JPH0285306A - 熱間静水圧プレスによる金属成形体の製造方法 - Google Patents
熱間静水圧プレスによる金属成形体の製造方法Info
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- JPH0285306A JPH0285306A JP23490588A JP23490588A JPH0285306A JP H0285306 A JPH0285306 A JP H0285306A JP 23490588 A JP23490588 A JP 23490588A JP 23490588 A JP23490588 A JP 23490588A JP H0285306 A JPH0285306 A JP H0285306A
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- metal
- container
- cooling
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の詳細な説明］
本発明は、光磁気記録媒体をスパッタリングにて製造す
る際に用いられる希土類金属と遷移金属とからなるター
ゲット等の熱間静水圧プレスによる金属成形体の製造方
法に関するものである。
る際に用いられる希土類金属と遷移金属とからなるター
ゲット等の熱間静水圧プレスによる金属成形体の製造方
法に関するものである。
［従来の技術］
近年、光磁気記録の技術進歩はめざましく、光磁気ディ
スクの開発は、光磁気記録Ｉｓ体の性能向上を主体に活
発に行なわれている。記録媒体の材料としては、希土類
金属と遷移金属とからなる合金（以下ＲＥ−ＴＭ合金と
略称する）ＴｂＦｅ。
スクの開発は、光磁気記録Ｉｓ体の性能向上を主体に活
発に行なわれている。記録媒体の材料としては、希土類
金属と遷移金属とからなる合金（以下ＲＥ−ＴＭ合金と
略称する）ＴｂＦｅ。
ＧｄＴｂＦｅ、ＴｂＦｅＣｏ、ＧｄＤｙＦｅＣ。
等の薄膜媒体が用いられ、ガラス又は樹脂系基板上ヘス
バッタ法などにて形成される。このスパッタ法で形成さ
れる光磁気記録媒体には成分の均一性、高純度、低酸素
含有率などが要求される。そのためスパッタリングター
ゲツト材としては、クラック、巣等の欠陥の少い、高密
度で高純度、さらに低酸素含有率の材料が要求される。
バッタ法などにて形成される。このスパッタ法で形成さ
れる光磁気記録媒体には成分の均一性、高純度、低酸素
含有率などが要求される。そのためスパッタリングター
ゲツト材としては、クラック、巣等の欠陥の少い、高密
度で高純度、さらに低酸素含有率の材料が要求される。
この様なＲＥ−７Ｍ合金ターゲツトの製造方法としては
、 （１〉所定組成の希土類金属と遷移金属を真空溶解炉等
で溶解、鋳造し、ＲＥ−７Ｍ合金ターゲツトを製造する
方法。
、 （１〉所定組成の希土類金属と遷移金属を真空溶解炉等
で溶解、鋳造し、ＲＥ−７Ｍ合金ターゲツトを製造する
方法。
（２）所定組成の希土類金属と遷移金属を真空溶角’？
’炉等で溶解、鋳造した後、粉砕し、ホットプレスにて
加圧焼結しＲＥ−７Ｍ合金ターゲツトを製造する方法。
’炉等で溶解、鋳造した後、粉砕し、ホットプレスにて
加圧焼結しＲＥ−７Ｍ合金ターゲツトを製造する方法。
（３）所定組成の希土類金属と遷移金属を真空溶解炉等
で溶解、鋳造した後、粉砕し、金属製コンテナ中に真空
封入し、ＨＩＰ処理することによりＲＥ−７Ｍ合金ター
ゲツトを製造する方法。
で溶解、鋳造した後、粉砕し、金属製コンテナ中に真空
封入し、ＨＩＰ処理することによりＲＥ−７Ｍ合金ター
ゲツトを製造する方法。
等によりＲＥ−７Ｍ合金ターゲツトが製造されてきた。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、（１）の方法では確かに大口径のターゲ
ットは得られるが材料内部に巣等の欠陥が存在しやすく
、高密度のターゲットを得難い。
ットは得られるが材料内部に巣等の欠陥が存在しやすく
