JPH0274879A - Ic testing apparatus - Google Patents
Ic testing apparatusInfo
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- JPH0274879A JPH0274879A JP63224762A JP22476288A JPH0274879A JP H0274879 A JPH0274879 A JP H0274879A JP 63224762 A JP63224762 A JP 63224762A JP 22476288 A JP22476288 A JP 22476288A JP H0274879 A JPH0274879 A JP H0274879A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明はIC試験装置に関し、特に、所定の配列で順
次発生させた試験用パターンデータを1又は複数種類の
配列順序に変換し、これらのデータ配列のうち1つの配
列を試験データとして選択的に被試験ICに印加するこ
とができるようにしたことに関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to an IC testing device, and in particular, it converts test pattern data sequentially generated in a predetermined arrangement into one or more types of arrangement order, and converts these test pattern data into one or more types of arrangement order. The present invention relates to enabling one data array to be selectively applied as test data to an IC under test.
[従来の技術]
IC試験装置において、ロジックICやメモリIC等の
内部論理回路に対する試験の一例としては、複数ビット
から成る複数種類の試験用パターンデータを試験データ
として被試験ICの所定の信号入力ビンに印加し、該入
力ビンに対応する信号出力ビンから出力される信号を検
出することによって、該被試験ICの正常性を確認する
符号誤りチエツクがある。被試験ICの出力信号を検出
回路により検出し、その検出データと該被試験ICに印
加した試験データとを比較チエツクすることによって、
該検出データに符号誤りがあるか否かを調へる。この符
号誤りチエツクの結果に基づき、該被試験ICの内部論
理回路の良否を判定する。検出データ中に符号誤りが発
見された場合、その符号誤り個所に対応する被試験IC
の内部論理回路に障害があると判定する。この場合、符
号誤りの正確さを実現するため、−船釣に、試験用パタ
ーンデータを所定の配列順序に変換したインタリーブ形
式の試験データが用いられる。[Prior Art] In an IC testing device, as an example of testing an internal logic circuit such as a logic IC or a memory IC, multiple types of test pattern data consisting of multiple bits are used as test data to input a predetermined signal of the IC under test. There is a code error check that confirms the normality of the IC under test by applying a signal to a bin and detecting a signal output from a signal output bin corresponding to the input bin. By detecting the output signal of the IC under test with a detection circuit and comparing and checking the detected data with the test data applied to the IC under test,
Check whether there is a code error in the detected data. Based on the result of this code error check, the quality of the internal logic circuit of the IC under test is determined. If a code error is found in the detected data, the IC under test corresponding to the code error location
It is determined that there is a fault in the internal logic circuit. In this case, in order to achieve code error accuracy, interleaved test data obtained by converting the test pattern data into a predetermined arrangement order is used.
なお、公知のようにインタリーブとは、例えば、第2図
に示すようなバンクメモリに入力されるデータを各バン
クに所定の配列で記憶することによって実現することも
可能である。このようなインタリーブ方式メモリは、隣
合うアドレスが夫々異なる番地になるようにデータを記
憶することができる複数の記憶領域から成るメモリであ
る。例えば、第3図に示すように入力データD1が制御
部5の制御に基づき、各バンク1〜バンク4に所定の単
位でずれた形式で記憶される。該メモリからデータを読
み出す場合は、バンク1〜バンク4の順序で繰り返しデ
ータを読み出して、データD3のような配列のデータが
得られる。Note that, as is well known, interleaving can also be realized by, for example, storing data input to a bank memory as shown in FIG. 2 in a predetermined arrangement in each bank. Such an interleaved memory is a memory consisting of a plurality of storage areas in which data can be stored such that adjacent addresses are different addresses. For example, as shown in FIG. 3, input data D1 is stored in banks 1 to 4 in a format shifted by a predetermined unit under the control of the control unit 5. When reading data from the memory, data is read out repeatedly in the order of banks 1 to 4 to obtain data arrayed like data D3.
