JPH0285729A - 光スペクトラムアナライザ - Google Patents
光スペクトラムアナライザInfo
- Publication number
- JPH0285729A JPH0285729A JP23715388A JP23715388A JPH0285729A JP H0285729 A JPH0285729 A JP H0285729A JP 23715388 A JP23715388 A JP 23715388A JP 23715388 A JP23715388 A JP 23715388A JP H0285729 A JPH0285729 A JP H0285729A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical spectrum
- diffraction grating
- exit
- mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は各種の光素子の特性のテストなどの目的に用い
る光スペクトラムアナライザに関する。
る光スペクトラムアナライザに関する。
（ロ）従来の技術
光通信に用いる光素子の特性のテストなどの場合、例え
ば５００〜２０００ｎｍといった広い波長範囲にわたる
分光測定が必要であるが、従来の光スペクトラムアナラ
イザは一般に比較的狭い波長範囲を測定するものが多く
、一つの回折格子により分光した光を一つの出口スリッ
トの位置に収束させ、この出口スリットを通過した光を
検出器により検出するとともに、前記回折格子を走査し
て光スペクトラムを測定するように構成されていた。
ば５００〜２０００ｎｍといった広い波長範囲にわたる
分光測定が必要であるが、従来の光スペクトラムアナラ
イザは一般に比較的狭い波長範囲を測定するものが多く
、一つの回折格子により分光した光を一つの出口スリッ
トの位置に収束させ、この出口スリットを通過した光を
検出器により検出するとともに、前記回折格子を走査し
て光スペクトラムを測定するように構成されていた。
広い波長範囲にわたる測定のための装置としては例えば
特願昭６０−１４００１４号の発明があり、この発明に
おいては格子面が平面状に連なった２種の回折格子を回
転走査の途中でスライド変位させて切り換え、分光した
光を一つの出口スリットの位置に収束させ、この出口ス
リットを通過した光の光路を切り換えミラーによって高
速で切り換えて波長特性が互いに異なる第１、第２の検
出器に交互に導いている。
特願昭６０−１４００１４号の発明があり、この発明に
おいては格子面が平面状に連なった２種の回折格子を回
転走査の途中でスライド変位させて切り換え、分光した
光を一つの出口スリットの位置に収束させ、この出口ス
リットを通過した光の光路を切り換えミラーによって高
速で切り換えて波長特性が互いに異なる第１、第２の検
出器に交互に導いている。
（ハ）解決すべき課題
以上のような従来の装置においては、広い波長範囲にわ
たる測定を行なうためには広い範囲にわたる波長走査が
必要となり、また検出器などの切り換えも必要であるの
で、測定時間が長くなるという問題があった。
たる測定を行なうためには広い範囲にわたる波長走査が
必要となり、また検出器などの切り換えも必要であるの
で、測定時間が長くなるという問題があった。
（ニ）課題を解決するための手段
上記問題を解決するため、本発明においては一つの回折
格子に対して出口スリットと検出器の組を複数設け、一
の出口スリットと検出器の組によって一次回折光を測定
し、他の一つの出口スリットと検出器の組によって二次
回折光を測定するよう構成した。
格子に対して出口スリットと検出器の組を複数設け、一
の出口スリットと検出器の組によって一次回折光を測定
し、他の一つの出口スリットと検出器の組によって二次
回折光を測定するよう構成した。
（ホ）作用
例えば５００〜２０００ｎｍの波長範囲にわたる測定の
場合、−次回先光に対して概略１０００〜２０００ｎｍ
の範囲の波長走査・測定をすると、二次回折光により５
００〜１１０００ｎの測定が同時に行われ、約半分の走
査時間で測定でき、検出器の切り換えも不要になる。
場合、−次回先光に対して概略１０００〜２０００ｎｍ
の範囲の波長走査・測定をすると、二次回折光により５
００〜１１０００ｎの測定が同時に行われ、約半分の走
査時間で測定でき、検出器の切り換えも不要になる。
（へ）実施例
