JPH0283469A - 半導体装置の検査方法 - Google Patents
半導体装置の検査方法Info
- Publication number
- JPH0283469A JPH0283469A JP23695288A JP23695288A JPH0283469A JP H0283469 A JPH0283469 A JP H0283469A JP 23695288 A JP23695288 A JP 23695288A JP 23695288 A JP23695288 A JP 23695288A JP H0283469 A JPH0283469 A JP H0283469A
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- JP
- Japan
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- value
- measured values
- dat
- mean value
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- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は半導体装置の検査方法に関するものである。
従来の技術
従来、半導体検査をプログラミング化して行う場合、同
一サンプル、同一検査の測定値のバラツキをおさえるた
め、測定値を平均化する検査方法を用いていた。
一サンプル、同一検査の測定値のバラツキをおさえるた
め、測定値を平均化する検査方法を用いていた。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、上記の従来の検査方法では、測定ミスに
より、本来の測定値とは、かなりの差がある測定値が出
た場合、その測定値も平均化にとりこんでしまい、正し
い平均値が得られないという不都合があった。
より、本来の測定値とは、かなりの差がある測定値が出
た場合、その測定値も平均化にとりこんでしまい、正し
い平均値が得られないという不都合があった。
本発明は上記従来の問題点を解決するもので。
正しい平均値によってバラツキをおさえることを目的と
する。
する。
課題を解決するための手段
この目的を達成するために本発明の検査方法は、ｎコの
測定値を平均する場合、測定値の最大からＸ個、最小か
らＸ個を除き、残り（ｎ−２ｘ）個で平均値を得ようと
するものである。ただし。
測定値を平均する場合、測定値の最大からＸ個、最小か
らＸ個を除き、残り（ｎ−２ｘ）個で平均値を得ようと
するものである。ただし。
ｎ＞２ｘであることを条件とする。
作用
この方法によって、より適切な平均値が得られ、さらに
測定値のバラツキも減少させることができる。
測定値のバラツキも減少させることができる。
実施例
以下、本発明の一実施例について、図面のフローチャー
トを参照して説明する。
トを参照して説明する。
この例では、測定回数つまり測定値の個数を１０個とし
、測定値の最小から２個、最大から２個。
、測定値の最小から２個、最大から２個。
それぞれ除いて、平均化している。
まず、初期設定として、測定回数■に１、最小値ＭＩＮ
Ｉを適当な値Ｘ１．最小値の次に小さな値ＭｒＮ２を適
当な値ｘ２．最大値ＭＡＸＩを適当な値Ｙ＋＋最大値の
次に大きな値ＭＡＸ２を適当な値ｙ２．測定値のトータ
ルＴＴＡＬをＯとしてお（。
Ｉを適当な値Ｘ１．最小値の次に小さな値ＭｒＮ２を適
当な値ｘ２．最大値ＭＡＸＩを適当な値Ｙ＋＋最大値の
次に大きな値ＭＡＸ２を適当な値ｙ２．測定値のトータ
ルＴＴＡＬをＯとしてお（。
次に測定し、測定値をＤＡＴとする。
次にＴＴＡＬにＤＡＴを加算し、その値をＴＴＡＬとす
る。
る。
次にＤＡＴとＭＩＮＩを比較し、ＤＡＴがＭＩＮＩより
小さい場合、ＭＩＮＩにＤＡＴを入れ、次に進む。そう
でない場合、ＤＡＴとＭＩＮ２を比較し、ＤＡＴがＭＩ
Ｎ２より小さい場合、ＭＩＮ２にＤＡＴを入れ、次に進
む。そうでない場合、ＤＡＴとＭＡＸＩを比較し、ＤＡ
ＴがＭＡＸＩより大きい場合、ＭＡＸＩにＤＡＴを入れ
５次に進む。そうでない場合、ＤＡＴとＭＡＸ２を比較
し、ＤＡＴがＭＡＸ２より大きい場合、ＭＡＸ２にＤＡ
Ｔを入れ、次に進む。次に測定回数■が１０回に達した
かどうか調べ、もしまだ達していなかったら、■に１を
加算し、測定するところから、同様のことを（り返す。
小さい場合、ＭＩＮＩにＤＡＴを入れ、次に進む。そう
でない場合、ＤＡＴとＭＩＮ２を比較し、ＤＡＴがＭＩ
Ｎ２より小さい場合、ＭＩＮ２にＤＡＴを入れ、次に進
む。そうでない場合、ＤＡＴとＭＡＸＩを比較し、ＤＡ
ＴがＭＡＸＩより大きい場合、ＭＡＸＩにＤＡＴを入れ
５次に進む。そうでない場合、ＤＡＴとＭＡＸ２を比較
し、ＤＡＴがＭＡＸ２より大きい場合、ＭＡＸ２にＤＡ
Ｔを入れ、次に進む。次に測定回数■が１０回に達した
かどうか調べ、もしまだ達していなかったら、■に１を
加算し、測定するところから、同様のことを（り返す。
■が１０に達したら、測定値のトータルＴＴＡＬから、
ＭＩＮＩ。
ＭＩＮＩ。
ＭＩＮ２．ＭＡＸｌ、ＭＡＸ２を引き、その値を測定回
