JPH028356Y2 - - Google Patents
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- JPH028356Y2 JPH028356Y2 JP2901784U JP2901784U JPH028356Y2 JP H028356 Y2 JPH028356 Y2 JP H028356Y2 JP 2901784 U JP2901784 U JP 2901784U JP 2901784 U JP2901784 U JP 2901784U JP H028356 Y2 JPH028356 Y2 JP H028356Y2
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- Japan
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- deflection
- electron beam
- display
- sample
- angle
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 39
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000003491 array Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、電子顕微鏡等において、電子線の偏
向角を表示するための装置に関する。
向角を表示するための装置に関する。
暗視野像の観察は、従来以下のような装置を用
いて行なわれている。即ち、第１図において、１
は電子銃であり、この電子銃１よりの電子線は集
束レンズ２ａ，２ｂより成る集束レンス系２によ
り集束されて平行度の良い電子線にされた後、第
１段の偏向コイルD1x，D1yと第２段の偏向コイ
ルD2x，D2yとより成る二段偏向系３に入射する。
偏向コイルD1x及びD2xはＸ方向に電子線を偏向
するためのコイルであり、D1y及びD2yはＸ方向
と直角を成すＹ方向に電子線を偏向するためのコ
イルである。二段偏向系によつて偏向された電子
線は試料４に入射し、試料４を透過した電子線に
よる像は対物、中間、投影レンズ５，６，７より
成る結像レンズ系８により結像されて蛍光板９上
に投射される。１０ｘ，１０ｙは各々前記偏向コ
イルD1x，D1yに偏向電流を供給するための偏向
電源であり、１１ｘ，１１ｙは各々前記偏向コイ
ルD2x，D2yに偏向電流を供給するための偏向電
源である。Sx，Syは試料４に対する電子線EBの
入射角は保存したまま入射位置をＸ方向及びＸ方
向に垂直なＹ方向に変化させる（この作業を以下
シフトと称す）ためのポテンシヨメーターであ
り、Tx，Tyは電子線EBの試料に対する入射位
置は保存したまま試料に対する入射角度をＸ方向
及びＹ方向に変化させる（この作業を以下テイル
トと称す）ためのポテンシヨメーターである。ポ
テンシヨメーターSx，Syよりの出力信号は各々
電源１０ｘ，１０ｙに供給されており、又、ポテ
ンシヨメーターTx，Tyよりの出力信号は各々電
源１１ｘ，１１ｙに供給されていると共に、各々
電源１０ｘ，１０ｙにも供給されており、入射角
を変化させた際に、入射位置が変化しないように
なつている。
いて行なわれている。即ち、第１図において、１
は電子銃であり、この電子銃１よりの電子線は集
束レンズ２ａ，２ｂより成る集束レンス系２によ
り集束されて平行度の良い電子線にされた後、第
１段の偏向コイルD1x，D1yと第２段の偏向コイ
ルD2x，D2yとより成る二段偏向系３に入射する。
偏向コイルD1x及びD2xはＸ方向に電子線を偏向
するためのコイルであり、D1y及びD2yはＸ方向
と直角を成すＹ方向に電子線を偏向するためのコ
イルである。二段偏向系によつて偏向された電子
線は試料４に入射し、試料４を透過した電子線に
よる像は対物、中間、投影レンズ５，６，７より
成る結像レンズ系８により結像されて蛍光板９上
