JPH0282667A - piezoelectric actuator - Google Patents

piezoelectric actuator

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Publication number
JPH0282667A
JPH0282667A JP63235707A JP23570788A JPH0282667A JP H0282667 A JPH0282667 A JP H0282667A JP 63235707 A JP63235707 A JP 63235707A JP 23570788 A JP23570788 A JP 23570788A JP H0282667 A JPH0282667 A JP H0282667A
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JP
Japan
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piezoelectric
piezoelectric element
printed circuit
actuator
plunger
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Pending
Application number
JP63235707A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Osamu Tsutsui
修 筒井
Takao Yoshida
孝雄 吉田
Kinya Arita
欽也 有田
Ryoichi Tsukada
良一 塚田
Hidehiko Kuwabara
桑原 英彦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toto Ltd
Original Assignee
Toto Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 本発明は、各種装置を作動させるために用いる圧電アク
チュエータに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (a) Field of Industrial Application The present invention relates to a piezoelectric actuator used for operating various devices.

(ロン 従来の技術 従来、圧電アクチュエータの一形態として、軸方向に移
動するプランジャと、同プランジャをつかむクランプ部
材と、クランプ部材を作動させる圧電素子と、1ランジ
ヤを移動させるストローク用圧電素子とにより構成され
たものが存在している。
(Ron) Conventionally, as a form of piezoelectric actuator, a plunger that moves in the axial direction, a clamp member that grips the plunger, a piezoelectric element that operates the clamp member, and a stroke piezoelectric element that moves one plunger are used. There is something composed.

(ハ) 発明が解決しようとする課題 ところが、圧電素子を構成する圧電板に接続するリード
線は、第10図に示す如く圧電板(50)間に銅は< 
(51)をはさんで電極とし、これより外部リード線(
52)ぺ直接数り出す構造であった。
(c) Problems to be Solved by the Invention However, the lead wires connected to the piezoelectric plates constituting the piezoelectric element have no copper between the piezoelectric plates (50) as shown in FIG.
(51) is used as an electrode, and from this the external lead wire (
52) It was structured to directly count the numbers.

したがって、リード線(52)のハンダ付けが困難であ
って、接続部が外れやすく、また、外部リード線(52
)が大きくできないものであった。
Therefore, it is difficult to solder the lead wire (52), and the connection part easily comes off.
) could not be increased.

(ニ) 課題を解決するための手段 本発明では、圧電素子を、多数のリング状圧電板を導電
ペーストで接着して形成した圧電素子において同圧電板
をプリント基板上に積層し、一端を、各圧電板に接続す
るリード線の曲端をプリント基板上のプリント部に接続
し、同プリント基板から外部リード線を取り出すことを
特徴とする圧電アクチュエータを提供せんとするもので
ある。
(d) Means for Solving the Problems In the present invention, a piezoelectric element is formed by bonding a large number of ring-shaped piezoelectric plates with a conductive paste, and the same piezoelectric plates are laminated on a printed circuit board, and one end is It is an object of the present invention to provide a piezoelectric actuator characterized in that the curved ends of the lead wires connected to each piezoelectric plate are connected to a printed part on a printed circuit board, and the external lead wires are taken out from the printed circuit board.

(ホ) 作用・効果 以上述べた構成により、本発明は以下の作用及び効果を
奏する。
(E) Functions and Effects With the configuration described above, the present invention has the following functions and effects.

■圧電素子を構成づるリング状圧電板をプリント基板上
に積層し、基部を同圧電板に接続するリード線を、プリ
ンl−基板上のプリント部に接続し、同プリント基板に
より外部リード線を取り出すものであるから、リード線
のハンダ付けが広幅状のプリント基板上にまとめてでき
るから容易にでき、かつ、ハンダ付けが確実であり、し
たがって、リード線が振動などにより不測に外れるよう
なことがなく、長期間にわたって接続されるものである
■The ring-shaped piezoelectric plate that constitutes the piezoelectric element is stacked on a printed circuit board, and the lead wire that connects the base to the piezoelectric plate is connected to the printed part on the printed circuit board, and the external lead wire is connected to the printed circuit board. Since the lead wires can be taken out, it is easy to solder the lead wires all at once on a wide printed circuit board, and the soldering is reliable, so there is no possibility that the lead wires will come off unexpectedly due to vibration etc. It is connected for a long period of time.