数１０から、除いた測定値の個数４を引いた値で割る。
数１０から、除いた測定値の個数４を引いた値で割る。
この計算の結果、出てきた平均値ＡＶＥを最終的な測定
値とする。
値とする。
以上のように本実施例によれば、１０個の測定値を平均
化する場合、測定値の最大から２個、最小から２個除い
て、平均化することにより、より正しい平均値が得られ
、さらに測定バラツキを減少することができる。
化する場合、測定値の最大から２個、最小から２個除い
て、平均化することにより、より正しい平均値が得られ
、さらに測定バラツキを減少することができる。
なお、本実施例では、測定値の個数ｎを１０個、測定値
の最大、最小から除（個数Ｘを２個としたがこれらの個
数は、任意の値でよい。
の最大、最小から除（個数Ｘを２個としたがこれらの個
数は、任意の値でよい。
ただし、その個数によって、フローチャートの枝わかれ
の数が変わって（る。
の数が変わって（る。
発明の効果
以上のように本発明の半導体検査方法は、同一サンプル
、同一検査のｎ個の測定値を平均する場合、測定値の最
大からＸ個、最小からＸ°個除き、残り（ｎ−２ｘ）個
で平均値を得ることにより、測定バラツキを減少でき、
実用上きわめて有利なものである。
、同一検査のｎ個の測定値を平均する場合、測定値の最
大からＸ個、最小からＸ°個除き、残り（ｎ−２ｘ）個
で平均値を得ることにより、測定バラツキを減少でき、
実用上きわめて有利なものである。
図は本発明の一実施例の半導体検査方法の制御手順を示
すフローチャートである。 ■・・・・・・測定回数（測定値の個数）、ＭＩＮｌ・
・・・・・最小値、ＭＩＮ２・・・・・・最小値の次に
小さな値、ＭＡＸＩ・・・・・・最大値、ＭＡＸ２・・
・・・・最大値の次に大きな値、ＤＡＴ・・・・・・測
定値、ＴＴＡＬ・・・・・・測定値を加算した値、ＡＶ
Ｅ・・・・・・測定値の合計から、測定値の最小値、最
小値の次に小さな値、最大値、最大値の次に大きな値を
除いて、平均した値、ＸＩ・・・・・・ＭＩＮＩの初期
設定値、ｘ２・・・・・・ＭＩＮ２の初期設定値、ｙｌ
・・・・・・ＭＡＸｌの初期設定値、ｙ２・・・・・・
ＭＡＸ２の初期設定値。
すフローチャートである。 ■・・・・・・測定回数（測定値の個数）、ＭＩＮｌ・
・・・・・最小値、ＭＩＮ２・・・・・・最小値の次に
小さな値、ＭＡＸＩ・・・・・・最大値、ＭＡＸ２・・
・・・・最大値の次に大きな値、ＤＡＴ・・・・・・測
定値、ＴＴＡＬ・・・・・・測定値を加算した値、ＡＶ
Ｅ・・・・・・測定値の合計から、測定値の最小値、最
小値の次に小さな値、最大値、最大値の次に大きな値を
除いて、平均した値、ＸＩ・・・・・・ＭＩＮＩの初期
設定値、ｘ２・・・・・・ＭＩＮ２の初期設定値、ｙｌ
・・・・・・ＭＡＸｌの初期設定値、ｙ２・・・・・・
ＭＡＸ２の初期設定値。
Claims (1)
- 同一サンプル、同一検査において測定値の最大、最小か
らそれぞれ適当な個数の測定値を除いて平均化するプロ
グラムによって、半導体検査の測定値バラツキをおさえ
た半導体装置の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23695288A JPH0283469A (ja) | 1988-09-21 | 1988-09-21 | 半導体装置の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23695288A JPH0283469A (ja) | 1988-09-21 | 1988-09-21 | 半導体装置の検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0283469A true JPH0283469A (ja) | 1990-03-23 |
Family
ID=17008191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23695288A Pending JPH0283469A (ja) | 1988-09-21 | 1988-09-21 | 半導体装置の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0283469A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH045596A (ja) * | 1990-04-20 | 1992-01-09 | Furuno Electric Co Ltd | 水中作業ロボットの位置検出装置 |
-
1988
- 1988-09-21 JP JP23695288A patent/JPH0283469A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH045596A (ja) * | 1990-04-20 | 1992-01-09 | Furuno Electric Co Ltd | 水中作業ロボットの位置検出装置 |
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