JPH0274852A - 欠陥周期の測定方法 - Google Patents

欠陥周期の測定方法

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JPH0274852A JP63226190A JP22619088A JPH0274852A JP H0274852 A JPH0274852 A JP H0274852A JP 63226190 A JP63226190 A JP 63226190A JP 22619088 A JP22619088 A JP 22619088A JP H0274852 A JPH0274852 A JP H0274852A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ウェブ状物体に存在する欠陥の周期を算出す
る測定方法に関するものである。
〔従来の技術〕
フィルム、紙等のシート状物、金属物その他の製作物の
表面に存在する欠陥を検出するために種々の表面検査装
置が知られており、これらの装置によって例えば傷やピ
ンホール等の欠陥を検出して製品の品質管理が行われて
いる。
このような表面検査装置では単なる傷やピンホールの欠
陥検出だけでなく、これらの欠陥が周期的に現れる場合
の検出が行われており、従来では例えば特開昭49−3
5091号公報に示されるような周期性キズ検出回路方
式がある。
これによれば、キズ信号(欠陥信号)が入力されたとき
、その入力時より指定された周期後に時間ゲートを開き
、この時間内の欠陥信号の有無を調べている。そして、
この動作を数周期にわたって行い、この期間内に設定値
以上の個数になるときに周期的欠陥であると判定するも
のである。
ところが、上記の表面検査装置では、最初の欠陥信号が
得られた時点を基準にして欠陥周期を測定するため、最
初の欠陥信号が単発的なものである場合には、再び周期
測定を行わなくてはならない。したがって、製造ライン
中でリアルタイムに欠陥周期を測定しようとする場合に
は適用しにくい面がある。
このような事情から、被検査物を走行方向に細分し、各
々のデータセルについて一欠陥部のあるものを「1」、
欠陥部のないものを「0」として2値化し、被検査物の
走行させながらこの2値化データを取り込んで2値化デ
ータ列(d+、dz。
d3.・・、d7〕を作成してから、 で表される自己相関関数AC(j )により、間隔jで
分布する欠陥部の組み合わせ個数を求める手法が提案さ
れている。(1)式における(d、−d、、、)は、i
番目の2値化デークd、と、i+j (j=1.2.・
・、n−1)番目の2値化データとの積を表したもので
、この両者の2値化データが各々「l」であるとき、す
なわち両者が欠陥部分であるときにのみ「1」となる。
したがって、上記(1)式は、n個の検査データからな
る2値化データ列(d+ 、dz、ds、  ・・・d
、)について、間隔「j」で分布している欠陥部の組み
合わせ個数を表すものとなっている。
したがって、こうして得られた自己相関関数AC(j)
に基づいてデータ処理を行い、AC(kfo)  >O
・ ・ ・(2)、 (但し、k=1.2.3 ・・I
2)を判別条件として基本周期f0を算出することがで
きるようになる。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、上述した従来のデータ処理を行う場合に
は、表面検査装置によって得られた2値化データ列(d
+ 、di、d3+  ・・・d、)の全てについて、
(1)式の自己相関関数AC(j)を算出しなくてはな
らず、その計算時間はn・ (n−1)に比例する。す
なわち、n個の検査データについて、n・ (n−1)
回の乗算及び加算を繰返し行わなくてはならない。なお
、このnの値は測定対象とするウェブ7の長さしを、送
り方向の単位長Sで除算した値に等しい。
このようなデータ処理時の計算時間は、ハードウェアの
性能やプログラムの記述によって異なるが、これまでで
は欠陥の周期成分の算出に時間がかかっており、リアル
