JPH0283489A - 多素子放射線検出器 - Google Patents
多素子放射線検出器Info
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- JPH0283489A JPH0283489A JP23506688A JP23506688A JPH0283489A JP H0283489 A JPH0283489 A JP H0283489A JP 23506688 A JP23506688 A JP 23506688A JP 23506688 A JP23506688 A JP 23506688A JP H0283489 A JPH0283489 A JP H0283489A
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Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は多素子放射線検出器に係り、放射線の一次元の
強度分布を測定するのに適したもので、Ｘ線を用いた物
体の検査装置やＸ線ＣＴ装置の検出器として好適な多素
子放射線検出器に関する。
強度分布を測定するのに適したもので、Ｘ線を用いた物
体の検査装置やＸ線ＣＴ装置の検出器として好適な多素
子放射線検出器に関する。
Ｘ線ＣＴ装置用の多素子検出器やＸ線による透過像を撮
影する検査装置に用いる多素子検出器に対して要求され
る特性の主なものは、検出感度が高いこと、各素子の感
度が一定であることおよび隣接素子への信号の漏洩が少
ないことが良質の画像を図るために必要である。Ｘまた
はガンマ線などの放射線によって発光するシンチレータ
とシンチレータ光を光電変換する素子で構成される多素
子検出器においては、前記の要求を達成せしめるために
、シンチレータの表面には内部で発生した光を全て光電
変換素子に入射させるように光反射面を作成し、隣りの
素子への信号の漏洩（クロストーク）を無くすために、
隣のシンチレータとの間には光とＸ線に対して不透明な
板を隔壁板として挿入した構造が用いられる。シンチレ
ータの表面に設置する光反射膜の大小によって光の損失
量が変るために電気出力が変化する。反射膜の作成方法
としては、メツキや蒸着によって反射率の高い金属膜を
全面に形成する方法、白色の塗料を全面に塗布する方法
、さらに第４図に示すごとく隔壁板７の両面を光反射面
として隣の方向への光を反射させ、Ｘ線の入射面には別
の反射膜１を設置する方法などが用いられる。これらの
従来の技術においては、検出素子間の感度ばらつきを１
０％以下にすることは困難である。さらに従来技術で不
都合なことは、反射率の値を部品の段階または素材の状
態で一定値に管理または選別することが困難であり、さ
らに不良の場合に修理や改善が不可能であり、製作上の
歩留が悪くなるため経済的に不利である。なおこの種の
ものとして、米国特許第４７２０４２６号がある。
影する検査装置に用いる多素子検出器に対して要求され
る特性の主なものは、検出感度が高いこと、各素子の感
度が一定であることおよび隣接素子への信号の漏洩が少
ないことが良質の画像を図るために必要である。Ｘまた
はガンマ線などの放射線によって発光するシンチレータ
とシンチレータ光を光電変換する素子で構成される多素
子検出器においては、前記の要求を達成せしめるために
、シンチレータの表面には内部で発生した光を全て光電
変換素子に入射させるように光反射面を作成し、隣りの
素子への信号の漏洩（クロストーク）を無くすために、
隣のシンチレータとの間には光とＸ線に対して不透明な
板を隔壁板として挿入した構造が用いられる。シンチレ
ータの表面に設置する光反射膜の大小によって光の損失
量が変るために電気出力が変化する。反射膜の作成方法
としては、メツキや蒸着によって反射率の高い金属膜を
全面に形成する方法、白色の塗料を全面に塗布する方法
、さらに第４図に示すごとく隔壁板７の両面を光反射面
として隣の方向への光を反射させ、Ｘ線の入射面には別
の反射膜１を設置する方法などが用いられる。これらの
従来の技術においては、検出素子間の感度ばらつきを１
０％以下にすることは困難である。さらに従来技術で不
都合なことは、反射率の値を部品の段階または素材の状
態で一定値に管理または選別することが困難であり、さ
らに不良の場合に修理や改善が不可能であり、製作上の
歩留が悪くなるため経済的に不利である。なおこの種の
ものとして、米国特許第４７２０４２６号がある。
