JPH0275211A - 圧電共振装置 - Google Patents
圧電共振装置Info
- Publication number
- JPH0275211A JPH0275211A JP22728688A JP22728688A JPH0275211A JP H0275211 A JPH0275211 A JP H0275211A JP 22728688 A JP22728688 A JP 22728688A JP 22728688 A JP22728688 A JP 22728688A JP H0275211 A JPH0275211 A JP H0275211A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- load member
- frequency adjustment
- electrodes
- vibrating
- vibrating electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 18
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 abstract description 2
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 abstract description 2
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、例えばディスクリミネータとして使用される
エネルギ閉込め型の圧電共振装置に関し、特に周波数調
整用負荷部材が圧電基板上に塗布された構造を備えるも
のに関する。
エネルギ閉込め型の圧電共振装置に関し、特に周波数調
整用負荷部材が圧電基板上に塗布された構造を備えるも
のに関する。
[従来の技術]
第3図及び第4図は、従来の圧電共振装置を説明するた
めの平面図及び部分拡大断面図である。
めの平面図及び部分拡大断面図である。
分極処理された圧電基板1の一方主面中央領域に振動電
極2が、他方主面上には、振動電極2と圧電基板1を介
して表裏対向するように振動電極3が形成されている。
極2が、他方主面上には、振動電極2と圧電基板1を介
して表裏対向するように振動電極3が形成されている。
なお、振動電極2と振動電極3は同径に形成されるが、
第3図では、裏面側の振動電極3を図示するために便宜
上振動電極2より大径に表しであることを指摘しておく
。
第3図では、裏面側の振動電極3を図示するために便宜
上振動電極2より大径に表しであることを指摘しておく
。
振動電極2.3には、それぞれ、外部との電気的な接続
を果たすために、引出し電極4,5が接続されている。
を果たすために、引出し電極4,5が接続されている。
この引出し電極4.5から電圧を印加することにより振
動電極2,3で挟まれた圧電基板部分が振動し、該振動
のエネルギが振動電極2.3で挟まれた基板部分に閉込
められるように構成されている。
動電極2,3で挟まれた圧電基板部分が振動し、該振動
のエネルギが振動電極2.3で挟まれた基板部分に閉込
められるように構成されている。
この種の圧電共振装置の共振周波数を調整するためには
、第3図にハツチングを付して示した領域Aに、第4図
に示すように周波数調整用樹脂材6を塗布した構造が採
用されている。すなわち、振動領域上に樹脂材6を塗布
することにより、振動をダンピングし、それによって共
振周波数を調整するものである。
、第3図にハツチングを付して示した領域Aに、第4図
に示すように周波数調整用樹脂材6を塗布した構造が採
用されている。すなわち、振動領域上に樹脂材6を塗布
することにより、振動をダンピングし、それによって共
振周波数を調整するものである。
〔発明が解決しようとする技術的課題〕しかしながら、
上記のような周波数調整用樹脂材6を塗布した場合、第
5図に破線で囲んだ部分x、Yに示すように、アドミタ
ンス特性及び位相特性に不連続性が生じるという問題が
あった。この特性の不連続性は、以下のような原因で生
しているものと考えられる。
上記のような周波数調整用樹脂材6を塗布した場合、第
5図に破線で囲んだ部分x、Yに示すように、アドミタ
ンス特性及び位相特性に不連続性が生じるという問題が
あった。この特性の不連続性は、以下のような原因で生
しているものと考えられる。
すなわち、振動電極2,3から電圧を印加して励振させ
た場合、第4図に矢印Bで示すように励振されたバルク
波が厚め方向に伝搬し、電極2あるいは3において反射
されて定在波が形成される。
た場合、第4図に矢印Bで示すように励振されたバルク
波が厚め方向に伝搬し、電極2あるいは3において反射
されて定在波が形成される。
しかしながら、このバルク波の進行方向には、圧電基板
