JPH0697310B2 - レーザビーム光の走査特性測定装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、たとえばレーザプリンタなどに使用される回
転多面鏡（ポリゴンミラー）を用いたスキャナユニット
において、回転多面鏡の動的面倒れ角度および、その回
転多面鏡で反射されスキャナユニットから出力されるレ
ーザビーム光の走査直線性を測定するレーザビーム光の
走査特性測定装置に関する。

（従来の技術） 一般に、回転多面鏡は、多面体で構成された反射鏡であ
り、高速、高精度の光走査を必要とするレーザプリンタ
やバーコードリーダなどに多用されている。

たとえばレーザプリンタでは、レーザ発振器から出力さ
れたレーザビーム光を高速回転する回転多面鏡で反射さ
せ、その反射ビーム光で感光体ドラムの表面を直線的に
走査することにより静電潜像を形成する。この静電潜像
の鮮明度および解像度は、回転多面鏡で反射された反射
ビーム光の感光体ドラム面上（ここで結像する）での振
れ幅により影響され、感光体ドラム面に形成され静電潜
像にぬけ、むらなどが生じ、鮮明な画像が得られない。
上記反射ビーム光の感光体ドラム面上での振れ幅は、回
転多面鏡の隣り合った各鏡面間の面倒れ角度によって決
まる。

また、最近では、レーザ発振器、回転多面鏡および光学
系などを一体化したスキャナユニットが開発され、かつ
スキャナユニット内に面倒れ補正レンズを組込むことに
より、感光体ドラム面上での反射ビーム光の振れ幅を小
さくする方法がとられるようになった。

しかし、この場合、回転多面鏡の面倒れ角度の補正はあ
る程度可能になったが、面倒れ補正レンズなどの光学系
の影響を受けて、感光体ドラム面上での反射ビーム光の
走査がその走査方向と直交方向に曲がってしまい、正確
な直線性が得られなくなる。このため、感光体ドラム面
に形成される静電潜像にぬけ、むらなどが生じ、鮮明な
画像が得られない。

したがって、回転多面鏡の動的面倒れ角度および、その
回転多面鏡で反射されスキャナユニットから出力される
レーザビーム光の走査直線性を正確に知ることが、スキ
ャナユニットの性能を判定する上で極めて重要となる。

従来、回転多面鏡単体での静的面倒れ角度測定にはオー
トコリメータにより測定することが知られている。この
測定方法は、回転多面鏡とそれを回転させるモータとを
組立てた後、回転多面鏡を回転させながらオートコリメ
ータで静的面倒れ角度を測定するものである。

また、反射ビーム光の走査直線性の測定は、上記のよう
に面倒れ角度を測定する際、回転多面鏡の回転に伴いオ
ートコリメータの高さのずれをプロットしていくことに
より、測定することができる。

また、面倒れ角度の測定に関しては、その他、たとえば
「光技術システム設計講座」、トリケップス（株）発
行、武木田義祐著、II.レーザプリンタにおける光学系
のシステム設計」に開示されているように、レーザ光を
照射して投影し、副走査方向にスリットを用意して、そ
の中のレーザパワーの変化を知ることにより測定する方
法、あるいは簡単には、モータで回転される回転多面鏡
にレーザビーム光を照射して、その反射ビーム光を所定
距離離れたスクリーンへ導き、スクリーン上での副走査
方向の変化量を測定することにより行なう方法がある。
この場合、回転多面鏡とスクリーンとの距離はできるだ
け長い方が好ましく、10m位が測定し易いとされてい
る。

しかしながら、これら従来の測定方法はいずれも測定時
間がかかり、実際の製品レベルでの測定が不可能である
という問題があり、また後者の方法は測定装置自体が大
形化するという問題がある。