従来技術においては、複数筒のシンチレータの表面に反
射膜を形成する方法として、個別のシンチレータにそれ
ぞれ反射膜を付けることが行なわれていた。この方法で
は個々のシンチレタの反射率を一定に保つことは困難で
あり、このために個個の信号出力を一定にすることは不
可能であった。
射膜を形成する方法として、個別のシンチレータにそれ
ぞれ反射膜を付けることが行なわれていた。この方法で
は個々のシンチレタの反射率を一定に保つことは困難で
あり、このために個個の信号出力を一定にすることは不
可能であった。
本発明は個々のシンチレータ表面の光反射率を一定にし
て、信号出力を一定にすることを目的とする。
て、信号出力を一定にすることを目的とする。
上記の目的は、光反射率が高く薄いフィルム状の暎をシ
ンチレータの表面に密着させ、かつ複数の素子にわたっ
て一枚の膜を連続した状態で使用することにより達成さ
れる。ここに使用する光反射フィルムは場所による反射
率の変化が少ないものとし、これにより複数のシンチレ
ータの表面反射率は一定にすることができ、シンチレー
タ個々の出力特性のばらつきを低減させることができる
。
ンチレータの表面に密着させ、かつ複数の素子にわたっ
て一枚の膜を連続した状態で使用することにより達成さ
れる。ここに使用する光反射フィルムは場所による反射
率の変化が少ないものとし、これにより複数のシンチレ
ータの表面反射率は一定にすることができ、シンチレー
タ個々の出力特性のばらつきを低減させることができる
。
シンチレータのＸ線入射面、およびシンチレータの側面
すなわち隣のシンチレータと向き合う面に同一の特性の
光反射膜を付着することにより光の反射特性は同一とな
り、さらに複数のシンチレータに対して同一の光反射膜
を連続して使用し、シンチレータの面を被覆するため光
の反射特性は同一となり、多素子放射線検出器の特性ば
らつきを低減させることに効果がある。
すなわち隣のシンチレータと向き合う面に同一の特性の
光反射膜を付着することにより光の反射特性は同一とな
り、さらに複数のシンチレータに対して同一の光反射膜
を連続して使用し、シンチレータの面を被覆するため光
の反射特性は同一となり、多素子放射線検出器の特性ば
らつきを低減させることに効果がある。
以下１本発明の一実施例を第１図および第２図により説
明する。第１図は本発明の一実施例の検出器アレイの断
面図である。第２図は本発明の一実施例の検出器アレイ
の外観図である。複数素子のシンチレータ３がセラミッ
クまたはガラスエポキシなどから成る基板６の上に固定
された複数素子のフ第１・ダイオードアレイ５の上面に
接着し固定されている。シンチレータ３の素子間にはＸ
線のクロストークを防ぐためにＸ線に対して不透過な金
属で作った隔壁板２を挿入する。シンチレータのＸ線４
の入射面および隣り素子と向き合う側面には光反射フィ
ルム１が被覆され、このフィルムは検出器アレイの全素
子にわたって連続している。放射線によって発光するシ
ンチレータ３の材料としては、ＣｄＷＯａ、Ｃｓ Ｉ（
Ｔｆｆｉ）、ＢＧＯ。
明する。第１図は本発明の一実施例の検出器アレイの断
面図である。第２図は本発明の一実施例の検出器アレイ
の外観図である。複数素子のシンチレータ３がセラミッ
クまたはガラスエポキシなどから成る基板６の上に固定
された複数素子のフ第１・ダイオードアレイ５の上面に
接着し固定されている。シンチレータ３の素子間にはＸ
線のクロストークを防ぐためにＸ線に対して不透過な金
属で作った隔壁板２を挿入する。シンチレータのＸ線４
の入射面および隣り素子と向き合う側面には光反射フィ
ルム１が被覆され、このフィルムは検出器アレイの全素
子にわたって連続している。放射線によって発光するシ
ンチレータ３の材料としては、ＣｄＷＯａ、Ｃｓ Ｉ（
Ｔｆｆｉ）、ＢＧＯ。
稀土類酸化物シンチレータ、稀土類硫酸化物シンチレー
タなどがあり、放射線のエネルギー放射線の種類および
装置の種類によって決められる。医療用のＸａＣＴ装置
用の検出器としては、ＣｄｚＯｚＳ・Ｐｒ−Ｃｅ−Ｆを
用いたセラミック状のシンチレータが用いられる。寸法
は幅１．０ｎｏ＋、長さ３０ｎｎ、厚さ１膿であり各検
出素子間の間隔は０ 、１ ｎｒｎである。光反射フィ
ルム１は厚さ１０〜３０μｍのマイラーフィルムの片側
にアルミ蒸着膜を形成し、光の反射率を８０％以上とし
、反射率の場所によるばらつきは１％以下のものを使用
する。検出素子間を分離する隔壁板２は放射線のエネル
