JPH0282205A - 光導波路体の製造方法 - Google Patents
光導波路体の製造方法Info
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- JPH0282205A JPH0282205A JP23457288A JP23457288A JPH0282205A JP H0282205 A JPH0282205 A JP H0282205A JP 23457288 A JP23457288 A JP 23457288A JP 23457288 A JP23457288 A JP 23457288A JP H0282205 A JPH0282205 A JP H0282205A
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Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、チャネル形の先導波路が基板に一体的に設け
られている光導波路体の製造方法に関するものである。
られている光導波路体の製造方法に関するものである。
本発明は、上記の様な光導波路体の製造方法において、
形成すべき光導波路のパターンの溝を有する基板を射出
成形で形成し、この溝へ樹脂を充填して光導波路を形成
することによって、品質が高く、取扱いも容易で、厚膜
光導波路を有する先導波路体をも効率的に製造すること
ができる様にしたものである。
形成すべき光導波路のパターンの溝を有する基板を射出
成形で形成し、この溝へ樹脂を充填して光導波路を形成
することによって、品質が高く、取扱いも容易で、厚膜
光導波路を有する先導波路体をも効率的に製造すること
ができる様にしたものである。
光導波路体は、光フアイバ同士の間や光ファイバと受発
光素子との間等に挿入されて導波光の分岐や合流等を行
う光カプラ等として用いられている。
光素子との間等に挿入されて導波光の分岐や合流等を行
う光カプラ等として用いられている。
一方、光ファイバを材料面から分類すると、ガラス系光
ファイバとプラスチック系光ファイバとに大別される。
ファイバとプラスチック系光ファイバとに大別される。
プラスチック系光ファイバは、ガラス系光ファイバに比
べて、口径を大きく (例えば100μm〜1000μ
m程度)して開口数を大きくできるという利点を有して
いる。
べて、口径を大きく (例えば100μm〜1000μ
m程度)して開口数を大きくできるという利点を有して
いる。
従って、プラスチック系光ファイバを用いてその利点を
生かすためには、光導波路体も大口径の光導波路を有し
ている必要がある。
生かすためには、光導波路体も大口径の光導波路を有し
ている必要がある。
このため、高分子材料、ガラス、カルコゲナイド、Li
Nb0.、ZnO等を用い、基板に対するスピンコーテ
ィング、熱蒸着、スパフタリング、CVD、重合、熱拡
散、イオン交換、イオン注入等を行って、所望パターン
の薄膜先導波路を形成した従来公知の光導波路体は、プ
ラスチック光ファイバに利用することができない。
Nb0.、ZnO等を用い、基板に対するスピンコーテ
ィング、熱蒸着、スパフタリング、CVD、重合、熱拡
散、イオン交換、イオン注入等を行って、所望パターン
の薄膜先導波路を形成した従来公知の光導波路体は、プ
ラスチック光ファイバに利用することができない。
そこで本出願人は、射出成形装置の一方の型に透明基板
を収容し、型締めによってこの基板の表面と他方の型の
表面とで形成され所望の光導波路パターンを有するキャ
ビティ内へ基板よりも屈折率の高い透明樹脂を射出して
、厚膜光導波路を有する光導波路体を製造する方法を、
特願昭62229638号として既に提案した。
を収容し、型締めによってこの基板の表面と他方の型の
表面とで形成され所望の光導波路パターンを有するキャ
ビティ内へ基板よりも屈折率の高い透明樹脂を射出して
、厚膜光導波路を有する光導波路体を製造する方法を、
特願昭62229638号として既に提案した。
しかし上述の方法では、先導波路が基板上で盛り上がっ
ているりソジ光導波路が形成されてしまう。従って、光
導波路が破損し易く、この様な光導波路体は品質が高く
ない。また、ハウジングへの収納等の取扱いも容易でな
い。
ているりソジ光導波路が形成されてしまう。従って、光
導波路が破損し易く、この様な光導波路体は品質が高く
ない。また、ハウジングへの収納等の取扱いも容易でな
い。
これらに対しては、光導波路体の表面が平坦になる様に
光導波路を保護層で覆えばよいが、それだけ製造工程が
増加して製造コストが高くなる。
光導波路を保護層で覆えばよいが、それだけ製造工程が
増加して製造コストが高くなる。
本発明による光導波路体の製造方法は、形成すべき光導
波路12のパターンの43aを有する基板3を透光性の
第1の樹脂の射出成形で形成する工程と、前記第1の樹
脂よりも屈折率の高い透光性の第2の樹脂11を前記溝
3aへ充填して前記光導波路12を形成する工程とを夫
々具備している。
波路12のパターンの43aを有する基板3を透光性の
第1の樹脂の射出成形で形成する工程と、前記第1の樹
脂よりも屈折率の高い透光性の第2の樹脂11を前記溝
3aへ充填して前記光導波路12を形成する工程とを夫
々具備している。
本発明による光導波路体の製造方法では、形成すべき光
導波路12のパターンの溝3aを有する基板3を射出成
形で形成し、この溝3aへ樹脂11を充填して先導波路
12を形成しているので、先導波路12のパターンの現
れている面が平坦な光導波路体を製造することができる
。
導波路12のパターンの溝3aを有する基板3を射出成
形で形成し、この溝3aへ樹脂11を充填して先導波路
12を形成しているので、先導波路12のパターンの現
れている面が平坦な光導波路体を製造することができる
。
以下、本発明の第1〜第3実施例を、第1図〜第3図を
参照しながら説明する。
参照しながら説明する。
第1図が、第1実施例を示している。この第1実施例で
は、第1A図に示す様な射出成形用の一対の金型l、2
をまず準備する。金型lには、形成すべき先導波路のパ
ターンに対応する凸部1aが設けられており、金型2に
は、矩形の凹部2aが設けられている。
は、第1A図に示す様な射出成形用の一対の金型l、2
をまず準備する。金型lには、形成すべき先導波路のパ
ターンに対応する凸部1aが設けられており、金型2に
は、矩形の凹部2aが設けられている。
この第1実施例で製造する光導波路体は2:1の光分岐
・合流用であり、従って、凸部1aのパターンはY字型
である。
・合流用であり、従って、凸部1aのパターンはY字型
である。
この様な金型1.2を用いて射出成形を行い、金型1.
