JPH0280245U - - Google Patents

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JPH0280245U
JPH0280245U JP16056788U JP16056788U JPH0280245U JP H0280245 U JPH0280245 U JP H0280245U JP 16056788 U JP16056788 U JP 16056788U JP 16056788 U JP16056788 U JP 16056788U JP H0280245 U JPH0280245 U JP H0280245U
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pulley
slide
idler pulley
screw groove
idler
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案によるワイヤを用いた送り装
置の実施例を示す略図である。第２図は、従来の
ワイヤを用いた送り装置の動作原理を示す略図で
ある。 １……ワイヤ、３……スライドプーリ、３ａ…
…スクリユー溝、４……アイドルプーリ、５……
ストロークベアリング、６……ボール、７……ス
プラインカツプリング、８……モータ、９……駆
動対象物、１１……送りプーリ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 表面にスクリユー溝が設けられている円筒部を
    もつスライドプーリと、前記スライドプーリを軸
    方向に移動可能に支持する軸受部と、アイドルプ
    ーリと、前記スライドプーリに複数回巻きつけら
    れて前記アイドルプーリ間に掛け渡たされている
    ワイヤと、固定位置に設けられ前記アイドルプー
    リのスクリユー溝に結合させられ前記アイドルプ
    ーリを回転進退可能に案内するアイドルプーリ回
    転進退案内部と、前記ワイヤに連結されている駆
    動対象物と、前記スライドプーリに回転力を伝達
    するスライドプーリ駆動機構から構成されている
    ワイヤを用いた送り装置。
JP1988160567U 1988-12-09 1988-12-09 Expired JPH0452514Y2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1988160567U JPH0452514Y2 (ja) 1988-12-09 1988-12-09
US07/431,171 US5022619A (en) 1988-12-09 1989-10-26 Positioning device of table for semiconductor wafers

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1988160567U JPH0452514Y2 (ja) 1988-12-09 1988-12-09

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0280245U true JPH0280245U (ja) 1990-06-20
JPH0452514Y2 JPH0452514Y2 (ja) 1992-12-10

Family

ID=31442743

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1988160567U Expired JPH0452514Y2 (ja) 1988-12-09 1988-12-09

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JP (1) JPH0452514Y2 (ja)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6347947U (ja) * 1986-09-17 1988-03-31

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6347947U (ja) * 1986-09-17 1988-03-31

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0452514Y2 (ja) 1992-12-10

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