に投射される。１０ｘ，１０ｙは各々前記偏向コ
イルD1x，D1yに偏向電流を供給するための偏向
電源であり、１１ｘ，１１ｙは各々前記偏向コイ
ルD2x，D2yに偏向電流を供給するための偏向電
源である。Sx，Syは試料４に対する電子線EBの
入射角は保存したまま入射位置をＸ方向及びＸ方
向に垂直なＹ方向に変化させる（この作業を以下
シフトと称す）ためのポテンシヨメーターであ
り、Tx，Tyは電子線EBの試料に対する入射位
置は保存したまま試料に対する入射角度をＸ方向
及びＹ方向に変化させる（この作業を以下テイル
トと称す）ためのポテンシヨメーターである。ポ
テンシヨメーターSx，Syよりの出力信号は各々
電源１０ｘ，１０ｙに供給されており、又、ポテ
ンシヨメーターTx，Tyよりの出力信号は各々電
源１１ｘ，１１ｙに供給されていると共に、各々
電源１０ｘ，１０ｙにも供給されており、入射角
を変化させた際に、入射位置が変化しないように
なつている。
このような構成において、例えば暗視野像の観
察を行なおうとする場合には、まず、ポテンシヨ
メーターSx，Syを操作して電子線EBの試料４へ
の照射位置を任意の位置に移動させた後、ポテン
シヨメーターTx，Tyを操作して第１図に示すよ
うに電子線EBを試料４に対して傾斜させて入射
させる。そこで、試料４を透過した電子線EBの
うち光軸方向に進んだ電子線EB′を結像レンズ系
に導いて暗視野像を蛍光板９上に得るようにして
いるが、上述した従来の装置においては、試料４
に入射する電子線の角度を表示することができな
いため、暗視野像を得ても試料に対してどのよう
な角度で電子線を入射させた際に得られた像であ
るのか対応関係を把握することができない。又、
試料が既知であり、所定の角度で電子線を入射さ
せた際の暗視野像を得ようとする場合にも、電子
線の入射角を簡単に知ることはできないため、試
行錯誤を繰り返して電子線の入射角を所望のもの
にするようにしており、面倒であつた。
察を行なおうとする場合には、まず、ポテンシヨ
メーターSx，Syを操作して電子線EBの試料４へ
の照射位置を任意の位置に移動させた後、ポテン
シヨメーターTx，Tyを操作して第１図に示すよ
うに電子線EBを試料４に対して傾斜させて入射
させる。そこで、試料４を透過した電子線EBの
うち光軸方向に進んだ電子線EB′を結像レンズ系
に導いて暗視野像を蛍光板９上に得るようにして
いるが、上述した従来の装置においては、試料４
に入射する電子線の角度を表示することができな
いため、暗視野像を得ても試料に対してどのよう
な角度で電子線を入射させた際に得られた像であ
るのか対応関係を把握することができない。又、
試料が既知であり、所定の角度で電子線を入射さ
せた際の暗視野像を得ようとする場合にも、電子
線の入射角を簡単に知ることはできないため、試
行錯誤を繰り返して電子線の入射角を所望のもの
にするようにしており、面倒であつた。
本考案はこのような従来の欠点を解決して、直
ちに所望の入射角で電子線を試料に入射できると
共に、得られた暗視野像が電子線をどのような角
度で試料に入射させた際に得られた像であるかを
簡単に知ることのできる装置を提供することを目
的としている。
ちに所望の入射角で電子線を試料に入射できると
共に、得られた暗視野像が電子線をどのような角
度で試料に入射させた際に得られた像であるかを
簡単に知ることのできる装置を提供することを目
的としている。
本考案は電子銃と、該電子銃よりの電子線を集
束するための集束レンズ系と、該集束レンズ系に
より集束された電子線をＸ方向及び該Ｘ方向に垂
直なＹ方向に偏向するためのＸ及びＹ方向偏向器
と、該Ｘ及びＹ方向偏向器に偏向電流を供給する
ためのＸ及びＹ方向偏向電源と、該偏向器により
偏向された電子線が照射される試料と、該試料を
透過した電子線を結像するための結像レンズ系を
備えた装置において、該Ｘ方向偏向器による電子
線の偏向量を表示するため第１の直線上に配置さ
れた多数の表示素子より成る第１の表示手段と、