】と比べて密度が極端に異なる樹脂材6が存在する。従
って、このバルク波は、樹脂材6中にも伝搬し、矢印C
で示すように樹脂材6の外表面において反射し、該反射
波が圧電基板1内に再度伝搬する。よって、振動領域で
は、定在波に、樹脂材6側から反射してきた反射波が加
わることになる。この結果、上記のような共振装置のア
[・ミタンス特性及び位相特性のある特定の周波数位置
において不連続性が生じるものと考えられる。
】と比べて密度が極端に異なる樹脂材6が存在する。従
って、このバルク波は、樹脂材6中にも伝搬し、矢印C
で示すように樹脂材6の外表面において反射し、該反射
波が圧電基板1内に再度伝搬する。よって、振動領域で
は、定在波に、樹脂材6側から反射してきた反射波が加
わることになる。この結果、上記のような共振装置のア
[・ミタンス特性及び位相特性のある特定の周波数位置
において不連続性が生じるものと考えられる。
従って、従来の圧電共振装置では、ある特定の周波数位
置においてアドミタンス特性や位相特性に不連続性が生
しるため、例えばディスクリミネータとして使用した場
合、復調特性に不連続性が生しるという問題が生じてい
た。
置においてアドミタンス特性や位相特性に不連続性が生
しるため、例えばディスクリミネータとして使用した場
合、復調特性に不連続性が生しるという問題が生じてい
た。
よって、本発明の目的は、周波数調整用負荷部材を塗布
したことによるアドミタンス特性や位相特性の不連続性
を解消し得る構造を備えたエネルギ閉込め型の圧電共振
装置を提供することにある。
したことによるアドミタンス特性や位相特性の不連続性
を解消し得る構造を備えたエネルギ閉込め型の圧電共振
装置を提供することにある。
〔技術的課題を解決するための手段]
本発明は、厚み縦振動モードを利用したエネルギ閉込め
型の圧電共振装置であって、圧電基板と、該圧電基板の
両主面上に圧電基板を介して表裏対向するように形成さ
れた振動電極と、少なくとも1の振動電極の周囲を取囲
むようにかつ該振動電極の端縁に至らないように塗布さ
れた周波数調整j− 用負荷部材とを備えることを特徴とするものである。
型の圧電共振装置であって、圧電基板と、該圧電基板の
両主面上に圧電基板を介して表裏対向するように形成さ
れた振動電極と、少なくとも1の振動電極の周囲を取囲
むようにかつ該振動電極の端縁に至らないように塗布さ
れた周波数調整j− 用負荷部材とを備えることを特徴とするものである。
振動をダンピングして周波数調整を行う周波数調整用負
荷部材は、振動電極の周囲を取囲むように、かつ振動電
極の端縁に至らないように塗布されている。従って、振
動電極の直上に負荷部材が存在しないので、振動電極間
において励振されたバルク波が負荷部材中に伝搬しない
。よって、振動電極間の基板部分には、負荷部材側から
のバルク波の反射波が加わらないため、設計通りの共振
特性を実現することができる。
荷部材は、振動電極の周囲を取囲むように、かつ振動電
極の端縁に至らないように塗布されている。従って、振
動電極の直上に負荷部材が存在しないので、振動電極間
において励振されたバルク波が負荷部材中に伝搬しない
。よって、振動電極間の基板部分には、負荷部材側から
のバルク波の反射波が加わらないため、設計通りの共振
特性を実現することができる。
第1図及び第2回は、本発明の一実施例を説明するだめ
の平面図及び部分切欠断面図である。
の平面図及び部分切欠断面図である。
第1図を参照して、圧電基板11の一方主面中央領域に
振動電極12が、他方主面の中央領域に振動電極12と
圧電基板11を介して表裏対向するように振動電極13
が形成されている。振動電極12,1.3は第2図に示
すように同径に形成されているが、第3図の場合と同様
に、第1図においても他方主面側の振動電極13を図示
するために、便宜上振動電極13を大径に図示しである
ことを指摘しておく。
振動電極12が、他方主面の中央領域に振動電極12と
圧電基板11を介して表裏対向するように振動電極13
が形成されている。振動電極12,1.3は第2図に示
すように同径に形成されているが、第3図の場合と同様
に、第1図においても他方主面側の振動電極13を図示
するために、便宜上振動電極13を大径に図示しである
ことを指摘しておく。
各振動電極12.13には、それぞれ、外部との電気的
な接続を果たすために引出し電極14゜15が接続され
ており、引出し電極14.15は圧電基板11の外周端
縁に至るように引出されている。
な接続を果たすために引出し電極14゜15が接続され
ており、引出し電極14.15は圧電基板11の外周端
縁に至るように引出されている。
本実施例の特徴は、第1図にハツチングを付して示した
リング状領域りに、第2図に示すように、合成樹脂やゴ
ム等からなる周波数調整用負荷部材16が塗布されてい
ることにある。すなわち、周波数調整用負荷部材16は
