JPH0273680A - レーザ装置 - Google Patents
レーザ装置Info
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- JPH0273680A JPH0273680A JP22582688A JP22582688A JPH0273680A JP H0273680 A JPH0273680 A JP H0273680A JP 22582688 A JP22582688 A JP 22582688A JP 22582688 A JP22582688 A JP 22582688A JP H0273680 A JPH0273680 A JP H0273680A
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Links
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- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 6
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- 230000006835 compression Effects 0.000 abstract description 2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/041—Arrangements for thermal management for gas lasers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は各構成部品を密閉筐体に収納するレーザ装置に
関し、特に密閉筐体内の空気に含まれる塵埃を除去可能
なレーザ装置に関する。
関し、特に密閉筐体内の空気に含まれる塵埃を除去可能
なレーザ装置に関する。
レーザ装置では、出力鏡、全反射鏡、折り返し鏡等各種
の精密な光学部品が使用されており、これらに空気中の
塵埃が付着するとレーザの性能を著しく低下させること
になる。従って、一般にレーザ装置は密閉筐体に収納さ
れている。
の精密な光学部品が使用されており、これらに空気中の
塵埃が付着するとレーザの性能を著しく低下させること
になる。従って、一般にレーザ装置は密閉筐体に収納さ
れている。
一方、レーザの発振を行うと共振器等から相当量の熱が
発生する。このため金属加工等に使用される高出力のレ
ーザ装置では、送風機及び熱交換器によって構成される
ラジェータユニットを設けており、密閉筐体内部の空気
を循環させ、熱を外部に排出している。
発生する。このため金属加工等に使用される高出力のレ
ーザ装置では、送風機及び熱交換器によって構成される
ラジェータユニットを設けており、密閉筐体内部の空気
を循環させ、熱を外部に排出している。
〔発明が解決しようとする課題］
ところで、メンテナンス作業等で密閉筐体の扉を開放す
ると、外部に浮遊している塵埃が密閉筐体内に混入して
しまうことがある。このような状態でレーザ装置の運転
を開始すると、混入した塵埃が送風機によって密閉筐体
内で循環され、光学部品に付着して、これを汚染してし
まう危険がある。
ると、外部に浮遊している塵埃が密閉筐体内に混入して
しまうことがある。このような状態でレーザ装置の運転
を開始すると、混入した塵埃が送風機によって密閉筐体
内で循環され、光学部品に付着して、これを汚染してし
まう危険がある。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、密
閉筐体内の空気の塵埃を除去することのできるレーザ装
置を提供することを目的とする。
閉筐体内の空気の塵埃を除去することのできるレーザ装
置を提供することを目的とする。
本発明では上記課題を解決するために、共振器、励起用
電源、レーザ媒体の冷却機構等の各構成部品を密閉筐体
に収納するレーザ装置において、 前記密閉筐体の内部の空気を冷却及び循環させるラジェ
ータユニットに、前記空気に含まれる塵埃を除去するフ
ィルタを装着したことを特徴とするレーザ装置が、 提供される。
電源、レーザ媒体の冷却機構等の各構成部品を密閉筐体
に収納するレーザ装置において、 前記密閉筐体の内部の空気を冷却及び循環させるラジェ
ータユニットに、前記空気に含まれる塵埃を除去するフ
ィルタを装着したことを特徴とするレーザ装置が、 提供される。
ラジェータユニットの吸入口に空気中の塵埃を除去する
フィルタを装着する。レーザ装置の運転を開始すると密
閉筐体内の空気はフィルタを通して循環されるので、空
気中に含まれている塵埃はこのフィルタに吸収され、密
閉筐体内の空気が清浄になる。
フィルタを装着する。レーザ装置の運転を開始すると密
閉筐体内の空気はフィルタを通して循環されるので、空
