JPH0276834U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0276834U JPH0276834U JP15636088U JP15636088U JPH0276834U JP H0276834 U JPH0276834 U JP H0276834U JP 15636088 U JP15636088 U JP 15636088U JP 15636088 U JP15636088 U JP 15636088U JP H0276834 U JPH0276834 U JP H0276834U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- tube
- wheels
- extending outward
- part extending
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
第１図は本考案の１実施例の構成を示す構成図
、第２図は第１図に示す拡散炉用ボートをチユー
ブの中に挿入する前の状態を示す説明図、第３図
は第１図に示す拡散炉用ボートをチユーブの中に
挿入した状態を示す説明図である。 １０……ボート部、１２……外枠、２２，２４
……短辺、３２，４２……支持棒、３４……保持
棒、３６，３８……車輪、４０……第１支持部、
４４……係止棒、４６……第２支持部、４８……
アーム、５２……チユーブ。
、第２図は第１図に示す拡散炉用ボートをチユー
ブの中に挿入する前の状態を示す説明図、第３図
は第１図に示す拡散炉用ボートをチユーブの中に
挿入した状態を示す説明図である。 １０……ボート部、１２……外枠、２２，２４
……短辺、３２，４２……支持棒、３４……保持
棒、３６，３８……車輪、４０……第１支持部、
４４……係止棒、４６……第２支持部、４８……
アーム、５２……チユーブ。
Claims (1)
- ウエハを固定するボート部と、このボート部の
一端から外側に延長されて他端に一対の車輪を持
つ第１支持部と、前記ボート部の長手方向に移動
するボートローダの一端に前記ボート部の他端か
ら外側に延長されて固定された第２支持部とを有
し、前記車輪によりチユーブの内壁に接して前記
チユーブに出し入れすることのできる拡散炉用ボ
ート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15636088U JPH0276834U (ja) | 1988-11-30 | 1988-11-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15636088U JPH0276834U (ja) | 1988-11-30 | 1988-11-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0276834U true JPH0276834U (ja) | 1990-06-13 |
Family
ID=31434830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15636088U Pending JPH0276834U (ja) | 1988-11-30 | 1988-11-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0276834U (ja) |
-
1988
- 1988-11-30 JP JP15636088U patent/JPH0276834U/ja active Pending