JPH028470B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH028470B2 JPH028470B2 JP58235662A JP23566283A JPH028470B2 JP H028470 B2 JPH028470 B2 JP H028470B2 JP 58235662 A JP58235662 A JP 58235662A JP 23566283 A JP23566283 A JP 23566283A JP H028470 B2 JPH028470 B2 JP H028470B2
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- JP
- Japan
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- alloy
- atomic
- alloys
- composition
- change
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- Expired
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/80—Constructional details
- H10N50/85—Materials of the active region
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- Hall/Mr Elements (AREA)
Description
産業上の利用分野
この発明は、強磁性磁気抵抗効果を利用する薄
膜磁気センサや薄膜磁気ヘツド等に適用可能な磁
気抵抗材料に関するものである。 従来例の構成とその問題点 従来、強磁性薄膜の磁気抵抗効果を利用した材
料として、パーマロイ（Ni−Fe合金）や、Ni−
Co合金が知られており、室温で用いる材料とし
てはこれらの合金と、さらに第三元素を加えたそ
の周辺の合金とを除いては、Δρ／ρ値にして１
〜２％以上あるいは比抵抗変化Δρにして、
0.3μΩ・cm以上の値をもつ磁気抵抗材料は知られ
ていなかつた。 また、Ni−Fe系およびNi−Co系合金に関して
は、いずれも耐食性が悪く、腐食しやすい材料で
あり、特に各々を薄膜化して薄膜ヘツドや磁気セ
ンサとして用いた場合、材料腐食に伴う磁気特性
の劣下を完全に防止するのは困難であつた。 一方、従来の磁気抵抗材料を用いた場合、最も
汎用されているパーマロイ（Ni−Fe合金）でも、
飽和磁化した状態での磁気抵抗による比抵抗変化
Δρの増加は通常、0.6μΩ・cm以下であり、さらに
大きな比抵抗変化をもつ材料が磁気抵抗効果型薄
膜磁気ヘツド等において望まれていた。 発明の目的 この発明は、耐食性にすぐれ、かつ比抵抗変化
が大きく、垂直磁気記録や面内磁気記録等に有効
に使用できる磁気抵抗材料を提供することを目的
とする。 発明の構成 この発明の磁気抵抗材料は、CoとPdを含む合
金であつて、Coの組成範囲が35〜60原子％であ
り、かつPdの組成範囲が65〜40原子％であるこ
とを特徴とするものである。 この発明の磁気抵抗材料には、CoとPdの２元
合金（Co−Pd合金）およびこれに他の第三元素
を加えた合金が含まれる。 Co−Pd合金は、室温で面心立方格子構造の固
溶型合金であり、Coは20原子％以上で強磁性を
示す。したがつて、Coが20原子％以上から強磁
性磁気抵抗効果が可能となるが、CoとPdを含む
合金においては、Co自体とは異なつた磁気抵抗
を示す。 その磁気特性はCoがおよそ35原子％以上で比
較的軟磁性を示し、約50原子％以上で抗磁力は第
１図に示すように比較的抗磁力Hcが大きくなる
スパツタ蒸着法においても20Oeを下まわる。ま
た磁化の値もCoの増加とともに単調に増加する。 実施例の説明 実施例１〜６：第１表に示す組成を有するCo
−Pd二元合金を作製し、60Hzの交流磁場に対す
る比抵抗変化Δρおよび抗磁力を測定した。その
結果を第１表に併せて示す。
膜磁気センサや薄膜磁気ヘツド等に適用可能な磁
気抵抗材料に関するものである。 従来例の構成とその問題点 従来、強磁性薄膜の磁気抵抗効果を利用した材
料として、パーマロイ（Ni−Fe合金）や、Ni−
Co合金が知られており、室温で用いる材料とし
てはこれらの合金と、さらに第三元素を加えたそ
の周辺の合金とを除いては、Δρ／ρ値にして１
〜２％以上あるいは比抵抗変化Δρにして、
0.3μΩ・cm以上の値をもつ磁気抵抗材料は知られ
ていなかつた。 また、Ni−Fe系およびNi−Co系合金に関して
は、いずれも耐食性が悪く、腐食しやすい材料で
あり、特に各々を薄膜化して薄膜ヘツドや磁気セ
ンサとして用いた場合、材料腐食に伴う磁気特性
の劣下を完全に防止するのは困難であつた。 一方、従来の磁気抵抗材料を用いた場合、最も
汎用されているパーマロイ（Ni−Fe合金）でも、
飽和磁化した状態での磁気抵抗による比抵抗変化
Δρの増加は通常、0.6μΩ・cm以下であり、さらに
大きな比抵抗変化をもつ材料が磁気抵抗効果型薄
膜磁気ヘツド等において望まれていた。 発明の目的 この発明は、耐食性にすぐれ、かつ比抵抗変化
が大きく、垂直磁気記録や面内磁気記録等に有効
に使用できる磁気抵抗材料を提供することを目的
とする。 発明の構成 この発明の磁気抵抗材料は、CoとPdを含む合
金であつて、Coの組成範囲が35〜60原子％であ
り、かつPdの組成範囲が65〜40原子％であるこ
とを特徴とするものである。 この発明の磁気抵抗材料には、CoとPdの２元
合金（Co−Pd合金）およびこれに他の第三元素
を加えた合金が含まれる。 Co−Pd合金は、室温で面心立方格子構造の固
溶型合金であり、Coは20原子％以上で強磁性を
示す。したがつて、Coが20原子％以上から強磁
性磁気抵抗効果が可能となるが、CoとPdを含む
合金においては、Co自体とは異なつた磁気抵抗
を示す。 その磁気特性はCoがおよそ35原子％以上で比
較的軟磁性を示し、約50原子％以上で抗磁力は第
１図に示すように比較的抗磁力Hcが大きくなる
スパツタ蒸着法においても20Oeを下まわる。ま
た磁化の値もCoの増加とともに単調に増加する。 実施例の説明 実施例１〜６：第１表に示す組成を有するCo
−Pd二元合金を作製し、60Hzの交流磁場に対す
る比抵抗変化Δρおよび抗磁力を測定した。その