ギーによって材質と厚さは決められるが、医療用Ｘ線Ｃ
Ｔ装置では、０ 、０５〜０ 、１ ａｎ厚のモリブデ
ン板またはタングステン板を使用する。
タなどがあり、放射線のエネルギー放射線の種類および
装置の種類によって決められる。医療用のＸａＣＴ装置
用の検出器としては、ＣｄｚＯｚＳ・Ｐｒ−Ｃｅ−Ｆを
用いたセラミック状のシンチレータが用いられる。寸法
は幅１．０ｎｏ＋、長さ３０ｎｎ、厚さ１膿であり各検
出素子間の間隔は０ 、１ ｎｒｎである。光反射フィ
ルム１は厚さ１０〜３０μｍのマイラーフィルムの片側
にアルミ蒸着膜を形成し、光の反射率を８０％以上とし
、反射率の場所によるばらつきは１％以下のものを使用
する。検出素子間を分離する隔壁板２は放射線のエネル
ギーによって材質と厚さは決められるが、医療用Ｘ線Ｃ
Ｔ装置では、０ 、０５〜０ 、１ ａｎ厚のモリブデ
ン板またはタングステン板を使用する。
表面状態は平坦である必要はあるが、光反射率が高い必
要はない。
要はない。
光反射フィルム１は端の検出素子の側面で被覆し始め、
連続して順次隣の検出素子を被覆し、他の端の検出素子
の側面で被覆を終る。隣接する検出素子のすき間にも挿
入し、光反射フィルム１を挿入した後で隔壁板２を挿入
し固定する。図示していないが隔壁板２及び光反射フィ
ルム１の固定は、隔壁板２の長手方法の端部で、基板６
に接着剤により接着して行う。検出素子間のすき間が０
．１ｍｍの場合には、０．０５ｍｍの隔壁板と０．０１
２ｍ厚の光反射フィルムを用いて組立て、特性の揃った
検出器が得られた。Ｘ線ＣＴ装置やＸ線荷物検査装置に
用いる検出器は検出素子数が５００以上になる。この場
合には一体で製作するのは回連であるから第３図に示す
ごとく、複数素子の検出器アレイを複数筒配列して必要
な検出素子数の検出器を構成する。
連続して順次隣の検出素子を被覆し、他の端の検出素子
の側面で被覆を終る。隣接する検出素子のすき間にも挿
入し、光反射フィルム１を挿入した後で隔壁板２を挿入
し固定する。図示していないが隔壁板２及び光反射フィ
ルム１の固定は、隔壁板２の長手方法の端部で、基板６
に接着剤により接着して行う。検出素子間のすき間が０
．１ｍｍの場合には、０．０５ｍｍの隔壁板と０．０１
２ｍ厚の光反射フィルムを用いて組立て、特性の揃った
検出器が得られた。Ｘ線ＣＴ装置やＸ線荷物検査装置に
用いる検出器は検出素子数が５００以上になる。この場
合には一体で製作するのは回連であるから第３図に示す
ごとく、複数素子の検出器アレイを複数筒配列して必要
な検出素子数の検出器を構成する。
本発明によれば、シンチレータを被覆する材料として、
光反射率が高くかつ場所による変化の小さいフィルムを
用いて全検出素子を被覆するため、検出素子毎の特性の
差異はなくなり特性の揃った検出器を得ることができる
。光反射フィルムの特性測定は容易であり、その性能を
検査し管理することができるため、不良の発生を防ぐ点
からも効果が大きい。
光反射率が高くかつ場所による変化の小さいフィルムを
用いて全検出素子を被覆するため、検出素子毎の特性の
差異はなくなり特性の揃った検出器を得ることができる
。光反射フィルムの特性測定は容易であり、その性能を
検査し管理することができるため、不良の発生を防ぐ点
からも効果が大きい。
本発明によれば、検出器を構成する複数筒のシンチレー
タの表面を所定の光反射率を有する薄いフィルムで被覆
するため、出力特性のばらつきを低減できる。複数素子
の検出器について、−枚の連続したフィルムを用いて組
立てるために、組立は極めて容易である。−素子毎に光
反射処理をシンチレータ表面に付着させる従来の方法に
比較して素子毎の特性ばらつきが半減した。
タの表面を所定の光反射率を有する薄いフィルムで被覆
するため、出力特性のばらつきを低減できる。複数素子
の検出器について、−枚の連続したフィルムを用いて組
立てるために、組立は極めて容易である。−素子毎に光
反射処理をシンチレータ表面に付着させる従来の方法に
比較して素子毎の特性ばらつきが半減した。
フィルム状の光反射フィルムの反射率の測定や検査は容
易であるため、組立前に十分な管理ができ歩留の向上に
も効果がある。
易であるため、組立前に十分な管理ができ歩留の向上に
も効果がある。
第１図は本発明の一実施例の検出器アレイの断面図、第
２図は本発明の一実施例の検出器アレイの外観図、第３
図は本発明の一実施例の検出器アレイを複数個配列した
状態の断面図、第４図は従来例の検出器アレイの断面図