■また、従来のものは、圧電板に銅はくをはさんでリー
ド線としていたために、リード線の強度が弱く、折損事
故のためにアクチュエータの作動が機能停止することが
あったが、本発明は、リード線をハンダ付けしてプリン
ト基板に接続し、次いで、線径か太い外部リード線を接
続するものであるから、リード線の強度が大幅に向上す
るものである。
■Also, in the conventional type, the lead wire was made by sandwiching a copper foil between the piezoelectric plates, so the strength of the lead wire was weak, and the actuator could stop functioning due to breakage. In the present invention, the lead wires are connected to the printed circuit board by soldering, and then the external lead wires having a larger wire diameter are connected, so that the strength of the lead wires is greatly improved.

■また。圧電板のリード線をプリント基板まで接続する
ものであるから、リード線を短くすることができ、した
がって、リード線のハンダ付けが自動化でき、製造段階
での合理化が図れるものである。
■Also. Since the lead wires of the piezoelectric plate are connected to the printed circuit board, the lead wires can be shortened, and therefore the soldering of the lead wires can be automated and the manufacturing stage can be streamlined.

そして、リード線を、プリント基板上に集約して接続す
ることができるので、リード線の保護か′確実に行われ
るものである。
Furthermore, since the lead wires can be connected together on the printed circuit board, the lead wires can be reliably protected.

くべ) 実施例 以下、添付図に示す実施例に基づいて、本発明を具体的
に説明する。
EXAMPLES The present invention will be specifically described below based on examples shown in the accompanying drawings.

第1図に本実施例に係る圧電アクチュエータ(Δ)の構
成を示す。
FIG. 1 shows the configuration of a piezoelectric actuator (Δ) according to this embodiment.

図示するように、アクチュエータ(^)は、前後壁(a
)(b)を具備する筒状のアクチュエータゲージング(
C)内に同心円的に、かつ、軸線に沿って進退自在にプ
ランジャ(d)を取付け、さらに、プランジャ(d)の
外周面上に、同心円的に、3つの圧電素子(e)(f)
 (g)からなる圧電素子組立体(B5を配設すること
によって構成している。
As shown in the figure, the actuator (^) is connected to the front and rear walls (a
) (b) cylindrical actuator gauging (
A plunger (d) is mounted concentrically within C) so as to be movable back and forth along the axis, and three piezoelectric elements (e) and (f) are mounted concentrically on the outer peripheral surface of the plunger (d).
It is constructed by arranging the piezoelectric element assembly (B5) consisting of (g).

また、図示の実施例において、圧電素子(c)(f)(
g)は保持具((1)にて支持されており、同保持具(
11)は外周部を前壁(a)の端面にボルト(11°)
にて固着されている。
In addition, in the illustrated embodiment, piezoelectric elements (c) (f) (
g) is supported by the holder ((1), and the holder (
11) Attach the outer periphery to the end face of the front wall (a) with bolts (11°)
It is fixed at.

そして、保持具(11)に支持された圧電素子(e)(
[)は内径部にプランジャ(d)をクランプするクラン
プ部材(k)(J )  を位置させているとともに、
中央の圧電素子(g)の内径部には取付カラー(j)を
位置させて、同取付カラーには前記クランプ部材(k)
(j )の基部fn+)(n)を連結している。そして
、クランプ部材(k)(j )の先端部はスリットを設
けて適宜数に分割されている。(p)は圧電素子((1
)と(f)との間に設けるクランプ用圧電素子取付板で
ある。
Then, the piezoelectric element (e) (
[) has a clamping member (k) (J) for clamping the plunger (d) located on the inner diameter part, and
A mounting collar (j) is located on the inner diameter of the central piezoelectric element (g), and the clamp member (k) is placed on the mounting collar.
The base fn+)(n) of (j) is connected. The tips of the clamp members (k) and (j) are divided into an appropriate number of parts by providing slits. (p) is a piezoelectric element ((1
) and (f) is a piezoelectric element mounting plate for clamping.

