JPH0279035U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0279035U JPH0279035U JP1988158203U JP15820388U JPH0279035U JP H0279035 U JPH0279035 U JP H0279035U JP 1988158203 U JP1988158203 U JP 1988158203U JP 15820388 U JP15820388 U JP 15820388U JP H0279035 U JPH0279035 U JP H0279035U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- wafer cassette
- cassette
- light emitting
- sensor support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図、第２図は本考案の第１の実施例に係る
ウエーハ検出装置とカセツト装入装置との関係を
示す説明図、第３図は該実施例のウエーハ検出状
態を示す説明図、第４図はトランスフア装置、昇
降装置の制御装置のブロツク図、第５図は他の実
施例の説明図である。 ６はカセツト、７はウエーハ、１２はセンサ支
持体、１５ａ，１５ｂは発光素子、１６ａ，１６
ｂは受光素子を示す。
ウエーハ検出装置とカセツト装入装置との関係を
示す説明図、第３図は該実施例のウエーハ検出状
態を示す説明図、第４図はトランスフア装置、昇
降装置の制御装置のブロツク図、第５図は他の実
施例の説明図である。 ６はカセツト、７はウエーハ、１２はセンサ支
持体、１５ａ，１５ｂは発光素子、１６ａ，１６
ｂは受光素子を示す。
Claims (1)
- ウエーハ用カセツトを挾み配設したセンサ支持
体の腕部に発光素子、受光素子を対峙させ少なく
とも１組設け、両素子の光軸をウエーハ用カセツ
トのウエーハ挿入位置に合致せしめたことを特徴
とするウエーハ検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988158203U JPH0279035U (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988158203U JPH0279035U (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0279035U true JPH0279035U (ja) | 1990-06-18 |
Family
ID=31438319
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988158203U Pending JPH0279035U (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0279035U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016149501A (ja) * | 2015-02-13 | 2016-08-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板検出装置、基板検出方法及び基板処理システム |
-
1988
- 1988-12-05 JP JP1988158203U patent/JPH0279035U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016149501A (ja) * | 2015-02-13 | 2016-08-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板検出装置、基板検出方法及び基板処理システム |