JPH0279811A - レーザビーム光の走査特性測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、たとえばレーザプリンタなどに使用される回
転多面鏡（ポリゴンミラー）を用いたスキャナユニット
において、回転多面鏡の動的面倒れ角度および、その回
転多面鏡で反射されスキャナユニットから出力されるレ
ーザビーム光の走査直線性を測定するレーザビーム光の
走査特性測定装置に関する。

（従来の技術） 一般に、回転多面鏡は、多面体で構成された反射鏡であ
り、高速、高精度の光走査を必要とするレーザプリンタ
やバーコードリーダなどに多用されている。

たとえばレーザプリンタでは、レーザ発振器から出力さ
れたレーザビーム光を高速回転する回転多面鏡で反射さ
せ、その反射ビーム光で感光体ドラムの表面を直線的に
走査することにより静電潜像を形成する。この静電潜像
の鮮明度および解像度は、回転多面鏡で反射された反射
ビーム光の感光体ドラム面上（ここで結像する）での振
れ幅により影響され、感光体ドラム面に形成される静電
潜像にぬけ、むらなどが生じ、鮮明な画像が得られない
。上記反射ビーム光の感光体ドラム面上での振れ幅は、
回転多面鏡の隣り合った各鏡面間の面倒れ角度によって
決まる。

また、最近では、レーザ発振器、回転多面鏡および光学
系などを一体化したスキャナユニットが開発され、かつ
スキャナユニット内に面倒れ補正レンズを組込むことに
より、感光体ドラム面上での反射ビーム光の振れ幅を小
さくする方法がとられるようになった。

しかし、この場合、回転多面鏡の面倒れ角度の補正はあ
る程度可能になったが、面倒れ補正レンズなどの光学系
の影響を受けて、感光体ドラム面上での反射ビーム光の
走査がその走査方向と直交方向に曲がってしまい、正確
な直線性が得られなくなる。このため、感光体ドラム面
に形成される静電潜像にぬけ、むらなどが生じ、鮮明な
画像が得られない。

したがって、回転多面鏡の動的面倒れ角度および、その
回転多面鏡で反射されスキャナユニットから出力される
レーザビーム光の走査直線性を正確に知ることが、スキ
ャナユニットの性能を判定する上で極めて重要となる。

従来、回転多面鏡単体での静的面倒れ角度測定にはオー
トコリメータにより測定することが知られている。この
測定方法は、回転多面鏡とそれを回転させるモータとを
組立てた後、回転多面鏡を回転させながらオートコリメ
ータで静的面倒れ角度を測定するものである。

また、反射ビーム光の走査直線性の測定は、上記のよう
に面倒れ角度を測定する際、回転多面鏡の回転に伴いオ
ートコリメータの高さのずれをプロットしていくことに
より、測定することができる。

また、面倒れ角度のδＩｌｌ定に関しては、その他、た
とえば「光波術システム設計講座、トリケッブス（株）
発行、武木田義祐著、■、レーザプリンタにおける光学
系のシステム設計」に開示されているように、レーザ光
を照射して投影し、副走査方向にスリットを用意して、
その中のレーザパワーの変化を知ることにより測定する
方法、あるいは簡単には、モータで回転される回転多面
鏡にレーザビーム光を照射して、その反射ビーム光を所
定距離離れたスクリーンへ導き、スクリーン上での副走
査方向の変化量を７ＴＩ！Ｊ定することにより行なう方
法がある。この場合、回転多面鏡とスクリーンとの距離
はできるだけ長い方が好ましく、１０ｍ位が測定し易い
とされている。

しかしながら、これら従来の測定方法はいずれも測定時
間がかかり、実際の製品レベルでの測定が不可能である
という問題があり、また後者の方法は測定装置自体が大
形化するという問題がある。