次に、各圧電素子(e)(f)(g)の作用及び具体的
構成について説明すると、以下のようになる。
Next, the operation and specific configuration of each piezoelectric element (e), (f), and (g) will be explained as follows.

即ち、圧電素子(e)(f)は、非通電状態では一定の
クランプ力Fでプランジャ(d)をクランプしており、
正の電圧を印加することによってクランプ力F+αでク
ランプすることになり、負の電圧を印加することにより
クランプ力F−αの力でクランプすることになる。なお
、クランプ力は、F−α≧0とする。即ち、負の電圧が
印加されている場合であってでも、圧電素子(e)[f
)は、一定のクランプ力でプランジャ(d)をクランプ
することになる。
That is, the piezoelectric elements (e) and (f) clamp the plunger (d) with a constant clamping force F in the non-energized state,
By applying a positive voltage, it is clamped with a clamping force F+α, and by applying a negative voltage, it is clamped with a clamping force F−α. Note that the clamping force satisfies F-α≧0. That is, even when a negative voltage is applied, the piezoelectric element (e) [f
) will clamp the plunger (d) with a constant clamping force.

一方、圧電素子((1)は通電状態では1ランジヤ(d
)上を軸線方向に伸びな状態にあり、非通電状態では、
プランジャ(d)上を縮み、その軸線方向の全長を短く
することになる。
On the other hand, when the piezoelectric element ((1) is energized, the piezoelectric element ((1)
) in the axial direction, and in the de-energized state,
The plunger (d) is retracted and its total length in the axial direction is shortened.

そして、プランジャ(d)は、かかる3つの圧電素子(
e)(fHg)への抑圧印加手順を後述する制御装置(
C)によって制御することにより、軸線方向に移動する
ことができる。
The plunger (d) then connects these three piezoelectric elements (
e) A control device (the procedure for applying suppression to (fHg) will be described later)
C), it can be moved in the axial direction.

圧電素子(e)(f)((+)は、多数の圧電板(Q)
をプランジャ(d)の軸芯方向に積層して形成した円筒
状の素子で、円筒の両端に電極が設けられており、この
両端に電圧を印加することにより、伸びるように構成さ
れている。
Piezoelectric elements (e) (f) ((+) are composed of many piezoelectric plates (Q)
It is a cylindrical element formed by laminating in the axial direction of the plunger (d). Electrodes are provided at both ends of the cylinder, and it is configured to expand by applying a voltage to both ends.

また、第5図において、(1)はアクチュエータ(^)
の水密性を高めるために設けた摺動抵抗の小さいU字状
又はY字状パツキンである。
Also, in Figure 5, (1) is the actuator (^)
This is a U-shaped or Y-shaped packing with low sliding resistance that is designed to improve watertightness.

また、第5図に上記構成を有する圧電アクチュエータ(
八)を制御するための制御装置(C)の構成を示してい
る。図示するように、制御装置(C)は、マイクロプロ
セッサ(Ro)と、^/D 、 D/^変換器等よりな
る入出力インターフェース(T)fT’)と、上記圧電
素子(e)m((J)の駆動順序プログラムを記憶した
メモリ(Uo)とから構成され、入力インターフェース
(■)を介して制御装置に人力されたアクチュエータ駆
動ボタン(31)からの入力信号に基づ゛き、前記した
プログラムにしたがって制御信号を発生し、出力インタ
ーフェース(■°)を介して、各圧電素子(c)(f)
(g)と接続するように構成して髪)る。
In addition, FIG. 5 shows a piezoelectric actuator (
8) shows the configuration of a control device (C) for controlling. As shown in the figure, the control device (C) includes a microprocessor (Ro), an input/output interface (T)fT') consisting of a ^/D, D/^ converter, etc., and the piezoelectric element (e)m( (J) and a memory (Uo) that stores the drive order program, and based on the input signal from the actuator drive button (31) manually input to the control device via the input interface (■), A control signal is generated according to the programmed program, and the control signal is transmitted to each piezoelectric element (c) (f) via the output interface (■°).
(g) to be connected to the hair).