タイム測定を行うためには処理能力が高い大型計算機、
あるいは専用のハードウェアを必要としていた。
本発明はこのような従来技術に鑑みてなされたもので、
欠陥周期の基本周期を算出するためのアルゴリズムを改
良し、大型コンピュータや専用のハードウェアを用いる
ことなく、欠陥周期の迅速な算出を可能とする測定方法
を提供することを目的とする。
[課題を解決するための手段] 本発明は上記目的を達成するために、被検査物から得ら
れた検査データを正常データと欠陥データとに2値化し
、前記欠陥データの各々についてその相互間の距離を求
めた後、これらの距離について頻度計算を行って距離の
周期成分を算出し、この周期成分から欠陥データの基本
周期を抽出するようにしたものである。
〔作用〕
上記手法によれば、正常データと欠陥データとからなる
n個の検査データについて、欠陥データだけに着目して
これらの相互間の距離を求めるため、従来のように正常
データに対する乗算処理を行わずに済むようになり、計
算時間を大幅に短縮することができるようになる。
以下、図面を参照して本発明の一実施例について説明す
る。
〔実施例〕
本発明を平版印刷板の製造工程で実施するためのシステ
ム構成の概略を示す第1図において、供給リール2には
版材の素材となるアルミニウムウェブ等のベース材3が
巻かれており、ベース材3は搬送ローラ4により加工機
5に連続して供給される。加工機5は例えばベース材3
の表面を研磨するためのもので、この加工機5内には加
工用のローラ6が設けられている。ベース材3が加工機
5を経由すると、その表面が平滑面に仕上げられたウェ
ブ7となり、搬送ローラ8.9を介して巻き取りリール
10で巻き取られる。
搬送ローラ8,9間には、投光器12と受光器13とか
らなるフライインゲスポット方式の表面検査装置が配設
されている。投光器12は、細径の検査ビームをウェブ
7の幅方向に、走査しながら照射するスキャナで構成さ
れ、その走査信号はレーンデータ発生回路14に入力さ
れる。そして、レーンデータ発生回路14は、スキャナ
の走査信号に対応してウェブ7の幅方向の位置を表すレ
ーンデータ信号をデータ処理ユニット15に出力する。
受光器13はウェブ7の幅方向に延長されており、ウェ
ブ7の表面からの散乱反射光を受光し、正反射光を受光
しない構成となっている。したがって、ウェブ7の表面
が正常であるときには、受光器13からの光電出力は一
定レベル以下となり、ウェブ7の表面に欠陥部があると
きには、その部分からの散乱反射光によって受光器13
からの光電出力は一定レベル以上になる。
この受光器13からの光電出力は、2値化回路16によ
って「1」もしくは「0」に2値化される。すなわち、
ウェブ7に欠陥部が存在せず、受光器13に入射した光
が一定レベル以下であるときには、2値化回路16から
は「欠陥なし」を表す「0」の正常データがデータ処理
ユニット15に送られ、逆にピンホール欠陥の存在によ
って受光器13からの光電出力が一定しベル以上のとき
には、「欠陥あり」を表す欠陥データ「1」がデータ処
理ユニット15に供出される。これらの検査データは、
投光器12の走査信号と同期してデータ処理ユニット1
5に入力されるから、検査データの各々をウェブ7の幅
方向での位置と対応づけることができる。また、搬送ロ
ーラ8にはエンコーダ17が接続されている。そして、
エンコーダ17からは、ウェブ7の送り方向での位置を
表すデータがデータ処理ユニット15へと供給されるこ
とになる。
データ処理ユニット15には、例えばキーボードからな
るデータ設定部18が接続され、欠陥周期の測定を行う
際の初期データの設定が行われる。
この初期データの設定、あるいは欠陥周期の測定結果は
CRT19に表示され、必要に応じてプリンタ20でプ
リントアウトされる。
上記システムによって欠陥周期の測定を行うには、まず
データ設定部18によりウェブ7の検査表面をデータセ
ルに区画するためのデータ入力が行われる。すなわち、
レーンデータ信号発生回路14からのレーンデータ信号
に基づいて、ウェブ7を幅方向にどの程度のピッチで分
