化処理を施して上記と同様こして所定の第２の透明導
電膜３上に青色層８を形成した（第１図（Ｄ）図示）。
層を形成すべき前記第２の透明導電膜３に赤色層５の場
合と同様に導電性ペーストによる接続層（図示せず）を
設け、青色層を形成すべき第２１７０９Ｃ，１時間加熱
硬化処理を施して上記と同様こして所定の第２の透明導
電膜３上に青色層８を形成した（第１図（Ｄ）図示）。
なお、この時の電着塗装の印加電圧は９．０■とした。
ついで、前記５ｎ０２膜２に゛ｆヒ極をつけて例えば３
５Ｖで電着を行なった後、１７０℃、 ３０分間加熱処
理して第２の透明導電膜３間の前記５ｎ０２膜２上に黒
色の遮光膜９を形成し、カラーフィルタを製造した（第
１図（Ｅ）図示）。ここで、前記遮光膜９を分光法にて
測定したところ、吸光度１．９２であった。なお、各着
色層は、前記赤色層５、緑色層７、青色層８の順に長さ
が短くなっており、前記接続層４．６は着色層を電着塗
装法により形成した後、夫々例えばメチルエチルケトン
により除去してもよい。
５Ｖで電着を行なった後、１７０℃、 ３０分間加熱処
理して第２の透明導電膜３間の前記５ｎ０２膜２上に黒
色の遮光膜９を形成し、カラーフィルタを製造した（第
１図（Ｅ）図示）。ここで、前記遮光膜９を分光法にて
測定したところ、吸光度１．９２であった。なお、各着
色層は、前記赤色層５、緑色層７、青色層８の順に長さ
が短くなっており、前記接続層４．６は着色層を電着塗
装法により形成した後、夫々例えばメチルエチルケトン
により除去してもよい。
しかして、本発明方法によれば、透明基板１上に抵抗値
の大きいＳｎ○２膜２を形成した後、該Ｓｎ ０２膜２
と比べ抵抗値の小さい第２の該透明導電膜３を形成し、
更にこの透明導電膜３上に赤色層５．青色層７及び緑色
層８などの着色層を形成するため、上前塗装の際上記赤
色層５．青色層７及び緑色層８を夫々第２の透明導電膜
３間に選択的に形成することができる。なお、５ｎ０２
膜２の上にも多少前記赤色層５、緑色層７、青色層８が
付着することもありうるが、Ｓｎ○２膜４上膜島上ので
全体として黒色に近い色相を呈し、問題にする程ではな
い。また、各赤色層５、緑色層７、青色層８を製造が容
易な電行塗装法により作ることができ、コスト低減を図
ることかできる。
の大きいＳｎ○２膜２を形成した後、該Ｓｎ ０２膜２
と比べ抵抗値の小さい第２の該透明導電膜３を形成し、
更にこの透明導電膜３上に赤色層５．青色層７及び緑色
層８などの着色層を形成するため、上前塗装の際上記赤
色層５．青色層７及び緑色層８を夫々第２の透明導電膜
３間に選択的に形成することができる。なお、５ｎ０２
膜２の上にも多少前記赤色層５、緑色層７、青色層８が
付着することもありうるが、Ｓｎ○２膜４上膜島上ので
全体として黒色に近い色相を呈し、問題にする程ではな
い。また、各赤色層５、緑色層７、青色層８を製造が容
易な電行塗装法により作ることができ、コスト低減を図
ることかできる。
本発明に係るカラーフィルタは、第１図（Ｅ）に示す如
く、透明基板１上にシート抵抗値が５ Ｘ １０２と大
きい５ｎ０２膜（遮光膜）２を設け、このＳｎＯ□膜２
上に、該Ｓ ｎ Ｏ２膜２と比べてシート抵抗値の小さ
い（１５Ω）第２の透明導電膜３を設け、更にこの第２
の透明導電膜３上に赤色層５、緑色層７、青色層８等の
各着色層を選択的に設けた構造となっている。従って、
前述した如く電着塗装の際上記赤色層５．青色層７及び
緑色層８を夫々第２の透明導電膜３上に確実に形成する
ことができるという効果を有する。
く、透明基板１上にシート抵抗値が５ Ｘ １０２と大
きい５ｎ０２膜（遮光膜）２を設け、このＳｎＯ□膜２
上に、該Ｓ ｎ Ｏ２膜２と比べてシート抵抗値の小さ
い（１５Ω）第２の透明導電膜３を設け、更にこの第２
の透明導電膜３上に赤色層５、緑色層７、青色層８等の
各着色層を選択的に設けた構造となっている。従って、
前述した如く電着塗装の際上記赤色層５．青色層７及び
緑色層８を夫々第２の透明導電膜３上に確実に形成する
ことができるという効果を有する。
なお、上記実施例では、赤色層、緑色層、青色層の各着
色層のみを透明導電膜上に形成した場合について述べた
か、これに限らず、他の色の着色層を形成してもよい。
色層のみを透明導電膜上に形成した場合について述べた
か、これに限らず、他の色の着色層を形成してもよい。
［発明の効果コ
以上詳述した如く本発明によれば、複数の着色層をパタ
ニングされた透明導電膜上に選択的に形成し得るととも
に、コスト低減をなしえる液晶表示装置に有用なカラー
フィルタ及びその製造方法を提供できる。
ニングされた透明導電膜上に選択的に形成し得るととも
に、コスト低減をなしえる液晶表示装置に有用なカラー