、振動電極12を取囲むように、かつ振動電極12の外
周端縁に至らないように、振動電極12の外周端縁とあ
る距離を隔てて形成されている。
リング状領域りに、第2図に示すように、合成樹脂やゴ
ム等からなる周波数調整用負荷部材16が塗布されてい
ることにある。すなわち、周波数調整用負荷部材16は
、振動電極12を取囲むように、かつ振動電極12の外
周端縁に至らないように、振動電極12の外周端縁とあ
る距離を隔てて形成されている。
本実施例では、振動電極12,1.3は円形に、負荷部
材16は円環状に形成されているため、第2図中に示し
た寸法a、b、c間には、b≧a及びc−b>0の関係
がある。もっとも、振動電極12.13及び負荷部材1
6の平面形状については図示のものに限らない。すなわ
ち、振動電極12.13を矩形状のものとしてもよく、
また負荷部材16についても角環状等の任意の形状にす
ることができる。さらに、負荷部材16は、振動電極を
取囲むような形状でありさえすればよく、必ずしも閉環
とする必要もなく、部分的に開いた形状であってもよい
。
材16は円環状に形成されているため、第2図中に示し
た寸法a、b、c間には、b≧a及びc−b>0の関係
がある。もっとも、振動電極12.13及び負荷部材1
6の平面形状については図示のものに限らない。すなわ
ち、振動電極12.13を矩形状のものとしてもよく、
また負荷部材16についても角環状等の任意の形状にす
ることができる。さらに、負荷部材16は、振動電極を
取囲むような形状でありさえすればよく、必ずしも閉環
とする必要もなく、部分的に開いた形状であってもよい
。
本実施例では、負荷部材16が振動電極12に至らない
ように形成されているので、振動電極12.13間で励
振されたバルク波が負荷部材16中にはほとんど伝搬し
ない。よって、負荷部材16側からの反射波が振動領域
に加わることがないため、アドミタンス特性や位相特性
に不連続性が生じない。
ように形成されているので、振動電極12.13間で励
振されたバルク波が負荷部材16中にはほとんど伝搬し
ない。よって、負荷部材16側からの反射波が振動領域
に加わることがないため、アドミタンス特性や位相特性
に不連続性が生じない。
なお、上記実施例における周波数調整量については、第
6図に示すように、負荷部材16の塗布厚みを変化させ
ることにより、従来例と同様に共振周波数を低下させる
方向に調整することが可能である。 なお、第6図にお
ける周波数低下量比は、次式で表される数値である。
6図に示すように、負荷部材16の塗布厚みを変化させ
ることにより、従来例と同様に共振周波数を低下させる
方向に調整することが可能である。 なお、第6図にお
ける周波数低下量比は、次式で表される数値である。
周波数低下量比−(周波数低下量/調整前の共振周波数
)X100 (%) 第6図の曲線P、Q及びRは負荷部材の形状を変化させ
た場合の実施例の特性を示す。これらの曲線P−Hの特
性で示されているように、本実施例においても周波数調
整用負荷部材16の厚みを変えることにより共振周波数
を調整し得ることが解る。
)X100 (%) 第6図の曲線P、Q及びRは負荷部材の形状を変化させ
た場合の実施例の特性を示す。これらの曲線P−Hの特
性で示されているように、本実施例においても周波数調
整用負荷部材16の厚みを変えることにより共振周波数
を調整し得ることが解る。
のみならず、曲線P、Q、Rで示された特性では、P−
>Q→Rとなるに従って、負荷部材16の内径b(第2
図参照)が小さくなるように、あるいは外径Cが大きく
なるように変化させた場合の各特性を示すものであるが
、これらの特性例からも明らかなように、本実施例では
負荷部材16の塗布形状を変えることにより、従来例に
比べてより細かな周波数調整を行い得ることがわかる。
>Q→Rとなるに従って、負荷部材16の内径b(第2
図参照)が小さくなるように、あるいは外径Cが大きく
なるように変化させた場合の各特性を示すものであるが
、これらの特性例からも明らかなように、本実施例では
負荷部材16の塗布形状を変えることにより、従来例に
比べてより細かな周波数調整を行い得ることがわかる。
上述した実施例では、一方主面に形成された振動電極1
2側にのみ周波数調整用負荷部材16を塗布したが、他
方主面側に形成された振動電極13側にも同様に負荷部
材を塗布してもよい。
2側にのみ周波数調整用負荷部材16を塗布したが、他
方主面側に形成された振動電極13側にも同様に負荷部
材を塗布してもよい。
さらに、図示の実施例では両生面に1の振動電極が形成
されたものを示したが、一方主面側に分割された複数の
電極が形成されており、該電極が他方主面に形成された
共通電極と表裏対向するように形成されたエネルギ閉込
め型の3端子型の共振装置にも、本発明を適用すること
ができる。
