JPH0281785U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0281785U JPH0281785U JP1988161785U JP16178588U JPH0281785U JP H0281785 U JPH0281785 U JP H0281785U JP 1988161785 U JP1988161785 U JP 1988161785U JP 16178588 U JP16178588 U JP 16178588U JP H0281785 U JPH0281785 U JP H0281785U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- beam diameter
- bend mirror
- lens
- mirror
- convex
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Description
第１図はこの発明のビーム径拡大装置を実施す
る一実施例のレーザ加工装置の概略図、第２図は
ビーム径拡大装置の他の実施例を示した図、第３
図はさらに第２図の変形例を示した図である。 ５……ベンドミラー、７……集光レンズ、１１
……凹レンズ、１３……凸レンズ、１５……ビー
ム径拡大装置、ＬＢ……レーザビーム。
る一実施例のレーザ加工装置の概略図、第２図は
ビーム径拡大装置の他の実施例を示した図、第３
図はさらに第２図の変形例を示した図である。 ５……ベンドミラー、７……集光レンズ、１１
……凹レンズ、１３……凸レンズ、１５……ビー
ム径拡大装置、ＬＢ……レーザビーム。
Claims (1)
- レーザビーム径を拡大するビーム径拡大装置に
して、レーザビームの光路を屈曲するベンドミラ
ーの前側に凹レンズを、かつベンドミラーの後側
に凸レンズを配設するか、あるいはベンドミラー
を凸面鏡としてベンドミラーの後側に凸レンズを
配設してなり、前記ベンドミラーと少なくとも１
つのレンズをユニツト化してなることを特徴とす
るビーム径拡大装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988161785U JPH0281785U (ja) | 1988-12-15 | 1988-12-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988161785U JPH0281785U (ja) | 1988-12-15 | 1988-12-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0281785U true JPH0281785U (ja) | 1990-06-25 |
Family
ID=31445029
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988161785U Pending JPH0281785U (ja) | 1988-12-15 | 1988-12-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0281785U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS532091B2 (ja) * | 1972-11-09 | 1978-01-25 |
-
1988
- 1988-12-15 JP JP1988161785U patent/JPH0281785U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS532091B2 (ja) * | 1972-11-09 | 1978-01-25 |