（発明が解決しようとする課題） 本発明は、上記したように従来の測定方法では、測定時
間がかかり、実際の製品レベルでの測定が不可能であ
り、しかも測定装置が大形化するという問題点を解決す
べくなされたもので、回転多面鏡の動的面倒れ角度およ
び、その回転多面鏡で反射され、被走査面上を直線的に
走査するレーザビーム光の走査直線性を高精度、短時間
で、かつ実際の使用製品にそった形で自動的に測定する
ことができ、また測定装置自体もそれほど大形化するこ
とのないレーザビーム光の走査特性測定装置を提供する
ことを目的とする。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明に係る第１のレーザビーム光の走査特性測定装置
は、被測定面上を直線的に走査するレーザビーム光の走
査特性を測定するものにおいて、前記被走査面と同等の
位置において、前記レーザビーム光の走査方向の少なく
とも３箇所における前記走査方向と直交方向の前記レー
ザビーム光の走査位置情報をそれぞれ検出する検出手段
と、この検出手段で検出された各走査位置情報に応じて
前記レーザビーム光の走査直線性を測定する演算手段と
を具備している。

本発明に係る第２のレーザビーム光の走査特性測定装置
は、被走査面上を直線的に走査するレーザビーム光の走
査特性を測定するものにおいて、前記被走査面と同等の
位置において、前記レーザビーム光の走査方向と直交方
向の前記レーザとビーム光の走査位置情報を検出する検
出手段と、この検出手段を前記レーザビーム光の走査方
向に移動させる移動制御手段と、この移動制御手段によ
る前記検出手段の移動に伴い、その検出手段から得られ
る前記レーザビーム光の走査方向の少なくとも３箇所に
おける各走査位置情報に応じて前記レーザビーム光の走
査直線性を測定する演算手段とを具備している。

本発明に係る第３のレーザビーム光の走査特性測定装置
は、被走査面上を直線的に走査するレーザビーム光の走
査特性を測定するものにおいて、前記被走査面と同等の
位置において、前記レーザビーム光の走査方向と直交方
向の前記レーザビーム光の走査位置情報を検出する検出
手段と、この検出手段を前記レーザビーム光の走査方向
に移動させる移動制御手段と、この移動制御手段におけ
る前記レーザビーム光の走査方向と直交方向の位置誤差
情報をあらかじめ得る手段と、前記移動制御手段による
前記検出手段の移動に伴い、この検出手段から得られる
前記レーザビーム光の走査方向の少なくとも３箇所にお
ける各走査位置情報を前記位置誤差情報を用いてそれぞ
れ補正する補正手段と、この補正手段で補正された各走
査位置情報に応じて前記レーザビーム光の走査直線性を
測定する演算手段とを具備している。

本発明に係る第４のレーザビーム光の走査特性測定装置
は、回転多面鏡によって反射され、被走査面上を直線的
に走査するレーザビーム光の走査特性を測定するものに
おいて、前記被走査面と同等の位置において、前記レー
ザビーム光の走査方向の少なくとも１箇所における前記
走査方向と直交方向の前記回転多面鏡の各面に対応する
前記レーザビーム光の走査位置情報をそれぞれ検出する
第１の検出手段と、前記被走査面と同等の位置におい
て、前記レーザビーム光の走査方向の少なくとも３箇所
における前記走査方向と直交方向の前記レーザビーム光
の走査位置情報をそれぞれ検出する第２の検出手段と、
前記第１の検出手段で検出された各走査位置情報に応じ
て前記回転多面鏡の動的面倒れ角度を測定するととも
に、前記第２の検出手段で検出された各走査位置情報に
応じて前記レーザビーム光の走査直線性を測定する演算
手段とを具備している。

（作用） 本発明に係る第１のレーザビーム光の走査特性測定装置
は、実際の被走査面と同等の位置において、レーザビー
ム光の走査方向の少なくとも３箇所における上記走査方
向と直交方向のレーサビーム光の走査位置情報をそれぞ
れ検出し、この検出した各走査位置情報に応じてレーザ
ビーム光の走査直線性を測定するものである。これによ
り、たとえば回転多面鏡で反射され、被走査面上を直線
的に走査するレーザビーム光の走査直線性を高精度、短
時間で、かつ実際の製品にそった形で自動的に測定する
ことができる。また、測定装置自体もそれほど大形化す
ることがなく、コンパクトに構成することができる。