ロジックICやメモリIC等の内部論理回路に対する試
験を行う場合、上述のようなインタリーブデータを被試
験ICの所定の信号入力ピンに印加し、該入力ピンに対
応する出力ピンから被検出信号を取り出して検出する。When testing internal logic circuits such as logic ICs and memory ICs, interleaved data as described above is applied to a predetermined signal input pin of the IC under test, and the detected signal is extracted from the output pin corresponding to the input pin. Detect.
この検出データをインタリーブされる前と同じ元のデー
タ配列に再生(デインタリーブという)した後、例えば
、第3図の入力データD1と比較し該検出データの符号
誤りチエツクを行うのである。After this detected data is reproduced (referred to as deinterleaving) to the same original data arrangement as before interleaving, the detected data is checked for code errors by comparing it with input data D1 in FIG. 3, for example.
[発明が解決しようとする課題]
しかしながら、前述のような従来のIC試験装置では、
1種類のデータ配列しか試験データとして被試験ICに
印加することができなかった。従って、複数種類のデー
タ配列を被試験ICに試験データとして印加したい場合
は、試験作業を一旦中断して別の試験データを設定し直
さなくてはならず1面倒であった。[Problem to be solved by the invention] However, in the conventional IC test device as described above,
Only one type of data array could be applied to the IC under test as test data. Therefore, if it is desired to apply a plurality of types of data arrays to the IC under test as test data, the test operation must be temporarily interrupted and new test data must be set, which is troublesome.
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、複数種類の
データ配列を予め設定しておくことによってデータ配列
順序の異なる複数の試験データを被試験ICに順次印加
できるようにしたIC試験装置を提供しようとするもの
である。The present invention has been made in view of the above-mentioned points, and is an IC testing device that is capable of sequentially applying a plurality of test data having different data arrangement orders to an IC under test by setting a plurality of types of data arrangement in advance. This is what we are trying to provide.
[課題を解決するための手段]
この発明に係るIC試験装置は、複数ビットから成る複
数種類の試験用パターンデータを所定の配列で順次発生
するパターンデータ発生手段と、前記パターンデータ発
生手段から与えられるパターンデータの配列順序を変換
し、1又は複数種類の異なる配列のパターンデータを夫
々提供する配列変換手段と、前記配列変換手段により提
供された前記パターンデータの1又は複数種類の配列と
前記パターンデータ発生手段から与えられた通りの前記
パターンデータの配列のうち1つの配列を被試験ICに
印加すべき試験データとして選択する選択手段とを具え
たものである。これらの各機能構成を第1図の機能ブロ
ックに対応させると、パターンデータ発生手段がパター
ン発生部11に対応し、配列変換手段がバンクメモリ1
2に対応し、選択手段がセレクタ13〜17に夫々対応
する。[Means for Solving the Problems] An IC testing device according to the present invention includes: a pattern data generating means for sequentially generating a plurality of types of test pattern data consisting of a plurality of bits in a predetermined arrangement; array converting means for converting the arrangement order of pattern data provided by the array converting means and providing one or more types of pattern data in different arrays, and one or more types of arrays of the pattern data provided by the array converting means and the pattern; and selecting means for selecting one of the pattern data arrays as provided by the data generating means as test data to be applied to the IC under test. When these functional configurations correspond to the functional blocks in FIG. 1, the pattern data generation means corresponds to the pattern generation section 11, and the array conversion means corresponds to the bank memory 1.
2, and selection means correspond to selectors 13 to 17, respectively.
[作用コ
パターンデータ発生手段では、複数ビットから成る複数
種類の試験用パターンデータを所定の配列で順次発生す
る。配列変換手段では、パターンデータ発生手段から与
えられるパターンデータの配列を、1種類又は複数種類
の配列に変換する。[The action co-pattern data generating means sequentially generates a plurality of types of test pattern data each consisting of a plurality of bits in a predetermined arrangement. The array conversion means converts the array of pattern data given from the pattern data generation means into one or more types of arrays.
