JPS61129341U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61129341U JPS61129341U JP1352085U JP1352085U JPS61129341U JP S61129341 U JPS61129341 U JP S61129341U JP 1352085 U JP1352085 U JP 1352085U JP 1352085 U JP1352085 U JP 1352085U JP S61129341 U JPS61129341 U JP S61129341U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing
- processing device
- equal intervals
- registration request
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- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Control Of Conveyors (AREA)
Description
第１図は、本考案の実施例を示す斜視図、第２
図は、搬送装置が位置決めしながら進行する状態
を示す図で各処理装置と搬送装置との対応関係を
示す図である。 １，２，３，４…カセツト、１３…搬送装置、
Ａ１〜Ａ３…処理装置、Ｂ１〜Ｂ３…処理装置、
Ｓ…位置決め装置。
図は、搬送装置が位置決めしながら進行する状態
を示す図で各処理装置と搬送装置との対応関係を
示す図である。 １，２，３，４…カセツト、１３…搬送装置、
Ａ１〜Ａ３…処理装置、Ｂ１〜Ｂ３…処理装置、
Ｓ…位置決め装置。
Claims (1)
- 複数の処理装置を等間隔で、同一方向に配設し
、前記方向に位置決め装置付の搬送装置を設け、
該搬送装置に、前記処理装置と対向する複数の収
容部を設けたことを特徴とするウエハ選択処理装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1352085U JPS61129341U (ja) | 1985-02-01 | 1985-02-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1352085U JPS61129341U (ja) | 1985-02-01 | 1985-02-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61129341U true JPS61129341U (ja) | 1986-08-13 |
Family
ID=30497605
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1352085U Pending JPS61129341U (ja) | 1985-02-01 | 1985-02-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61129341U (ja) |
-
1985
- 1985-02-01 JP JP1352085U patent/JPS61129341U/ja active Pending