結果を第１表に併せて示す。
【表】
第２図に実施例４のCo−Pd合金についての60
Hzの交流磁場に対する磁気抵抗変化特性を示す。 また、第３図に実施例１〜６で示したCo−Pd
二元合金の比抵抗変化とCo組成との関係を示す。
Co組成が35〜60原子％で、かつPd組成が65〜40
原子％の範囲で比抵抗変化がピークをもつことが
第３図からわかる。 実施例７〜10：CoおよびPdにさらに第三元素
としてNiまたはFeを加え、第２表に示す組成を
有する合金を作製し、実施例１〜６と同様にして
比抵抗変化および抗磁力を測定した。その結果を
第２表に併せて示す。
Hzの交流磁場に対する磁気抵抗変化特性を示す。 また、第３図に実施例１〜６で示したCo−Pd
二元合金の比抵抗変化とCo組成との関係を示す。
Co組成が35〜60原子％で、かつPd組成が65〜40
原子％の範囲で比抵抗変化がピークをもつことが
第３図からわかる。 実施例７〜10：CoおよびPdにさらに第三元素
としてNiまたはFeを加え、第２表に示す組成を
有する合金を作製し、実施例１〜６と同様にして
比抵抗変化および抗磁力を測定した。その結果を
第２表に併せて示す。
【表】
CoおよびPdの原子比をピーク組成領域に対応
させて、Co原子％／Pd原子％が約1.5〜0.43の範
囲で第三元素（Ni、Fe、Cuなど）を各種の目的
で添加した多元合金においても磁気抵抗特性とし
ては十分大きなものが望み得る。実施例７〜10に
おいてもまた、前述したところのほぼCo組成が
35〜60原子％、Pd組成が65〜40原子％の範囲内
で高い比抵抗変化が確認できた。 実施例11（耐食性試験）：実施例１〜10で得た各
Co−Pd系合金を60℃で95％湿度中に10日間保持
する高温高湿テストを行なつた。その結果、従来
のバーマロイ薄膜では膜面内一帯にビツトが発生
したが、Co−Pd系合金薄膜ではいずれも変化は
認められなかつた。 発明の効果 この発明によれば、耐食性にすぐれ、比抵抗変
化の高い強磁性磁気抵抗材料を得ることができる
という効果がある。
させて、Co原子％／Pd原子％が約1.5〜0.43の範
囲で第三元素（Ni、Fe、Cuなど）を各種の目的
で添加した多元合金においても磁気抵抗特性とし
ては十分大きなものが望み得る。実施例７〜10に
おいてもまた、前述したところのほぼCo組成が
35〜60原子％、Pd組成が65〜40原子％の範囲内
で高い比抵抗変化が確認できた。 実施例11（耐食性試験）：実施例１〜10で得た各
Co−Pd系合金を60℃で95％湿度中に10日間保持
する高温高湿テストを行なつた。その結果、従来
のバーマロイ薄膜では膜面内一帯にビツトが発生
したが、Co−Pd系合金薄膜ではいずれも変化は
認められなかつた。 発明の効果 この発明によれば、耐食性にすぐれ、比抵抗変
化の高い強磁性磁気抵抗材料を得ることができる
という効果がある。
第１図はCo−Pd系合金におけるCo組成に対す
る室温での抗磁力の変化を示すグラフ、第２図は
実施例４で得たCo−Pd合金の磁気抵抗特性を示
すグラフ、第３図はCo−Pd二元合金におけるCo
組成と比抵抗変化Δρとの関係を示すグラフであ
る。
る室温での抗磁力の変化を示すグラフ、第２図は
実施例４で得たCo−Pd合金の磁気抵抗特性を示
すグラフ、第３図はCo−Pd二元合金におけるCo
組成と比抵抗変化Δρとの関係を示すグラフであ
る。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ CoとPdを含む合金であつて、Coの組成範囲
が35〜60原子％であり、かつPdの組成範囲が65
〜40原子％であることを特徴とする磁気抵抗材
料。 ２ 前記合金がCoとPdの２元合金である特許請
求の範囲第１項記載の磁気抵抗材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58235662A JPS60126879A (ja) | 1983-12-13 | 1983-12-13 | 磁気抵抗材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58235662A JPS60126879A (ja) | 1983-12-13 | 1983-12-13 | 磁気抵抗材料 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60126879A JPS60126879A (ja) | 1985-07-06 |
| JPH028470B2 true JPH028470B2 (ja) | 1990-02-23 |
Family
ID=16989332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58235662A Granted JPS60126879A (ja) | 1983-12-13 | 1983-12-13 | 磁気抵抗材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60126879A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04265511A (ja) * | 1991-02-19 | 1992-09-21 | Sony Corp | 磁気記録媒体 |
| JPH04356721A (ja) * | 1991-03-28 | 1992-12-10 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| US7347885B1 (en) * | 2001-12-10 | 2008-03-25 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Synthesis of metal nanoparticle compositions from metallic and ethynyl compounds |
-
1983
- 1983-12-13 JP JP58235662A patent/JPS60126879A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60126879A (ja) | 1985-07-06 |
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