JPH0280928A - 赤外線イメージセンサ - Google Patents
赤外線イメージセンサInfo
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- JPH0280928A JPH0280928A JP63232931A JP23293188A JPH0280928A JP H0280928 A JPH0280928 A JP H0280928A JP 63232931 A JP63232931 A JP 63232931A JP 23293188 A JP23293188 A JP 23293188A JP H0280928 A JPH0280928 A JP H0280928A
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- Japan
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- membrane
- solid
- infrared
- image sensor
- fiber plate
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- Pending
Links
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Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
赤外線レーザからの光ビームの強度分布を測定するため
の赤外線イメージセンサに関する。
の赤外線イメージセンサに関する。
この発明は、波長が１．２−以上の赤外線レーザからの
光ビームの強度分布を測定するための簡易な測定・記録
用の赤外線イメージセンサを得ることを目的として、固
体撮像素子とファイバープレートと非線形光学材料の多
結晶膜とから赤外線イメージセンサを構成したものであ
る。
光ビームの強度分布を測定するための簡易な測定・記録
用の赤外線イメージセンサを得ることを目的として、固
体撮像素子とファイバープレートと非線形光学材料の多
結晶膜とから赤外線イメージセンサを構成したものであ
る。
従来、この種の技術に関しては、赤外輝尽蛍光体膜で、
赤外光ビームの強度分布を可視光像に変換し、さらに可
視光像をレンズ付のカメラで撮像していた。
赤外光ビームの強度分布を可視光像に変換し、さらに可
視光像をレンズ付のカメラで撮像していた。
上記従来技術においては、赤外輝尽蛍光体膜を短波長の
光で予備励起する必要があり、また連続的に赤外線を照
射すると発光強度が減少しでいくという問題があった。
光で予備励起する必要があり、また連続的に赤外線を照
射すると発光強度が減少しでいくという問題があった。
本発明は上記の問題点を解決するためになされたもので
、赤外線をその２次高調波に変換する非線形光学材料の
多結晶膜と、光ファイバの束であるファイバープレート
と、０．４〜１．１−の波長で悪魔をもつ固体撮像素子
から赤外線イメージセンサを構成したので、１．２ Ｊ
Ｍ以上の波長の赤外線強炭分布を簡易に測定・記録する
ことが可能となったものである。
、赤外線をその２次高調波に変換する非線形光学材料の
多結晶膜と、光ファイバの束であるファイバープレート
と、０．４〜１．１−の波長で悪魔をもつ固体撮像素子
から赤外線イメージセンサを構成したので、１．２ Ｊ
Ｍ以上の波長の赤外線強炭分布を簡易に測定・記録する
ことが可能となったものである。
上記構成の作用は先ず、波長が１．２〜２．０−の赤外
光ビームが非線形光学材料の多結晶膜に入射すると、２
次高調波である０、６〜１．０μｍの光が発生し、入射
した赤外光の強度分布に対応した光分布ができる。ファ
イバープレートは光分布を固体撮像素子の入力面に伝送
するので、固体撮像素子からは赤外光の強度分布に対応
した画像信号を得ることができる。
光ビームが非線形光学材料の多結晶膜に入射すると、２
次高調波である０、６〜１．０μｍの光が発生し、入射
した赤外光の強度分布に対応した光分布ができる。ファ
イバープレートは光分布を固体撮像素子の入力面に伝送
するので、固体撮像素子からは赤外光の強度分布に対応
した画像信号を得ることができる。
固体（最像素子は通常、０．４〜１．０μｍの波長域で
感度を持つものを入手できる。
感度を持つものを入手できる。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。固
体撮像素子３は可視光撮像用の２５万画素のＣＣＤ素子
を用いた。固体撮像素子３の入力面にはファイバープレ
ート２が光学接着剤を用いて接着されている。ファイバ
ープレート２の他面には非線形光学材料の一種であるＫ
１１ｔＰＯ，の粉末を塗布した多結晶膜工が形成されて
いる。
体撮像素子３は可視光撮像用の２５万画素のＣＣＤ素子
を用いた。固体撮像素子３の入力面にはファイバープレ
ート２が光学接着剤を用いて接着されている。ファイバ
ープレート２の他面には非線形光学材料の一種であるＫ
１１ｔＰＯ，の粉末を塗布した多結晶膜工が形成されて
いる。
非線形光学材料の多層膜１の材料として他の非線形光学
材料を用いてもよい。
材料を用いてもよい。
半導体レーザの１．２μｍ以上の波長の光ビームが照射
されると、照射は赤外線はシリコン膜４を透過して、非
線形光学材料の多結晶膜ｌに入射し、非線形光学材料の
多結晶膜１上に２次高周波の光分布を発生させる。２次
高周波の光分布はファイバープレート２によって、固体
撮像素子３の入力面に伝送される。このとき２次高周波
の波長が０．４〜１．０−の範囲であれば、固体撮像素
子３は入射赤外襟の強度分布に対応した画像信号を出力
する。
されると、照射は赤外線はシリコン膜４を透過して、非
線形光学材料の多結晶膜ｌに入射し、非線形光学材料の
多結晶膜１上に２次高周波の光分布を発生させる。２次
高周波の光分布はファイバープレート２によって、固体
撮像素子３の入力面に伝送される。このとき２次高周波
の波長が０．４〜１．０−の範囲であれば、固体撮像素
子３は入射赤外襟の強度分布に対応した画像信号を出力
する。
本実施例では、０．４〜１．０μｍの波長域に感度をも
つ通常の固体Ｉ最像素子を使用しているが、Ｋｌｌ□ｐ
ｏ４は１．５＃Ｉ＋！以上の波長の赤外線を透過しない
ので本実施例では１．５ｔＩｍ以下の波長に感度をもつ
。
つ通常の固体Ｉ最像素子を使用しているが、Ｋｌｌ□ｐ
ｏ４は１．５＃Ｉ＋！以上の波長の赤外線を透過しない
ので本実施例では１．５ｔＩｍ以下の波長に感度をもつ
。
本実施例では、非線形光学材料の多結晶膜の赤外線入射