フィルタ及びその製造方法を提供できる。
第１図（Ａ）〜（Ｅ）は本発明の一実施例に係るカラー
フィルタの製造方法を工程順に示す断面図、第２図は着
色層の形成方法を説明するための平面図である。 １・・・透明基板、２・・・５ｎ０２膜（第１の透明導
電膜）、３・・・第２の透明導電膜、５・・・・・赤色
層、７・・・緑色層、８・・・青色層、９・・・遮光膜
。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦
フィルタの製造方法を工程順に示す断面図、第２図は着
色層の形成方法を説明するための平面図である。 １・・・透明基板、２・・・５ｎ０２膜（第１の透明導
電膜）、３・・・第２の透明導電膜、５・・・・・赤色
層、７・・・緑色層、８・・・青色層、９・・・遮光膜
。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦
Claims (2)
- （１）透明基板と、この透明基板上に設けられた第１の
透明導電膜と、この第１の透明導電膜上に設けられ該透
明導電膜と比べ抵抗値が１／５以下のパターニングされ
た第２の透明導電膜と、この第２の透明導電膜上に設け
られた着色層と、前記第２の透明導電膜間の前記第１の
透明導電膜上に設けられた遮光膜とを具備することを特
徴とするカラーフィルタ。 - （２）絶縁性基板上に第１の透明導電膜を介して該透明
導電膜と比べ抵抗値が１／５以下の第２透明導電膜を形
成した後これをパターニングする工程と、このパターニ
ングされた第２の透明導電膜上に着色層を形成する工程
と、前記第２の透明導電膜間の前記第１の透明導電膜上
に遮光膜を形成する工程とを具備することを特徴とする
カラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63226238A JPH0273306A (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | カラーフィルタ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63226238A JPH0273306A (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | カラーフィルタ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0273306A true JPH0273306A (ja) | 1990-03-13 |
Family
ID=16842057
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63226238A Pending JPH0273306A (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | カラーフィルタ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0273306A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0281025A (ja) * | 1988-09-19 | 1990-03-22 | Seiko Instr Inc | 多色液晶表示装置及びその製造方法 |
| WO2002067054A3 (en) * | 2001-02-21 | 2003-04-17 | Ibm | High-resolution photoresist structuring of multi-layer structures deposited onto substrates |
-
1988
- 1988-09-09 JP JP63226238A patent/JPH0273306A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0281025A (ja) * | 1988-09-19 | 1990-03-22 | Seiko Instr Inc | 多色液晶表示装置及びその製造方法 |
| WO2002067054A3 (en) * | 2001-02-21 | 2003-04-17 | Ibm | High-resolution photoresist structuring of multi-layer structures deposited onto substrates |
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