、高密度のターゲットを得難い。
（２）の方法では加圧焼結であるため高密度のものは得
られるが、押型を用いるため、押型からの不純物の混入
、さらには、圧力に限界があり大口径のものは作製でき
ず大量生産に不適であった。
られるが、押型を用いるため、押型からの不純物の混入
、さらには、圧力に限界があり大口径のものは作製でき
ず大量生産に不適であった。
また、（３）の方法では、高密度で大口径のものは作製
できるが、大型の金属製コンテナ中に粉末を充填するた
め、熱間静水圧プレス（以下ＨＩＰ処理と呼ぶ）の冷却
時に被処理物の周辺と内部の温度差が大きくなりすぎ、
特に金属製コンテナと被処理物の接触面部分よりクラッ
ク１割れが発生し易すい欠点を存していた。そのため、
クラック。
できるが、大型の金属製コンテナ中に粉末を充填するた
め、熱間静水圧プレス（以下ＨＩＰ処理と呼ぶ）の冷却
時に被処理物の周辺と内部の温度差が大きくなりすぎ、
特に金属製コンテナと被処理物の接触面部分よりクラッ
ク１割れが発生し易すい欠点を存していた。そのため、
クラック。
割れ等を切断、研磨等で除去しなければならず、材料歩
留が非常に悪かった。また、コスト面からみても光磁気
記録用材料である希土類金属Ｔｂ。
留が非常に悪かった。また、コスト面からみても光磁気
記録用材料である希土類金属Ｔｂ。
Ｇｄ、Ｄｙ等はたいへん高価であり、上記の製造方法を
単純に用いるのは困難であった。
単純に用いるのは困難であった。
そこで、本発明の技術的課題は、クラック発生を防止す
ることができ、大型ターゲット基板が得られ、材料歩留
りも良好になり実用的かつ工業的に有利な熱間静水圧プ
レスによる金属成形体の製造方法を提供することにある
。
ることができ、大型ターゲット基板が得られ、材料歩留
りも良好になり実用的かつ工業的に有利な熱間静水圧プ
レスによる金属成形体の製造方法を提供することにある
。
［課題を解決するための手段］
本発明は、上記課題を解決したものである。
（１）本発明は、従来法と同様に金属製コンテナ中に被
成形金属粉末を充填し、該コンテナを密封し、熱間静水
圧プレス処理を行うわけであるが、熱間静水圧プレス処
理冷却時の被処理物の周辺部と内部の温度差をできるだ
け少なくし、また、高圧処理から発生する被処理の残留
歪を除去するため、ＨＩＰ処理冷却速度を徐冷（４００
℃／Ｈｒ以下）することにより、被処理物のクラック、
割れ等を防止することを特徴とする。
成形金属粉末を充填し、該コンテナを密封し、熱間静水
圧プレス処理を行うわけであるが、熱間静水圧プレス処
理冷却時の被処理物の周辺部と内部の温度差をできるだ
け少なくし、また、高圧処理から発生する被処理の残留
歪を除去するため、ＨＩＰ処理冷却速度を徐冷（４００
℃／Ｈｒ以下）することにより、被処理物のクラック、
割れ等を防止することを特徴とする。
（２）さらに、金属製コンテナ内の被成形金属粉末入り
金属容器を金属粉末中間層に埋め込むことにより、金属
製コンテナと金属粉末の熱膨張係数。
金属容器を金属粉末中間層に埋め込むことにより、金属
製コンテナと金属粉末の熱膨張係数。
熱伝導率の差から発生するクラック、割れ等の欠陥を緩
和し、クラック、割れ等を防止することを特徴とする。
和し、クラック、割れ等を防止することを特徴とする。
ここで、本発明の被成形金属粉末として、Ｔｂ。
Ｇｄ、Ｄｙの少くとも１種よりなる希土類金属と、遷移
金属とよりなる合金粉末を用いることが好ましい。
金属とよりなる合金粉末を用いることが好ましい。
［実施例］
本発明の実施例を第１図を参照して説明する。
粉砕し− １３″０アンダーとした、希土類−遷移金属
合金粉末４をＯ１１龍の厚さを有する軟鋼製容器２に充
填し外径φ２５０ｍ＋＊、厚さ２關のステンレス製コン
テナ１に挿入し軟鋼製容器２とステンレス製コンテナ１
の間に中間金属粉末３を均一に充填した。次いで脱気管
５を真空ポンプに接続し、加熱轟空引きを施し、脱気管
の一部を加熱圧希。
合金粉末４をＯ１１龍の厚さを有する軟鋼製容器２に充
填し外径φ２５０ｍ＋＊、厚さ２關のステンレス製コン