（発明が解決しようとする課題） 本発明は、上記したように従来の測定方法では、測定時
間がかかり、実際の製品レベルでの測定が不可能であり
、しかも測定装置が大形化するという問題点を解決すべ
くなされたもので、回転多面鏡の動的面倒れ角度および
、その回転多面鏡で反射され、被走査面上を直線的に走
査するレーザビーム光の走査直線性を高精度、短時間で
、かつ実際の使用製品にそった形で自動的に測定するこ
とができ、また７１１１１定装置自体もそれほど大形化
することのないレーザビーム光の走査特性測定装置を提
供することを目的とする。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明に係る第１のレーザビーム光の走査特性測定装置
は、被走査面上を直線的に走査するレーザビーム光の走
査特性を測定するものにおいて、前記被走査面と同等の
位置において、前記レーザビーム光の走査方向の少なく
とも３箇所における前記走査方向と直交方向の前記レー
ザビーム光の走査位置情報をそれぞれ検出する検出手段
と、この検出手段で検出された各走査位置情報に応じて
前記レーザビーム光の走査直線性を測定する演算手段と
を具備している。

本発明に係る第２のレーザビーム光の走査特性測定装置
は、被走査面上を直線的に走査するレーザビーム光の走
査特性を測定するものにおいて、前記被走査面と同等の
位置において、前記レーザビーム光の走査方向と直交方
向の前記レーザビーム光の走査位置情報を検出する検出
手段と、この検出手段を前記レーザビーム光の走査方向
に移動させる移動制御手段と、この移動制御手段による
前記検出手段の移動に伴い、その検出手段から得られる
前記レーザビーム光の走査方向の少なくとも３箇所にお
ける各走査位置情報に応じて前記し一ザビーム光の走査
直線性を測定する演算手段とを具備している。

本発明に係る第３のレーザビーム光の走査特性測定装置
は、被走査面上を直線的に走査するレーザビーム光の走
査特性を測定するものにおいて、前記被走査面と同等の
位置において、前記レーザビーム光の走査方向と直交方
向の前記レーザビーム光の走査位置情報を検出する検出
手段と、この検出手段を前記レーザビーム光の走査方向
に移動させる移動制御手段と、この移動制御手段におけ
る前記レーザビーム光の走査方向と直交方向の位置誤差
情報をあらかじめ得る手段と、前記移動制御手段による
前記検出手段の移動に伴い、その検出手段から得られる
前記レーザビーム光の走査方向の少なくとも３ｔ！！所
における各走査位置情報を前記位置誤差情報を用いてそ
れぞれ補正する補正手段と、この補正手段で補正された
各走査位置情報に応じて前記レーザビーム光の走査直線
性を測定する演算手段とを具備している。

本発明に係る第４のレーザビーム光の走査特性測定装置
は、回転多面鏡によって反射され、被走査面上を直線的
に走査するレーザビーム光の走査特性を測定するものに
おいて、前記被走査面と同等の位置において、前記レー
ザビーム光の走査方向の少なくとも１箇所における前記
走査方向と直交方向の前記回転多面鏡の各面に対応する
前記レーザビーム光の走査位置情報をそれぞれ検出する
第１の検出手段と、前記被走査面と同等の位置において
、前記レーザビーム光の走査方向の少なくとも３箇所に
おける前記走査方向と直交方向の前記レーザビーム光の
走査位置情報をそれぞれ検出する第２の検出手段と、前
記第１の検出手段で検出された各走査位置情報に応じて
前記回転多面鏡の動的面倒れ角度を測定するとともに、
前記第２の検出手段で検出された各走査位置情報に応じ
て前記レーザビーム光の走査直線性を測定する演算手段
とを具備している。

（作用） 本発明に係る第１のレーザビーム光の走査特性δｌ１１
定装置は、実際の被走査面と同等の位置において、レー
ザビーム光の走査方向の少なくとも３箇所における上記
走査方向と直交方向のレーザビーム光の走査位置情報を
それぞれ検出し、この検出した各走査位置情報に応じて
レーザビーム光の走査直線性を測定するものである。こ
れにより、たとえば回転多面鏡で反射され、被走査面上
を直線的に走査するレーザビーム光の走査直線性を高精
度、短時間で、かつ実際の使用製品にそった形で自動的
に測定することができる。また、測定装置自体もそれほ
ど大形化することがなく、コンパクトに構成することが
できる。