選択手段では、配列変換手段により提供されたパターン
データの1又は複数種類の配列とパターンデータ発生手
段から与えられた通りのパターンデータの配列のうち1
つの配列を被試験ICに印加すべき試験データとして選
択する。The selection means selects one of one or more types of array of pattern data provided by the array conversion means and one of the array of pattern data as given from the pattern data generation means.
one array is selected as test data to be applied to the IC under test.
例えば、配列変換手段が4つの記憶領域から成る2種類
のデータ配列を記憶することができるバンクメモリであ
るとすると、パターンデータ発生手段から与えられるパ
ターンデータは所定の配列順序で各バンク1〜バンク4
に記憶される。該バンクメモリにおけるデータ配列の一
例を示すと第5図のようである。次に、選択手段によっ
て被試験ICに印加すべき試験データとして゛データD
4をバンク1及びバンク2から読み出し、または。For example, if the array conversion means is a bank memory that can store two types of data arrays consisting of four storage areas, the pattern data given from the pattern data generation means will be arranged in a predetermined order for each bank 1 to bank 1. 4
is memorized. An example of the data arrangement in the bank memory is shown in FIG. Next, as the test data to be applied to the IC under test by the selection means, "data D" is selected.
4 from bank 1 and bank 2, or.
データD5をバンク3及びバンク4から夫々読み出して
出力する。Data D5 is read from bank 3 and bank 4 and output.
このように、被試験ICに対する複数種類のデータ配列
を予め設定しておくことによって、試験の途中であって
も作業を中断することなく複数種類の試験データが使用
できる。従って、被試験ICに対し複数種類のデータ配
列の試験データを印加し符号誤りチエツク等を行う場合
であっても。By setting multiple types of data arrays for the IC under test in advance in this way, multiple types of test data can be used without interrupting the work even during the test. Therefore, even when applying test data of a plurality of types of data arrays to the IC under test and performing a code error check, etc.
試験作業を中断することなく複数種類のデータ配列順序
の試験データを使用することができるようになり、IC
試験作業の効率向上が期待できる。It is now possible to use test data in multiple types of data arrangement orders without interrupting test work, and the IC
It can be expected to improve the efficiency of testing work.
[実施例]
以下、添付図面を参照して本発明に係るIC試験装置の
実施例を詳細に説明する。[Example] Hereinafter, an example of an IC testing device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
第1図は本発明に係るIC試験装置の一実施例を示すブ
ロック図であり、本発明に直接関係する部分のみを示す
。テスタ10は制御部21.パターンデータ発生回路1
1.バンクメモリ12及び検出回路19などから成るも
のであり、装置全体の運営・管理などを行うのである。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of an IC testing device according to the present invention, and shows only the parts directly related to the present invention. The tester 10 includes a control section 21. Pattern data generation circuit 1
1. It consists of a bank memory 12, a detection circuit 19, etc., and operates and manages the entire device.
制御部21は、各部に対し制御信号ラインSSを介し制
御信号を送出し種々の制御を行うと共に装置全体の制御
や各種データ処理などを行うものである。The control section 21 performs various controls by sending control signals to each section via the control signal line SS, and also controls the entire device and processes various data.
パターンデータ発生回路11は、制御部21からの制御
に基づき試験用パターンデータを所定の配列で順次発生
するものである。ここで発生したパターンデータは、バ
ンクメモリ12とセレクタ16.17に与えられる。The pattern data generation circuit 11 sequentially generates test pattern data in a predetermined arrangement based on control from the control section 21. The pattern data generated here is given to the bank memory 12 and selectors 16 and 17.