なお、圧電素子片は、例えば、圧電セラミックスを用い
ることができ、かかる圧電セラミ・ツクスとしては、A
BO3ペロブスカイト形の結晶構造をもつ強誘電材料で
あってPZTCPb(Zr。
Note that the piezoelectric element piece can be made of, for example, piezoelectric ceramics, and such piezoelectric ceramic pieces include A
PZTCPb (Zr.BO3) is a ferroelectric material with a perovskite crystal structure.

Ti)Oa)系、やP L Z T CP b 、 L
 a (Z r 。
Ti) Oa) system, and P L Z T CP b , L
a (Zr.

Ti ) Oa )系、PT[PbTiO3]系、ある
いはPZTを基にした3成分系のものを用いることがで
きる。
A Ti ) Oa ) system, a PT[PbTiO3] system, or a three-component system based on PZT can be used.

また、圧電素子(e)け)(g)は、多数の薄肉リング
状の圧電素子片をプランジャ(d)の軸芯廻りに軸線方
向に積層して形成することもできる。
Moreover, the piezoelectric element (e) (g) can also be formed by laminating a large number of thin ring-shaped piezoelectric element pieces in the axial direction around the axis of the plunger (d).

なお、上記構成において、圧電素子(e)(f)(u)
は、円形断面のみでなく、例えば、矩形断面等とするこ
ともでき、分割片から形成することもできる。
Note that in the above configuration, piezoelectric elements (e) (f) (u)
can have not only a circular cross section but also a rectangular cross section, for example, and can also be formed from divided pieces.

また、プランジャfd)は、クランプ部材(k)(it
 )によって多数回クランプされるものであるため、線
膨張係数が小さく、硬度、強度、耐クリープ性及び耐摩
耗性が大きく、さらに、加工精度が高(1ものが望まし
く、例えは、セラミ・yり素材としてものが考えられる
Further, the plunger fd) is a clamp member (k) (it
), it has a small coefficient of linear expansion, high hardness, strength, creep resistance, and wear resistance, and has high processing accuracy (1 is preferable; for example, ceramic It can be considered as a material.

上記構成において、上記各圧電素子(e)(f)((1
)を構成するリング状の圧電板(Q)は、第2図から第
4図に示す如く外周面にテーパー状の面取り部(R)を
設けるとともに、同圧電板(Q)の側面(11)及び外
周面取り部(It)に導電ペースト(P)を塗布し、同
面取り部(1’l)にハンダ付けにてリード線(S)を
接続している。
In the above configuration, each of the piezoelectric elements (e) (f) ((1
The ring-shaped piezoelectric plate (Q) constituting the piezoelectric plate (Q) has a tapered chamfered part (R) on its outer peripheral surface as shown in FIGS. A conductive paste (P) is applied to the outer circumferential chamfered portion (It), and a lead wire (S) is connected to the chamfered portion (1'l) by soldering.

また、第1図及び第2図において、(v−1)はクラン
プ用圧電素子(e)のプリント基板で、圧電板(0)を
積層しながらリード線(S−1)によりプリント部(w
)と圧電素子(e)とを接続している。
In Figs. 1 and 2, (v-1) is a printed circuit board for a piezoelectric element (e) for clamping, and while piezoelectric plates (0) are stacked, a lead wire (S-1) is connected to the printed part (w).
) and the piezoelectric element (e) are connected.

(v−2)はストローク用圧電素子(C1)のプリント
基板で、リード線(S−2)により圧電素子((1)と
接続している。
(v-2) is a printed circuit board for the stroke piezoelectric element (C1), which is connected to the piezoelectric element ((1)) by a lead wire (S-2).

(X)はクランプ用圧電素子(9)の右端に設ける絶縁
リング、(v−3)は圧電素子(f)のプリント基板で
、リード線(S−3)により圧電素子(f)と接続して
いる。
(X) is an insulating ring provided at the right end of the piezoelectric element (9) for clamping, and (v-3) is the printed circuit board of the piezoelectric element (f), which is connected to the piezoelectric element (f) by the lead wire (S-3). ing.