気中に含まれている塵埃はこのフィルタに吸収され、密
閉筐体内の空気が清浄になる。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明の一実施例のレーザ装置の筐体内の概略
配置図であり、ここでは放電励起型のガスレーザ装置に
ついて示している。図において１は密閉筐体である。２
はレーザガス励起用の高周波電源であり、２ＭＨｚの高
周波電圧を放電管に供給する。３は共振器、７はラジェ
ータユニットであり、詳細は後述する。
配置図であり、ここでは放電励起型のガスレーザ装置に
ついて示している。図において１は密閉筐体である。２
はレーザガス励起用の高周波電源であり、２ＭＨｚの高
周波電圧を放電管に供給する。３は共振器、７はラジェ
ータユニットであり、詳細は後述する。
４は放電管内のレーザガスを冷却器５ａ及び５ｂを通し
て循環させるルーツブロワである。冷却器５ａはレーザ
発振を行って高温となったレーザガスを冷却する冷却器
であり、冷却器５ｂはルーツブロワによる圧縮熱を除去
するための冷却器である。６はレーザ装置の制御回路用
の直流電源である。なお、この他にレーザガスの配管、
制御回路等があるが本図では省略している。
て循環させるルーツブロワである。冷却器５ａはレーザ
発振を行って高温となったレーザガスを冷却する冷却器
であり、冷却器５ｂはルーツブロワによる圧縮熱を除去
するための冷却器である。６はレーザ装置の制御回路用
の直流電源である。なお、この他にレーザガスの配管、
制御回路等があるが本図では省略している。
ここで、共振器３及びラジェータユニット４の構成の詳
細を第２図にて説明する。第２図は第１図のＡ−Ａ断面
図である。図において、３１ａ〜３１ｈは放電管であり
、それぞれジヨイント３２ａ〜３２ｃ及び放電管ホルダ
ー３３ａ、３３ｂによって保持されている。３４は出力
鏡、３５は全反射鏡であり、共振器ベース板３８ａによ
って保持されている。３６は共振器をコンパクトに構成
するために設けられた折り返し鏡ブロックであり、図に
示す位置に折り返し鏡３７ａ及び３７ｂが設けられてお
り、共振器ベース板３８ｂによって保持されている。
細を第２図にて説明する。第２図は第１図のＡ−Ａ断面
図である。図において、３１ａ〜３１ｈは放電管であり
、それぞれジヨイント３２ａ〜３２ｃ及び放電管ホルダ
ー３３ａ、３３ｂによって保持されている。３４は出力
鏡、３５は全反射鏡であり、共振器ベース板３８ａによ
って保持されている。３６は共振器をコンパクトに構成
するために設けられた折り返し鏡ブロックであり、図に
示す位置に折り返し鏡３７ａ及び３７ｂが設けられてお
り、共振器ベース板３８ｂによって保持されている。
７はラジェータユニットであり、７１ａ〜７１ｄの各送
風機ブロックから成る送風機７１、熱交換器７２、及び
フィルタ７３によって構成されている。
風機ブロックから成る送風機７１、熱交換器７２、及び
フィルタ７３によって構成されている。
再び第１図に戻り、説明する。７４ａ及び７４ｂは熱交
換器７２に接続された給水パイプ及び排水パイプである
。熱交換器７２は給水パイプ７４ａを通して外部より冷
却水７５ａを導入し、これに密閉筐体１の内部の熱を吸
収させて排水パイプ７４ｂを通して排水７５ｂとして排
出する。
換器７２に接続された給水パイプ及び排水パイプである
。熱交換器７２は給水パイプ７４ａを通して外部より冷
却水７５ａを導入し、これに密閉筐体１の内部の熱を吸
収させて排水パイプ７４ｂを通して排水７５ｂとして排
出する。
レーザ装置の運転を開始すると、ラジェータユニット７
は密閉筐体１の内部の高温度の空気を吸気し、フィルタ
７３で塵埃を除去し、熱交換器７２で冷却した後、共振
器３の放電管に吹きつけて放電管を冷却する。放電管に
吹きつけられた空気は密閉筐体１の内部を循環した後、
再びラジェータユニット７に吸気される。
は密閉筐体１の内部の高温度の空気を吸気し、フィルタ
７３で塵埃を除去し、熱交換器７２で冷却した後、共振
器３の放電管に吹きつけて放電管を冷却する。放電管に
吹きつけられた空気は密閉筐体１の内部を循環した後、
再びラジェータユニット７に吸気される。
従って、仮に密閉筐体１の内部に塵埃が入り込んだ場合
でも、塵埃は最終的にフィルタ７３に吸収され、内部の
空気は清浄になる。
でも、塵埃は最終的にフィルタ７３に吸収され、内部の
空気は清浄になる。
以上説明したように本発明では、密閉筐体内の空気に塵
埃が混入した場合でも、空気は常にフィルタを通して循
環するので、塵埃は最終的にフィルタに吸収され、内部
の空気は清浄になる。
埃が混入した場合でも、空気は常にフィルタを通して循
環するので、塵埃は最終的にフィルタに吸収され、内部
の空気は清浄になる。
従って、メンテナンス時等に扉を開放した場合でも、運
転再開後には塵埃が除去されるので光学部品等を汚染す
ることがなく、レーザ装置の寿命及び信頼性が向上する
。
転再開後には塵埃が除去されるので光学部品等を汚染す