バンクメモリ12は複数nの記憶領域から成るものであ
り、ここでは4つの記憶領域から成っている。該バンク
メモリ12は制御部21からの制御に基づき、入力され
る試験用パターンデータを任意の1又は複数種類のデー
タ配列で記憶するものである。例えば、第2図に示した
4ウェイインタリーブ若しくは第4図に示した複数種類
の2ウ工イインタリーブ形式のデータを記憶することが
可能である。第4図のように2組の2ウ工イインタリー
ブ方式バンクメモリとして機能させた場合。The bank memory 12 is made up of a plurality of n storage areas, and here it is made up of four storage areas. The bank memory 12 stores input test pattern data in one or more arbitrary data arrays under the control of the control section 21. For example, it is possible to store data in the 4-way interleave format shown in FIG. 2 or in the multiple types of 2-way interleave format shown in FIG. When the memory is operated as two sets of 2-way interleaved bank memories as shown in FIG.
該バンクメモリ12に記憶されるデータ配列の一例を示
すと、第5図のようである。バンク1,2に記憶された
データとバンク3,4に記憶されたデータは、互いに異
なったデータ配列D4.D5として夫々読み出される。An example of the data arrangement stored in the bank memory 12 is shown in FIG. The data stored in banks 1 and 2 and the data stored in banks 3 and 4 are arranged in different data arrays D4. Each is read out as D5.
なお、該バンクメモリ12としては、例えば、随時読書
き可能なRA Mを用いるとよい。Note that as the bank memory 12, for example, a RAM that can be read and written at any time may be used.
セレクタ13は、制御部21からの制御に基づき、バン
クメモリ12から読み出されるデータ配列を選択するも
のであり、ここで選択されたデータはセレクタ16.1
7に与えられる。セレクタ14.15はn / 2ウエ
イインタリーブデータを選択するものであり、各セレク
タ14.15の夫々の出力データは、セレクタ16.1
7に与えられる。従って、インタリーブデータの種類n
/ 2ウエイ数に応じたセレクタ1〜セレクタn /
2が設けられる。例えば、第4図では4/2組のセレ
クタ14.15が設けられている。−バンクメモリ12
における各バンク1〜バンク4に記憶されているデータ
配列の一例を示すと第5図のようである。このように、
複数のデータ配列は、例えば、セレクタ14によってデ
ータD4が選択されてセレクタ16.17に与えられ、
セレクタ15によってデータD5が選択されセレクタ1
6.17に与えられる。The selector 13 selects the data array to be read from the bank memory 12 based on the control from the control unit 21, and the selected data is sent to the selector 16.1.
7 is given. The selector 14.15 selects n/2-way interleaved data, and the output data of each selector 14.15 is sent to the selector 16.1.
7 is given. Therefore, the type of interleaved data n
/ Selector 1 to selector n according to the number of 2 ways /
2 is provided. For example, in FIG. 4, 4/2 sets of selectors 14 and 15 are provided. -Bank memory 12
An example of the data arrangement stored in banks 1 to 4 is shown in FIG. in this way,
For example, data D4 is selected by the selector 14 and given to the selectors 16 and 17,
Data D5 is selected by selector 15 and selector 1
Given on 6.17.
セレクタ16は制御部21からの制御に基づき、パター
ンデータD1とデータD3.データD4及びデータD5
の中から、被試験IC20に印加すべきデータを選択し
試験データD6として出力する。The selector 16 selects pattern data D1, data D3 . Data D4 and Data D5
The data to be applied to the IC 20 under test is selected from among the data and output as test data D6.
被試験IC20の信号出力ピンから出力される信号は、
バスSBを介し被検出信号として検出回路19に与えら
れる。検出回路19は、所定の検出用基準電圧と入力さ
れる被検出信号とを比較検出し、該検出データを制御部
21に与える。制御部21では、該検出データがパター
ンデータ発生回路11から出力されたパターンデータと
同じ形式のデータにデインタリーブされた後、該IC2
0に印加されたパターンデータと比較され符号誤りチエ
ツクが行われる。The signal output from the signal output pin of the IC under test 20 is
The signal is applied to the detection circuit 19 as a signal to be detected via the bus SB. The detection circuit 19 compares and detects a predetermined reference voltage for detection with an input detected signal, and provides the detected data to the control unit 21 . In the control unit 21, the detected data is deinterleaved into data in the same format as the pattern data output from the pattern data generation circuit 11, and then the IC 2
It is compared with the pattern data applied to 0 and a code error check is performed.