割し、またエンコーダ17からのデータから、ウェブ7
の送り方向についてどの程度の単位長Sを設定するかが
決められる。さらに、このデータ設定部18によって、
測定対象とする欠陥周期に応じて、測定対象とするウェ
ブ7の長さしを設定する。なお、この実施例では、予想
される欠陥周期の最大値の6倍程度を測定対象とする長
さしとしている。
これらの初期設定の後、ウェブ7を一定速度で走行させ
ながら、投光器12.受光器13を作動させる。ウェブ
7の表面から光電的に検出される検査データは、2値化
回路16によって正常データと欠陥データとに変換され
、データ処理ユニット15に供給される。これらの2値
化データは、レーンデータ発生回路14からのレーンデ
ータ信号とエンコーダ17からのデータによって、ウェ
ブ7の幅方向と長さ方向で位置決めされ、これらの対応
したアドレス位置に格納される。
第2図は、このようにして得られたm個の2値化データ
をウェブ7に対応させて配列した概念図で、測定対象と
なるウェブ7の長さしを単位長Sで分割したおのおのの
領域に2値化データを当てはめている。なお、第2図は
ウェブ7の幅方向については#1〜#3の3つのレーン
までを図示したものである。
レーン#1について欠陥周期を算出する例について説明
する。図示のように、レーン#1においては、測定対象
長しの中に9個(m= 9 )の欠陥データが含まれて
いる。これらの欠陥データの各々は、単位長Sに基づい
てウェブ7の長さ方向での位置情報と対応づけられてい
る。したがって、レーン#lについて左側から順に欠陥
データにd1+l+  ・・・d、の記号を付すと、図
示したように、全ての欠陥データ相互間の間隔を表す距
離データP4、を求めることができる。なお、距離デー
タ!1.は単位長Sの整数倍となっている。そして、本
発明方法においては、この距離データ!1、をもとにし
た自己相関関数AC(f、、)が求められ、この自己相
関関数AC(ffiij)は、距離データ(2ijO値
が等しい2つの欠陥データの組み合わせの頻度を意味し
ている。
ところで本発明方法においては、上記の自己相関関数A
C(j2iJ)を用いて測定対象長さしについて1回の
測定を行う場合には、欠陥データの個数をmとすると、
自己相関関数AC(j2iJ)の算出に要する計算時間
の最大値はIn・ (m−1)に比例し、欠陥データの
個数と相関をもっている。この欠陥データの個数の最大
値M m a xは、測定対象としている欠陥周期の最
小値X s i nによって決り、以下の関係がある。
X IIt n このようにして算出された自己相関関数AC(ff8、
)は、従来において(1)式で示した自己相関関数(但
し、0≦j≦n−1) と等価なデータとなる。こうして求めた相関関数AC(
f、、)は、判別条件によって周期性の有無が判定され
る。この判別条件は、周期的に存在するm個の欠陥の周
期成分は、基本周期成分及び2倍から(m−1)倍まで
の周期成分からなっていることを利用するもので、 八C(f。)〉0 かつ AC(2・ro)>Oかつ・
・・ ・ ・ 八C(尼 ・ fo)>0(但し、上式
において!は周期性有無判定条件の最大周期成分 2・
ro を示すための倍数1(プリセット値)を意味して
おり、lくmである) の条件式に基づいて基本周期r。を算出するものである
上述のように、本発明においては自己相関関数AC(f
f。、)の計算時間はm・ (m−1)に比例するから
、その最大値はM m a x  ・ (M、、、 −
1)に比例する。そして、M II m XはXl、7
によって決り、X mi、は周期測定の分解能を考慮し
て単位長Sの10倍程度以上にされるから、正常データ
及び欠陥データからなる検査データの総数nを用いて表
すと、 となる。そして本発明の周期成分計算では、最も時間を
要する場合で距離計算(整数の引き算)と頻度計算(整
数の加算)をM am、・ (M、、。
1)回繰返すことになる。
一方、(1)弐で表される自己相関関数AC(j )を
用いた場合の周期計算では、2値化データの乗算と加算
をn・ (n−1)回繰り返す。両者共、−回当りの計