本発明に係る第２のレーザビーム光の走査特性測定装置
は、第１のレーザビーム光の走査特性測定装置におい
て、走査位置情報を検出するための検出手段をレーザビ
ーム光の走査方向に移動させることにより、少なくと３
箇所の走査位置情報を検出するようにしたものであり、
これにより単一の検出手段で少なくとも３箇所の走査位
置情報を検出するができる。したがって、よりコンパク
トに構成できるとともにコストの低下が図れる。

本発明に系る第３のレーザビーム光の走査特性測定装置
は、第２のレーザビーム光の走査特性測定装置におい
て、検出手段を移動させる移動制御手段におけるレーザ
ビーム光の走査方向と直交方向の位置誤差情報をあらか
じめ測定しておき、検出手段から得られる各走査位置情
報を上記位置誤差情報を用いてそれぞれ補正するように
したものである。これにより、たとえば移動制御手段の
移動制御によって生じる機械的な位置ずれ量などを補正
でき、また検出手段と移動制御手段との間の位置精度な
どが不要になるため、より短時間、かつ高精度で測定す
ることが可能となる。

本発明に係る第４のレーザビーム光の走査特性測定装置
は、実際の被走査面と同等の位置において、レーザビー
ム光の走査方向の少なくとも１箇所における上記走査方
向と直交方向の回転多面鏡の各面に対応するレーザビー
ム光の走査位置情報をそれぞれ検出するとともに、レー
ザビーム光の走査方向の少なくとも３箇所における上記
走査方向と直交方向のレーザビーム光の走査位置情報を
それぞれ検出し、この検出した少なくとも１箇所におけ
る回転多面鏡の各面に対応した走査位置情報に応じて回
転多面鏡の動的面倒れ角度を測定するとともに、上記検
出した少なくとも３個所における各走査位置情報に応じ
てレーザビーム光の走査直線性を測定するものである。
これにより、回転多面鏡の動的面倒れ角度および、その
回転多面鏡で反射され、被走査面上を直線的に走査する
レーザービーム光の走査直線性を同時に、しかも高精
度、短時間で、かつ実際の使用製品にそった形で自動的
に測定することができる。また、測定装置自体もそれほ
ど大型化することがなく、またコンパクトに構成するこ
とができる。

（実施例） 以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。

第１図において、走査用モータ11の回転軸に固定された
回転多面鏡12に、レーザ発振器13から出力されるレーザ
ビーム光をコリメータレンズ14を介して照射し、その反
射ビームＬにより、Ｆθレンズ15および面倒れ補正レン
ズ16を介して所定の位置（実際の被走査面と同等の位
置）を直線的に走査するようになっている。

ここに、走査用モータ11、回転多面鏡12、レーザ発振器
13、コリメータレンズ14、Ｆθレンズ15および面倒れ補
正レンズ16はスキャナユニット17として一体化されてい
る。そして、走査用モータ11はモータ駆動回路18によっ
て駆動され、レーザ発振器13はレーザ駆動回路19によっ
て駆動される。

上記所定の位置には、反射ビーム光Ｌを受光するために
受光部20が設けられている。受光部20は、たとえば２つ
の受光素子（たとえばピンダイオード）20₁,20₂を反射
ビーム光Ｌの走査方向Ｓと平行に並設して構成される。
受光素子20₁,20₂は、反射ビーム光Ｌを受光することに
より、データ読込み用信号および読込み用ストローブ信
号などを作り出す。

受光部20の受光素子20₂の手前には、上昇することによ
って反射ビーム光Ｌの入射を遮断する遮光部（たとえば
カミソリの刃を持ったエッジ）21が設けられている。遮
光部21は、ステッピングモータ22によって図面に対して
上下移動されるようになっている。遮光部21の上下移動
端には、それぞれフォトセンサ23₁,23₂が設けられてい
て、上側のセンサ23₁はオーバラン防止用に、下側のセ
ンサ23₂は遮光部21が原点位置に位置したことを検知す
るためとオーバラン防止用に使用される。