そして、上記各プリント基板(v−1)(v−2)(v
−3)のプリント部(v4)には外部リード線(So)
が接続されている。
Then, each of the above printed circuit boards (v-1) (v-2) (v
-3) The printed part (v4) has an external lead wire (So).
is connected.

また、上記プリント基板(v−1)(v−2)(v−3
)は耐熱性及び機械的強度に優れたセラミック基板を使
用するのが望ましい。
In addition, the above printed circuit boards (v-1) (v-2) (v-3
), it is desirable to use a ceramic substrate with excellent heat resistance and mechanical strength.

ついで、かかる構成を有する圧電アクチュエータ(^)
によるプランジャ(d)の作動について、第6図〜第8
図を参照して説明する。
Next, a piezoelectric actuator having such a configuration (^)
Regarding the operation of plunger (d) by
This will be explained with reference to the figures.

第5図に示すアクチュエータ駆動ボタン(31)を作動
させると、制御装置(C)がメモリ((1)から読み出
した駆動順序プログラムに従って、第6図に示すように
圧電素子(e)に負のパルス状駆動電圧を印加してプラ
ンジャ(d)へのクランプ力をF−αに低減するととも
に、圧電素子(f)に正のパルス状駆動電圧を印加して
クランプ力をF十αに増加してプランジャ(d)をクラ
ンプさせる。
When the actuator drive button (31) shown in FIG. 5 is actuated, the control device (C) applies a negative voltage to the piezoelectric element (e) as shown in FIG. A pulsed drive voltage is applied to reduce the clamping force to the plunger (d) to F-α, and a positive pulsed drive voltage is applied to the piezoelectric element (f) to increase the clamping force to F+α. to clamp the plunger (d).

次に、第7図に示すように、圧電素子((+) i\負
のパルス状駆動電圧を印加して縮めると圧電素子(g)
は矢印の方向に移動し、これに件って圧電素子(f)か
クランプカF十αでクランプするプランジャ(d)も矢
印方向に移動する。
Next, as shown in Fig. 7, when the piezoelectric element ((+)
moves in the direction of the arrow, and accordingly, the plunger (d) clamped by the piezoelectric element (f) or the clamper F1α also moves in the direction of the arrow.

その後、第8図に示すように、圧電素子([)に負のパ
ルス状駆動電圧を印加してクランプ力をFαに低減する
とともに、圧電素子(0)に正のパルス状駆動電圧を印
加してクランプ力をF十αに増加してプランジャ(d)
をクランプさせる。そして、圧電素子((1)に正のパ
ルス状駆動電圧を印加して仲ばすと圧電素子(g)は矢
印方向に移動する。
Thereafter, as shown in FIG. 8, a negative pulsed drive voltage is applied to the piezoelectric element ([) to reduce the clamping force to Fα, and a positive pulsed drive voltage is applied to the piezoelectric element (0). Increase the clamping force to F1α and press the plunger (d).
to be clamped. Then, when a positive pulse-like driving voltage is applied to the piezoelectric element (1) and the piezoelectric element (g) is moved in the direction of the arrow.

ついで、上記動作を繰り返すことにより、プランジャ(
d)を、μmオータ或いはサブμmnオーダのストロー
クで尺とり生状に移動することができる。
Next, by repeating the above operation, the plunger (
d) can be moved in a linear manner with a stroke on the order of μm or sub-μmn.

従って、かかる圧電アクチュエータ(A)を後述する湯
水混合装置(D)等に装着した場合、混合弁を、その開
度を微調整しながら開閉することができ、適温制御を行
わせることができる。
Therefore, when such a piezoelectric actuator (A) is installed in a hot water mixing device (D), which will be described later, etc., the mixing valve can be opened and closed while finely adjusting its opening degree, and an appropriate temperature can be controlled.