該Ｙ方向偏向器による偏向量を表示するため該第
１の直線と直交する第２の直線上に配置された多
数の表示素子より成る第２の表示手段と、該Ｘ方
向偏向電源より該Ｘ方向偏向器に供給される偏向
電流を表わす信号に基づいて該第１の表示手段の
表示素子を該Ｘ方向の偏向量に対応させて点灯さ
せるための手段と、該Ｙ方向偏向電源より該Ｙ方
向偏向器に供給される偏向電流を表わす信号に基
づいて該第２の表示手段の表示素子を該Ｙ方向の
偏向量に対応させて点灯させるための手段とを具
備したことを特徴としている。
束するための集束レンズ系と、該集束レンズ系に
より集束された電子線をＸ方向及び該Ｘ方向に垂
直なＹ方向に偏向するためのＸ及びＹ方向偏向器
と、該Ｘ及びＹ方向偏向器に偏向電流を供給する
ためのＸ及びＹ方向偏向電源と、該偏向器により
偏向された電子線が照射される試料と、該試料を
透過した電子線を結像するための結像レンズ系を
備えた装置において、該Ｘ方向偏向器による電子
線の偏向量を表示するため第１の直線上に配置さ
れた多数の表示素子より成る第１の表示手段と、
該Ｙ方向偏向器による偏向量を表示するため該第
１の直線と直交する第２の直線上に配置された多
数の表示素子より成る第２の表示手段と、該Ｘ方
向偏向電源より該Ｘ方向偏向器に供給される偏向
電流を表わす信号に基づいて該第１の表示手段の
表示素子を該Ｘ方向の偏向量に対応させて点灯さ
せるための手段と、該Ｙ方向偏向電源より該Ｙ方
向偏向器に供給される偏向電流を表わす信号に基
づいて該第２の表示手段の表示素子を該Ｙ方向の
偏向量に対応させて点灯させるための手段とを具
備したことを特徴としている。
以下、図面に基づき本考案の実施例を詳述す
る。
る。
第２図は本考案の一実施例を示すための図であ
り、第２図においては第１図と同一の構成要素に
対しては同一番号が付されている。従来と異なり
ポテンシヨメーターTx，Tyよりの出力信号はＡ
−Ｄ変換器１２ｘ，１２ｙを介してリニアリテイ
補正回路１３ｘ，１３ｙに供給されている。この
リニアリテイ補正回路１３ｘ，１３ｙは偏向コイ
ルに供給される偏向信号の値と試料に入射する電
子線の角度が厳密には比例していないため、偏向
信号を角度に比例した信号に変換するための回路
である。リニアリテイ補正回路１３ｘ，１３ｙの
出力信号は駆動回路１４に供給されている。この
駆動回路１４の出力信号は操作パネル上に配置さ
れた多数の表示素子から成る表示素子列１５ｘ及
び１５ｙに供給されている。表示素子列１５ｘと
１５ｙは互いに直交して配置されていると共に、
表示素子列１５ｘ及び１５ｙに沿つて角度を表わ
す目盛１６ｘ，１６ｙが備えられている。
り、第２図においては第１図と同一の構成要素に
対しては同一番号が付されている。従来と異なり
ポテンシヨメーターTx，Tyよりの出力信号はＡ
−Ｄ変換器１２ｘ，１２ｙを介してリニアリテイ
補正回路１３ｘ，１３ｙに供給されている。この
リニアリテイ補正回路１３ｘ，１３ｙは偏向コイ
ルに供給される偏向信号の値と試料に入射する電
子線の角度が厳密には比例していないため、偏向
信号を角度に比例した信号に変換するための回路
である。リニアリテイ補正回路１３ｘ，１３ｙの
出力信号は駆動回路１４に供給されている。この
駆動回路１４の出力信号は操作パネル上に配置さ
れた多数の表示素子から成る表示素子列１５ｘ及
び１５ｙに供給されている。表示素子列１５ｘと
１５ｙは互いに直交して配置されていると共に、
表示素子列１５ｘ及び１５ｙに沿つて角度を表わ
す目盛１６ｘ，１６ｙが備えられている。
このような構成において、ポテンシヨメーター
Txの出力信号値に比例した偏向電流が偏向電源
１１ｘより偏向コイルD2xに供給されるため、電
子線EBはポテンシヨメーターTxの出力信号値に
比例した角度だけＸ方向に傾斜して試料４に入射
するが、このポテンシヨメーターTxよりの信号
はＡ−Ｄ変換器１２ｘにおいてデジタル信号に変
換された後、リニアリテイ補正回路１３ｘにおい
て電子線EBのＸ方向の傾斜角θxに比例した値を