ることがなく、レーザ装置の寿命及び信頼性が向上する
。
３１ａ〜３１ｈ・・・−・・−−−−ｍ−・・・放電管
３４・・・−・・−・・・−・・・出力鏡３５−・−・
−一−−−−・−全反射鏡３７ａ、３７ｂ・・−・・・
・・・−・・折り返し鏡
３４・・・−・・−・・・−・・・出力鏡３５−・−・
−一−−−−・−全反射鏡３７ａ、３７ｂ・・−・・・
・・・−・・折り返し鏡
第１図は本発明の一実施例のレーザ装置の筐体内配置図
、 第２図は第１図のＡ−Ａ断面図である。 特許出願人 ファナック株式会社 代理人 弁理士 服部毅巖 １−−−−−−−−−−・密閉筐体 ２・・・−・・−・−・・−高周波電源３−・−−−−
−・−・−共振器 ４−・−・−・−ルーツブロワ ５ａ、５ｂ・・・−・−・・・・−−−−一冷却器６・
−・−−一−−・−−−−一直流電源７−・・−・・・
・−・−ラジェータユニット７１−−−−−−−−−一
送風器 ７２−・・−・・−・−・−熱交換器 ７３−・・・−・・・・・−・フィルタ第１図 第２図
、 第２図は第１図のＡ−Ａ断面図である。 特許出願人 ファナック株式会社 代理人 弁理士 服部毅巖 １−−−−−−−−−−・密閉筐体 ２・・・−・・−・−・・−高周波電源３−・−−−−
−・−・−共振器 ４−・−・−・−ルーツブロワ ５ａ、５ｂ・・・−・−・・・・−−−−一冷却器６・
−・−−一−−・−−−−一直流電源７−・・−・・・
・−・−ラジェータユニット７１−−−−−−−−−一
送風器 ７２−・・−・・−・−・−熱交換器 ７３−・・・−・・・・・−・フィルタ第１図 第２図
Claims (1)
- （１）共振器、励起用電源、レーザ媒体の冷却機構等の
各構成部品を密閉筐体に収納するレーザ装置において、 前記密閉筐体の内部の空気を冷却及び循環させるラジエ
ータユニットに、前記空気に含まれる塵埃を除去するフ
ィルタを装着したことを特徴とするレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22582688A JPH0273680A (ja) | 1988-09-08 | 1988-09-08 | レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22582688A JPH0273680A (ja) | 1988-09-08 | 1988-09-08 | レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0273680A true JPH0273680A (ja) | 1990-03-13 |
Family
ID=16835409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22582688A Pending JPH0273680A (ja) | 1988-09-08 | 1988-09-08 | レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0273680A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016081993A (ja) * | 2014-10-14 | 2016-05-16 | 株式会社アマダホールディングス | レーザ共振器、レーザ加工装置及びレーザ共振器の除湿方法 |
| JP2017045753A (ja) * | 2015-08-24 | 2017-03-02 | ファナック株式会社 | 保守作業用の温度管理機能を有するレーザ装置 |
-
1988
- 1988-09-08 JP JP22582688A patent/JPH0273680A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016081993A (ja) * | 2014-10-14 | 2016-05-16 | 株式会社アマダホールディングス | レーザ共振器、レーザ加工装置及びレーザ共振器の除湿方法 |
| JP2017045753A (ja) * | 2015-08-24 | 2017-03-02 | ファナック株式会社 | 保守作業用の温度管理機能を有するレーザ装置 |
| CN106486881A (zh) * | 2015-08-24 | 2017-03-08 | 发那科株式会社 | 具有维护作业用温度管理功能的激光装置 |
| US9899790B2 (en) | 2015-08-24 | 2018-02-20 | Fanuc Corporation | Laser apparatus having temperature control function for maintenance work |
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