2を開いて成形品を取り出すと、第1B図に示す様に、
光導波路のパターンの溝3aを有する基板3が得られる
。
2を開いて成形品を取り出すと、第1B図に示す様に、
光導波路のパターンの溝3aを有する基板3が得られる
。
次に、第1C図に示す様に、基板3の外周と同一形状の
四部を有する型4内へ基板3を挿入し、この基板3自体
を下型として、紫外線硬化型等の樹脂11を溝3a内へ
注入して固化させる注型成形を行う。
四部を有する型4内へ基板3を挿入し、この基板3自体
を下型として、紫外線硬化型等の樹脂11を溝3a内へ
注入して固化させる注型成形を行う。
その後、型4から基板3を取り出すと、第1D図に示す
様に、溝3aの部分に光導波路12が形成された先導波
路体が得られる。
様に、溝3aの部分に光導波路12が形成された先導波
路体が得られる。
なお、第1A図の工程で基板3を射出成形した時点でこ
の基板3を金型2から取り出さず、この金型2をそのま
ま型4の代りに用いてもよい。
の基板3を金型2から取り出さず、この金型2をそのま
ま型4の代りに用いてもよい。
第2図は、第2実施例を示している。この第2実施例は
、光導波路12をも射出成形で形成することを除いて、
上述の第1実施例と実質的に同様の工程を有している。
、光導波路12をも射出成形で形成することを除いて、
上述の第1実施例と実質的に同様の工程を有している。
即ち、第1A図の工程が終了すると、金型2と略同−形
状の金型6内へ基板3を挿入し、平板状の金型5を金型
1の代りに用いて、射出成形を行う。
状の金型6内へ基板3を挿入し、平板状の金型5を金型
1の代りに用いて、射出成形を行う。
この様な第2実施例でも、上述の第1実施例と同様に、
第1D図に示す様な光導波路体が得られる。
第1D図に示す様な光導波路体が得られる。
なお、この第2実施例でも、第1A図の工程で基板3を
射出成形した時点でこの基板3を金型2から取り出さず
、この金型2をそのまま金型6の代りに用い、金型1の
みを金型5に取り代えて射出成形を行うという、いわゆ
る2色成形を行ってもよい。
射出成形した時点でこの基板3を金型2から取り出さず
、この金型2をそのまま金型6の代りに用い、金型1の
みを金型5に取り代えて射出成形を行うという、いわゆ
る2色成形を行ってもよい。
この様な2色成形を行えば、より高い精度の光導波路体
をより高い生産性で製造することができる。
をより高い生産性で製造することができる。
ところで、以上の様な第1及び第2実施例の何れにおい
ても、基板3及び光導波路12の材料としては、透光性
の樹脂であれば特に制限はないが、光導波路体の性質上
、基板3の屈折率よりも先導波路体12の屈折率の方が
常に高くなければならない。
ても、基板3及び光導波路12の材料としては、透光性
の樹脂であれば特に制限はないが、光導波路体の性質上
、基板3の屈折率よりも先導波路体12の屈折率の方が
常に高くなければならない。
通常の光ファイバでは開口数が0.5程度であるので、
光導波路12の開口数もこれに近い値にするには、基板
3及び光導波路12の屈折率を夫々n1及びn2とした
とき、 n 、 n 、 2 #0 、5 となる様に基板3及び光導波路12の材料を選択すれば
よい。
光導波路12の開口数もこれに近い値にするには、基板
3及び光導波路12の屈折率を夫々n1及びn2とした
とき、 n 、 n 、 2 #0 、5 となる様に基板3及び光導波路12の材料を選択すれば
よい。
例えば、基板3の材料として屈折率が1.49のアクリ
ル樹脂を用いると、先導波路12の材料としては屈折率
が1.55〜1.6の範囲のポリカーボネート樹脂、ポ
リスチレン、メタクリル酸メチルスチレン共重合体、ア
クリロニトリル−スチレン共重合体等を用いることがで
きる。
ル樹脂を用いると、先導波路12の材料としては屈折率
が1.55〜1.6の範囲のポリカーボネート樹脂、ポ
リスチレン、メタクリル酸メチルスチレン共重合体、ア
クリロニトリル−スチレン共重合体等を用いることがで
きる。
第3図は、第3実施例で製造した光導波路体を示してい
る。この第3実施例は、第1または第2実施例の工程に
引き続き、基板3のうちで光導波路12のパターンが現
れている面に保護層10を形成する工程を有している。
る。この第3実施例は、第1または第2実施例の工程に
引き続き、基板3のうちで光導波路12のパターンが現
れている面に保護層10を形成する工程を有している。
保護層10の材料としては、光導波路12の材料により
も屈折率の低いものを用いる必要がある。
も屈折率の低いものを用いる必要がある。
従って、基板3と同一の材料を用いることが好ましいが
、必ずしもこれには限定されない。
、必ずしもこれには限定されない。
以上の第1〜第3実施例は何れも2:1の光分岐・合流
器の製造に本発明を適用したものであるが、任意の分岐
数(n : m)の光分岐・合流器の製造にも本発明を
適用することができる。