有する信号に変換された後、駆動回路１４に供給
される。駆動回路１４はリニアリテイ補正回路１
３ｘより供給される信号値に比例した数だけ表示
素子列１５ｘの表示素子を点灯させるため、表示
素子列１５ｘ上の素子が電子線EBのＸ方向の入
射角θxに対応した数だけ点灯する。尚、駆動回
路１４に供給される信号値が負の場合には、表示
素子列１５ｘの負側（素子列１５ｘと１５ｙの交
点Ｏの左側）の素子が点灯する。全く同様に、ポ
テンシヨメーターTyの出力値に比例して電源１
１ｙより偏向コイルD2yに偏向電流が供給される
が、ポテンシヨメーター１５ｙをリニアリテイ補
正回路１３ｙにおいて補正した信号が駆動回路１
４に供給されるため、駆動回路１４の働きにより
表示素子１５ｙ上の素子が電子線EBのＹ方向の
入射角θyに対応した数だけ点灯する。そのため、
例えば、θxが４度、θyが２度の場合には、第３
図に示す如き表示が得られ、この表示を見ること
により、電子線EBがベクトルＡの向きにその長
さに対応した角度だけ傾斜して試料に入射してい
ることを把握することができる。
Txの出力信号値に比例した偏向電流が偏向電源
１１ｘより偏向コイルD2xに供給されるため、電
子線EBはポテンシヨメーターTxの出力信号値に
比例した角度だけＸ方向に傾斜して試料４に入射
するが、このポテンシヨメーターTxよりの信号
はＡ−Ｄ変換器１２ｘにおいてデジタル信号に変
換された後、リニアリテイ補正回路１３ｘにおい
て電子線EBのＸ方向の傾斜角θxに比例した値を
有する信号に変換された後、駆動回路１４に供給
される。駆動回路１４はリニアリテイ補正回路１
３ｘより供給される信号値に比例した数だけ表示
素子列１５ｘの表示素子を点灯させるため、表示
素子列１５ｘ上の素子が電子線EBのＸ方向の入
射角θxに対応した数だけ点灯する。尚、駆動回
路１４に供給される信号値が負の場合には、表示
素子列１５ｘの負側（素子列１５ｘと１５ｙの交
点Ｏの左側）の素子が点灯する。全く同様に、ポ
テンシヨメーターTyの出力値に比例して電源１
１ｙより偏向コイルD2yに偏向電流が供給される
が、ポテンシヨメーター１５ｙをリニアリテイ補
正回路１３ｙにおいて補正した信号が駆動回路１
４に供給されるため、駆動回路１４の働きにより
表示素子１５ｙ上の素子が電子線EBのＹ方向の
入射角θyに対応した数だけ点灯する。そのため、
例えば、θxが４度、θyが２度の場合には、第３
図に示す如き表示が得られ、この表示を見ること
により、電子線EBがベクトルＡの向きにその長
さに対応した角度だけ傾斜して試料に入射してい
ることを把握することができる。
尚、上述した実施例は本考案の一実施例に過ぎ
ず幾多の変形が考えられる。例えば上述した実施
例においては、偏向角θx，θyに比例した長さの
個数だけ素子を点灯したが、長さの終点に当る素
子だけ点灯するようにしても良い。
ず幾多の変形が考えられる。例えば上述した実施
例においては、偏向角θx，θyに比例した長さの
個数だけ素子を点灯したが、長さの終点に当る素
子だけ点灯するようにしても良い。
上述した説明から明らかなように、本考案に基
づく装置によれば、簡単な構成により試料に入射
する電子線の傾斜角を把握することができ、直ち
に所望の角度で電子線を試料に入射させることが
できると共に、得られた暗視野像がどのような角
度で電子線を入射させた際のものか知ることがで
きる。
づく装置によれば、簡単な構成により試料に入射
する電子線の傾斜角を把握することができ、直ち
に所望の角度で電子線を試料に入射させることが
できると共に、得られた暗視野像がどのような角
度で電子線を入射させた際のものか知ることがで
きる。
第１図は従来装置を説明するための図、第２図
は本考案の一実施例を示すための図、第３図は表
示素子列による表示の様子を示すための図であ
る。 １……電子銃、２……集束レンズ系、D1x，
D1y，D2x，D2y……偏向コイル、４……試料、５
……対物レンズ、６……中間レンズ、７……投影
レンズ、９……蛍光板、１０ｘ，１０ｙ，１１