側にシリコン膜４を蒸着により形成した。
側にシリコン膜４を蒸着により形成した。
シリコンは１．２−より短い波長の光を通さないので、
蛍光灯の照明の下でも１．２〜２．０μｍの赤外光強度
分布を測定できる。
蛍光灯の照明の下でも１．２〜２．０μｍの赤外光強度
分布を測定できる。
なお、ファイバープレート２と非線形光学材料の多結晶
膜１の間に、イメージファイババンドル等の他のファイ
バ光学系を入れることもできる。
膜１の間に、イメージファイババンドル等の他のファイ
バ光学系を入れることもできる。
この発明は以上説明したように、固体撮像素子とファイ
バープレートと非線形光学材料の多結晶膜とから構成す
ることにより、簡易に１．２〜２．０μｍの赤外レーザ
からの赤外光ビームの強度分布を簡易に計測・記録でき
る赤外線イメージセンサを得たちのである。
バープレートと非線形光学材料の多結晶膜とから構成す
ることにより、簡易に１．２〜２．０μｍの赤外レーザ
からの赤外光ビームの強度分布を簡易に計測・記録でき
る赤外線イメージセンサを得たちのである。
６ ・ ・
リード
７ ・
・基板
以上
出願人 セイコー電子工業株式会社
代理人°弁理士 林 敬 之 助
第１図は本発明による赤外イメージセンサの一実施例を
示す側断面図である。 ｌ・・・非線形光学材料の多結晶膜 ２・・・ファイバープレート ３・・・固体撮像素子 ４・・・シリコン膜 ５・・・ポンディングワイヤー
示す側断面図である。 ｌ・・・非線形光学材料の多結晶膜 ２・・・ファイバープレート ３・・・固体撮像素子 ４・・・シリコン膜 ５・・・ポンディングワイヤー
Claims (2)
- （１）固体撮像素子とファイバープレートと非線形光学
材料の多結晶膜とから構成されることを特徴とする赤外
線イメージセンサ - （２）前記非線形光学材料の多結晶膜の赤外線入射側に
シリコン膜を形成したことを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の赤外線イメージセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63232931A JPH0280928A (ja) | 1988-09-16 | 1988-09-16 | 赤外線イメージセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63232931A JPH0280928A (ja) | 1988-09-16 | 1988-09-16 | 赤外線イメージセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0280928A true JPH0280928A (ja) | 1990-03-22 |
Family
ID=16947091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63232931A Pending JPH0280928A (ja) | 1988-09-16 | 1988-09-16 | 赤外線イメージセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0280928A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0354870A (ja) * | 1989-07-24 | 1991-03-08 | Hamamatsu Photonics Kk | 不可視光イメージ検出装置 |
| CN1035842C (zh) * | 1990-04-25 | 1997-09-10 | 北美飞利浦公司 | 波长转换方法及装置 |
| JP2002043592A (ja) * | 2000-05-19 | 2002-02-08 | Agilent Technol Inc | 光導電性スイッチ |
| WO2003023338A1 (fr) * | 2001-09-10 | 2003-03-20 | Hamamatsu Photonics K.K. | Element de conversion visible par infrarouge et detecteur de rayonnement infrarouge |
| JP2003092395A (ja) * | 2001-09-19 | 2003-03-28 | Sony Corp | 撮像装置 |
| CN100456811C (zh) * | 2004-12-21 | 2009-01-28 | 三星电子株式会社 | 具有宽动态范围的图像感应装置和使用其的图像拾取设备 |
| JP2019075463A (ja) * | 2017-10-16 | 2019-05-16 | 株式会社豊田中央研究所 | シリコンフォトダイオード |
-
1988
- 1988-09-16 JP JP63232931A patent/JPH0280928A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0354870A (ja) * | 1989-07-24 | 1991-03-08 | Hamamatsu Photonics Kk | 不可視光イメージ検出装置 |
| CN1035842C (zh) * | 1990-04-25 | 1997-09-10 | 北美飞利浦公司 | 波长转换方法及装置 |
| JP2002043592A (ja) * | 2000-05-19 | 2002-02-08 | Agilent Technol Inc | 光導電性スイッチ |
| WO2003023338A1 (fr) * | 2001-09-10 | 2003-03-20 | Hamamatsu Photonics K.K. | Element de conversion visible par infrarouge et detecteur de rayonnement infrarouge |
| JP2003092395A (ja) * | 2001-09-19 | 2003-03-28 | Sony Corp | 撮像装置 |
| CN100456811C (zh) * | 2004-12-21 | 2009-01-28 | 三星电子株式会社 | 具有宽动态范围的图像感应装置和使用其的图像拾取设备 |
| JP2019075463A (ja) * | 2017-10-16 | 2019-05-16 | 株式会社豊田中央研究所 | シリコンフォトダイオード |
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