セレクタ17は、制御部21からの制御に基づき、パタ
ーンデータ発生回路11から入力されるパターンデータ
D1とデータD3、データD4及びデータD5の中から
、フェイルメモリ18に格納すべきデータを選択する。The selector 17 selects data to be stored in the fail memory 18 from among the pattern data D1, data D3, data D4, and data D5 inputted from the pattern data generation circuit 11, based on control from the control unit 21.
ここで選択されるデータは、試験内容に応じて被試験I
C20に印加すべき試験データD6と同一でなくてもよ
い。The data selected here depends on the test content.
It does not have to be the same as the test data D6 to be applied to C20.
フェイルメモリ18は、制御部21からの制御に基づき
、被試験IC20に印加した試験データを記憶すると共
に、符号誤りチエツクでエラーが発生した場合はエラー
個所に対応する該フェイルメモリ18のアドレスにエラ
ーコードが書き込まれる。フェイルメモリ18として、
例えば、随時読書き可能なRAMを用いるとよい。The fail memory 18 stores the test data applied to the IC under test 20 under the control of the control unit 21, and when an error occurs in the code error check, the error is stored in the address of the fail memory 18 corresponding to the error location. code is written. As fail memory 18,
For example, it is preferable to use a RAM that can be read and written at any time.
次に、上述した構成における各部の具体的な作用を述べ
る。例えば、バンクメモリ12は、4ウ工イインタリー
ブ方式で動作するものとする。パターンデータ発生回路
11から第3図に示したパターンデータD1がバンクメ
モリ12とセレクタ16.17に与えられる。該パター
ンデータD王を試験データD6として被試験IC:20
に印加する場合、セレクタ16によって該パターンデー
タD1が選択され、該IC20に対して出力される。Next, specific operations of each part in the above-described configuration will be described. For example, it is assumed that the bank memory 12 operates in a four-way interleave manner. Pattern data D1 shown in FIG. 3 is applied from the pattern data generation circuit 11 to the bank memory 12 and selectors 16 and 17. IC to be tested: 20 using the pattern data D King as test data D6
, the pattern data D1 is selected by the selector 16 and output to the IC 20.
また、該パターンデータD1をフェイルメモリ18に格
納する場合、セレクタ17によって該パターンデータD
1が選択され、フェイルメモリ18に対して出力される
。Further, when storing the pattern data D1 in the fail memory 18, the selector 17 selects the pattern data D1.
1 is selected and output to the fail memory 18.
一方、1種類のデータ配列を試験データD6として被試
験IC20に印加する場合、パターンデータ発生回路1
1から出力されるパターンデータD1は第2図のように
バンクメモリ12の各バンク1〜4に夫々記憶される。On the other hand, when applying one type of data array to the IC under test 20 as test data D6, the pattern data generation circuit 1
The pattern data D1 outputted from the bank memory 12 is stored in each bank 1 to 4 of the bank memory 12, as shown in FIG.
バンクメモリ12に記憶された夫々のデータは、第3図
のようにデータD3として読み出され、セレクタ13を
介しセレクタ16.17に夫々与えられる。データD3
は、セレクタ16によって選択され、試験データD6と
して被試験IC20に対して出力される。Each piece of data stored in the bank memory 12 is read out as data D3 as shown in FIG. Data D3
is selected by the selector 16 and output to the IC under test 20 as test data D6.
また、セレクタ17によって選択されたデータD3は、
フェイルメモリ18に出力される。Furthermore, the data D3 selected by the selector 17 is
It is output to the fail memory 18.