である。 １・・・光反射フィルム、２・・・隔壁板、３・・・シ
ンチレータ、４・・・入射Ｘ線、５・・・フォトダイオ
ードアレイ、６・・・基板、７・・・従来例の表面光反
射層付隔壁板。 帛 ｌ リ ？ 第 ２ ロ 第 ３２
２図は本発明の一実施例の検出器アレイの外観図、第３
図は本発明の一実施例の検出器アレイを複数個配列した
状態の断面図、第４図は従来例の検出器アレイの断面図
である。 １・・・光反射フィルム、２・・・隔壁板、３・・・シ
ンチレータ、４・・・入射Ｘ線、５・・・フォトダイオ
ードアレイ、６・・・基板、７・・・従来例の表面光反
射層付隔壁板。 帛 ｌ リ ？ 第 ２ ロ 第 ３２
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、複数のシンチレータと、複数のフォトダイオードア
レイとで構成される多素子放射線検出器において、前記
シンチレータの放射線入射面および隣りのシンチレータ
と向き合う側面を、片面に光反射膜を形成した連続した
光反射フィルムにて光反射膜がシンチレータに面するよ
うに覆い、各シンチレータの間にＸ線に対し不透過な材
料から成る複数の隔壁板を挿入したことを特徴とする多
素子放射線検出器。 ２、前記光反射フィルムがポリエステルの片面にアルミ
蒸着を行つたものであることを特徴とする請求項第１項
記載の多素子放射線検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23506688A JPH0283489A (ja) | 1988-09-21 | 1988-09-21 | 多素子放射線検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23506688A JPH0283489A (ja) | 1988-09-21 | 1988-09-21 | 多素子放射線検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0283489A true JPH0283489A (ja) | 1990-03-23 |
Family
ID=16980566
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23506688A Pending JPH0283489A (ja) | 1988-09-21 | 1988-09-21 | 多素子放射線検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0283489A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5773829A (en) * | 1996-11-05 | 1998-06-30 | Iwanczyk; Jan S. | Radiation imaging detector |
| US7705315B2 (en) | 1998-06-18 | 2010-04-27 | Hamamatsu Photonics K.K. | Scintillator panel and radiation image sensor |
| WO2025047235A1 (ja) * | 2023-09-01 | 2025-03-06 | 株式会社 東芝 | セラミックシンチレータアレイ、放射線検出器、及び放射線検出装置 |
-
1988
- 1988-09-21 JP JP23506688A patent/JPH0283489A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5773829A (en) * | 1996-11-05 | 1998-06-30 | Iwanczyk; Jan S. | Radiation imaging detector |
| US7705315B2 (en) | 1998-06-18 | 2010-04-27 | Hamamatsu Photonics K.K. | Scintillator panel and radiation image sensor |
| WO2025047235A1 (ja) * | 2023-09-01 | 2025-03-06 | 株式会社 東芝 | セラミックシンチレータアレイ、放射線検出器、及び放射線検出装置 |
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