器の製造に本発明を適用したものであるが、任意の分岐
数(n : m)の光分岐・合流器の製造にも本発明を
適用することができる。
また、光分岐・合流器以外に、受発光素子、レンズグレ
ーティング、スイッチング素子等を組み込んだいわゆる
光回路部品全般に係る光導波路体の製造にも本発明を適
用することができる。
ーティング、スイッチング素子等を組み込んだいわゆる
光回路部品全般に係る光導波路体の製造にも本発明を適
用することができる。
本発明による先導波路体の製造方法では、光導波路のパ
ターンの現れている面が平坦な光導波路体を製造するこ
とができるので、光導波路が破損しにくくて品質が高く
、取扱いも容易な先導波路体を製造することができる。
ターンの現れている面が平坦な光導波路体を製造するこ
とができるので、光導波路が破損しにくくて品質が高く
、取扱いも容易な先導波路体を製造することができる。
また、溝を有する基板を射出成形で形成しているので、
厚膜光導波路を有する先導波路体をも効率的に製造する
ことができる。
厚膜光導波路を有する先導波路体をも効率的に製造する
ことができる。
第1図は本発明の第1実施例を順次に示す斜視図、第2
図は第2実施例の一部を示す斜視図、第3図は第3実施
例によって製造した光導波路体の斜視図である。 なお図面に用いた符号において、 ・・−・・−・基板 a ・・・・・−・・・−・−溝 樹脂 光導波路 である。 代 理 人 土 屋 勝 第JA図 第1B図 第2図 先導波路体 第359
図は第2実施例の一部を示す斜視図、第3図は第3実施
例によって製造した光導波路体の斜視図である。 なお図面に用いた符号において、 ・・−・・−・基板 a ・・・・・−・・・−・−溝 樹脂 光導波路 である。 代 理 人 土 屋 勝 第JA図 第1B図 第2図 先導波路体 第359
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、形成すべき光導波路のパターンの溝を有する基板を
透光性の第1の樹脂の射出成形で形成する工程と、 前記第1の樹脂よりも屈折率の高い透光性の第2の樹脂
を前記溝へ充填して前記光導波路を形成する工程とを夫
々具備する光導波路体の製造方法。 2、前記基板を下型とする注型成形によって前記溝に前
記光導波路を形成する請求項1記載の光導波路体の製造
方法。 3、前記溝を金型で覆い、射出成形によって前記溝に前
記光導波路を形成する請求項1記載の光導波路体の製造
方法。 4、前記基板の射出成形時における第1の金型にこの基
板を挿入したまま前記溝を第2の金型で覆い、射出成形
によって前記溝に前記光導波路を形成する請求項1また
は3記載の光導波路体の製造方法。 5、前記基板のうちで前記光導波路のパターンが現れて
いる面に、前記光導波路の材料よりも屈折率の低い材料
で保護層を形成する工程を更に具備する請求項1〜4の
何れか一項に記載の光導波路体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23457288A JPH0282205A (ja) | 1988-09-19 | 1988-09-19 | 光導波路体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23457288A JPH0282205A (ja) | 1988-09-19 | 1988-09-19 | 光導波路体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0282205A true JPH0282205A (ja) | 1990-03-22 |
Family
ID=16973118
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23457288A Pending JPH0282205A (ja) | 1988-09-19 | 1988-09-19 | 光導波路体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0282205A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002098851A (ja) * | 2000-09-21 | 2002-04-05 | Sony Corp | 光バス部材の製造方法及び光バス装置 |
-
1988
- 1988-09-19 JP JP23457288A patent/JPH0282205A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002098851A (ja) * | 2000-09-21 | 2002-04-05 | Sony Corp | 光バス部材の製造方法及び光バス装置 |
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