ここに、受光部20、遮光部21、ステッピングモータ22お
よび各センサ23₁,23₂は、反射ビーム光Ｌの走査位置情
報を検出するための検出部24として一体化されている。
そして、ステッピングモータ22はモータ駆動回路25によ
って駆動され、各センサ23₁,23₂はそれぞれセンサイン
タフェイ回路26に接続されている。

検出部24は、図示しないガイド部材に案内されて反射ビ
ーム光Ｌの走査方向（図示矢印Ｒ方向）に往復移動自在
となっていて、たとえばステッピングモータ27によって
移動されるようになっている。そして、ステッピングモ
ータ27はモータ駆動回路28によって駆動される。

検出部24の移動路の両端およびその中間には、フォトセ
ンサ29₁〜29₅が設けられている。センサ29₁は走査開始
点側のオーバラン防止用に、センサ29₂は検出部24が走
査開始点に位置したことを検知するために、センサ29₃
は検出部24が走査中間点に位置したことを検知するため
に、センサ29₄は検出部24が走査終了点に位置したこと
を検知するために、センサ29₅は走査終了点側のオーバ
ラン防止用に使用される。そして、各センサ29₁〜29₅は
それぞれセンサインタフェイス回路26に接続されてい
る。

マイクロプロセッサ30は全体的な制御を司る制御部とし
て用いており、このマイクロプロセッサ30からパラレル
入出力インタフェイス回路31を介してモータ駆動回路1
8、レーザ駆動回路19、モータ駆動回路25,28に制御信号
を送り、走査用モータ11、レーザ発振器13、ステッピン
グモータ22,27をそれぞれ制御するようになっている。

各センサ23₁,23₂,29₁〜29₅の出力信号は、それぞれセン
サインタフェイス回路26およびパラレル入出力インタフ
ェイス回路31を介してマイクロプロセッサ30に送られ
る。

受光部20の各受光素子20₁,20₂に反射ビーム光Ｌが照射
されているか否かのレーザ光オン，オフ信号は、増幅回
路32によって波形整形されて面倒れインタフェイス回路
33に送られる。面倒れインタフェイス回路33は、各受光
素子20₁,20₂の出力信号を基に信号処理し、データとし
てパラレル入出力インタフェイス回路31を介してマイク
ロプロセッサ30に送り、マイクロプロセッサ30によって
メモリ34に記憶される。

なお、35はデータの再処理および補正データの入力など
を行なうためのパーソナルコンピュータ、36はパーソナ
ルコンピュータ35に接続されたCRT表示装置、37はパー
ソナルコンピュータ35に接続されたプリンタである。

次に、このような構成において第２図および第３図を参
照して動作を説明する。

第２図において、P₁,P₂,P₃は反射ビーム光Ｌの走査位置
情報を検出する検出ポイントを示し、P₁は走査開始点、
P₂は走査中間点、P₃は走査終了点に対応している。A₁,A
₂,A₃は機械的な位置ずれがない場合の理想の基準位置
（遮光部21の原点位置に対応）を示し、それぞれ検出ポ
イントP₁,P₂,P₃に対応している。B₁,B₂,B₃は各検出ポイ
ントP₁,P₂,P₃における基準位置A₁,A₂,A₃から反射ビーム
光Ｌの走査点までの距離（反射ビーム光Ｌの走査方向Ｓ
と直交方向の走査位置情報）を示す。C₁,C₂,C₃は基準位
置A₁,A₂,A₃に対する各検出ポイントP₁,P₂,P₃におけるX,
Y軸の機械的な位置ずれ量（検出部24が移動することに
よって生じるの反射ビーム光Ｌの走査方向Ｓと直交方向
の位置誤差情報）を示す。