されたものを示したが、一方主面側に分割された複数の
電極が形成されており、該電極が他方主面に形成された
共通電極と表裏対向するように形成されたエネルギ閉込
め型の3端子型の共振装置にも、本発明を適用すること
ができる。
また、圧電基板11としては、圧電セラミックよりなる
ものの他、他の圧電材料より構成されたものを用いるこ
とが可能である。
ものの他、他の圧電材料より構成されたものを用いるこ
とが可能である。
〔発明の効果]
本発明では、周波数調整用負荷部材が振動電極の周囲を
取囲むように、かつ振動電極の端縁に至らないように形
成されているので、共振装置のアドミタンス特性や位相
特性に不連続性を与えることなく、共振周波数を調整す
ることが可能となる。
取囲むように、かつ振動電極の端縁に至らないように形
成されているので、共振装置のアドミタンス特性や位相
特性に不連続性を与えることなく、共振周波数を調整す
ることが可能となる。
従って、例えばディスクリミネークとして用いた場合、
設計通りの復調特性を実現することが可能となる。
設計通りの復調特性を実現することが可能となる。
第1図は本発明の一実施例の平面図、第2図は第1図実
施例の部分切欠拡大断面図、第3図は従来例の平面図、
第4図は従来例の部分切欠拡大断面図、第5図は従来例
の問題点を説明するための図でありアドミタンス特性及
び位相特性を示す図、第6図は従来例及び実施例の共振
周波数低下量比−周波数調整用負荷部材の厚みの関係を
示す図である。 図において、11は圧電基板、12.13は振動電極、
16は周波数調整用負荷部材を示す。 ヒー−+ a 第3図
施例の部分切欠拡大断面図、第3図は従来例の平面図、
第4図は従来例の部分切欠拡大断面図、第5図は従来例
の問題点を説明するための図でありアドミタンス特性及
び位相特性を示す図、第6図は従来例及び実施例の共振
周波数低下量比−周波数調整用負荷部材の厚みの関係を
示す図である。 図において、11は圧電基板、12.13は振動電極、
16は周波数調整用負荷部材を示す。 ヒー−+ a 第3図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 厚み縦振動を利用したエネルギ閉込め型の圧電共振装
置であって、 圧電基板と、 前記圧電基板の両主面上に圧電基板を介して表裏対向す
るように形成された複数の振動電極と、少なくとも1の
前記振動電極の周囲を取囲むように、かつ前記振動電極
の端縁に至らないように塗布された周波数調整用負荷部
材とを備えることを特徴とする圧電共振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22728688A JPH0275211A (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | 圧電共振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22728688A JPH0275211A (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | 圧電共振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0275211A true JPH0275211A (ja) | 1990-03-14 |
Family
ID=16858433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22728688A Pending JPH0275211A (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | 圧電共振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0275211A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7012353B2 (en) * | 2002-07-22 | 2006-03-14 | Toyo Communication Equipment Co., Ltd. | Piezoelectric resonator and the method for making the same |
| JP2007309901A (ja) * | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Mitsubishi Electric Corp | 水位検出装置並びに設備機器 |