第１図は本発明の光スペクトラムアナライザの一実施例
を示す楢成図である。本図において１は入ロスリッ１〜
．２はコリメータミラー（凹面鏡）、３．４はテレメー
タミラー（凹面鏡）、５．６は出口スリット、７は回折
格子、８．９は検出器、１０．１１は光フィルターであ
る。
を示す楢成図である。本図において１は入ロスリッ１〜
．２はコリメータミラー（凹面鏡）、３．４はテレメー
タミラー（凹面鏡）、５．６は出口スリット、７は回折
格子、８．９は検出器、１０．１１は光フィルターであ
る。
入口スリット１からの光１２はコリメータミラー２によ
って平行な光となって平面回折格子７により回折される
。回折光１３はテレメータミラー３によって反射され出
口スリット５の位置に収束し、回折光１４はテレメータ
ミラー４によって反射され出口スリット６の位置に収束
する。出口スリット５を通過した光は光フイルタ−１０
を介して検出器８により検出されるが、検出器８は比較
的長波長の光に対して悪疫を有するＩ ｎＧａＡｓフォ
トダイオードにて形成されており、２次回折光以上をカ
ットする光フイルタ−１０との相乗効果により、１次回
折光（１０００〜２０００ｎｍ）のみを検出する。これ
に対して出口スリット６を通過した光は光フイルタ−１
１を介して検出器９により検出されるが、検出器９は比
較的短波長の光に対して悪疫を有するシリコンフォトダ
イオードにて形成されており、３次以上の高次回折光を
カットする光フイルタ−１１との相乗効果により、主に
２次回折光（５００〜１１０００ｎ＞を検出する。
って平行な光となって平面回折格子７により回折される
。回折光１３はテレメータミラー３によって反射され出
口スリット５の位置に収束し、回折光１４はテレメータ
ミラー４によって反射され出口スリット６の位置に収束
する。出口スリット５を通過した光は光フイルタ−１０
を介して検出器８により検出されるが、検出器８は比較
的長波長の光に対して悪疫を有するＩ ｎＧａＡｓフォ
トダイオードにて形成されており、２次回折光以上をカ
ットする光フイルタ−１０との相乗効果により、１次回
折光（１０００〜２０００ｎｍ）のみを検出する。これ
に対して出口スリット６を通過した光は光フイルタ−１
１を介して検出器９により検出されるが、検出器９は比
較的短波長の光に対して悪疫を有するシリコンフォトダ
イオードにて形成されており、３次以上の高次回折光を
カットする光フイルタ−１１との相乗効果により、主に
２次回折光（５００〜１１０００ｎ＞を検出する。
コリメータミラー２、テレメータミラー３，４、出口ス
リット５，６及び回折格子７の位置関係は固定されてお
り、波長走査は回折格子７を回転走査して行なう、（こ
の走査ｌｉｉ構の説明は省略する）−ｉに回折光の波長
λは入射角（回折格子面に立てた垂線と入射光とが成す
角度）をα、回折角（前記垂線と回折光とが成す角度）
をβ、格子定数をｄとすると、 ｎ＾＝ｄ （ｓ ｉ ｎα＋ｓ ｉ ｎβ）の関係があ
る。ここでｎは回折の次数である。
リット５，６及び回折格子７の位置関係は固定されてお
り、波長走査は回折格子７を回転走査して行なう、（こ
の走査ｌｉｉ構の説明は省略する）−ｉに回折光の波長
λは入射角（回折格子面に立てた垂線と入射光とが成す
角度）をα、回折角（前記垂線と回折光とが成す角度）
をβ、格子定数をｄとすると、 ｎ＾＝ｄ （ｓ ｉ ｎα＋ｓ ｉ ｎβ）の関係があ
る。ここでｎは回折の次数である。
従って、テレメータミラー３，４に向かう回折光の回折
角β１．β２がほぼ等しい場合は、テレメータミラー３
に向かう１次回折光が１０００〜２０００ｎｍの範囲で
変化するよう波長走査すると、テレメータミラー４に向
かう２次回折光は略５００〜１１０００ｎの範囲で変化
する。回折角β１．β２が異なる場合はテレメータミラ
ー３に向かう１次回折光が１０００〜２０００ｎｍを含
む波長範囲で変化し、かつ、テレメータミラー４に向か
う２次回折光か５００〜１１０００ｎの範囲を含む波長
範囲で変化するように走査範囲を少し広く設定する。
角β１．β２がほぼ等しい場合は、テレメータミラー３
に向かう１次回折光が１０００〜２０００ｎｍの範囲で
変化するよう波長走査すると、テレメータミラー４に向
かう２次回折光は略５００〜１１０００ｎの範囲で変化
する。回折角β１．β２が異なる場合はテレメータミラ
ー３に向かう１次回折光が１０００〜２０００ｎｍを含
む波長範囲で変化し、かつ、テレメータミラー４に向か
