JPH0452514Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、半導体ウエーハ等を載置して移動さ
せられるステージや、Ｘ・Ｙプロツタ等の直線送
り機構などに利用されるワイヤを用いた送り装置
に関する。

（従来の技術） 回転運動を直線運動に変換して前記ステージや
Ｘ・Ｙプロツタ等移動させる機構として、直線案
内されねじに結合させられているものをねじを回
転させて駆動するいわゆるボールスクリユー形式
の機構や、ワイヤを用いた送り装置が知られてい
る。

従来のワイヤを用いた送り装置とその問題点を
簡単に説明する。

第２図は従来のワイヤを用いた送り装置動作原
理を示す略図である。

送りプーリ１１とアイドルプーリ４間にワイヤ
１が掛け渡されている。

その間で、ワイヤ１は駆動対象物９に結合させ
られており、送りプーリ１１をモータ８で回転さ
せるとワイヤ１が移動させられて、駆動対象物８
がワイヤ１に沿つて移動させられる。

なお送りプーリ１１とワイヤ１の間に滑りが発
生しないために、ある程度のワイヤ１にある程度
の張力を保つてしかも複数回巻きつけられてい
る。

（考案が解決しようとする課題） 良く知られているように、送りプーリ１１の回
転にしたがつて、ワイヤ１は巻き取られる方向に
ワイヤ１の太さ程度のピツチで移動する。

そのために、送りプーリ１１はその分を見込ん
だ長さに設けられている。

そのため、端から端までは例えば角度θの位置
ずれが発生する。そして前記送りにつれてワイヤ
１の軸方向の移動は、送り対象の送りのずれや、
ワイヤ１の伸縮の原因となり、正確な送りができ
ないという問題があつた。

そのために従来の装置ではモータの回転量と送
りについては、場所によりある程度の誤差の発生
することを前提とし、それが許容される範囲内で
使用している。

本考案の目的は前述したほどけ側から巻き取り
側への移動のための誤差発生を防止することがで
きるワイヤを用いた送り装置を提供することにあ
る。

（課題を解決するための手段） 前記目的を達成するために、本考案によるワイ
ヤを用いた送り装置は、 表面にスクリユー溝が設けられている円筒部を
もつスライドプーリと、 前記スライドプーリを軸方向に移動可能に支持
する軸受部と、 アイドルプーリと、 前記スライドプーリに複数回巻き付けられて前
記アイドルプーリ間に掛け渡たされているワイヤ
と、 固定位置に設けられた前記スライドプーリのス
クリユー溝に結合させられ前記スライドプーリを
回転進退可能に案内するスライドプーリ回転進退
案内部と、 前記ワイヤに連結されている駆動対象物と、 前記スライドプーリに回転力を伝達するスライ
ドプーリ駆動機構から構成されている。

（実施例） 本考案を図面等を参照して、さらに詳しく説明
する。

第１図は本考案によるワイヤを用いた送り装置
の実施を示す略図である。

表面にスクリユー溝が設けられている円筒部を
もつスライドプーリと、スライドプーリ３は円筒
状の胴部とストロークベアリング５に結合する軸
部３ｂとスプラインカツプリングを形成するスプ
ライン軸部３ｃから構成されている。

そして前記スライドプーリ３の円筒状の胴部に
はスクリユー溝３ａが設けられている。

このスクリユー溝３ａのピツチは後述する、ず
れまたは送りの１ピツチに相当する。

そして、ストロークベアリング５はスライドプ
ーリ３を軸方向に移動可能に支持する軸受部を形
成している。

ワイヤ１は、スライドプーリ３のスクリユー溝
３ａに沿つて複数回巻きつけられて固定位置に回
転可能に支持されているアイドルプーリ４間に掛
け渡されている。

スプライン軸部３ｃはスプラインカツプリング
７でモータ８に結合されており、モータ８からの
回転力が伝達される。

スライドプーリ回転進退案内部を形成するボー
ル６は固定位置に設けられたボール受けに支持さ
れて前記スライドプーリ３のスクリユー溝３ａに
押しあてられており、ライドプーリ３の回転と進
退の案内をしている。

駆動対象物９は図示しない他の直進案内機構な
どに、案内されており前記ワイヤ１に連結されて
いる。

本考案による装置は以上のように構成されてい
るから、モータ８を正逆に回転させることにより
ワイヤ１を移動させて、駆動対象物９を移動させ
ることができる。

モータ８の回転によりスライドプーリ３が回転
させられると、その回転に対応する量、つまりワ
イヤ１の巻き取りによるずれ分だけスライドプー
リ３が移動させられるからワイヤ１の左端の結合
部は、固定位置に対して変わらないことになる。

その結果ワイヤの張力は変化しない。

（考案の効果） 以上詳しく説明したように、本考案によるワイ
ヤを用いた送り装置は、スライドプーリと、前記
スライドプーリを軸方向に移動可能に支持する軸
受部と、アイドルプーリと、前記アイドルプーリ
間に掛け渡たされているワイヤと、スライドプー
リ回転進退案内部と、スライドプーリ駆動機構か
ら構成されている。

したがつて、構造は極めて簡単で、従来のボール
およびスクリユー機構よりも安価であ る。

またワイヤを介して駆動対象を移動させるから
駆動源等からの振動は前記駆動対象に到達するま
でに減衰させられる。従来のボールおよびスクリ
ユー機構の装置では駆動対象に振動が伝えられ易
いと言う問題があつた。

また前述したようにスライドプーリは回転と同
時に移動するのでワイヤの移動、ワイヤの張力の
変化がなくなり、正確な移動が可能になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案によるワイヤを用いた送り装
置の実施例を示す略図である。第２図は、従来の
ワイヤを用いた送り装置の動作原理を示す略図で
ある。 １……ワイヤ、３……スライドプーリ、３ａ…
…スクリユー溝、４……アイドルプーリ、５……
ストロークベアリング、６……ボール、７……ス
プラインカツプリング、８……モータ、９……駆
動対象物、１１……送りプーリ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 表面にスクリユー溝が設けられている円筒部を
   もつスライドプーリと、 前記スライドプーリを軸方向に移動可能に支持
   する軸受部と、 アイドルプーリと、 前記スライドプーリに複数回巻き付けられて前
   記アイドルプーリ間に掛け渡たされているワイヤ
   と、 固定位置に設けられた前記スライドプーリのス
   クリユー溝に結合させられ前記スライドプーリを
   回転進退可能に案内するスライドプーリ回転進退
   案内部と、 前記ワイヤに連結されている駆動対象物と、 前記スライドプーリに回転力を伝達するスライ
   ドプーリ駆動機構から構成されているワイヤを用
   いた送り装置。