ｘ，１１ｙ……偏向電源、Sx，Sy，Tx，Ty…
…ポテンシヨメーター、１２ｘ，１２ｙ……Ａ−
Ｄ変換器、１３ｘ，１３ｙ……リニアリテイ補正
回路、１４……駆動回路、１５ｘ，１５ｙ……表
示素子列、１６ｘ，１６ｙ……目盛。
は本考案の一実施例を示すための図、第３図は表
示素子列による表示の様子を示すための図であ
る。 １……電子銃、２……集束レンズ系、D1x，
D1y，D2x，D2y……偏向コイル、４……試料、５
……対物レンズ、６……中間レンズ、７……投影
レンズ、９……蛍光板、１０ｘ，１０ｙ，１１
ｘ，１１ｙ……偏向電源、Sx，Sy，Tx，Ty…
…ポテンシヨメーター、１２ｘ，１２ｙ……Ａ−
Ｄ変換器、１３ｘ，１３ｙ……リニアリテイ補正
回路、１４……駆動回路、１５ｘ，１５ｙ……表
示素子列、１６ｘ，１６ｙ……目盛。
Claims (1)
- 電子銃と、該電子銃よりの電子線を集束するた
めの集束レンズ系と、該集束レンズ系により集束
された電子線をＸ方向及び該Ｘ方向に垂直なＹ方
向に偏向するためのＸ及びＹ方向偏向器と、該Ｘ
及びＹ方向偏向器に偏向電流を供給するためのＸ
及びＹ方向偏向電源と、該偏向器により偏向され
た電子線が照射される試料と、該試料を透過した
電子線を結像するための結像レンズ系を備えた装
置において、該Ｘ方向偏向器による電子線の偏向
量を表示するため第１の直線上に配置された多数
の表示素子より成る第１の表示手段と、該Ｙ方向
偏向器による偏向量を表示するため該第１の直線
と直交する第２の直線上に配置された多数の表示
素子より成る第２の表示手段と、該Ｘ方向偏向電
源より該Ｘ方向偏向器に供給される偏向電流を表
わす信号に基づいて該第１の表示手段の表示素子
を該Ｘ方向の偏向量に対応させて点灯させるため
の手段と、該Ｙ方向偏向電源より該Ｙ方向偏向器
に供給される偏向電流を表わす信号に基づいて該
第２の表示手段の表示素子を該Ｙ方向の偏向量に
対応させて点灯させるための手段とを具備したこ
とを特徴とする電子顕微鏡等の電子線偏向角表示
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2901784U JPS60141059U (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | 電子顕微鏡等の電子線偏向角表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2901784U JPS60141059U (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | 電子顕微鏡等の電子線偏向角表示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60141059U JPS60141059U (ja) | 1985-09-18 |
| JPH028356Y2 true JPH028356Y2 (ja) | 1990-02-28 |
Family
ID=30527442
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2901784U Granted JPS60141059U (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | 電子顕微鏡等の電子線偏向角表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60141059U (ja) |
-
1984
- 1984-02-29 JP JP2901784U patent/JPS60141059U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60141059U (ja) | 1985-09-18 |
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