本発明に係る第２のレーザビーム光の走査特性測定装置
は、第１のレーザビーム光の走査特性Δｐ１定装置にお
いて、走査位置情報を検出するための検出手段をレーザ
ビーム光の走査方向に移動させることにより、少なくと
も３箇所の走査位置情報を検出するようにしたものであ
り、これにより単一の検出手段で少なくとも３箇所の走
査位置情報を検出することができる。したがって、より
コンパクトに構成できるとともにコストの低下が図れる
。

本発明に係る第３のレーザビーム光の走査特性測定装置
は、第２のレーザビーム光の走査特性７１１１定装置に
おいて、検出手段を移動させる移動制御手段におけるレ
ーザビーム光の走査方向と直交方向の位置誤差情報をあ
らかじめ測定しておき、検出手段から得られる各走査位
置情報を上記位置誤差情報を用いてそれぞれ補正するよ
うにしたものである。これにより、たとえば移動制御手
段の移動制御によって生じる機械的な位置ずれ量などを
補正でき、また検出手段と移動制御手段との間の位置精
度などが不要になるため、より短時間、かつ高精度で測
定することが可能となる。

本発明に係る第４のレーザビーム光の走査特性測定装置
は、実際の被走査面と同等の位置において、レーザビー
ム光の走査方向の少なくとも１箇所における上記走査方
向と直交方向の回転多面鏡の各面に対応するレーザビー
ム光の走査位置情報をそれぞれ検出するとともに、レー
ザビーム光の走査方向の少なくとも３箇所における上記
走査方向と直交方向のレーザビーム光の走査位置情報を
それぞれ検出し、この検出した少なくとも１箇所におけ
る回転多面鏡の各面に対応した走査位置情報に応じて回
転多面鏡の動的面倒れ角度を測定するとともに、上記検
出した少なくとも３箇所における各走査位置情報に応じ
てレーザビーム光の走査直線性を／１１１定するもので
ある。これにより、回転多面鏡の動的面倒れ角度および
、その回転多面鏡で反射され、被走査面上を直線的に走
査するレーザビーム光の走査直線性を同時に、しかも高
精度、短時間で、かつ実際の使用製品にそった形で自動
的にＡＩ定することができる。また、７Ｉｌｌｌ定装置
自体もそれほど大形化することがなく、コンパクトに構
成することができる。

（実施例） 以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。

第１図において、走査用上−タ１１の回転軸に固定され
た回転多面鏡１２に、レーザ発振器１３から出力される
レーザビーム光をコリメータレンズ１４を介して照射し
、その反射ビーム光りにより、Ｆθレンズ１５および面
倒れ補正レンズ１６を介して所定の位置（実際の被走査
面と同等の位置）を直線的に走査するようになっている
。

ここに、走査用モータ１１、回転多面１２１２、レーザ
発振器１３、コリメータレンズ１４、Ｆθレンズ１５お
よび面倒れ補正レンズ１６はスキャナユニット１７とし
て一体化されている。そして、走査用モータ１１はモー
タ駆動回路１８によって駆動され、レーザ発振器１３は
レーザ駆動回路】９によって駆動される。

上記所定の位置には、反射ビーム光りを受光するために
受光部２０が設けられている。受光部２０は、たとえば
２つの受光素子（たとえばピンダイオード）２０．．２
０２を反射ビーム光りの走査方向Ｓと平行に並設して構
成される。受光素子２０．．２０２は、反射ビーム光り
を受光することにより、データ読込み用信号および読込
み用ストローブ信号などを作り出す。

受光部２０の受光素子２０２の手前には、上昇すること
によって反射ビーム光りの入射を遮断する遮光部（たと
えばカミソリの刃を持ったエツジ）２１が設けられてい
る。遮光部２１は、ステッピングモータ２２によって図
面に対して上下移動されるようになっている。遮光部２
１の上下移動端には、それぞれフォトセンサ２３１，２
３２が設けられていて、上側のセンサ２３１はオーバラ
ン防止用に、下側のセンサ２３２は遮光部２１が原点位
置に位置したことを検知するためとオーバラン防止用に
使用される。