よな、第9図に本実施例にかかるアクチュエータ(八)
の適用例を示しており、湯水混合栓とじて機能する自動
開閉弁(D)にかかる圧電アクチュエータ(A)を応用
した例である。
Okay, Figure 9 shows the actuator (8) according to this embodiment.
This is an example in which a piezoelectric actuator (A) is applied to an automatic opening/closing valve (D) that functions as a hot water mixing faucet.

第9図において、(10〕は円筒状の箱体をなずゲージ
ングであり、同ケーシング(10)は、その−側壁に、
二つの一側流路(13H14)を形成している9そして
、−側流路(13)(14)は湯水混合栓の給水流路及
び給湯流路として機能するものであり、その外側開口端
は、それぞれ給水配管(15)と給湯配管(16)と連
通している。
In Fig. 9, (10) is a cylindrical box-shaped gauge, and the casing (10) has a
The negative side flow paths (13 and 14) forming two one-side flow paths (13H14) function as a water supply flow path and a hot water supply flow path for the hot and cold water mixing faucet, and their outer open ends are in communication with a water supply pipe (15) and a hot water supply pipe (16), respectively.

一方、−側流路(13)(14)の内側開口端は、それ
ぞれケーシング(10)の両端に形成した隔室(17)
(18)と連通している。
On the other hand, the inner open ends of the - side channels (13) and (14) are connected to compartments (17) formed at both ends of the casing (10), respectively.
It communicates with (18).

また、ゲージング(10)の他側側壁には、両端間[1
のT字状の他側流路(20)が形成されている。
Also, on the other side wall of the gauging (10), there is a
A T-shaped flow path (20) on the other side is formed.

そして、かかる他側流178(20)は、湯水混合栓の
混合水流路として機能するものであり、その外側開口端
は、混合水配管(21)と連通しており、一方、その内
側二股状開口端は隔室(17) (18)と連通してい
る。
The other side flow 178 (20) functions as a mixed water flow path of the hot and cold mixer faucet, and its outer open end communicates with the mixed water pipe (21), while its inner bifurcated The open end communicates with the compartments (17) and (18).

さらに、T字状筒体(1つ)の内側二股状開口部には、
それぞれ弁座(22)(23)が設けられており、同弁
座(22H23)には、ケーシング(10)内を軸線方
向に進退して弁座(22)(23)と接離し、内側二股
状開口端を開閉するダイアフラム弁からなる弁体(24
)(25)か配設されている。
Furthermore, in the inner bifurcated opening of the T-shaped cylinder (one),
Valve seats (22) and (23) are provided respectively, and the valve seats (22H23) move back and forth in the axial direction inside the casing (10) to come into contact with and separate from the valve seats (22) and (23), and have an inner bifurcated shape. A valve body (24
) (25) are provided.

さらに、ゲージング(10)の両端には、それぞれ圧電
アクチュエータ(A)が取付けられている。
Furthermore, piezoelectric actuators (A) are attached to both ends of the gauging (10), respectively.

そして、各圧電アクチュエータ(八)は、そのプランジ
ャ(d)の先端を弁体(24)(25)の後部と当接自
在となし、弁体(24H25)を開閉自在としている。
In each piezoelectric actuator (8), the tip of the plunger (d) can come into contact with the rear part of the valve body (24) (25), so that the valve body (24H25) can be opened and closed.

なお、第9図において、(30)は他側流路(20)内
に受けた温度センサであり、混合水の温度を検出し、検
出値を第5図に示すような制御部にフィードバックして
、制御部に検出値に基づいて自動開閉弁の両アクチュエ
ータ(A)をPTD制御等によって作動させ、適温制御
を行うものである。
In addition, in FIG. 9, (30) is a temperature sensor received in the other side flow path (20), which detects the temperature of the mixed water and feeds back the detected value to the control unit as shown in FIG. Then, based on the detected value, the control section operates both actuators (A) of the automatic opening/closing valve by PTD control or the like to perform appropriate temperature control.

そして、かかる構成を有する自動開閉弁(D)の作動を
、簡単に説明すると、以下の如くなる。
The operation of the automatic on-off valve (D) having such a configuration will be briefly explained as follows.