他方、バンクメモリ12が第4図に示すような2種類の
データ配列を記憶するように設定された場合、パターン
データ発生回路11から出力されるパターンデータD1
はバンクメモリ12の各バンク1〜4に第5図のように
記憶される。試験データD6としてデータD4を被試験
IC20に印加する場合、バンク1.2から読み出され
たデータD4はセレクタ14を介してセレクタ16.1
7に与えられる。セレクタ16では該データD4を選択
して試験データD6として被試験IC20に対して出力
する。また、セレクタ17では、データD4をフェイル
データとしてフェイルメモリ18に格納する場合、該デ
ータD4を選択しフェイルメモリ18に出力する。On the other hand, when the bank memory 12 is set to store two types of data arrays as shown in FIG.
are stored in each bank 1 to 4 of the bank memory 12 as shown in FIG. When applying data D4 as test data D6 to the IC under test 20, data D4 read from bank 1.2 is sent to selector 16.1 via selector 14.
7 is given. The selector 16 selects the data D4 and outputs it to the IC under test 20 as test data D6. Further, when data D4 is to be stored in the fail memory 18 as fail data, the selector 17 selects the data D4 and outputs it to the fail memory 18.
更に、試験データD6としてデータD5を被試験IC2
0に印加する場合、バンク3.4から読み出されたデー
タD5はセレクタ14を介してセレクタ1G、17に与
えられる。セレクタ16では該データD5を選択して試
験データD6として被試験IC20に対して出力する。Furthermore, data D5 is set as test data D6 to the IC2 under test.
When applying 0, data D5 read from bank 3.4 is given to selectors 1G and 17 via selector 14. The selector 16 selects the data D5 and outputs it to the IC under test 20 as test data D6.
また、セレクタ17では、データD5をフェイルデータ
としてフェイルメモリ18に格納する場合、該データD
5を選択しフェイルメモリ18に出力する。In addition, in the selector 17, when storing the data D5 in the fail memory 18 as fail data, the data D5 is stored as fail data in the fail memory 18.
5 is selected and output to the fail memory 18.
このようにして被試験IC20の信号入力ピンに印加さ
れた試験データD6は、該IC20の信号出力ピンから
被検出データとして取り出され検出回路19に与えられ
る。検出回路19で検出されたデータは制御部21に与
えられ、前述したような符号誤りチエツクが行なわれる
。もし、エラーを発見された場合には、そのエラーに対
応するフェイルメモリ18のアドレスにエラーコードを
書き込む。そして、制御部21では、フェイルメモリ1
8に記憶されているフェイルデータを読み出して種々の
データ処理を実行する。The test data D6 thus applied to the signal input pin of the IC 20 under test is taken out from the signal output pin of the IC 20 as data to be detected and provided to the detection circuit 19. The data detected by the detection circuit 19 is given to the control section 21, where a code error check as described above is performed. If an error is found, an error code is written to the address of the fail memory 18 corresponding to the error. Then, in the control unit 21, the fail memory 1
The fail data stored in 8 is read out and various data processing is executed.
なお、この実施例では4つの記憶領域から成るバンクメ
モリを一例として説明しているが、この実施例に限定さ
れるものではなく、他の適宜のバンク数から成るメモリ
であってもよい。また、バンクメモリ12におけるバン
ク機能は、物理的なバンク機能に限らず論理的なバンク
機能を有するメモリであってもよい。また、この実施例
ではパターンデータ配列順序の変換手段としてメモリを
用いているが、所望のデータ配列順序の変換が可能な機
能構成を有するものであるならメモリに限らず他の適宜
の回路装置であってもよい。In this embodiment, a bank memory composed of four storage areas is described as an example, but the present invention is not limited to this embodiment, and a memory composed of any other suitable number of banks may be used. Further, the bank function in the bank memory 12 is not limited to a physical bank function, but may be a memory having a logical bank function. Furthermore, although a memory is used as a means for converting the pattern data arrangement order in this embodiment, any other suitable circuit device other than the memory may be used as long as it has a functional configuration capable of converting the desired data arrangement order. There may be.