ここに、受光部２０、遮光部２１、ステッピングモータ
２２および各センサ２３□、２３□は、反射ビーム光り
の走査位置情報を検出するための検出部２４として一体
化されている。そして、ステッピングモータ２２はモー
タ駆動回路２５によって駆動され、各センサ２３．，２
３２はそれぞれセンサインタフェイス回路２６に接続さ
れている。

検出部２４は、図示しないガイド部材に案内されて反射
ビーム光りの走査方向（図示矢印Ｒ方向）に往復移動自
在となっていて、たとえばステッピングモータ２７によ
って移動されるようになっている。そして、ステッピン
グモータ２７はモータ駆動回路２８によって駆動される
。

検出部２４の移動路の両端およびその中間には、フォト
センサ２９、〜２９５が設けられている。

センサ２９．は走査開始点側のオーバラン防止用に、セ
ンサ２９゜は検出部２４が走査開始点に位置したことを
検知するために、センサ２９３は検出部２４が走査中間
点に位置したことを検知するために、センサ２９４は検
出部２４が走査終了点に位置したことを検知するために
、センサ２９゜は走査終了点側のオーバラン防止用に使
用される。

そして、各センサ２９、〜２９５はそれぞれセンサイン
タフェイス回路２６に接続されている。

マイクロプロセッサ３０は全体的な制御を司る制御部と
して用いており、このマイクロプロセッサ３０からパラ
レル入出力インタフェイス回路３１を介してモータ駆動
回路１８、レーザ駆動回路１９、モータ駆動回路２５．
２８に制御信号を送り、走査用モータ１１、レーザ発振
器１３、ステッピングモータ２２．２７をそれぞれ制御
するようになっている。

各センサ２３１，２３２．２９□〜２９．の出力信号は
、それぞれセンサインタフェイス回路２６およびパラレ
ル入出力インタフェイス回路３１を介してマイクロプロ
セッサ３ｏに送られる。

受光部２０の各受光素子２０□、２０２に反射ビーム光
りが照射されているが否がのレーザ光オン、オフ信号は
、増幅回路３２によって波形整形されて面倒れインタフ
ェイス回路３３に送られる。

面倒れインタフェイス回路３３は、各受光素子２０１．
２０２の出力信号を基に信号処理し、データとしてパラ
レル入出力インタフェイス回路３１を介してマイクロプ
ロセッサ３ｏに送り、マイクロプロセッサ３０によって
メモリ３４に記憶される。

なお、３５はデータの再処理および補正データの入力な
どを行なうためのパーソナルコンピュータ、３６はパー
ソナルコンピュータ３５に接続されたＣＲ７表示装置、
３７はパーソナルコンピュータ３５に接続されたプリン
タである。

次に、このような構成において第２図および第３図を参
照して動作を説明する。

第２図において、Ｐｌ　＊　Ｂ２　＋　　Ｂ３は反射ビ
ーム光りの走査位置情報を検出する検出ポイントを示し
、Ｐ、は走査開始点、Ｂ２は走査中間点、Ｂ３は走査終
了点に対応している。ＡＩ　＋　Ａ２　＋Ａ３は機械的
な位置ずれかない場合の理想の基準位置（遮光部２１の
原点位置に対応）を示し、それぞれ検出ポイントＰ　１
　＊　　Ｂ２　＋　　Ｂ３に対応している。Ｂ、、Ｂ２
．Ｂ３は各検出ポイントＰ　１　ｒＰ　２　＊　　Ｐ　
３における基準位置ＡＩ　ｔ　Ａ２　＊　Ａ３から反射
ビーム光りの走査点までの距離（反射ビーム光りの走査
方向Ｓと直交方向の走査位置情報）を示す。ＣＩ　、Ｃ
２＊　　Ｃ３は基準位置Ａ１．Ａ２　。

Ａ３に対する各検出ポイントＰ１　＋　　Ｂ２　＊　　
Ｂ３におけるＸ、Ｙ軸の機械的な位置ずれ量（検出部２
４が移動することによって生じるの反射ビーム光りの走
査方向Ｓと直交方向の位置誤差情報）を示す。