即ち、温度センサ(30)からの検出値を制御部にフィ
ードバックして、制御部に検出値に基づいて自動開閉弁
(D)の両圧電アクチュエータ(八)をそれぞれ別個に
作動させると、弁体(24)(25)が設定開度で開閉
して、−側流路(13)(14)から他側流路(20)
に流れる給水量と給湯量を一定の混合割合で混合するこ
とができる。
That is, when the detected value from the temperature sensor (30) is fed back to the control section and the control section separately operates both piezoelectric actuators (8) of the automatic opening/closing valve (D) based on the detected value, the valve body (24) and (25) open and close at the set opening degree, and from the - side flow path (13) (14) to the other side flow path (20).
The amount of water supplied and the amount of hot water flowing into the system can be mixed at a fixed mixing ratio.

そして、かかる作用において、弁体(24)(25)は
同アクチュエータ(八)によって作動するようにしてい
るので流量制御をより確実に行うことができ、適温制御
をより確実に行うことかできる。
In this operation, since the valve bodies (24) and (25) are operated by the same actuator (8), flow rate control can be performed more reliably, and appropriate temperature control can be performed more reliably.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明に係る圧電アクチュエータの断面側面図
、第2図は本発明要部の断面Il1面図、第3図及び第
4図は本発明要部部品の斜視図、第5図は制御装置の構
成説明図、第6図〜第8図はアクチュエータの作動状態
説明図、第9図は上記アクチュエータを具備した自動開
閉弁の断面側面図、第10図は従来型の斜視図である。 (八):アクチュエータ (B):圧電素子組立体 C:制御装置 D :自動開閉弁 e (f)((])  :圧電素子 Q :圧電板 S :リード線 So):外部リード線 ■)ニブリント基板 W)ニブリント部
FIG. 1 is a cross-sectional side view of a piezoelectric actuator according to the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view of the main part of the present invention, FIG. 3 and FIG. 4 are perspective views of the main parts of the present invention, and FIG. Fig. 6 to Fig. 8 are explanatory diagrams of the configuration of the control device, Fig. 6 to Fig. 8 are explanatory diagrams of the operating state of the actuator, Fig. 9 is a cross-sectional side view of an automatic on-off valve equipped with the above-mentioned actuator, and Fig. 10 is a perspective view of a conventional type. . (8): Actuator (B): Piezoelectric element assembly C: Control device D: Automatic opening/closing valve e (f) ((]): Piezoelectric element Q: Piezoelectric plate S: Lead wire So): External lead wire ■) Niblint Substrate W) Niblint part

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1)圧電素子(e)(f)(g)を、多数のリング状圧
電板(Q)を導電ペースト(P)で接着して形成した圧
電アクチュエータにおいて、 同圧電板(Q)をプリント基板(v)上に積層し、一端
を、各圧電板(Q)に接続するリード線(S)の他端を
プリント基板(v)上のプリント部(w)に接続し、同
プリント基板(v)から外部リード線(S’)を取り出
すことを特徴とする圧電アクチュエータ。
[Claims] 1) In a piezoelectric actuator in which the piezoelectric elements (e), (f), and (g) are formed by bonding a large number of ring-shaped piezoelectric plates (Q) with conductive paste (P), the same piezoelectric plates ( Q) is stacked on a printed circuit board (v), one end is connected to each piezoelectric plate (Q), and the other end of a lead wire (S) is connected to a printed part (w) on the printed circuit board (v), A piezoelectric actuator characterized in that an external lead wire (S') is taken out from the printed circuit board (v).
JP63235707A 1988-09-20 1988-09-20 piezoelectric actuator Pending JPH0282667A (en)

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62180407A (en) * 1986-02-04 1987-08-07 Olympus Optical Co Ltd Piezoelectric actuator
JPS62237780A (en) * 1986-04-08 1987-10-17 Kogyosha Tsuushinkiki Seisakusho:Kk Piezoelectric actuator

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62180407A (en) * 1986-02-04 1987-08-07 Olympus Optical Co Ltd Piezoelectric actuator
JPS62237780A (en) * 1986-04-08 1987-10-17 Kogyosha Tsuushinkiki Seisakusho:Kk Piezoelectric actuator

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