JPH0281613U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係る天吊型クリー
ンユニツトの接続構造を示す一部切り欠き側面図
である。第２図は第１図に於ける一方の天吊型ク
リーンユニツトの側面図である。第３図は第１図
に於ける他方の天吊型クリーンユニツトの側面図
である。第４図は第１図に於ける天吊型クリーン
ユニツトの接続構造の拡大断面図である。第５図
は第１図に於ける天吊型クリーンユニツトの接続
構造を構築する前の状態を示す拡大断面図である
。第６図は従来の全面ラミナーフロー方式による
クリーンルームの概略構成を示す正面図である。
第７図は従来のコンベンシヨナル方式によるクリ
ーンルームの概略構成を示す正面図である。第８
図は従来に於けるクリーンユニツトの接続構造を
示す説明図である。 〔主要な部分の符号の説明〕、１……天吊型ク
リーンユニツト、２……ＨＥＰＡフイルタ、５…
…開口部、６……天板、８，９……内側フランジ
、８１……環状凹溝、８２……位置決め用凹部、
９１……環状凸部、９２……位置決め用の突起、
１０……シール剤。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 上面を開口とする断面半円形状のフイルタ
   装置の前記開口を天板により覆つて成るクリーン
   ユニツトを、直列に複数接続して成る天吊型クリ
   ーンユニツトに於て、前記クリーンユニツトの両
   端面に夫々内側フランジを形成すると共に、一方
   の内側フランジに沿つて環状凹溝を形成し、他方
   の内側フランジに沿つて前記環状凹溝に挿入可能
   な形状の環状凸部を形成し、更に前記環状凹溝内
   にシール剤を充填して成る天吊型クリーンユニツ
   トの接続構造。 (2) 請求項１記載の天吊型クリーンユニツトの
   接続構造に於て、一方の内側フランジに形成した
   環状凹溝の外側に複数の位置決め部材を設けると
   共に、他方の内側フランジに形成した環状凸部の
   外側に上記位置決め部材と係合可能な複数の位置
   決め部材を設けた天吊型クリーンユニツトの接続
   構造。