[発明の効果]
以上の通り本発明に係わるIC試験装置よれば、複数種
類のデータ配列順序を変換することが可能になると共に
、所望のデータ配列の試験データを被試験ICに選択的
に順次印加することができるようになるため、IC試験
中に複数種類の試験データが必要である場合であっても
該試験作業を一旦中断して別の試験データを設定し直す
必要がなく、所望の試験データを被試験ICに順次印加
することができる。従って、IC試験作業の効率向上が
実現できる、という優れた効果を奏する。[Effects of the Invention] As described above, according to the IC testing device according to the present invention, it is possible to convert multiple types of data arrangement orders, and selectively sequentially transfer test data of a desired data arrangement to an IC under test. Even if multiple types of test data are required during an IC test, there is no need to temporarily interrupt the test work and set new test data again. Test data can be sequentially applied to the IC under test. Therefore, an excellent effect is achieved in that efficiency of IC testing work can be improved.
第1図は本発明に係わるIC試験装置の一実施例を示す
ブロック図、第2図は4記憶領域から成る1種類のデー
タ配列変換機能を有するメモリにおけるデータ配列の一
例を示す図、第3図は第2図におけるデータ配列の一例
を説明する図、第4図は4記憶領域から成る2種類のデ
ータ配列変換機能を有するメモリにおけるデータ配列の
一例を示す図、第5図は第4図におけるデータ配列の一
例を説明する図、である。
10・・・テスタ、11・・・パターンデータ発生部、
12・・・バンクメモリ、13〜17・・・セレクタ、
18・・・フェイルデータメモリ、19・・・検出回路
、20・・・被試験IC,21・・・制御部。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of an IC testing device according to the present invention, FIG. 2 is a diagram showing an example of a data arrangement in a memory having one type of data arrangement conversion function consisting of four storage areas, and FIG. The figure is a diagram illustrating an example of the data array in Figure 2, Figure 4 is a diagram illustrating an example of the data array in a memory having two types of data array conversion functions consisting of four storage areas, and Figure 5 is a diagram illustrating an example of the data array in a memory having two types of data array conversion functions consisting of four storage areas. FIG. 2 is a diagram illustrating an example of a data array in FIG. 10...Tester, 11...Pattern data generation section,
12...Bank memory, 13-17...Selector,
18... Fail data memory, 19... Detection circuit, 20... IC under test, 21... Control unit.
Claims (1)
所定の配列で順次発生するパターンデータ発生手段と、 前記パターンデータ発生手段から与えられるパターンデ
ータの配列順序を変換し、1又は複数種類の異なる配列
のパターンデータを夫々提供する配列変換手段と、 前記配列変換手段により提供された前記パターンデータ
の1又は複数種類の配列と前記パターンデータ発生手段
から与えられた通りの前記パターンデータの配列のうち
1つの配列を被試験ICに印加すべき試験データとして
選択する選択手段とを具えたIC試験装置。[Scope of Claims] Pattern data generation means for sequentially generating a plurality of types of test pattern data consisting of a plurality of bits in a predetermined arrangement; converting the arrangement order of the pattern data given from the pattern data generation means; Array conversion means for providing a plurality of types of pattern data in different arrangements, respectively; one or more types of arrangement of the pattern data provided by the arrangement conversion means and the pattern data as given from the pattern data generation means; 1. An IC testing device comprising: selection means for selecting one of the arrays as test data to be applied to an IC under test.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63224762A JPH0274879A (en) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | Ic testing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63224762A JPH0274879A (en) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | Ic testing apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0274879A true JPH0274879A (en) | 1990-03-14 |
Family
ID=16818837
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63224762A Pending JPH0274879A (en) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | Ic testing apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0274879A (en) |
-
1988
- 1988-09-09 JP JP63224762A patent/JPH0274879A/en active Pending
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