まず、測定するためのスキャナユニット１７を所定の位
置に治具でセットした後、各検出ポインＦＰ１＊ｐ２１
Ｐ３ごとにおいて検出部２４の移動によって生じる機械
的な位置ずれ量Ｃ１＊　Ｃ２１Ｃ３を測定する。すなわ
ち、たとえば周知のダイヤルゲージなどを用いることに
より、まず検出部２４を検出ポイントＰｌに位置させて
位置ずれ量Ｃ１を測定し、次に検出部２４を検出ポイン
トＰ２に位置させて位置ずれ量Ｃ２を測定し、次に検出
部２４を検出ポイントＰ３に位置させて位置ずれ量Ｃ３
を測定する。そして、こうして測定して得られた各検出
ポイントＰ１ｒ　　Ｐ２ｒ　　Ｂ３ごとの位置ずれ量（
位置誤差情報）　ＣＩ　ｒ　　０２　＋　　０３を、補
正データとしてパーソナルコンピュータ３５を用いて入
力し、メモリ３４に記憶しておく。

その後、実際の測定動作を開始する。まず、検出部２４
を検出ポイントＰ１に位置させて測定を行なう。すなわ
ち、モータ駆動回路１８で走査用モータ１１を駆動する
とともに、レーザ駆動回路１９でレーザ発振器１３を駆
動する。すると、回転多面鏡１２は回転するとともに、
レーザ発振器１３からレーザビーム光が出力され、この
レーザビーム光は回転する回転多面鏡１２に照射され、
その反射ビーム光りによって図示矢印Ｓ方向に走査が行
なわれる。この際、遮光部２１は第３図（ａ）に示すよ
うに原点位置まで下げておく。

ここに、実際の反射ビーム光りは、回転多面鏡１２の動
的面倒れ角度によって第４図に示すように多少異なった
位置を走査する。なお、この図は回転多面鏡１２が例え
ば８面の場合を示している。

さて、走査用モータ１１の回転が安定状態になったら、
マイクロプロセッサ３０はステッピングモータ２２を駆
動して遮光部２１を原点位置から徐々に上げていく。す
ると、遮光部２１によって回転多面鏡１２の各面に対応
した反射ビーム光りも徐々に遮断される。さらに遮光部
２１を上げると、全ての反射ビーム光りを遮断すること
になる。

したがって、マイクロプロセッサ３０は、この反射ビー
ム光りを遮断し始めてから完全に遮断してしまうまでの
遮光部２１の移動距離、および回転多面鏡１２の各面ご
との反射ビーム光りを遮断した遮光部２１の位置情報、
すなわち遮光部２１によって遮断される回転多面鏡１２
の各面ごとの反射ビーム光りの走査位置情報Ｂ１をデー
タとしてメモリ３４に記憶する。上記遮光部２１の移動
距離および反射ビーム光りの走査位置情報Ｂ１は、受光
部２０の各受光素子２０１．２０２から得られる信号と
遮光部２１を移動させるステッピングモータ２２の駆動
パルス数とにより得られる。

こうして、メモリ３４に必要なデータを記憶した後、マ
イクロプロセッサ３０は、゛メモリ３４内の各データ（
遮光部２１の移動距離および走査位置情報Ｂ１）に基づ
き所定の位置（遮光部２１の位置）での反射ビーム光り
の振れ幅を求める。この場合、マイクロプロセッサ３０
は、メモリ３４内の走査位置情報Ｂｌをメモリ３４にあ
らかじめ記憶しである位置誤差情報（位置ずれｆｆ１）
ＣＩを用いて補正し、この補正した走査位置情報Ｂｌを
用いて上記反射ビーム光りの振れ幅を求める演算を行な
う。なお、上記補正した走査位置情報Ｂ１はメモリ３４
に記憶しておく。

次に、マイクロプロセッサ３０は、この求めた振れ幅お
よび回転多面鏡１２から遮光部２１までの距離に基づき
所定の演算を行なうことにより、回転多面鏡１２の動的
面倒れ角度を算出する。

回転多面鏡１２から遮光部２１までの距離はあらかじめ
判明しており、たとえばメモリ３４に記憶されているも
のとする。この場合、回転多面鏡１２と遮光部２１との
位置関係を、第３図（ｂ）に示すように実際の使用製品
の回転多面鏡と感光体ドラム面との位置関係と同じにし
ておくことにより、回転多面鏡１２の感光体ドラム面上
での反射ビーム光りの振れ幅を求め、回転多面鏡１２の
動的面倒れ角度を算出することができる。

