JPH0191829U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0191829U JPH0191829U JP18647587U JP18647587U JPH0191829U JP H0191829 U JPH0191829 U JP H0191829U JP 18647587 U JP18647587 U JP 18647587U JP 18647587 U JP18647587 U JP 18647587U JP H0191829 U JPH0191829 U JP H0191829U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hepa
- clean booth
- fan
- utility
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Air-Flow Control Members (AREA)
Description
第１図は、本考案の一実施例を説明する図で、
同図ａは平面図、ｂは側断面図、第２図は、本考
案の他の実施例を説明する図で、同図ａは平面図
、ｂは側断面図、第３図〜第５図は、従来のクリ
ーンブースの構造を説明する図で、第３図ａは平
面図、ｂは側断面図、第４図ａはパンチング板を
用いた平面図、ｂは側断面図、第５図ａは遮蔽板
を用いた平面図、ｂは側断面図である。 図において、１はフレーム部、２はＨＥＰＡユ
ニツト、３はフアン、４はＨＥＰＡフイルタ、５
はパンチング板、６は遮蔽板、７は偏向板、８
は偏向板、９，１０はルーバ式偏向板、３１は
送風口、をそれぞれ示す。
同図ａは平面図、ｂは側断面図、第２図は、本考
案の他の実施例を説明する図で、同図ａは平面図
、ｂは側断面図、第３図〜第５図は、従来のクリ
ーンブースの構造を説明する図で、第３図ａは平
面図、ｂは側断面図、第４図ａはパンチング板を
用いた平面図、ｂは側断面図、第５図ａは遮蔽板
を用いた平面図、ｂは側断面図である。 図において、１はフレーム部、２はＨＥＰＡユ
ニツト、３はフアン、４はＨＥＰＡフイルタ、５
はパンチング板、６は遮蔽板、７は偏向板、８
は偏向板、９，１０はルーバ式偏向板、３１は
送風口、をそれぞれ示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) フレーム部とＨＥＰＡユニツトからなるク
リーンブースの構造において、 前記ＨＥＰＡユニツト２はフアン３とＨＥＰＡ
フイルタ４からなり、該フアン３の送風口３１の
前方に空気の流れを制御する偏向板７と偏向板
８を設けたことを特徴とするクリーンブースの
構造。 (2) 前記偏向板，７，８とＨＥＰＡフイル
タ４との間にルーバ式偏向板９，１０を付設した
ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第(1)
項に記載のクリーンブースの構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18647587U JPH0191829U (ja) | 1987-12-08 | 1987-12-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18647587U JPH0191829U (ja) | 1987-12-08 | 1987-12-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0191829U true JPH0191829U (ja) | 1989-06-16 |
Family
ID=31477701
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18647587U Pending JPH0191829U (ja) | 1987-12-08 | 1987-12-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0191829U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03264799A (ja) * | 1990-03-15 | 1991-11-26 | Taikisha Ltd | ファンフィルタユニット |
| JP2015166646A (ja) * | 2014-03-03 | 2015-09-24 | 三機工業株式会社 | 排気の循環利用型安全キャビネット及び排気の循環利用型安全キャビネットを備えるクリーンルームの空気循環システム |
-
1987
- 1987-12-08 JP JP18647587U patent/JPH0191829U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03264799A (ja) * | 1990-03-15 | 1991-11-26 | Taikisha Ltd | ファンフィルタユニット |
| JP2015166646A (ja) * | 2014-03-03 | 2015-09-24 | 三機工業株式会社 | 排気の循環利用型安全キャビネット及び排気の循環利用型安全キャビネットを備えるクリーンルームの空気循環システム |