まず、測定するためのスキャナユニット17を所定の位置
に治具でセットした後、各検出ポイントP₁,P₂,P₃ごとに
おいて検出部24の移動によって生じる機械的な位置ずれ
量C₁,C₂,C₃を測定する。すなわち、たとえば周知のダイ
ヤルゲージなどを用いることにより、まず検出部24を検
出ポイントP₁に位置さて位置ずれ量C₁を測定し、次に検
出部24を検出ポイントP₂に位置させて位置ずれ量C₂を測
定し、次に検出部24を検出ポイントP₃に位置させて位置
ずれ量C₃を測定する。そして、こうして測定して得られ
た各検出ポイントP₁,P₂,P₃ごとの位置ずれ量（位置誤差
情報）C₁,C₂,C₃を、補正データとしてパーソナルコンピ
ュータ35を用いて入力し、メモリ34に記憶しておく。

その後、実際の測定動作を開始する。まず、検出部24を
検出ポイントP₁に位置させて測定を行なう。すなわち、
モータ駆動回路18で走査用モータ11を駆動するととも
に、レーザ駆動回路19でレーザ発振器13を駆動する。す
ると、回転多面鏡12は回転するとともに、レーザ発振器
13からレーザビーム光が出力され、このレーザビーム光
は回転する回転多面鏡12に照射され、その反射ビーム光
Ｌによって図示矢印Ｓ方向に走査が行なわれる。この
際、遮光部21は第３図（ａ）に示すように原点位置まで
下げておく。

ここに、実際の反射ビーム光Ｌは、回転多面鏡12の動的
面倒れ角度によって第４図に示すように多少異なった位
置を走査する。なお、この図は回転多面鏡12が例えば８
面の場合を示している。

さて、走査用モータ11の回転が安定状態となったら、マ
イクロプロセッサ30はステッピングモータ22を駆動して
遮光部21を原点位置から徐々に上げていく。すると、遮
光部21によって回転多面鏡12の各面に対応した反射ビー
ム光Ｌも徐々に遮断される。さらに遮光部21を上げる
と、全ての反射ビーム光Ｌを遮断することになる。

したがって、マイクロプロセッサ30は、この反射ビーム
光Ｌを遮断し始めてから完全に遮断してしまうまでの遮
光部21の移動距離、および回転多面鏡12の各面ごとの反
射ビーム光Ｌを遮断した遮光部21の位置情報、すなわち
遮光部21によって遮断される回転多面鏡12の各面ごとの
反射ビーム光Ｌの走査位置情報B₁をデータとしてメモリ
34に記憶する。上記遮光部21の移動距離および反射ビー
ム光Ｌの走査位置情報B₁は、受光部20の各受光素子20₁,
20₂から得られる信号と遮光部21を移動させるステッピ
ングモータ22の駆動パルス数とにより得られる。

こうして、メモリ34に必要なデータを記憶した後、マイ
クロプロセッサ30は、メモリ34の各データ（遮光部21の
移動距離および走査位置情報B₁）に基づき所定の位置
（遮光部21の位置）での反射ビーム光Ｌの振れ幅を求め
る。この場合、マイクロプロセッサ30は、メモリ34内の
走査位置情報B₁をメモリ34にあらかじめ記憶してある位
置誤差情報（位置ずれ量）C₁を用いて補正し、この補正
した走査位置情報B₁を用いて上記反射ビーム光Ｌの振れ
幅を求める演算を行なう。なお、上記補正した走査位置
情報B₁はメモリ34に記憶しておく。

次に、マイクロプロセッサ30は、この求めた振れ幅およ
び回転多面鏡12から遮光部21までの距離に基づき所定の
演算を行なうことにより、回転多面鏡12の動的面倒れ角
度を算出する。

回転多面鏡12から遮光部21までの距離はあらかじめ判明
しており、たとえばメモリ34に記憶されているものとす
る。この場合、回転多面鏡12と遮光部21との位置関係
を、第３図（ｂ）に示すように実際の使用製品の回転多
面鏡と感光体ドラム面との位置関係と同じにしておくこ
とにより、回転多面鏡12の感光体ドラム面上での反射ビ
ーム光Ｌの振れ幅を求め、回転多面鏡12の動的面倒れ角
度を算出することができる。