テナ１に挿入し軟鋼製容器２とステンレス製コンテナ１
の間に中間金属粉末３を均一に充填した。次いで脱気管
５を真空ポンプに接続し、加熱轟空引きを施し、脱気管
の一部を加熱圧希。
切断し、密封コンテナを作製した。ＨＩＰ炉内に設置さ
れた密封コンテナを温度１１００℃、圧力１０００気圧
、保持時間２時間の条件にてＨＩＰ処理を施した。ＨＩ
’Ｐ処理されたコンテナを旋盤。
れた密封コンテナを温度１１００℃、圧力１０００気圧
、保持時間２時間の条件にてＨＩＰ処理を施した。ＨＩ
’Ｐ処理されたコンテナを旋盤。
ワイヤー放電加工等を用い、ＲＥ−ＴＭ合金焼結体を取
り出し、最大クラックの深さを測定した。
り出し、最大クラックの深さを測定した。
第１表に、実施例に用いたＨＩＰ冷却速度と、ＲＥ−Ｔ
Ｍ金合金発生した最大クラック深さの関係を示しである
、ＨＩＰ冷却速度は８００℃／Ｈｒ、６００℃／Ｈｒ、
４００℃／Ｈｒ、１００”Ｃ／Ｈｒ及び比較のため従来
法の炉冷（糸１０００℃／Ｈｒ）の場合も示した。また
中間金属粉末は、ＲＥ−ＴＭ粉末への不純物の混入を防
止する目的と、ＲＥ−ＴＭａ金と、ステンレスの熱膨張
率の差から発生するクラックを防１１・、する目的で両
者の中間の熱膨張率を有するＦｅ粉又はＦｅ粉＋Ｃ。
Ｍ金合金発生した最大クラック深さの関係を示しである
、ＨＩＰ冷却速度は８００℃／Ｈｒ、６００℃／Ｈｒ、
４００℃／Ｈｒ、１００”Ｃ／Ｈｒ及び比較のため従来
法の炉冷（糸１０００℃／Ｈｒ）の場合も示した。また
中間金属粉末は、ＲＥ−ＴＭ粉末への不純物の混入を防
止する目的と、ＲＥ−ＴＭａ金と、ステンレスの熱膨張
率の差から発生するクラックを防１１・、する目的で両
者の中間の熱膨張率を有するＦｅ粉又はＦｅ粉＋Ｃ。
粉を使用した。さらに比較のため中間金属粉末と軟鋼容
器を用いない従来法の場合も示した。表よりＨＩＰ冷却
速度が１０００℃／ Ｈｒ 、中間金属粉を使用しない
従来法の試料１が最もクラックが深い。中間金属粉を使
用し、ＨＩＰ冷却速度の違う試料２，３，４，５，６．
８については冷却速度が４００℃／Ｈｒ以下の試料５，
６．８においてクラックが発生せず、良好なものが得ら
れた。
器を用いない従来法の場合も示した。表よりＨＩＰ冷却
速度が１０００℃／ Ｈｒ 、中間金属粉を使用しない
従来法の試料１が最もクラックが深い。中間金属粉を使
用し、ＨＩＰ冷却速度の違う試料２，３，４，５，６．
８については冷却速度が４００℃／Ｈｒ以下の試料５，
６．８においてクラックが発生せず、良好なものが得ら
れた。
ＨＩＰ冷却速度が小さい試料でも中間金属粉を有しない
試料７についてはクラックが発生しており、良好ではな
い。試料５，６．８を用い、スパッタリングターゲット
を作製し、スパッタ膜を形成した所、良好な磁気特性が
得られた。
試料７についてはクラックが発生しており、良好ではな
い。試料５，６．８を用い、スパッタリングターゲット
を作製し、スパッタ膜を形成した所、良好な磁気特性が
得られた。
以下宗Ｂ
第
表
［発明の効果コ
以上、述べた通り、本発明の熱間静水圧プレスによる金
属成形体製造方法によれば、クラックを防止することが
でき８インチφ、あるいは１０インチ×２０インチ等の
大形のターゲット基板が得られ、また、材料歩留も良好
となり、実用的かつ工業的に有利な方法である。
属成形体製造方法によれば、クラックを防止することが
でき８インチφ、あるいは１０インチ×２０インチ等の
大形のターゲット基板が得られ、また、材料歩留も良好
となり、実用的かつ工業的に有利な方法である。
第１図は、本発明の熱間静水圧プレスによる金属成形体
の製造方法の一実施例を説明するための図である。 図中、１は金属製コンテナ、２は金属製容器、３は中間
金属粉末、４はＲＥ−７Ｍ合金粉末、５は脱気管である
。 以下余日
の製造方法の一実施例を説明するための図である。 図中、１は金属製コンテナ、２は金属製容器、３は中間
金属粉末、４はＲＥ−７Ｍ合金粉末、５は脱気管である
。 以下余日
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、所定の形状の金属製コンテナに、被成形金属粉末を