算時間はハードウェアやプログラムの記述により異なる
が、この1回の計算時間を各々同じ時間と仮定すると、
それぞれの周期計算に要する合計時間の比は、 rl      n   10 n・ (n−1)n ・ (n−1) となる。したがって本発明方法では、n個の2値化デー
タの中に含まれる欠陥データの個数mによって計算時間
は異なってくるが、最も時間がかかる場合であっても、
(1)式の自己相関関数を用いる計算手法に対し、1/
100の計算時間で済むようになる。
以上のデータ処理手法によって周期性欠陥の測定が開始
され、周期性欠陥が検出された場合にはプリンタ20が
作動し、周期欠陥が発生していることをプリントアウト
する。第3図は、プリンタ20からの実際の印字出力例
の一部を図示したものである。
通常の平版製造工程に本発明方法を実施する場合には、
例えば測定対象とする欠陥周期が100〜84B2.m
m、単位長Sは15m、mに設定される。ウェブ7の幅
は最大1500mm程度で、幅方向には100mm毎に
分割されるから、15mmX100mmの領域が1個の
データ検出領域となり、ウェブ7が15mm走行される
ごとに15ビツトの2値化データが検査データとしてサ
ンプリングされる。
第3図に示した出力例では8〜15番目のレーンについ
て図示が省略されているが、測定対象長50m毎に15
レーンの全てについて周期性欠陥の測定が並行して行わ
れている。また、周期性をもった欠陥の最大個数として
は500個に設定され、欠陥の個数がこれを越えた場合
には、これらの欠陥には周期性がないものとして、計算
は実行しないようにプログラムされている。
測定はウェブ7が50m走行される毎に行われるが、第
3図の出力例では測定結果は100m毎に集計されて出
力されている。平版印刷工程で発生する周期性欠陥の多
くは、例えば第1図に示した搬送ローラ4,8.9ある
いは加圧ローラ6等のように、ウェブ7を駆動するため
のローラの表面欠陥によって引き起こされるため、第3
図の出力例ではそのローラ径に換算した数値、すなわち
測定された欠陥周期をローラ径で割った値を表示してお
り、5番目のレーン(ウェブ7のエツジから400〜5
00mmの領域)について、先頭から3000〜340
0mの位置にローラ径が274mmのものによる周期性
欠陥があることを示している。
〔発明の効果〕
以上のように本発明では、検査データを2値化してから
、まずその中に含まれている欠陥データの相互間の距離
を算出した後、この距離の頻度を表す自己相関関数を利
用して欠陥の周期性を判別するようにしている。したが
って、2値化データの全てについて乗算及び加算を施し
、この結果得られた自己相関関数を利用して欠陥周期を
算出す4゜ る従来手法と比較すると、その計算処理時間を大幅に短
縮することができるようになり、処理能力が高い大型計
算機や専用のハードウェアを併用しなくても、リアルタ
イムで欠陥周期の測定を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明を実施する際に用いられる測定システム
の概略構成図である。 第2図は検査データ及びこれによって求められる自己相
関関数の内容を示す説明図である。 第3図は測定結果の印字出力例を示す説明図である。 8.9・・搬送ローラ ・・加工機 ・・ウェブ ・・投光器 ・・受光器 ・・CRT ・・プリンタ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)走行する被検査物に存在する欠陥の周期を測定す
    る方法において、 被検査物から得られた検査データを正常データと欠陥デ
    ータとに2値化し、前記欠陥データの各々についてその
    相互間の距離を求めた後、これらの距離について頻度計
    算を行って距離の周期成分を算出し、この周期成分から
    欠陥データの基本周期を抽出することを特徴とする欠陥
    周期の測定方法。
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