こうして、検出ポイントP₁における測定が終了すると、
次に検出部24を検出ポイントP₂,P₃と順次移動させ、各
検出ポイントP₂,P₃においてそれぞれ上記同様な測定動
作を行なう。

このようにして、各検出ポイントP₂,P₃における動的面
倒れ角度の測定が終了すると、次にマイクロプロセッサ
30は、動的面倒れ角度の測定時に得た走査位置情報B₁,B
₂,B₃、つまりメモリ34に記憶されている補正された走査
位置情報B₁,B₂,B₃により、スキャナユニット17から出力
される反射ビーム光Ｌの走査直線を測定する。すなわ
ち、たとえば第２図における検出ポイントP₁,P₃での反
射ビーム光Ｌの走査位置を直線で結び、検出ポイントP₂
での反射ビーム光Ｌの走査位置との幾何学的な位置の差
を求めることにより、反射ビーム光Ｌの走査直線性を測
定する。

以上説明したレーザビーム光の走査特性測定装置によれ
ば、実際の被走査面と同等の位置において、レーザビー
ム光の走査方向と直交方向の回転多面鏡の各面に対応す
るレーザビーム光の走査位置情報をそれぞれ検出し、こ
の検出した回転多面鏡の各面に対応した走査位置情報に
応じた回転多面鏡の動的面倒れ角度を測定する。このと
き、レーザビーム光の走査方向の例えば３箇所（走査開
始点、走査中間点、走査終了点）においてそれぞれ動的
面倒れ角度の測定を行なうことにより、３箇所における
レーザビーム光の走査位置情報が得られるので、その３
箇所の走査位置情報に応じてスキャナユニットから出力
されるレーザビーム光の走査直線性を測定するものであ
る。

これにより、３箇所における回転多面鏡の動的面倒れ角
度および、その回転多面鏡で反射されスキャナユニット
から出力されるレーザビーム光の走査直線性を同時に、
しかも高精度、短時間で、かつ実際の使用製品にそった
形で自動的に測定することができる。また、従来に比較
して測定装置自体もそれほど大形化することがなく、コ
ンパクトに構成することができる。

また、走査位置情報を検出するための検出部をレーザビ
ーム光の走査方向に移動させることにより、例えば３箇
所の走査位置情報をそれぞれ検出するので、単一の検出
部で３箇所の走査位置情報を検出することができる。し
たがって、よりコンパクトに構成できるとともにコスト
の低下が図れる。

さらに、検出部の移動によって生じるレーザビーム光の
走査方向と直交方向の機械的な位置ずれ量（位置誤差情
報）を、３箇所の検出ポイントごとにあらかじめ測定し
ておき、実際の測定時、各検出ポイントで検出した走査
位置情報を上記位置誤差情報を用いてそれぞれ補正する
ものである。

これにより、検出部の移動によって生じる機械的な位置
ずれ量などを補正でき、またスキャナユニットおよび検
出部などを治具に取付ける際の位置制度などが不要にな
るため、より短時間、かつ高精度で測定することが可能
となる。

