JPH0281660U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0281660U JPH0281660U JP15824488U JP15824488U JPH0281660U JP H0281660 U JPH0281660 U JP H0281660U JP 15824488 U JP15824488 U JP 15824488U JP 15824488 U JP15824488 U JP 15824488U JP H0281660 U JPH0281660 U JP H0281660U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- ultrasonic sprayer
- thin film
- forming apparatus
- film forming
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 claims 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Special Spraying Apparatus (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の薄膜作成装置の一実施例を概
略的に示す図、第２図はこの実施例の―線に
沿う断面図、第３図は本考案の他の実施例の第２
図に対応する図である。 １……超音波噴霧器、１ｂ……噴出口、３……
基板移動手段（基板載置部）、４……基板、６…
…排気ダクト（排気手段）。
略的に示す図、第２図はこの実施例の―線に
沿う断面図、第３図は本考案の他の実施例の第２
図に対応する図である。 １……超音波噴霧器、１ｂ……噴出口、３……
基板移動手段（基板載置部）、４……基板、６…
…排気ダクト（排気手段）。
Claims (1)
- 超音波によつて塗布液を霧状に噴出する超音波
噴霧器と、この超音波噴霧器の噴出口に対向する
ように配置された基板載置部と、前記霧状の塗布
液を前記基板載置部の方へ誘導する排気手段とを
備えていることを特徴とする薄膜作成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15824488U JPH0281660U (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15824488U JPH0281660U (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0281660U true JPH0281660U (ja) | 1990-06-25 |
Family
ID=31438395
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15824488U Pending JPH0281660U (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0281660U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS613885A (ja) * | 1984-06-18 | 1986-01-09 | Taiyo Yuden Co Ltd | 霧化薄膜作製方法 |
-
1988
- 1988-12-05 JP JP15824488U patent/JPH0281660U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS613885A (ja) * | 1984-06-18 | 1986-01-09 | Taiyo Yuden Co Ltd | 霧化薄膜作製方法 |