こうして、検出ポイントＰ１における測定が終了すると
、次に検出部２４を検出ポイントＰ２゜Ｂ３と順次移動
させ、各検出ポイントＰ２＋”３においてそれぞれ上記
同様な測定動作を行なう。

このようにして、各検出ポイントＰ２＋　Ｂ３における
動的面倒れ角度の測定が終了すると、次にマイクロプロ
セッサ３０は、動的面倒れ角度の測定時に得た走査位置
情報Ｂ１　ｒ　　Ｂ２　、Ｂ３　、つまりメモリ３４に
記憶されている補正された走査位置情報Ｂｌ　＋　　Ｂ
２　ｒ　　Ｂ３により、スキャナユニット１７から出力
される反射ビーム光りの走査直線性を測定する。すなわ
ち、たとえば第２図における検出ポイントＰｌ　＋　　
Ｂ３での反射ビーム光りの走査位置を直線で結び、検出
ポイントＰ２での反射ビーム光りの走査位置との幾何学
的な位置の差を求めることにより、反射ビーム光りの走
査直線性を測定する。

以上説明したレーザビーム光の走査特性測定装置によれ
ば、実際の被走査面と同等の位置において、レーザビー
ム光の走査方向と直交方向の回転多面鏡の各面に対応す
るレーザビーム光の走査位置情報をそれぞれ検出し、こ
の検出した回転多面鏡の各面に対応した走査位置情報に
応じて回転多面鏡の動的面倒れ角度を測定する。このと
き、レーザビーム光の走査方向の例えば３箇所（走査開
始点、走査中間点、走査終了点）においてそれぞれ動的
面倒れ角度の測定を行なうことにより、３箇所における
レーザビーム光の走査位置情報が得られるので、その３
箇所の走査位置情報に応じてスキャナユニットから出力
されるレーザビーム光の走査直線性を測定するものであ
る。

これにより、３箇所における回転多面鏡の動的面倒れ角
度および、その回転多面鏡で反射されスキャナユニット
から出力されるレーザビーム光の走査直線性を同時に、
しかも高精度、短時間で、かつ実際の使用製品にそった
形で自動的に測定することができる。また、従来に比較
して測定装置自体もそれほど大形化することがなく、コ
ンパクトに構成することができる。

また、走査位置情報を検出するための検出部をレーザビ
ーム光の走査方向に移動させることにより、例えば３箇
所の走査位置情報をそれぞれ検出するので、単一の検出
部で３箇所の走査位置情報を検出することができる。し
たがって、よりコンパクトに構成できるとともにコスト
の低下が図れる。

さらに、検出部の移動によって生じるレーザビーム光の
走査方向と直交方向の機械的な位置ずれ量（位置誤差情
報）を、３箇所の検出ポイントごとにあらかじめ測定し
ておき、実際の測定時、各検出ポイントで検出した走査
位置情報を上記位置誤差情報を用いてそれぞれ補正する
ものである。

これにより、検出部の移動によって生じる機械的な位置
ずれ量などを補正でき、またスキャナユニットおよび検
出部などを治具に取付ける際の位置精度などが不要にな
るため、より短時間、かつ高精度で測定することが可能
となる。

なお、前記実施例では、レーザビーム光の走査方向の３
箇所においてそれぞれ動的面倒れ角度の測定を行なった
が、必ずしも３箇所で行なう必要はなく、少なくとも１
箇所で行なえばよい。その場合、たとえば最初に３箇所
の検出ポイントにおいてそれぞれレーザビーム光の走査
位置情報を検出することにより、レーザビーム光の走査
直線性を測定し、その後、上記検出した３箇所の走査位
置情報のうちの１つの走査位置情報により、回転多面鏡
の動的面倒れ角度の測定を行なえばよい。