| JP2008047982A (ja) * | 2006-08-10 | 2008-02-28 | Daishinku Corp | 圧電振動デバイス |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5138595A (en) * | 1974-07-24 | 1976-03-31 | Gen Electric | Suchiimuaironno kanetsubankozotai |
| JPS6144927B2 (ja) * | 1979-12-06 | 1986-10-06 | Nippon Steel Corp |
-
1988
- 1988-09-09 JP JP22728688A patent/JPH0275211A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5138595A (en) * | 1974-07-24 | 1976-03-31 | Gen Electric | Suchiimuaironno kanetsubankozotai |
| JPS6144927B2 (ja) * | 1979-12-06 | 1986-10-06 | Nippon Steel Corp |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7012353B2 (en) * | 2002-07-22 | 2006-03-14 | Toyo Communication Equipment Co., Ltd. | Piezoelectric resonator and the method for making the same |
| JP2007309901A (ja) * | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Mitsubishi Electric Corp | 水位検出装置並びに設備機器 |
| JP2008047982A (ja) * | 2006-08-10 | 2008-02-28 | Daishinku Corp | 圧電振動デバイス |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6215375B1 (en) | Bulk acoustic wave resonator with improved lateral mode suppression | |
| JP3969224B2 (ja) | 圧電共振子及びそれを用いた圧電フィルタ・デュプレクサ・通信装置 | |
| US4609844A (en) | Piezoelectric vibrator | |
| WO2002103900A1 (fr) | Resonateur piezoelectrique a film fin | |
| US12395149B2 (en) | Acoustic wave device | |
| JPH06237141A (ja) | 圧電共振部品 | |
| US20220216843A1 (en) | Acoustic wave device | |
| KR20000005836A (ko) | 압전공진자 | |
| GB2032685A (en) | Piezo-electric resonator | |
| US6492759B1 (en) | Piezoelectric resonator and a filter | |
| US4348609A (en) | Piezoelectric vibrator with spurious mode suppression | |
| US3401283A (en) | Piezoelectric resonator | |
| JPH0275211A (ja) | 圧電共振装置 | |
| WO2019167920A1 (ja) | 振動基板、振動素子、及び振動子 | |
| JPH06152311A (ja) | エネルギー閉じ込め型セラミック発振子 | |
| US4542355A (en) | Normal coordinate monolithic crystal filter | |
| JPS6179316A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPH07336184A (ja) | エネルギー閉じ込め型圧電共振子 | |
| JPH04127709A (ja) | Atカット水晶振動子 | |
| JPS6357967B2 (ja) | ||
| CN1172437C (zh) | 利用面积翘曲振动模式的三个端子滤波器 | |
| JP2004179879A (ja) | 圧電基板、圧電振動素子、圧電振動子、及び圧電発振器 | |
| JPH03139009A (ja) | 小型圧電共振子 | |
| CN119921710A (zh) | 声波谐振器和电子设备 | |
| JPH0487410A (ja) | 表面波装置 |