う２次回折光か５００〜１１０００ｎの範囲を含む波長
範囲で変化するように走査範囲を少し広く設定する。
検出器８．９からの出力は夫々増幅器１５，１６及びＡ
／Ｄ変換器１７．１８を介してＣＰＵｌ９からメモリ２
０に取込まれ、波長５００〜２０００ｎｍに対するスペ
クトラムにデータが整理され、レコーダー等の表示装置
２１に一つのグラフとして表示される。
／Ｄ変換器１７．１８を介してＣＰＵｌ９からメモリ２
０に取込まれ、波長５００〜２０００ｎｍに対するスペ
クトラムにデータが整理され、レコーダー等の表示装置
２１に一つのグラフとして表示される。
（ト）効果
本発明によると広い波長範囲にわたる光スペクトラムの
測定が従来の約半分の波長走査によって可能となり、ま
た検出器の切り換えも不要であるので、各種の光通信用
光素子の特性テストなどに用いて測定の効率が向上する
という効果を奏する。
測定が従来の約半分の波長走査によって可能となり、ま
た検出器の切り換えも不要であるので、各種の光通信用
光素子の特性テストなどに用いて測定の効率が向上する
という効果を奏する。
第１図は本発明の光スペクトラムアナライザの一実施例
を示す要部構成図である。 １・・・入口スリット ２・・・コリメータミラー３
．４・−テレメータミラー ７・・・回折格子５．６
・・・出口スリット ８，９山検出器１０．１１・・
・光フイルタ−１９・・・ｃｐｕ１５．１６・・・増幅
器 ２１・・・表示装置１７．１８・・・Ａ／Ｄ変換
器 ２ｏ・・・メモリ１：内り 葛 １ 図
を示す要部構成図である。 １・・・入口スリット ２・・・コリメータミラー３
．４・−テレメータミラー ７・・・回折格子５．６
・・・出口スリット ８，９山検出器１０．１１・・
・光フイルタ−１９・・・ｃｐｕ１５．１６・・・増幅
器 ２１・・・表示装置１７．１８・・・Ａ／Ｄ変換
器 ２ｏ・・・メモリ１：内り 葛 １ 図
Claims (1)
- 回折格子により分光した光を出口スリットの位置に収束
させ、この出口スリットを通過した光を検出器により検
出するとともに、前記回折格子を走査して光スペクトラ
ムを測定する装置において、一つの回折格子に対して出
口スリットと検出器の組を複数設け、一の出口スリット
と検出器の組によって一次回折光を測定し、他の一つの
出口スリットと検出器の組によって二次回折光を測定す
るよう構成したことを特徴とする光スペクトラムアナラ
イザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23715388A JPH0285729A (ja) | 1988-09-21 | 1988-09-21 | 光スペクトラムアナライザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23715388A JPH0285729A (ja) | 1988-09-21 | 1988-09-21 | 光スペクトラムアナライザ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0285729A true JPH0285729A (ja) | 1990-03-27 |
Family
ID=17011189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23715388A Pending JPH0285729A (ja) | 1988-09-21 | 1988-09-21 | 光スペクトラムアナライザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0285729A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005249777A (ja) * | 2004-02-02 | 2005-09-15 | Ube Ind Ltd | 広波長域小型分光器 |
-
1988
- 1988-09-21 JP JP23715388A patent/JPH0285729A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005249777A (ja) * | 2004-02-02 | 2005-09-15 | Ube Ind Ltd | 広波長域小型分光器 |
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