JPH028357Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、蛍光板上に写し出された極低倍の画
像を一旦記憶し、これを読み出して表示しながら
蛍光板上に高倍の画像を写し出して視野探しを行
う電子顕微鏡の極低倍像表示装置に関するもので
ある。

〔従来の技術〕

電子顕微鏡において、例えば×50の極低倍像を
観る場合、試料に対物絞りが近接しているため、
対物可動絞りを抜かないと広視野を観ることがで
きない。従つて対物可動絞りを抜いて広視野像に
した上でメツシユ上の試料探しをする場合も多
い。一方、例えば×5000倍以上の倍率で画像を観
察する場合には、画像にコントラストを付けるた
め、対物絞りを入れる必要がある。このような×
5000倍以上の狭視野で広範囲にわたつて視野探し
をしようとすると、メツシユ上に載つている試料
の位置の試料全体との関係がつかめないため、盲
滅法探し回ることになる。

〔考案が解決しようとする問題点〕

従つて、広範囲に視野を探そうとする場合、対
物可動絞りを一旦抜いて極低倍像にし、目的とす
る視野を決めてその部分を真中へ持つてきた後、
再び対物可動絞りを入れて高倍にし観察するとい
う面倒な操作をしなければならなかつた。

本考案は、上記の考案に基づくものであつて、
蛍光板上に高倍の画像を写し出して視野探しを行
う際その位置と試料全体との関係を容易に認識す
ることができる電子顕微鏡の極低倍像表示装置を
提供することを目的とするものである。

〔問題点を解決するための手段〕

そのために本考案の電子顕微鏡の極低倍像表示
装置は、電子顕微鏡の蛍光板上に写し出された極
低倍の画像を記憶し、該記憶した画像のデータを
読み出して表示する電子顕微鏡の極低倍像表示装
置であつて、記憶した画像のデータの読み出しア
ドレスを試料の移動量に対応して移動させる画像
データ読み出し手段を備え、該画像データ読み出
し手段は、蛍光板上に高倍の画像を写し出し表示
画面上に極低倍の画像を表示する際、高倍の画像
部分が表示装置の中心に表示されるように読み出
しアドレスを移動することを特徴とするものであ
る。

〔作用〕

本考案の電子顕微鏡の極低倍像表示装置では、
蛍光板上に高倍の画像を写し出して視野探しを行
う際、表示画面上には極低倍の画像が表示される
とともに、その表示画像の中心には蛍光板上に写
し出されている高倍の画像部分が常に表示され
る。従つて視野探しを行い試料を移動すると、表
示画面上には極低倍の画像は、その移動と対応し
て移動することになる。

〔実施例〕

以下、実施例を図面を参照しつつ説明する。

図は本考案の１実施例を説明するための図であ
り、１はフイラメント、２はアノード、３はコン
デンサ・レンズ、４は試料ステージ、５は試料ス
テージ駆動装置、６は対物可動絞り装置、７は対
物レンズ、８は中間レンズ、９は投影レンズ、１
０は蛍光板、１１は光学レンズ、１２は撮像装
置、１３は記憶装置、１４は読み出し装置、１５
は表示装置、１６は制御装置をそれぞれ示してい
る。

図において、フイラメント１から射出された電
子線は、アノード２、コンデンサ・レンズ３の制
御の下に試料ステージ４に載置された試料に照射
されると、その透過電子により、対物可動絞り装
置６、対物レンズ７、中間レンズ８、投影レンズ
９を通して蛍光板１０に試料の観察像が結像し写
し出される。この投影像は、制御装置１６の制御
により光学レンズ１１を通して撮像装置１２に取
り込まれ、その画像データが記憶装置１３に記憶
される。制御装置１６は、オペレータからの入力
指示に基づき記憶装置１３の書き込み／読み出
し、試料ステージ駆動装置５、読み出し装置１４
などの制御を行うものであり、読み出し装置１４
は、試料ステージ駆動装置５の試料ステージの位
置信号をもとに、蛍光板１０に投影される画像の
中心が表示装置１５の表示画像の中心になる記憶
装置１３の読み出し領域を判断し、その領域の読
み出した画像データを表示データとして表示装置
１５に送出するものである。

本考案は、このような透過電子顕微鏡におい
て、対物可動絞り装置６における対物可動絞りを
抜いて極低倍、例えば×50にしてオペレータから
の入力指示に基づき制御回路１６より試料メツシ
ユの観たい部分付近を蛍光板１０のほぼ中央にく
るように試料ステージ駆動装置５を制御し、その
極低倍像を記憶装置１３に記憶する。記憶装置１
３に記憶された画像データは、読み出し装置１４
を通して表示装置１５に表示され、その画像の中
心には、例えば十字線に表示される。従つて、こ
のまま高倍にすると、蛍光板１０にはこの十字線
が表示された付近の画像が拡大されて表示される
ことになる。なお、この高倍像をはつきり観るた
めには対物可動絞りを入れる。

そこでオペレータからの入力指示に基づき制御
回路１６から試料ステージ駆動装置５に制御信号
が送られ、蛍光板１０上の画像が移動すると、そ
れにつれて読み出し装置１４では、試料ステージ
駆動装置５からの試料ステージの位置信号により
読み出しアドレスがシフトされる。すなわち、試
料の移動量の表示装置１５の画像の移動量とを対
応させる。このことによつて、蛍光板１０上の画
像が移動した分だけ読み出しアドレスも移動する
ので、そのとき蛍光板１０上で観ている高倍像が
表示画像の中心の十字線付近の極低倍像にあたる
ことになる。なお、極低倍像を固定し試料の移動
量に対応させて表示装置１５の画像の十字線を移
動させてもよい。しかし、実際の試料の動きと即
対応するという点からは、試料の移動量に対応さ
せて表示装置１５の画像を移動させる方が判りや
すい。

〔考案の効果〕

以上の説明から明らかなように、本考案によれ
ば、蛍光板上の高倍像の移動に伴つて表示装置上
の極低倍像も同時に移動し、表示装置の中心付近
の高倍像が常に蛍光板上に写し出されることにな
るので、従来面倒であつた極低倍像での広範囲に
わたる試料の位置関係の把握が容易になり、高倍
像での視野探しが非常にし易くなつた。

【図面の簡単な説明】

図は本考案の１実施例を説明するための図であ
る。 １……フイラメント、２……アノード、３……
コンデンサ・レンズ、４……試料ステージ、５…
…試料ステージ駆動装置、６……対物可動絞り装
置、７……対物レンズ、８……中間レンズ、９…
…投影レンズ、１０……蛍光板、１１……光学レ
ンズ、１２……撮像装置、１３……記憶装置、１
４……読み出し装置、１５……表示装置、１６…
…制御装置。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 電子顕微鏡の蛍光板上に写し出された極低倍の
   画像を記憶し、該記憶した画像のデータを読み出
   して表示する電子顕微鏡の極低倍像表示装置であ
   つて、記憶した画像のデータの読み出しアドレス
   を試料の移動量に対応して移動させる画像データ
   読み出し手段を備え、該画像データ読み出し手段
   は、蛍光板上に高倍の画像を写し出し表示画面上
   に極低倍の画像を表示する際、高倍の画像部分が
   表示装置の中心に表示されるように読み出しアド
   レスを移動することを特徴とする電子顕微鏡の極
   低倍像表示装置。