［発明の効果］ 以上詳述したように本発明によれば、回転多面鏡の動的
面倒れ角度および、その回転多面鏡で反射され、被走査
面上を直線的に走査するレーザビーム光の走査直線性を
高精度、短時間で、かつ実際の使用製品にそった形で自
動的に測定することができ、また測定装置自体もそれほ
ど大形化することのないレーザビーム光の走査特性７Ｉ
Ｉ１１定装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例を説明するためのもので、第１図
は全体的な構成図、第２図および第３図は動作を説明す
るための図、第４図は反射ビーム光が回転多面鏡の動的
面倒れ角度によって異なった位置を走査する様子を示す
図である。 １１・・・走査用モータ、１２・・・回転多面鏡、１３
・・・レーザ発振器、１７・・・スキャナユニット、２
０・・・受光部、２０１　ｒ　　２０２・・・受光素子
、２１・・・遮光部、２２・・・ステッピングモータ、
２４・・・検出部、２７・・・ステッピングモータ、３
０・・・マイクロプロセッサ、３１・・・メモリ。 出願人代理人　　弁理士　鈴江武彦 愚兄体ドーフムの （ｂ）ＪＬＩＩＴ１１位１

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）被走査面上を直線的に走査するレーザビーム光の
   走査特性を測定するものにおいて、前記被走査面と同等
   の位置において、前記レーザビーム光の走査方向の少な
   くとも３箇所における前記走査方向と直交方向の前記レ
   ーザビーム光の走査位置情報をそれぞれ検出する検出手
   段と、この検出手段で検出された各走査位置情報に応じ
   て前記レーザビーム光の走査直線性を測定する演算手段
   と を具備したことを特徴とするレーザビーム光の走査特性
   測定装置。
2. （２）被走査面上を直線的に走査するレーザビーム光の
   走査特性を測定するものにおいて、前記被走査面と同等
   の位置において、前記レーザビーム光の走査方向と直交
   方向の前記レーザビーム光の走査位置情報を検出する検
   出手段と、この検出手段を前記レーザビーム光の走査方
   向に移動させる移動制御手段と、 この移動制御手段による前記検出手段の移動に伴い、そ
   の検出手段から得られる前記レーザビーム光の走査方向
   の少なくとも３箇所における各走査位置情報に応じて前
   記レーザビーム光の走査直線性を測定する演算手段と を具備したことを特徴とするレーザビーム光の走査特性
   測定装置。
3. （３）被走査面上を直線的に走査するレーザビーム光の
   走査特性を測定するものにおいて、前記被走査面と同等
   の位置において、前記レーザビーム光の走査方向と直交
   方向の前記レーザビーム光の走査位置情報を検出する検
   出手段と、この検出手段を前記レーザビーム光の走査方
   向に移動させる移動制御手段と、 この移動制御手段における前記レーザビーム光の走査方
   向と直交方向の位置誤差情報をあらかじめ得る手段と、 前記移動制御手段による前記検出手段の移動に伴い、そ
   の検出手段から得られる前記レーザビーム光の走査方向
   の少なくとも３箇所における各走査位置情報を前記位置
   誤差情報を用いてそれぞれ補正する補正手段と、 この補正手段で補正された各走査位置情報に応じて前記
   レーザビーム光の走査直線性を測定する演算手段と を具備したことを特徴とするレーザビーム光の走査特性
   測定装置。
4. （４）回転多面鏡によって反射され、被走査面上を直線
   的に走査するレーザビーム光の走査特性を測定するもの
   において、 前記被走査面と同等の位置において、前記レーザビーム
   光の走査方向の少なくとも１箇所における前記走査方向
   と直交方向の前記回転多面鏡の各面に対応する前記レー
   ザビーム光の走査位置情報をそれぞれ検出する第１の検
   出手段と、 前記被走査面と同等の位置において、前記レーザビーム
   光の走査方向の少なくとも３箇所における前記走査方向
   と直交方向の前記レーザビーム光の走査位置情報をそれ
   ぞれ検出する第２の検出手段と、 前記第１の検出手段で検出された各走査位置情報に応じ
   て前記回転多面鏡の動的面倒れ角度を測定するとともに
   、前記第２の検出手段で検出された各走査位置情報に応
   じて前記レーザビーム光の走査直線性を測定する演算手
   段と を具備したことを特徴とするレーザビーム光の走査特性
   測定装置。