なお、前記実施例では、レーザビーム光の走査方向の３
箇所においてそれぞれ動的面倒れ角度の測定を行なった
が、必ずしも３箇所で行なう必要はなく、少なくとも１
個所で行なえばよい。その場合、たとえば最初に３個箇
所検出ポイントにおいてそれぞれレーザビーム光の走査
位置情報を検出することにより、レーザビーム光の走査
直線性を測定し、その後、上記検出した３箇所の走査位
置情報のうちの１つの走査位置情報により、回転多面鏡
の動的面倒れ角度の測定を行なえばよい。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、回転多面鏡の動的
面倒れ角度および、その回転多面鏡で反射され、被走査
面上を直線的に走査するレーザビーム光の走査直線性を
高精度、短時間で、かつ実際の使用製品にそった形で自
動的に測定することができ、また測定装置自体もそれほ
ど大形化することのないレーザビーム光の走査特性測定
装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例を説明するためのもので、第１図
は全体的な構成図、第２図および第３図は動作を説明す
るための図、第４図は反射ビーム光が回転多面鏡の動的
面倒れ角度によって異なった位置を走査する様子を示す
図である。 11……走査用モータ、12……回転多面鏡、13……レーザ
発振器、17……スキャナユニット、20……受光部、20₁,
20₂……受光素子、21……遮光部、22……ステッピング
モータ、24……検出部、27……ステッピングモータ、30
……マイクロプロセッサ、31……メモリ。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被走査面上を直線的に走査するレーザビー
   ム光の走査特性を測定するものにおいて、 前記被走査面と同等の位置において、前記レーザビーム
   光の走査方向の少なくとも３箇所における前記走査方向
   と直交方向の前記レーザビーム光の走査位置情報をそれ
   ぞれ検出する検出手段と、 この検出手段で検出された各走査位置情報に応じて前記
   レーザビーム光の走査直線性を測定する演算手段と を具備したことを特徴とするレーザビーム光の走査特性
   測定装置。
2. 【請求項２】被走査面上を直線的に走査するレーザビー
   ム光の走査特性を測定するものにおいて、 前記被走査面と同等の位置において、前記レーザビーム
   光の走査方向と直交方向の前記レーザビーム光の走査位
   置情報を検出する検出手段と、 この検出手段を前記レーザビーム光の走査方向に移動さ
   せる移動制御手段と、 この移動制御手段による前記検出手段の移動に伴い、そ
   の検出手段から得られる前記レーザビーム光の走査方向
   の少なくとも３箇所における各走査位置情報に応じて前
   記レーザビーム光の走査直線性を測定する演算手段と を具備したことを特徴とするレーザビーム光の走査特性
   測定装置。
3. 【請求項３】被走査面上を直線的に走査するレーザビー
   ム光の走査特性を測定するものにおいて、 前記被走査面と同等の位置において、前記レーザビーム
   光の走査方向と直交方向の前記レーザビーム光の走査位
   置情報を検出する検出手段と、 この検出手段を前記レーザビーム光の走査方向に移動さ
   せる移動制御手段と、 この移動制御手段における前記レーザビーム光の走査方
   向と直交方向の位置誤差情報をあらかじめ得る手段と、 前記移動制御手段による前記検出手段の移動に伴い、そ
   の検出手段から得られる前記レーザビーム光の走査方向
   の少なくとも３箇所における各走査位置情報を前記位置
   誤差情報を用いてそれぞれ補正する補正手段と、 この補正手段で補正された各走査位置情報に応じて前記
   レーザビーム光の走査直線性を測定する演算手段と を具備したことを特徴とするレーザビーム光の走査特性
   測定装置。
4. 【請求項４】回転多面鏡によって反射され、被走査面上
   を直線的に走査するレーザビーム光の走査特性を測定す
   るものにおいて、 前記被走査面と同等の位置において、前記レーザビーム
   光の走査方向の少なくとも１箇所における前記走査方向
   と直交方向の前記回転多面鏡の各面に対応する前記レー
   ザビーム光の走査位置情報をそれぞれ検出する第１の検
   出手段と、 前記被走査面と同等の位置において、前記レーザビーム
   光の走査方向の少なくとも３箇所における前記走査方向
   と直交方向の前記レーザビーム光の走査位置情報をそれ
   ぞれ検出する第２の検出手段と、 前記第１の検出手段で検出された各走査位置情報に応じ
   て前記回転多面鏡の動的面倒れ角度を測定するととも
   に、前記第２の検出手段で検出された各走査位置情報に
   応じて前記レーザビーム光の走査直線性を測定する演算
   手段と を具備したことを特徴とするレーザビーム光の走査特性
   測定装置。