充填し、該コンテナを密封し、しかる後に該コンテナに
高温・高圧を印加したのち、冷却して成形体を得る熱間
静水圧プレスによる金属成形体の製造方法において、冷
却時の冷却速度を４００℃／時間以下としたことを特徴
とする熱間静水圧プレスによる金属成形体の製造方法。 ２、前記被成形金属粉末として、Ｔｂ、Ｇｄ、Ｄｙの少
くとも１種よりなる希土類金属と遷移金属とよりなる合
金粉末を用いることを特徴とする第１の請求項記載の熱
間静水圧プレスによる金属成形体の製造方法。 ３、前記被成形金属粉末を金属容器に充填し、該金属容
器を金属製コンテナ内の金属粉末中間層に埋め込んだこ
とを特徴とする第１の請求項記載の熱間静水圧プレスに
よる金属成形体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63234905A JP2681807B2 (ja) | 1988-09-21 | 1988-09-21 | 熱間静水圧プレスによる金属成形体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63234905A JP2681807B2 (ja) | 1988-09-21 | 1988-09-21 | 熱間静水圧プレスによる金属成形体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0285306A true JPH0285306A (ja) | 1990-03-26 |
| JP2681807B2 JP2681807B2 (ja) | 1997-11-26 |
Family
ID=16978135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63234905A Expired - Fee Related JP2681807B2 (ja) | 1988-09-21 | 1988-09-21 | 熱間静水圧プレスによる金属成形体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2681807B2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60103147A (ja) * | 1983-10-04 | 1985-06-07 | ザ ブリテイツシユ ペトロレアム カンパニ− ピ−．エル．シ− | 複合材料 |
| JPS6254002A (ja) * | 1985-08-31 | 1987-03-09 | Tohoku Metal Ind Ltd | 熱間静水圧プレス成形方法 |
| JPH01287205A (ja) * | 1988-02-05 | 1989-11-17 | Anval Nyby Powder Ab | 粉末冶金による物体の製造方法 |
-
1988
- 1988-09-21 JP JP63234905A patent/JP2681807B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60103147A (ja) * | 1983-10-04 | 1985-06-07 | ザ ブリテイツシユ ペトロレアム カンパニ− ピ−．エル．シ− | 複合材料 |
| JPS6254002A (ja) * | 1985-08-31 | 1987-03-09 | Tohoku Metal Ind Ltd | 熱間静水圧プレス成形方法 |
| JPH01287205A (ja) * | 1988-02-05 | 1989-11-17 | Anval Nyby Powder Ab | 粉末冶金による物体の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2681807B2 (ja) | 1997-11-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |